ခေတ်သစ်ကမ္ဘာသည် ချစ်ပ်ပြားပေါ်တွင် အလုပ်လုပ်သည်။ သင့်အိတ်ကပ်ထဲရှိ စမတ်ဖုန်းမှသည် သေးငယ်သော အာကာသအင်ဂျင်နီယာဆိုင်ရာ လမ်းညွှန်စနစ်များအထိဖြစ်သည်။ semiconductor device ကို ဒစ်ဂျစ်တယ်ခေတ်၏ မထင်ရှားသော သူရဲကောင်းဖြစ်သည်။ ဒါပေမယ့် ဟီးရိုးနောက်ကွယ်က သူရဲကောင်းက ဘာလဲ။ ၎င်းသည် မမြင်နိုင်သော၊ မကြာခဏ မငြိမ်မသက်ဖြစ်နိုင်သော အထူးဓာတ်ငွေ့ကမ္ဘာဖြစ်သည်။ အတိအကျပြောရရင်၊ ဖလိုရင်း ဓာတုဗေဒ တွင် အဓိကအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။ semiconductor ကုန်ထုတ်လုပ်မှု ရိုးရှင်းစွာ အစားထိုး၍မရသော လုပ်ငန်းစဉ်။

အကယ်၍ သင်သည် ထောက်ပံ့ရေးကွင်းဆက်တစ်ခုကို စီမံခန့်ခွဲခြင်း သို့မဟုတ် ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးတစ်ခုတွင် ကြီးကြပ်နေလျှင်၊ semiconductor Foundry၊ အမှားအတွက် margin သည် သုညဖြစ်သည်ကို သင်သိပါသည်။ အစိုဓာတ်ရှိမှု သို့မဟုတ် အဏုကြည့်အမှုန်အမွှားတစ်ခုသည် ဒေါ်လာသန်းပေါင်းများစွာတန်သော ထုတ်လုပ်မှုလည်ပတ်မှုကို ပျက်စီးစေနိုင်သည်။ ဤဆောင်းပါးသည် အခန်းကဏ္ဍသို့ နက်နဲစွာ နက်နက်ရှိုင်းရှိုင်း ပိုင်းခြားထားသည်။ ဖလိုရင်း ပါဝင်သော ဓာတ်ငွေ့များ—ကျွန်ုပ်တို့သည် ၎င်းတို့ကို အဘယ်ကြောင့်အသုံးပြုသည်၊ ၎င်းတို့ကို ထိရောက်မှုဖြစ်စေသော သီးခြားဓာတုဗေဒနှင့် ထောက်ပံ့ရေးကွင်းဆက်တည်ငြိမ်မှုနှင့် သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှု၏ အရေးကြီးသော အရေးပါမှုတို့ ဖြစ်သည်။ ဒါတွေကို ဘယ်လိုလေ့လာမလဲ။ မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောဓာတ်ငွေ့ တွင်အသုံးပြုကြသည်။ ရယူ အစစ်ခံခြင်းအဆင့်များနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရသော ပါတနာထံမှ ၎င်းတို့ကို အဘယ်ကြောင့် ရှာဖွေရခြင်းသည် ယခုနှစ်တွင် သင်ပြုလုပ်နိုင်သည့် အရေးကြီးဆုံး ဆုံးဖြတ်ချက်ဖြစ်သည်။

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ငန်းသည် အဘယ်ကြောင့် ဖလိုရင်းပါရှိသောဓာတ်ငွေ့များပေါ်တွင် အလွန်မှီခိုနေရသနည်း။

နားလည်ရန် semiconductor စက်မှုလုပ်ငန်းPeriodic Table ကို ကြည့်ရပါမယ်။ ဆီလီကွန်သည် ကင်းဗတ်စ်ဖြစ်သည်။ ဖုံ စုတ်တံ။ ဟိ semiconductor လုပ်ကြံ လုပ်ငန်းစဉ်တွင် ပစ္စည်းများ အလွှာများကို တည်ဆောက်ပြီး ဆားကစ်များ ဖန်တီးရန်အတွက် ၎င်းတို့ကို ရွေးချယ်ဖယ်ရှားခြင်း ပါဝင်သည်။ ဤဖယ်ရှားခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်ကို etching ဟုခေါ်သည်။

ဖုံ electronegative ဒြပ်စင်ဖြစ်သည်။ ရိုးရိုးရှင်းရှင်းပြောရရင်၊ အီလက်ထရွန်တွေအတွက် မယုံနိုင်လောက်အောင်ကို ဆာလောင်နေတယ်။ မိတ်ဆက်ပေးတဲ့အခါ ဖလိုရင်းဓာတ်ငွေ့ သို့မဟုတ် fluorinated ဒြပ်ပေါင်းများ ပလာစမာခန်းထဲသို့ ဖလိုရင်းအက်တမ်များသည် ဆီလီကွန်နှင့် ပြင်းထန်စွာ တုံ့ပြန်ကြပြီး၊ ဆီလီကွန်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ်. ဤဓာတုတုံ့ပြန်မှုသည် အစိုင်အခဲဆီလီကွန်ကို အလွယ်တကူစုပ်ထုတ်နိုင်သော မတည်ငြိမ်သောဓာတ်ငွေ့များ (ဆီလီကွန်တက်ထရာဖလိုရိုက်ကဲ့သို့) အဖြစ်သို့ ပြောင်းလဲသွားသည်။ ဤဓာတုဓာတ်ပြုမှုမရှိဘဲ၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် ခေတ်မီလိုအပ်သော အဏုကြည့်ကတုတ်ကျင်းများနှင့် အဆက်အသွယ်အပေါက်များကို မဖန်တီးနိုင်ပါ။ အီလက်ထရောနစ်ပစ္စည်းများ.

တွင် ထုတ်လုပ်မှုပမာဏမြင့်မားသည်။၊ အမြန်နှုန်း နှင့် တိကျမှုသည် အရာအားလုံးဖြစ်သည်။ ဖလိုရင်းပါဝင်သော ဓာတ်ငွေ့များ ဖောက်ထုတ်မှုကို ထိန်းထားရန် လိုအပ်သော မြင့်မားသော ထုထည်နှုန်းထားများကို ပံ့ပိုးပေးကာ အောက်ဘက်အလွှာကို မထိခိုက်စေဘဲ ပစ္စည်းတစ်ခုမှဖြတ်ရန် ရွေးချယ်နိုင်စွမ်းကိုလည်း ပေးဆောင်သည်။ သိမ်မွေ့သော ဟန်ချက်ညီသော လုပ်ရပ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ဓာတုဗေဒ ရူပဗေဒ။

ဖလိုရင်းဓာတုဗေဒသည် တိကျမှုမြင့်မားသော ထွင်းထုခြင်းအတွက် အဘယ်အရာက ထူးခြားသနည်း။

အဘယ်ကြောင့် ကလိုရင်း သို့မဟုတ် ဘရိုမင်ကို မသုံးသင့်သနည်းဟု မေးကောင်းမေးနိုင်သည်။ အချို့သောအလွှာများအတွက် ကျွန်ုပ်တို့လုပ်ပါသည်။ သို့သော်၊ ဖလိုရင်း ဓာတုဗေဒ ဆီလီကွန်အခြေခံပစ္စည်းများကို ထွင်းထုရာတွင် ထူးခြားသောအားသာချက်ကို ပေးသည်။ ဆီလီကွန် နှင့် ဖလိုရင်းကြား နှောင်ကြိုးသည် မယုံနိုင်လောက်အောင် ခိုင်မာသည်။ ဘယ်တော့လဲ။ ဖလိုရင်း ပါဝင်သော ပလာစမာသည် wafer ကိုထိမှန်သည်၊ တုံ့ပြန်မှုသည် exothermic နှင့် သူ့အလိုအလျောက်ဖြစ်သည်။

ပဉ္စက ဖြစ်ပျက် ပလာပမာ. တစ်ထဲမှာ semiconductor လုပ်ငန်းစဉ် အခန်းတွင်း၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် မြင့်မားသောစွမ်းအင်ကို Carbon Tetrafluoride (CF4) သို့မဟုတ် Sulfur Hexafluoride (SF6) ကဲ့သို့ တည်ငြိမ်သောဓာတ်ငွေ့သို့ အသုံးချပါသည်။ ၎င်းသည် ဓာတ်ငွေ့ကို ခွဲထုတ်ပြီး ဓာတ်ပြုမှုကို ထုတ်လွှတ်သည်။ ဖုံ အစွန်းရောက်။ ဤအစွန်းရောက်များသည် မျက်နှာပြင်ကို တိုက်ခိုက်သည်။ ညှစ်.

“အတိ ဟိ ရယူ chip ၏စွမ်းဆောင်ရည်ကိုသတ်မှတ်သည်။ မင်းရဲ့ ဓာတ်ငွေ့ သန့်စင်မှု အတက်အကျ ရှိရင် မင်းရဲ့ သတ္တုစပ်နှုန်း အတက်အကျ နဲ့ မင်းရဲ့ အထွက်နှုန်း ပျက်သွားတယ်။"

ဤသဘောတရားကို ဆောင်၏။ anisotropic etching - ဘေးတိုက်မစားဘဲ တည့်တည့်ဖြတ်ခြင်း။ ရောစပ်ခြင်းဖြင့် ဖုံ အခြားအတူ လုပ်ငန်းစဉ်ဓာတ်ငွေ့အင်ဂျင်နီယာများသည် ကတုတ်ကျင်း၏ ပရိုဖိုင်ကို ကောင်းစွာ ထိန်းချုပ်နိုင်သည်။ နာနိုမီတာသွေဖည်မှုတစ်ခုပင် မအောင်မြင်သည့် သေးငယ်သော nodeများ (7nm၊ 5nm နှင့် အောက်) သို့ ရွှေ့ခြင်းဖြင့် ဤစွမ်းရည်သည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် ဓာတ်ငွေ့များသည် အဆင့်မြင့် etch လုပ်ငန်းစဉ်များကို မည်သို့မောင်းနှင်သနည်း။

အုတ်ဖိုများ ပန်းပုကိရိယာများဖြစ်ကြသည် fabs. အဓိက အမျိုးအစား နှစ်မျိုး ရှိသည် - စိုစွတ်သော etch (အရည်ကဲ့သို့သော ဓာတုပစ္စည်းများကို အသုံးပြုသည်။ ဟိုက်ဒရိုဂျင် ဖလိုရိုက်) နှင့် dry etch (ပလာစမာကိုအသုံးပြုသည်)။ ခေတ်မီသည်။ အဆင့်မြင့် semiconductor node များသည် ပို၍တိကျသောကြောင့် dry plasma etching တွင် သီးသန့်နီးပါးအားကိုးပါသည်။

ထုံးစံအတိုင်း ပလာစမာ etching sequence, a fluorinated ဓာတ်ငွေ့ မိတ်ဆက်သည်။ သုံးတဲ့ အမျိုးအစားကို ကြည့်ရအောင်။

• ကာဗွန်တက်ထရာဖလိုရိုက် (CF4): oxide etching အတွက် workhorse ။
• Octafluorocyclobutane (C4F8): ကတုတ်ကျင်း၏ ဘေးနံရံများပေါ်တွင် ပိုလီမာအလွှာကို မြှုပ်နှံထားရန်၊ အောက်ခြေကို ပိုမိုနက်ရှိုင်းအောင် ထွင်းထုထားချိန်တွင် ၎င်းတို့ကို ကာကွယ်ပေးသည်။
• Sulphur Hexafluoride (SF6): အလွန်လျင်မြန်သော ဆီလီကွန် ခြစ်ရာနှုန်းကြောင့် လူသိများသည်။

အကြားအပြန်အလှန် ပလာပမာ နှင့် အလွှာ ရှုပ်ထွေးသည်။ ၎င်းတွင် အိုင်းယွန်းများ နှင့် ဓာတုဗေဒ တုံ့ပြန်မှုများဖြင့် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဗုံးကြဲခြင်း ပါဝင်သည်။ ဟိ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရေး ကိရိယာ ဤဓာတ်ငွေ့များ၏ စီးဆင်းမှု၊ ဖိအားနှင့် အရောအနှောများကို တင်းတင်းကျပ်ကျပ် ထိန်းချုပ်ရမည်။ အကယ်၍ အထူးဓာတ်ငွေ့ အစိုဓာတ်ကဲ့သို့ အညစ်အကြေးများပါ၀င်သည်၊ ၎င်းသည် ပေးပို့မှုလိုင်းများ သို့မဟုတ် အခန်းအတွင်းတွင် ဟိုက်ဒရိုဖလိုရစ်အက်ဆစ်ကို ဖွဲ့စည်းစေပြီး သံချေးတက်ခြင်းနှင့် အမှုန်အမွှားများကို ချို့ယွင်းချက်ဖြစ်စေသည်။

နိုက်ထရိုဂျင် ထရီဖလိုရိုက်သည် အဘယ်ကြောင့် အခန်းသန့်ရှင်းရေး အသုံးချမှု၏ ဘုရင်ဖြစ်သနည်း။

စဉ် etching နှင့်သန့်ရှင်းရေး လက်တွဲလုပ်ဆောင်ပါ၊ ကုန်ထုတ်ပစ္စည်းများကို သန့်ရှင်းရေးလုပ်ခြင်းသည် wafer ကိုလုပ်ဆောင်ခြင်းကဲ့သို့ပင် အရေးကြီးပါသည်။ ကာလအတွင်း ဓာတုအငွေ့ (CVD)ဆီလီကွန် သို့မဟုတ် တန်စတင်ကဲ့သို့သော ပစ္စည်းများအား wafer ပေါ်သို့ အပ်နှံသည်။ သို့သော် ထိုပစ္စည်းများသည် အခန်း၏နံရံများကို ဖုံးအုပ်ထားသည်။ ဤအကြွင်းအကျန်များ တက်လာပါက ကွဲထွက်ပြီး wafers များပေါ်သို့ ကျရောက်ကာ အပြစ်အနာအဆာများ ဖြစ်ပေါ်စေပါသည်။

ဝင်ပါ။ နိုက်ထရိုဂျင် ထရီဖလိုရိုက် (NF3).

လွန်ခဲ့သည့်နှစ်များက စက်မှုလုပ်ငန်းသုံးသည်။ fluorinated ဖန်လုံအိမ် အခန်းသန့်ရှင်းရေးအတွက် C2F6 ကဲ့သို့ဓာတ်ငွေ့များ။ သို့သော်၊ NF3 သည်စံနှုန်းတစ်ခုဖြစ်လာသည်။ အခန်းသန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်များ ၎င်း၏မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်ကြောင့်။ အဝေးမှ ပလာစမာရင်းမြစ်တစ်ခုတွင် ကွဲသွားသောအခါ NF3 သည် ကြီးမားသောပမာဏကို ထုတ်ပေးသည်။ ဖလိုရင်းအက်တမ်. ဤအက်တမ်များသည် အခန်းနံရံများကို သန့်စင်စေပြီး အကြွင်းအကျန်များကို စုပ်ထုတ်သည့် ဓာတ်ငွေ့အဖြစ်သို့ ပြောင်းလဲစေသည်။

နိုက်ထရိုဂျင် trifluoride သုံးစွဲမှုနှုန်း မြင့်မားသောကြောင့် (ဓာတ်ငွေ့ အများစုကို အမှန်တကယ် အသုံးပြုသည်) နှင့် အဟောင်းများနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက ဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှတ်မှု နည်းပါးသောကြောင့် ပိုမိုနှစ်သက်သည်။ သန့်ရှင်းရေးအေးဂျင့်. Facility Manager တစ်ဦးအတွက်၊ ၎င်းသည် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုအတွက် အချိန်ကုန်သက်သာပြီး သုံးစွဲမှုပိုမိုမြန်ဆန်ခြင်းကို ဆိုလိုသည်။

အမြောက်အများထုတ်လုပ်ရန်အတွက် မည်သည့် ဖလိုရင်းနိတ်ဒြပ်ပေါင်းများ မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသနည်း။

အပေြာင်း semiconductor ထောက်ပံ့ရေးကွင်းဆက် တိကျတဲ့ ခြင်းတောင်းပေါ်မှာ အားကိုးတယ်။ ဖလိုရင်းပါဝင်သော ဓာတ်ငွေ့များ. တစ်ခုစီတွင် သီးခြား "ချက်ပြုတ်နည်း" သို့မဟုတ် လျှောက်လွှာတစ်ခုစီရှိသည်။ မှာ Jiangsu Huazhong ဓာတ်ငွေ့အောက်ပါတို့အတွက် ကြီးမားသော တောင်းဆိုမှုကို ကျွန်ုပ်တို့တွေ့မြင်သည်-

ဤ fluorinated ဒြပ်ပေါင်းများ အသက်သွေးကြောများဖြစ်ကြသည် ထုတ်လုပ်မှုပမာဏမြင့်မားသည်။. ဒါတွေက တစ်ဖွဲဖွဲဘဲ semiconductor တွင်ဓာတ်ငွေ့များ ထုတ်လုပ်မှု၊ လိုင်းများရပ်တန့်။ ဒါဟာ ရိုးရှင်းပါတယ်။ ဒါကြောင့် အဲရစ်မီလာလို ၀ယ်လိုအား မန်နေဂျာတွေက အမြဲစောင့်ကြည့်နေပါတယ်။ ထောက်ပံ့ရေးဆိုင်ခွဲ အနှောင့်အယှက်များအတွက်။

အဘယ်ကြောင့်ဆိုသော် သန့်စင်မြင့်ဓာတ်ငွေ့များသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာအထွက်နှုန်း၏ ကျောရိုးဖြစ်သည်။

ဒါကို လုံလောက်အောင် မဖိစီးနိုင်ပါဘူး- သန့်ရှင်းမှုက အရာအားလုံးပါပဲ။

ကျနော်တို့အကြောင်းပြောဆိုတဲ့အခါ မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောဓာတ်ငွေ့ဂဟေအတွက်သုံးတဲ့ "စက်မှုအဆင့်" အကြောင်း ပြောနေတာမဟုတ်ပါဘူး။ ကျွန်ုပ်တို့ပြောနေသည်မှာ 5N (99.999%) သို့မဟုတ် 6N (99.9999%) သန့်စင်ခြင်းအကြောင်းပြောနေသည်။

ဘာကြောင့်လဲ? ဘာဖြစ်လို့လဲဆိုတော့ semiconductor device ကို nanometers ဖြင့်တိုင်းတာသည့်အင်္ဂါရပ်များရှိသည်။ သတ္တုညစ်ညမ်းမှု သို့မဟုတ် အစိုဓာတ်ခြေရာခံပမာဏ (H2O) ၏ တစ်ခုတည်းသော မော်လီကျူးသည် ဝါယာရှော့ဖြစ်စေနိုင်သည် သို့မဟုတ် အလွှာတစ်ခုကို တွယ်ကပ်ခြင်းမှ တားဆီးနိုင်သည်။

• အစိုဓာတ်- ဓာတ်ပြုသည်။ ဖုံ ဓာတ်ငွေ့ပေးပို့မှုစနစ်ကို ထိခိုက်စေသော HF ကို ဖန်တီးရန်။
• အောက်စီဂျင်: ဆီလီကွန်ကို အထိန်းအကွပ်မရှိ ဓာတ်တိုးစေသည်။
• အကြီးစားသတ္တုများ ထရန်စစ္စတာ၏ လျှပ်စစ်ဂုဏ်သတ္တိများကို ဖျက်ဆီးပါ။

ပေးသွင်းသူတစ်ဦးအနေဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့၏အလုပ်မှာ သေချာစေရန်ဖြစ်ပါသည်။ မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု Xenon သို့မဟုတ် အီလက်ထရွန်းနစ်အဆင့် နိုက်ထရပ်အောက်ဆိုဒ် တင်းတင်းကြပ်ကြပ် ကိုက်ညီတယ်လို့ ခံယူထားတယ်။ စက်မှုလုပ်ငန်းစံချိန်စံညွှန်းများ. ကျွန်ုပ်တို့သည် ရှာဖွေတွေ့ရှိရန် အဆင့်မြင့်ဓာတ်ငွေ့ ခရိုမာတီဂရမ်ကို အသုံးပြုပါသည်။ အညစ်အကြေးများကိုသဲလွန်စ အပိုင်းတစ်ဘီလီယံ (ppb) အထိ။ ဝယ်သူတစ်ဦးအတွက်၊ ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာမှုလက်မှတ် (COA) ကိုမြင်ရခြင်းသည် စာရွက်စာတန်းသက်သက်မဟုတ်ပါ။ သူတို့ရဲ့အာမခံချက်ပဲလေ။ semiconductor လုပ်ကြံ အထွက်နှုန်း ပျက်ယွင်းမှု ကြုံရမည်မဟုတ်ပေ။

စက်မှုလုပ်ငန်းသည် ဖန်လုံအိမ်ဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှတ်မှုနှင့် GWP ကို မည်သို့စီမံခန့်ခွဲသနည်း။

အခန်းထဲမှာ ဆင်တစ်ကောင်ရှိတယ်၊ ပတ်ဝန်းကျင်။ အများကြီးပဲ။ fluorinated ဓာတ်ငွေ့များ မြင့်မားသည်။ ကမ္ဘာကြီးပူနွေးလာမှုအလားအလာ (GWP). ဥပမာ၊ sulfur hexafluoride (SF6) သည် အများဆုံးဖြစ်သည်။ ပြင်းထန်သော ဖန်လုံအိမ်ဓာတ်ငွေ့များ GWP သည် CO2 ထက် အဆထောင်ပေါင်းများစွာ မြင့်မားသော GWP ဖြင့် လူသိသည်။

အပေြာင်း semiconductor ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်း ၎င်း၏ ကာဗွန်ခြေရာကို လျှော့ချရန် ကြီးမားသော ဖိအားအောက်တွင် ရှိနေသည်။ ယင်းက အဓိက အပြောင်းအလဲနှစ်ခုကို ဖြစ်စေသည်-

1. သက်သာခြင်း- ဖဲချပ်များ ၎င်းတို့၏ အိတ်ဇောလိုင်းများပေါ်တွင် ကြီးမားသော "မီးလောင်သေတ္တာများ" သို့မဟုတ် ပွတ်တိုက်ဆေးများကို တပ်ဆင်နေကြသည်။ ဤစနစ်များသည် တုံ့ပြန်မှုမရှိသော အရာများကို ဖြိုခွဲသည်။ ဖန်လုံအိမ်ဓာတ်ငွေ့ လေထုထဲသို့မထုတ်မီ။
2. အစားထိုးမှု- သုတေသီများသည် အခြားရွေးချယ်စရာများကို ရှာဖွေနေကြသည်။ ရယူ GWP နိမ့်သောဓာတ်ငွေ့များ။ သို့သော်၊ ပတ်ဝန်းကျင်ထိခိုက်မှုမရှိဘဲ C4F8 သို့မဟုတ် SF6 ကဲ့သို့ လုပ်ဆောင်နိုင်သော မော်လီကျူးတစ်ခုကို ရှာဖွေခြင်းသည် ဓာတုဗေဒအရ ခက်ခဲသည်။

နိုက်ထရိုဂျင် trifluoride ဟောင်းနွမ်းနေသော PFCs များထက် ပိုမိုလွယ်ကူစွာ ပြိုကွဲသွားသောကြောင့် သန့်ရှင်းရေးအတွက် လမ်းကြောင်းမှန်သို့ ခြေတစ်လှမ်း လှမ်းခဲ့ပြီး၊ အလုံးစုံ လျော့နည်းစေပါသည်။ ထုတ်လွှတ်မှု Abatement စနစ်များ မှန်ကန်စွာ အလုပ်လုပ်ပါက၊ ကာရံ ဖန်လုံအိမ်ဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှတ်မှု PR လှုပ်ရှားမှုတစ်ခုမျှသာမဟုတ်တော့ပါ။ ၎င်းသည် EU နှင့် US တို့တွင် စည်းမျဉ်းစည်းကမ်း လိုအပ်ချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထောက်ပံ့ရေးကွင်းဆက်သည် အထူးပြုဓာတ်ငွေ့ ပြတ်တောက်မှုဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိပါသလား။

လွန်ခဲ့တဲ့ နှစ်အနည်းငယ်က ကျွန်တော်တို့ကို တစ်ခုခု သင်ပေးခဲ့ရင် အဲဒါက အဲဒါပါပဲ။ ထောက်ပံ့ရေးဆိုင်ခွဲ ပျက်စီးလွယ်သည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သူများ နီယွန်မှအစ အရာအားလုံး ပြတ်တောက်မှုများနှင့် ရင်ဆိုင်နေရသည်။ fluoropolymers.

ထောက်ပံ့ရေး ဖလိုရင်းဓာတ်ငွေ့ နှင့် ၎င်း၏ ဆင်းသက်လာမှုသည် ဖလော်စပါ (ကယ်လ်စီယမ် ဖလိုရိုက်) ကို တူးဖော်မှုအပေါ် မူတည်သည်။ တရုတ်နိုင်ငံသည် ဤကုန်ကြမ်း၏ အဓိကအရင်းအမြစ်ဖြစ်သည်။ ပထဝီနိုင်ငံရေး တင်းမာမှုများ မြင့်တက်လာသောအခါ သို့မဟုတ် ထောက်ပံ့ပို့ဆောင်ရေး လမ်းကြောင်းများ ပိတ်ဆို့သွားသောအခါ ယင်းအရေးကြီးသော ရရှိနိုင်မှု၊ လုပ်ငန်းစဉ်ဓာတ်ငွေ့ ကျဆင်းလာပြီး ဈေးနှုန်းများ မြင့်တက်လာသည်။

အဲရစ်ကဲ့သို့ ဝယ်သူအတွက်၊ "Force Majeure" ကိုကြောက်ရွံ့ခြင်းသည် အမှန်ပင်။ ယင်းကို လျော့ပါးစေရန်၊ ကျွမ်းကျင်သောကုမ္ပဏီများသည် ၎င်းတို့၏ ပေးသွင်းသူများကို ကွဲပြားစေသည်။ ၎င်းတို့သည် ၎င်းတို့ပိုင်ဆိုင်သော လက်တွဲဖော်များကို ရှာဖွေနေပါသည်။ iso-ကန်များ ထောက်ပံ့ပို့ဆောင်ရေးကွန်ရက်များ ထူထောင်ထားသည်။ ယုံကြည်စိတ်ချရမှု အတွက် ထောက်ပံ့ပို့မှုများ ဓာတ်ငွေ့၏သန့်ရှင်းမှုကဲ့သို့ပင် အရေးကြီးပါသည်။ အသန့်ရှင်းဆုံးကို ရနိုင်ပါတယ်။ C4F8 ဓာတ်ငွေ့ ကမ္ဘာမှာ၊ ဒါပေမယ့် ဆိပ်ကမ်းတစ်ခုမှာ ပိတ်မိနေရင်တော့ အဲဒါက အသုံးမဝင်ပါဘူး။ fab.

ဟိုက်ဒရိုဂျင်ဖလိုရိုက်နှင့် အခြားအဆိပ်သင့်ပစ္စည်းများကို ကိုင်တွယ်ရန် ဘေးကင်းရေး ပရိုတိုကောက အဘယ်နည်း။

ဘေးကင်းရေးသည် ကျွန်ုပ်တို့လုပ်ငန်း၏ အခြေခံအုတ်မြစ်ဖြစ်သည်။ အများကြီးပဲ။ ဖလိုရင်း ပါဝင်သော ဓာတ်ငွေ့များသည် အဆိပ်သင့်ခြင်း၊ အသက်ရှုကြပ်ခြင်း သို့မဟုတ် ဓာတ်ပြုမှု မြင့်မားသည်။ ဟိုက်ဒရိုဂျင်ဖလိုရိုက် (HF) ကို မကြာခဏ စိုစွတ်သော ထွင်းထုခြင်း သို့မဟုတ် ထုတ်ကုန်တစ်ခုအနေဖြင့် ထုတ်လုပ်ခြင်းသည် အထူးအန္တရာယ်ရှိသည်။ အရေပြားကို စိမ့်ဝင်ပြီး အရိုးဖွဲ့စည်းပုံကို တိုက်ခိုက်ပါတယ်။

ဤပစ္စည်းများကို ကိုင်တွယ်ရာတွင် ပြင်းထန်သော လေ့ကျင့်မှုနှင့် အထူးပြုကိရိယာ လိုအပ်ပါသည်။

• ဆလင်ဒါ: DOT/ISO လက်မှတ်ရထားပြီး အတွင်းပိုင်း သံချေးတက်ခြင်းအတွက် ပုံမှန်စစ်ဆေးရပါမည်။
• Valves- ယိုစိမ့်မှုကို ကာကွယ်ရန် Diaphragm valves ကို အသုံးပြုသည်။
• အာရုံခံကိရိယာများ- Semiconductor Fabs အနည်းငယ်ပေါက်ကြားမှုတွင် အချက်ပေးသံများကို ဖြစ်ပေါ်စေသည့် ဓာတ်ငွေ့ရှာဖွေအာရုံခံ အာရုံခံကိရိယာများဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသည်။

ဆလင်ဒါကို ဖြည့်တဲ့အခါ အီလက်ထရွန်းနစ်အဆင့် နိုက်ထရပ်အောက်ဆိုဒ် သို့မဟုတ် အဆိပ်အတောက်ဖြစ်စေသော သတ္တုတစ်မျိုးဖြစ်ပြီး ၎င်းကို တင်ဆောင်ထားသော လက်နက်တစ်ခုကဲ့သို့ ဆက်ဆံသည်။ အမှုန်အမွှားများကို ကာကွယ်ရန် ဆလင်ဒါကို အတွင်းပိုင်း ပွတ်ပြီး အဆို့ရှင်ကို ဖုံးအုပ်ပြီး အလုံပိတ်ထားကြောင်း သေချာပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ဖောက်သည်များအတွက်၊ carrier ဓာတ်ငွေ့ သို့မဟုတ် etchant သည် လုံခြုံပြီး လိုက်လျောညီထွေရှိသော ထုပ်ပိုးမှုတွင် ရောက်ရှိလာခြင်းသည် အဓိက သက်သာရာရစေပါသည်။

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်ရေး လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အသုံးပြုသည့် ပစ္စည်းများ အတွက် ရှေ့တွင် အဘယ်အရာ ရှိမည်နည်း။

အပေြာင်း Semiconductor Production လမ်းပြမြေပုံသည် ကြမ်းတမ်းသည်။ ချစ်ပ်များသည် Gate-All-All-Around (GAA) ထရန်စစ္စတာများကဲ့သို့ 3D တည်ဆောက်မှုများသို့ ရွေ့လျားလာသည်နှင့်အမျှ ရှုပ်ထွေးမှု၊ etching နှင့်သန့်ရှင်းရေး တိုးလာသည်။ ပိုမိုထူးခြားဆန်းပြားသော ဝယ်လိုအားကို ကျွန်ုပ်တို့မြင်နေရသည်။ fluorinated ဓာတ်ငွေ့ အက်တမ် တိကျမှုဖြင့် နက်နဲ ကျဉ်းမြောင်းသော အပေါက်များကို ထွင်းထုနိုင်သော ရောနှောမှုများ။

Atomic Layer Etching (ALE) အက်တမ်အလွှာတစ်ခုတွင် တစ်ကြိမ်လျှင် ပစ္စည်းများကို ဖယ်ရှားနိုင်သည့် ပေါ်ထွန်းလာသော နည်းပညာတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်းသည် မယုံနိုင်လောက်အောင် တိကျသော ဆေးပမာဏ လိုအပ်သည်။ ဓာတ်ပေါင်းဖိုဓာတ်ငွေ့. ထို့အပြင်၊ "အစိမ်းရောင်" ကုန်ထုတ်လုပ်မှုအတွက်တွန်းအားပေးမှုသည်အသစ်များကိုလက်ခံရန်တွန်းအားပေးလိမ့်မည်။ ဖလိုရင်း ဓာတုဗေဒ အောက်ပိုင်းနှင့် တူညီသော စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပေးဆောင်သည်။ GWP.

အနာဂတ်သည် ဓာတ်ငွေ့ပေါင်းစပ်ခြင်းနှင့် သန့်စင်ခြင်းနှစ်မျိုးလုံးကို ဆန်းသစ်တီထွင်နိုင်သူများဖြစ်သည်။ အမျှ semiconductor ပစ္စည်းများ ဆင့်ကဲပြောင်းလဲသည်၊ ၎င်းတို့ကို ပုံသွင်းရန်အသုံးပြုသော ဓာတ်ငွေ့များသည်လည်း ဆင့်ကဲပြောင်းလဲလာမည်ဖြစ်သည်။

အဓိက takeaways

• ဖလိုရင်းသည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သည်- ဖလိုရင်း ဓာတုဗေဒ သော့ဖွင့်ပေးသူဖြစ်သည်။ ရယူ နှင့် သန့်ရှင်း ခြေလှမ်းများ semiconductor ကုန်ထုတ်လုပ်မှု.
• သန့်ရှင်းခြင်းသည် ဘုရင်ဖြစ်သည် မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု (6N) သည် အပြစ်အနာအဆာများကို ကာကွယ်ရန်နှင့် သေချာစေရန် ညှိနှိုင်းမရနိုင်ပါ။ လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှု.
• ဓာတ်ငွေ့မျိုးစုံ- CF4၊ SF6 နှင့် မတူသောဓာတ်ငွေ့များ နိုက်ထရိုဂျင် trifluoride သီးခြားအခန်းကဏ္ဍများတွင် ထမ်းဆောင်ပါ။ လုပ်ကြံ.
• သဘာဝပတ်ဝန်းကျင် ထိခိုက်မှု- စီမံခန့်ခွဲခြင်း။ ဖန်လုံအိမ်ဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှတ်မှု နှင့် သက်သာသွားသည်။ အရေးကြီးသော လုပ်ငန်းစိန်ခေါ်မှုတစ်ခုဖြစ်သည်။
• ထောက်ပံ့ရေး လုံခြုံရေး- အကြမ်းပတမ်း ထောက်ပံ့ရေးဆိုင်ခွဲ ထုတ်လုပ်မှုရပ်တန့်ခြင်းကို ရှောင်ရှားရန် ယုံကြည်စိတ်ချရသော မိတ်ဖက်များ လိုအပ်ပါသည်။

Jiangsu Huazhong Gas တွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် ၎င်းတို့ကို နေ့စဉ်အသက်ရှင်နေသောကြောင့် ဤစိန်ခေါ်မှုများကို နားလည်ပါသည်။ လိုအပ်တာပဲဖြစ်ဖြစ် မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု Xenon သင်၏အသစ်ဆုံးသော ထွင်းထုခြင်းလုပ်ငန်းစဉ် သို့မဟုတ် စံချိန်မီစက်မှုဓာတ်ငွေ့များကို ယုံကြည်စိတ်ချရသော ပို့ဆောင်မှုအတွက်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် အနာဂတ်ကို တည်ဆောက်မည့် နည်းပညာကို ပံ့ပိုးရန် ဤနေရာတွင်ရှိပါသည်။