ବିଶ୍ sem ର ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପର ଦ୍ରୁତ ବିକାଶ ସହିତ, ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ନାନୋମିଟର ଯୁଗରେ ପ୍ରବେଶ କରିଛି | ଏହି ଅତ୍ୟନ୍ତ ସଠିକ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ଯେକ minute ଣସି ମିନିଟ୍ ପରିବେଶର ଅସ୍ଥିରତା କିମ୍ବା ସାମଗ୍ରୀକ ଅପରିଷ୍କାରତା ସମଗ୍ର ବ୍ୟାଚ୍ ୱାଫରର ସ୍କ୍ରାପ୍ ହୋଇପାରେ | ତେଣୁ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସ୍ପେସିଆଲିଟି ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧ ଶିଳ୍ପ ଗ୍ୟାସ୍ ଏକ ଅପୂରଣୀୟ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରନ୍ତି | ସେମାନଙ୍କ ମଧ୍ୟରେ, ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା ତରଳ ଆର୍ଗନ୍ | ଏହାର ଚରମ ରାସାୟନିକ ନିଷ୍କ୍ରିୟତା ଏବଂ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଶାରୀରିକ ଗୁଣ ଯୋଗୁଁ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଫ୍ୟାବ୍ର ଦ daily ନନ୍ଦିନ କାର୍ଯ୍ୟରେ ଉପଯୋଗୀ ଏକ ଅପରିହାର୍ଯ୍ୟ ଚାବି ପାଲଟିଛି |

ଏହି ଆର୍ଟିକିଲ୍ ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ତରଳ ଆର୍ଗୋନ୍ର ମୂଳ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକୁ ଗଭୀର ଭାବରେ ବିଶ୍ଳେଷଣ କରିବ ଏବଂ ଉଦ୍ୟୋଗ ଯୋଗାଣ ଶୃଙ୍ଖଳା ଦଳ ପାଇଁ ଏକ ବୃତ୍ତିଗତ କ୍ରୟ ଗାଇଡ୍ ପ୍ରଦାନ କରିବ |

ମୂଳ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ: ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନରୁ ତରଳ ଆର୍ଗନ୍ କାହିଁକି ଅଲଗା?

ଫ୍ରଣ୍ଟ-ଏଣ୍ଡ-ଅଫ୍-ଲାଇନ୍ (FEOL) ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପାଇଁ ତରଳ ଆର୍ଗନ୍ ମୁଖ୍ୟତ the ନିମ୍ନଲିଖିତ ମୂଳ ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଏ ଯାହା ଉତ୍ପାଦ ଉତ୍ପାଦନ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରେ:

• ଶାରୀରିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (PVD) / ସ୍ପୁଟର୍: ଅଲ୍ଟ୍ରା-ଶୁଦ୍ଧ ଆର୍ଗନ୍ ଗ୍ୟାସ୍, ତରଳ ଆର୍ଗୋନ୍ର ଗ୍ୟାସିଫିକେସନ୍ ଦ୍ୱାରା ଗଠିତ, PVD ସ୍ପୁଟର୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ସବୁଠାରୁ ମୁଖ୍ୟ ସ୍ରୋତ କାର୍ଯ୍ୟ କରୁଥିବା ଗ୍ୟାସ୍ | ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରରେ, ଆର୍ଗନ୍ ଆୟନଗୁଡିକ ଏକ ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ର ଦ୍ target ାରା ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ଉପରେ ବୋମା ପକାଇବା ପାଇଁ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ ହୁଏ, ଯାହାଦ୍ୱାରା ଲକ୍ଷ୍ୟ ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକ ୱେଫର୍ ପୃଷ୍ଠରେ ସମାନ ଭାବରେ ଜମା ହୋଇ ଏକ ଧାତୁ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସୃଷ୍ଟି କରେ | ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଘନତା ଏବଂ ବ electrical ଦୁତିକ ସ୍ଥିରତାକୁ ନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା ଏକ ପୂର୍ବ ସର୍ତ୍ତ |
• 
  

• ସଂପୂର୍ଣ୍ଣ ନିରାପଦ ଇର୍ଟ ପ୍ରୋଟେକ୍ଟିଭ୍ ବାତାବରଣ: ମୋନୋକ୍ରିଷ୍ଟାଲାଇନ୍ ସିଲିକନ୍ (ଯେପରିକି Czochralski ପ୍ରକ୍ରିୟା) ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଆନ୍ଲିଙ୍ଗ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକର ଟାଣିବା ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ, ସିଲିକନ୍ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ଅମ୍ଳଜାନ ସହିତ ସହଜରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରିଥାଏ | ତେଣୁ, ବାୟୁକୁ ବଦଳାଇବା ପାଇଁ ଆର୍ଗନ୍ ଗ୍ୟାସ୍ କ୍ରମାଗତ ଭାବରେ ପ୍ରବର୍ତ୍ତିତ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ, ଅମ୍ଳଜାନ ଏବଂ ଆର୍ଦ୍ରତା ଠାରୁ ବିଚ୍ଛିନ୍ନ ଏକ ସଂପୂର୍ଣ୍ଣ ନିଷ୍କ୍ରିୟ ପରିବେଶ ଯୋଗାଇଥାଏ, ଯାହାଦ୍ୱାରା ସିଲିକନ୍ ସ୍ଫଟିକ୍ ଲାଟାଇସର ଉପଯୁକ୍ତ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ସୁନିଶ୍ଚିତ ହୁଏ |
• 
  
• କ୍ରିଏଜେନିକ୍ସ ଏବଂ ୱେଫର୍ କ୍ଲିନିଂ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି: ଉନ୍ନତ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଯେପରିକି ଚରମ ଅଲଟ୍ରାଭାଇଓଲେଟ୍ (EUV) ଲିଥୋଗ୍ରାଫି, ତରଳ ଆର୍ଗନ୍ (ଫୁଟିବା ପଏଣ୍ଟ -186 ° C) ର ଅଲ୍ଟ୍ରା-ନିମ୍ନ ତାପମାତ୍ରା ବ characteristics ଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକ ସଠିକ୍ ଯନ୍ତ୍ରର କୁଲିଂ ସିଷ୍ଟମରେ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଏ | ଏକ ସମୟରେ, ଆର୍ଗନ୍ ଏରୋସୋଲ୍ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ୱେଫର୍ ପୃଷ୍ଠରେ ନାନୋମିଟର-ମାପର ଶାରୀରିକ ମାଇକ୍ରୋ-ସଫା କରିବା ପାଇଁ ମଧ୍ୟ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଯାହା ବିନା କ୍ଷତିକାରକ ଭାବରେ ମିନିଟ୍ କଣିକା ପଦାର୍ଥକୁ ଅପସାରଣ କରିପାରିବ |
• 
  

ଗୁଣବତ୍ତା ଅମଳ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରେ: ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ତରଳ ଆର୍ଗନ୍ ର କଠୋର ମାନକ |

କଞ୍ଚାମାଲ ପାଇଁ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପର ଆବଶ୍ୟକତା ଅତ୍ୟନ୍ତ କଠୋର ଅଟେ | ସାଧାରଣ ଶିଳ୍ପ-ଗ୍ରେଡ୍ ଲିକ୍ୱିଡ୍ ଆର୍ଗନ୍ ସାଧାରଣତ only କେବଳ 99.9% କିମ୍ବା 99.99% ଶୁଦ୍ଧତାରେ ପହଞ୍ଚିବା ଆବଶ୍ୟକ କରେ, କିନ୍ତୁ ଏହା ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ଠାରୁ ବହୁ ଦୂରରେ | ପାଇଁ ଯୋଗ୍ୟ ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା ତରଳ ଆର୍ଗନ୍ |, ସାଧାରଣତ 9 99.999% (5N) ରେ ପହଞ୍ଚିବା ପାଇଁ ବେସ୍ ଲାଇନ୍ ଶୁଦ୍ଧତା ଆବଶ୍ୟକ, ଏବଂ ଉନ୍ନତ ନୋଡଗୁଡିକରେ ଏହା 99.9999% (6N) କିମ୍ବା ଉଚ୍ଚରେ ପହଞ୍ଚିବା ଆବଶ୍ୟକ |

ଅପରିଷ୍କାର ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଅଧିକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ | ଅମ୍ଳଜାନ, ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍, ଆର୍ଦ୍ରତା, ସମୁଦାୟ ହାଇଡ୍ରୋକାର୍ବନ୍ (THC), ଏବଂ ଟ୍ରେସ୍ ଧାତୁ ଆୟନଗୁଡିକ ppb (ପ୍ରତି ବିଲିୟନ ପ୍ରତି ଅଂଶ) କିମ୍ବା ଏପରିକି ppt (ଟ୍ରିଲିୟନ୍ ପ୍ରତି ଅଂଶ) ସ୍ତରରେ କଠୋର ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ | ଯଦିଓ ଗ୍ୟାସ ପାଇପଲାଇନରେ ଏକ ମିନିଟର ପରିମାଣର ଅପରିଷ୍କାର ମିଶ୍ରଣ ହୁଏ, ତେବେ ଏହା ୱେଫର୍ ପୃଷ୍ଠରେ ମାଇକ୍ରୋ-ତ୍ରୁଟି ସୃଷ୍ଟି କରିବ, ଯାହା ଚିପ୍ ସର୍ଟ ସର୍କିଟ୍ କିମ୍ବା ସାମ୍ପ୍ରତିକ ଲିକେଜ୍ ସୃଷ୍ଟି କରିବ, ଅମଳ ହାରକୁ ସିଧାସଳଖ ହ୍ରାସ କରିବ ଏବଂ ବିପୁଳ ଅର୍ଥନ losses ତିକ କ୍ଷତି ଘଟାଇବ |

କ୍ରୟ ଗାଇଡ୍: ଏକ ବୃତ୍ତିଗତ ତରଳ ଆର୍ଗନ୍ ଯୋଗାଣକାରୀଙ୍କୁ କିପରି ମୂଲ୍ୟାଙ୍କନ ଏବଂ ଚୟନ କରାଯିବ?

ଉତ୍ପାଦନ ଲାଇନର କାର୍ଯ୍ୟରେ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଗ୍ୟାସର ନିର୍ଣ୍ଣାୟକ ଭୂମିକାକୁ ଦୃଷ୍ଟିରେ ରଖି କ୍ରୟ ଏବଂ ଯୋଗାଣ ଶୃଙ୍ଖଳା ଦଳ ପାଇଁ ଏକ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଯୋଗ୍ୟ ତଥା ଦକ୍ଷ ତରଳ ଆର୍ଗନ୍ ଯୋଗାଣକାରୀ ଖୋଜିବା ଏବଂ ସୁରକ୍ଷିତ କରିବା ଏକ ମୂଳ କାର୍ଯ୍ୟ | ସମ୍ଭାବ୍ୟ ଯୋଗାଣକାରୀମାନଙ୍କର ମୂଲ୍ୟାଙ୍କନ କରିବାବେଳେ, ନିମ୍ନଲିଖିତ ତିନୋଟି ଆକାର ଉପରେ ଧ୍ୟାନ ଦେବା ପାଇଁ ପରାମର୍ଶ ଦିଆଯାଇଛି:

କଠୋର ଗୁଣବତ୍ତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଏବଂ ପରୀକ୍ଷା କ୍ଷମତା: ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଯୋଗାଣକାରୀମାନେ ଗ୍ୟାସ୍ କ୍ରୋମାଟୋଗ୍ରାଫ୍ (ଜିସି) ଏବଂ ମାସ୍ ସ୍ପେକ୍ଟ୍ରୋମିଟର (ଏମ୍ଏସ୍) ପରି ଶୀର୍ଷ ସ୍ତରର ଟ୍ରେସ୍ ଆନାଲିସିସ୍ ଉପକରଣ ସହିତ ସଜ୍ଜିତ ହେବା ଜରୁରୀ | ବିତରଣ ମଧ୍ୟରେ ଶୁଦ୍ଧତା ମଧ୍ୟରେ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍ଥିରତା ନିଶ୍ଚିତ କରିବାକୁ ସେମାନେ ପ୍ରତ୍ୟେକ ବ୍ୟାଚ୍ ପାଇଁ ଏକ ବିସ୍ତୃତ COA (ଆନାଲିସିସ୍ ସାର୍ଟିଫିକେଟ୍) ପ୍ରଦାନ କରିବାକୁ ସମର୍ଥ ହେବା ଜରୁରୀ |

ଶକ୍ତିଶାଳୀ ଯୋଗାଣ ଶୃଙ୍ଖଳା ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ବିତରଣ ସ୍ଥିରତା: ଫ୍ୟାବସ୍ ସାଧାରଣତ 24 24/7/365 କାର୍ଯ୍ୟ କରେ, ଏବଂ ଡାଉନ୍ ଟାଇମ୍ ମୂଲ୍ୟ ଅତ୍ୟଧିକ ଅଧିକ | ତେଣୁ, ଯୋଗାଣକାରୀମାନେ ନିଶ୍ଚିତ ଭାବରେ ବୃହତ ଲୋକାଲାଇଜଡ୍ ତରଳ ସଂରକ୍ଷଣ କ୍ଷମତା, କ୍ରିଏଜେନିକ୍ ଟ୍ୟାଙ୍କର୍ ଟ୍ରକ୍ ର ନିଜସ୍ୱ ଜାହାଜ ଏବଂ ଜରୁରୀକାଳୀନ ଯୋଗାଣ ନିଶ୍ଚିତତା ପାଇଁ ବ୍ୟାପକ ବିପର୍ଯ୍ୟୟ ଯୋଜନା ଧାରଣ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ |

ଉନ୍ନତ ପାତ୍ର ଏବଂ ଆଣ୍ଟି- “ଦ୍ Secondary ିତୀୟ ପ୍ରଦୂଷଣ” ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା: ଗ୍ୟାସ ଶୁଦ୍ଧତା ଯେତେ ଅଧିକ ହେଉନା କାହିଁକି, ପରିବହନ ସମୟରେ ଦୂଷିତ ହେଲେ ଏହା ଅଦରକାରୀ | ଯୋଗାଣକାରୀଙ୍କ କ୍ରାୟୋଜେନିକ୍ ଷ୍ଟୋରେଜ୍ ଟ୍ୟାଙ୍କ ଏବଂ ଟ୍ୟାଙ୍କର୍ ଭିତର କାନ୍ଥ ଚିକିତ୍ସା ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା (ଯେପରିକି ଏହା ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋପଲିସିଂ / ଇପି ଚିକିତ୍ସା ହୋଇଛି କି ନାହିଁ), ଏବଂ ଭରିବା ଏବଂ ସ୍ଥାନାନ୍ତର ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ ଭଲଭ୍ ଏବଂ ପାଇପଲାଇନ ଶୁଦ୍ଧତା ପାଇଁ ଷ୍ଟାଣ୍ଡାର୍ଡ ଅପରେଟିଂ ପ୍ରୋସେସ୍ (SOP) ଉପରେ ଧ୍ୟାନ ଦେବା ଉଚିତ, ଏହା ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ପ୍ଲାଣ୍ଟରୁ ଗ୍ରାହକଙ୍କ ଟର୍ମିନାଲକୁ ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା ବିତରଣ କରାଯାଇପାରିବ |

ସିଦ୍ଧାନ୍ତ

ମୋର୍ ଆଇନର କ୍ରମାଗତ ଅଗ୍ରଗତି ଅନୁଯାୟୀ, ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା ତରଳ ଆର୍ଗନ୍ କେବଳ ଏକ ମ basic ଳିକ ଉପଯୋଗୀ ନୁହେଁ, ଉନ୍ନତ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଏକ “ଅଦୃଶ୍ୟ ଏସକର୍ଟ” | ବ Scient ଜ୍ ific ାନିକ ଏବଂ କଠୋର ମୂଲ୍ୟାଙ୍କନ ଏବଂ ଚୟନ କରିବା ତରଳ ଆର୍ଗନ୍ ଯୋଗାଣକାରୀ | ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପାଇଁ ତରଳ ଆର୍ଗୋନର ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣାତ୍ମକ ଏବଂ ସ୍ଥିର ଯୋଗାଣକୁ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ବିସ୍ତୃତ ଶକ୍ତି ସହିତ ପ୍ରତ୍ୟେକ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ଉଦ୍ୟୋଗ ପାଇଁ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅମଳର ଉନ୍ନତି ଏବଂ ବିଶ୍ market ବଜାର ପ୍ରତିଯୋଗିତାରେ ଜିତିବା ପାଇଁ ମୁଖ୍ୟ ମୂଳଦୁଆ ଅଟେ |