Semiconductor ကုန်ထုတ်လုပ်မှုတွင်နိုက်ထရိုဂျင် trifluoride (nf₃) ဓာတ်ငွေ့အတွက်ပြည့်စုံသောလမ်းညွှန်
သင်၏အိတ်ကပ်ထဲရှိစမတ်ဖုန်း, သင်၏စားပွဲပေါ်ရှိကွန်ပျူတာဖြစ်သောကွန်ပျူတာသည်သင်၏ကားထဲတွင်အဆင့်မြင့်စနစ်များဖြစ်သောသင်၏ကားထဲတွင်အဆင့်မြင့်စနစ်များ - အသံတိတ်အထူးဓာတ်ငွေ့များမပါဘဲမဖြစ်နိုင်ပါ။ စက်မှုသဘာဝဓာတ်ငွေ့စက်ရုံပိုင်ရှင်ဖြစ်သည့် I, Ilenen သည်ဤအရေးပါသောပစ္စည်းများသည်ခေတ်သစ်နည်းပညာ၏အခြေခံအုတ်မြစ်ကိုမည်သို့ဖွဲ့စည်းသည်ကို ဦး စွာတွေ့မြင်ခဲ့ရသည်။ Mark Shen ကဲ့သို့သောစီးပွားရေးခေါင်းဆောင်များသည်ရှုပ်ထွေးသောကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာထောက်ပံ့ရေးကွင်းဆက်ကိုသွားလာရန်ဤဓာတ်ငွေ့များကိုနားလည်ရန်အခွင့်အလမ်းအသစ်များကိုသော့ဖွင့်ရန်သော့ချက်ဖြစ်သည်။ ဤဆောင်းပါးသည်ဤနယ်ပယ်ရှိအရေးအကြီးဆုံးကစားသမားများထဲမှတစ်ခုအတွက်သင်၏ပြည့်စုံသောလမ်းညွှန်ဖြစ်သည်။ နိုက်ထရိုဂျင် trifluoride (nf₃)။ ဒီအားကောင်းတဲ့ဒီအားကောင်းမှုကိုငါတို့စိတ်ပျက်စေမယ် ဓါတ်ငေှ့, အတွက်၎င်း၏အရေးပါသောအခန်းကဏ် explore ကိုစူးစမ်းပါ semiconductor ထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်၎င်း၏အရည်အသွေးနှင့်ထောက်ပံ့ရေးတစ်ခုလုံးအတွက်အဘယ်ကြောင့်အရေးပါသည်ကိုရှင်းပြပါ အီလက်ထရောနစ်ကုန်ထုတ်လုပ်မှု စက်မှုလုပ်ငန်း။
နိုက်ထရိုဂျင် trifluoride (nf₃) ဓာတ်ငွေ့အတိအကျဆိုတာဘာလဲ။
ပထမတစ်ချက်မှာ, နိုက်ထရိုဂျင် trifluorideမကြာခဏ၎င်း၏ဓာတုဖော်မြူလာအားဖြင့်ရည်ညွှန်းသည် nf₃, တစ် ဦး ရုံအခြားစက်မှုလုပ်ငန်းကဲ့သို့ထင်ရပေလိမ့်မည် ဓါတ်ငေှ့။ ၎င်းသည်အရောင်မရှိတော့, လောင်ကျွမ်းနိုင်သောနှင့်အနည်းငယ် musty-laying ဖြစ်သည် ဒင်းနား။ သို့သော်ကမ္ဘာပေါ်တွင် အဆင့်မြင့်ကုန်ထုတ်လုပ်မှုဒီ ဓါတ်ငေှ့ မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည် tool ကိုဖြစ်ပါတယ်။ ဒါဟာဒြပ်အရထုတ်လုပ်သည် ဒင်းနား တ ဦး တည်းနိုက်ထရိုဂျင်အက်တမ်နှင့်သုံး၏ဖန်ဆင်းတော်မူ၏ ဖုံ အက်တမ်။ ၎င်း၏အာဏာ၏သော့သည်ဤဖွဲ့စည်းပုံတွင်ရှိသည်။ အခန်းအပူချိန်မှာ nf₃ အတော်လေးတည်ငြိမ်နှင့် ပြတ်သွင်းပိုမိုမတည်ငြိမ်သောဓာတ်ငွေ့များနှင့်နှိုင်းယှဉ်လျှင်သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးနှင့်ကိုင်တွယ်ရန်လုံခြုံမှုရှိစေရန်။
စွမ်းအင်လျှောက်ထားသည့်အခါမှော်အတတ်ဖြစ်လာသည်။ တစ် ဦး အတွင်းပိုင်းစွမ်းအင်အခြေအနေများအောက်မှာ semiconductor ထိုကဲ့သို့သောအဖြစ်ထုတ်လုပ်မှု tool ကို ပလာပမာ အခန်း, nf₃ မော်လီကျူး ပုပ်သိုး။ သူတို့ကကွဲလွဲတယ်, ပြန်. တုံ့ပြန်သော ဖုံ အစွန်းရောက်။ ၎င်းကိုဏုစကေးအပေါ်ထိန်းချုပ်ထားသောပေါက်ကွဲမှုကဲ့သို့စဉ်းစားပါ။ ဒီအခမဲ့ ဖုံ မလိုချင်သောပစ္စည်းများကိုပြန်လည်တုံ့ပြန်ခြင်းနှင့်ဖယ်ရှားခြင်းတွင်အက်တမ်များသည်မယုံနိုင်လောက်အောင်ထိထိရောက်ရောက်ရောက်ကြသည် ဆီလီဂရမ် နှင့်၎င်း၏ဒြပ်ပေါင်းများ။ သင်နှင့်အလွန်လိုအပ်သည့်အခါတည်ငြိမ်စေရန်ဤစွမ်းရည် ပြန်. တုံ့ပြန်သော သင်လိုချင်သည့်အခါ နိုက်ထရိုဂျင် trifluoride ဓာတ်ငွေ့ ၏တိကျသောကမ္ဘာအတွက်တန်ဖိုးမဖြတ်နိုင်သောပိုင်ဆိုင်မှု PPOCTURINGS.
ဒီထူးခွားတဲ့ dual dualth သဘာဝကျကျဖြစ်ပါတယ် nf₃ ခေတ်သစ်၏ထောင့်အုတ်မြစ်ဖြစ်လာသည် semiconductor လုပ်ကြံ။ ၎င်း၏တည်ငြိမ်မှုသည်ထောက်ပံ့ရေးကွင်းဆက်တွင်လုံခြုံစိတ်ချရသောနှင့်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကိုသေချာစေသည်။ ကျနော်တို့ပိုမိုနက်ရှိုင်းစွာဤသို့သောအသံထွက်ပုံကိုသင်တွေ့လိမ့်မည် ဓါတ်ငေှ့ ကမ္ဘာပေါ်၌ရှုပ်ထွေးဆုံးပစ္စည်းများကိုဖန်တီးရန်အထောက်အကူပြုသည်။
Semiconductor Industry အတွက်အထူးဓာတ်ငွေ့သည်အဘယ်ကြောင့်မရှိမဖြစ်လိုအပ်သောဓာတ်ငွေ့ဖြစ်သနည်း။
၏အရေးပါမှုကိုနားလည်ရန် nf₃ကျနော်တို့ကပထမ ဦး ဆုံးကြောင်းကျယ်ပြန့်အခန်းကဏ် fe ကိုတန်ဖိုးထားဖို့လိုအပ်ပါတယ် ဓာတ်ငွေ့မရှိမဖြစ်လိုအပ်သည် အတွက် semiconductor စက်မှုလုပ်ငန်း။ ထုတ်လုပ်ခြင်း ပေါင်းစပ် circuit သင်၏ thumbnail ၏အရွယ်အစားကိုပတ်တူတွင်မိုးမျှော်တိုက်တစ်ခုတည်ဆောက်ခြင်းနှင့်တူသည်။ ၎င်းသည် Ultra - ပါးလွှာသောအလွှာများကိုဖြည့်စွက်ခြင်းနှင့်ဖယ်ရှားခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်ဖြစ်သည် ဆီလီဂရမ် ညှစ်။ တစ် ဦး ရှင်းလင်းသောဖန်တီးခြင်းကနေတစ်ဆင့်ချင်းစီခြေလှမ်း ညှစ် နောက်ဆုံးချစ်ပ်ရန်, အထူး၏ဂရုတစိုက်ထိန်းချုပ်ထားသောလေထုအပေါ်မှီခို အီလက်ထရောနစ်ဓာတ်ငွေ့များ.
ဤရွေ့ကားဓာတ်ငွေ့အများအပြားအရေးပါသောလုပ်ဆောင်ချက်များကိုလုပ်ဆောင်။ အချို့လိုပဲ ပွဲ နှင့် ဟီလီယမ်တည်ငြိမ်သော, တုန့်ပြန်မှုမရှိသောပတ်ဝန်းကျင်ကိုဖန်တီးရန်နှင့်ပိုမိုကောင်းမွန်သောဓာတ်ပေါင်းဖိုများကိုရောနှောရန်နှင့်ပိုမိုဆိုးရှားသည့်ဓာတ်ငွေ့များကိုဖန်တီးရန် inert carrier ဓာတ်ငွေ့များအဖြစ်အသုံးပြုသည်။ အခြားသူများကိုအသုံးပြုကြသည် အစစ်ခံဘယ်မှာ ဓါတ်ငေှ့ ရန်အသုံးပြုသည် အပ်ငေှ ပစ္စည်း၏ပါးလွှာသောရုပ်ရှင် ညှစ်။ ဥပမာအားဖြင့်, ဓာတုဗေဒ၌ ခိုးငေှ့ အစစ်ခံ (CVD) ဓာတ်ငွေ့များက chip ၏ circuitry ၏အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်လာသောအစိုင်အခဲရုပ်ရှင်ကိုဖွဲ့စည်းရန်ဓာတ်ငွေ့များတုံ့ပြန်ကြသည်။ ထိုအခါကဲ့သို့, ဓာတ်ငွေ့စွဲကပ်ရှိပါတယ် nf₃ထိုအလွှာများရှိပုံစံများကိုအတိအကျထုတ်လွှင့်ရန်,
စဉ်ဆက်မပြတ်, Ultra- မရှိဘဲသန့်ရှင်းစင်ကြယ် ဤအမျိုးမျိုးသောဓာတ်ငွေ့များကိုထောက်ပံ့ပေးခြင်း ကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ် တစ် ဦး ရပ်တန့်ဖို့ကြိတ်လိမ့်မယ်။ တစ် ဦး minuscule ပင် ညစ်ညူးခြင်း တစ် ဦး ၌တည်၏ ဓါတ်ငေှ့ ကုမ္ပဏီတစ်ခုအတွက်ဒေါ်လာသန်းပေါင်းများစွာကုန်ကျသည်။ ဒါကြောင့်ဒါကြောင့် semiconductor ထုတ်လုပ်သူများ သူတို့ရဲ့သဘာဝဓာတ်ငွေ့ပေးသွင်းသူများ၏အရည်အသွေးနှင့်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုအပေါ်မယုံနိုင်လောက်အောင်အထိခိုက်မခံဖြစ်ကြသည်။ ၏သန့်ရှင်းစင်ကြယ် ဓါတ်ငေှ့ တိုက်ရိုက်အရည်အသွေးမှဘာသာပြန်ဆိုခြင်းနှင့် ထုတ်လုပ်မှုအထွက်နှုန်း နောက်ဆုံးထုတ်ကုန်၏။
Semiconductor ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များတွင်NF₃ Gas ကိုမည်သို့အသုံးပြုသနည်း။
နိုက်ထရိုဂျင် trifluoride အတွက်အဓိက, အရေးပါသော application နှစ်ခုရှိပါတယ် semiconductor ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များ: Plasma etching နှင့်အခန်းသန့်ရှင်းရေး။ နှစ် ဦး စလုံးသည်စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားသော microchips များကိုတီထွင်ရန်အတွက်မရှိမဖြစ်လိုအပ်သည် nand flash memory.
ပထမ ဦး စွာစွဲပြောခြင်းအကြောင်းပြောဆိုကြပါစို့။ တူသောပစ္စည်းအလွှာပြီးနောက် ဆီလီဂရမ် ဒိုင်အောက်ဆိုဒ် တစ် ဦး အပေါ်အပ်နှံသည် ညှစ်, ပုံစံကိုအလင်းကို အသုံးပြု. ၎င်းကိုဖွင့်ထားသည်။ အပေြာင်း ရယူ ထို့နောက်လုပ်ငန်းစဉ်သည်အကာအကွယ်မဲ့ဒေသများမှပစ္စည်းများကိုဖယ်ရှားပေးသည်။ nf₃ တစ် ဦး ကိုဖန်တီးရန်အခန်းထဲသို့မိတ်ဆက်ပေးပြီး ပလာပမာ- အားသွင်းသည့်မို cloud ်းတိမ် အိုင်း အမှုန်များနှင့်တုံ့ပြန် ဖုံ အစွန်းရောက်။ ဤအစွန်းရောက်များတိကျစွာဗုံးကြဲ ညှစ် မျက်နှာပြင်, နှင့်အတူတုံ့ပြန် ဆီလီဂရမ် နှင့်တစ် ဦး သို့ပြောင်းလဲ စိတ်အားကြီးသော ဒင်းနား (ဆီလီဂရမ် tetrafluoride) အလွယ်တကူအခန်းထဲကအလွယ်တကူ pumped နိုင်ပါတယ်။ ဤလုပ်ငန်းစဉ်၏တိကျမှုသည်လူဆံပင်ထက်အင်ဂျင်နီယာများကိုအဆက်အသွယ်ထောင်ချီသော features များကိုထွင်းထားသည့် feature များပြုလုပ်ရန်ဖြစ်သည်။
ဒုတိယ, နိုက်ထရိုဂျင် trifluoride ကိုအသုံးပြုခြင်း တစ် ဦး အဖြစ်ဖြစ်ပါတယ် ဓာတ်ငွေ့သန့်ရှင်းရေး။ စဉ်အတွင်း ဓာတုအခိုးအငွေ့အစစ်ခံ (CVD) Pet ရုပ်ရှင်ကားများကိုကြီးထွားလာသော) လုပ်ငန်းစဉ် ညှစ်မလိုချင်သောပစ္စည်းသည်လုပ်ငန်းစဉ်အခန်း၏အတွင်းပိုင်းနံရံများပေါ်တွင်လည်းတည်ဆောက်သည်။ ဤ ကျန်ရှိသောမကြာခဏ၏လုပ် ဆီလီဂရမ် သို့မဟုတ် silicon nitride, တစ်ခုချင်းစီကိုအပြောင်းအလဲနဲ့အကြားလုံးဝဖယ်ရှားပစ်ရမည် ညှစ် သို့မဟုတ် wafers ၏သုတ်။ မရရှိလျှင်, ဤ buildup သည်လာမည့်အပေါ်သို့ဆင်းသက်လာနိုင်သည် ညှစ်, ချွတ်ယွင်းဖြစ်ပေါ်စေသည်။ ဒီမှာ, nf₃ အချည်းနှီးသောအခန်းထဲသို့ pumped ဖြစ်ပါတယ် ပလာပမာ လောင်ကျွမ်းသည်။ အစွမ်းထက် ဖုံ အစွန်းရောက် check ကိုသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောအခန်းများကိုပွတ်တိုက် ကျန်ရှိသော တစ် ဦး သို့ စိတ်အားကြီးသော ဘေးတိုက် ကြောင်းအလွယ်တကူဖယ်ရှားသည်။ ဒီသန့်ရှင်းရေးသံသရာဖြစ်ပါတယ် ထိန်းသိမ်းရန်အရေးပါသည် ကုန်ထုတ်လုပ်မှုပတ်ဝန်းကျင်၏သန့်ရှင်းစင်ကြယ်ခြင်းနှင့်မြင့်မားသောသေချာ ထုတ်လုပ်မှုအထွက်နှုန်း.
NF₃သည်အခြားနည်းလမ်းများနှင့်နှိုင်းယှဉ်လျှင်သာလွန်ကောင်းမွန်သောသန့်ရှင်းရေးဓာတ်ငွေ့ကိုမည်သို့ပြုလုပ်သနည်း။
နှစ်ပေါင်းများစွာ, semiconductor စက်မှုလုပ်ငန်း ကာဗွန် Tetrafluoride (CF₄) ကဲ့သို့ Perfluoroorocarbons (PFCs) တွင်မှီခိုအားထားလျက်ရှိ၏ hexfluoroethane သန့်ရှင်းရေးနှင့်စွဲလမ်းမှုအတွက် (c₂f₆) ။ ထိရောက်သောအချိန်တွင်ဤဒြပ်ပေါင်းများသည်အဓိကအားနည်းချက်နှင့်အတူရောက်ရှိလာသည်။ ၎င်းတို့သည်အလွန်ရှည်လျားသောလေထုဘဝများရှိသည့်အလွန်အစွမ်းထက်သောဖန်လုံအိမ်ဓာတ်ငွေ့များဖြစ်သည်။ ဥပမာအားဖြင့်, c₂f₆တစ်ခုရှိပါတယ် မြင့်မားသောကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာနွေးထွေးမှုအလားအလာ (GWP) နှင့်လေထုထဲတွင်နှစ်ပေါင်း 10,000 ။ သဘာဝပတ်ဝန်းကျင်ဆိုင်ရာစည်းမျဉ်းများတင်းကြပ်လာသည်နှင့်အမျှစက်မှုလုပ်ငန်းသည်ပိုမိုကောင်းမွန်သောဖြေရှင်းနည်းတစ်ခုလိုအပ်သည်။
ဒါဘယ်မှာလဲ nf₃ ရှင်းလင်းသောအနိုင်ရသူအဖြစ်ပေါ်ထွက်လာခဲ့သည်။ စဉ် နိုက်ထရိုဂျင် trifluoride ဒါ့အပြင် အစွမ်းထက်ဖန်လုံအိမ်ဓာတ်ငွေ့၎င်းတွင် AttoLOPHERIC သက်တမ်း (နှစ်ပေါင်း 500 ခန့်) ရှိသည်။ ပို. အရေးကြီးသည်မှာသန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်တွင်ပိုမိုထိရောက်စွာပိုမိုထိရောက်စေသည်။ အတွင်းပိုင်း ပလာပမာ အခန်းတစ်ခန်း, တစ်အများကြီးပိုမိုမြင့်မားရာခိုင်နှုန်း nf₃ မော်လီကျူးများသည်၎င်းတို့၏တုံ့ပြန်မှုကိုလွှတ်ပေးရန်ဖြိုခွဲခဲ့သည် ဖုံ PFCS နှင့်နှိုင်းယှဉ်ပါ။ ဆိုလိုသည်မှာနည်းသည် လက်လွှတ် ဓါတ်ငေှ့ အခန်းကနေကုန်တယ်။ ယခု semiconductor fabs များ ထို့အပြင်အားလုံးနီးပါးကိုဖျက်ဆီးသော abatement စနစ်များ (scububls) ကို install လုပ်ပါ လက်လွှတ် nf₃ နှင့်အန္တရာယ်ရှိသော ဘေးတိုက် သူတို့ဖြန့်ချိမီဓာတ်ငွေ့။
ပိုမိုမြင့်မားထိရောက်မှုနှင့်ပိုမိုထိရောက်သော abatement ၏ပေါင်းစပ်မှုဆိုသည်မှာအမှန်တကယ်ဖြစ်သည် ဖန်လုံအိမ်ဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှတ်မှု အသုံးပြုခြင်းမှ nf₃ အဟောင်း PFC ဓာတ်ငွေ့များမှသိသိသာသာနိမ့်ဖြစ်ကြသည်။ ဤသာလွန်စွမ်းဆောင်ရည်သည်၎င်း၏ကျယ်ပြန့်သောမွေးစားမှုအတွက်အဓိကအကြောင်းရင်းဖြစ်သည်။
| လက်ခဏာ | နိုက်ထရိုဂျင် trifluoride (nf₃) | Perfluorocarbons (ဥပမာ, c₂f₆) |
|---|---|---|
| သန့်ရှင်းရေးထိရောက်မှု | အလွန်မြင့်မားသော | မနည်းမများသော |
| Plasma Disociation | > 95% | 10-40% |
| သဘာဝဓာတ်ငွေ့အသုံးပြုမှု | နိမ့်ပမာဏလိုအပ်သည် | ပိုမိုမြင့်မား volumes လိုအပ်သည် |
| ဖြစ်စဉ်ကိုအချိန် | ပိုမိုမြန်ဆန်သောသန့်ရှင်းရေးစက်ဘီး | cycles နှေးနှေး |
| သဘာဝပတ်ဝန်းကျင်ဆိုင်ရာသက်ရောက်မှု | abatement နှင့်အတူအနိမ့်ထိရောက်ထုတ်လွှတ်မှု | အလွန်မြင့်မားသော, ရှည်လျားသောလေထုဘဝ |
| ကုန်ကျစရိတ် - ထိရောက်မှု | ပိုမိုမြင့်သော ထုတ်လုပ်မှုအထွက်နှုန်းလျော့နည်းကျဆုံးခြင်း | လျော့နည်းထိရောက်သော, ပိုပြီးစွန့်ပစ် |
သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောနိုက်ထရိုဂျင် trifluoride ကိုမည်သို့ထုတ်လုပ်သနည်း။
ထုတ်လုပ်သူတစ် ဦး အနေဖြင့်ကျွန်ုပ်အားထုတ်လုပ်ရန်ပြောနိုင်သည် nf₃ ရှုပ်ထွေးသောနှင့်အလွန်အမင်းထိန်းချုပ်ထားသည် ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်။ ရည်ရွယ်ချက်မှာအနိမ့်ဆုံး 99.999% သန့်ရှင်းမှုသို့မဟုတ်ပိုမိုမြင့်မားသောနောက်ဆုံးပေါ်ထုတ်ကုန်တစ်ခုဖန်တီးရန်ဖြစ်သည် ညစ်ညူးခြင်း များအတွက်ကပ်ဘေးအကြီးအကျယ်နိုင်ပါတယ် Semiconductor Production။ အထူးသဖြင့်ဓာတ်ပေါင်းဖိုဓာတုပစ္စည်းများကိုကိုင်တွယ်ရာတွင်လုပ်ငန်းစဉ်သည်ကျွမ်းကျင်မှုလိုအပ်သည် ဖုံ.
အပေြာင်း NF₃ထုတ်လုပ်မှု ပုံမှန်အားဖြင့်တုံ့ပြန်ပါဝငျသညျ ဇဝက်သာ (က ဒင်းနား နိုက်ထရိုဂျင်ပါ 0 င်သည်) သို့မဟုတ် ammonium ဖလှယ်ခြင်း Elemental နှင့်အတူဒြပ်ပေါင်းများ ဖုံ မှာဓာတ်ပေါင်းဖိုအတွက်ဓာတ်ငွေ့ မြင့်မားသောအပူချိန်။ ဤတုံ့ပြန်မှုအပါအ 0 င်ဓာတ်ငွေ့များအရောအနှောကိုထုတ်လုပ်သည် nf₃, ရုပ်သိမ်းထားသောပစ္စည်းများနှင့်အမျိုးမျိုးသောဘေးထွက်ပစ္စည်းများ။ အစစ်အမှန်စိန်ခေါ်မှုနှင့်ကုန်ပစ္စည်းပေးသွင်းသူ၏ကျွမ်းကျင်မှုသည်အမှန်တကယ်ပြသထားသည့်နေရာ၌ရှိသည် စင်ကြယ်ခြင်း အောက်ပါအတိုင်းဇာတ်စင်။
ကုန်ကြမ်း စိတ်အားကြီးသော အရောအနှောအများအပြားမှတဆင့်တတ်၏ စင်ကြယ်ခြင်း မည်သည့်မလိုလားအပ်သောဒြပ်ပေါင်းများကိုဖယ်ရှားရန်ခြေလှမ်းများ။ ၎င်းတွင်မကြာခဏပွတ်တိုက်ခြင်း၏စီးရီးပါ 0 င်သည်။ စဆာနှင့် cryogenic distillation လုပ်ငန်းစဉ်များ။ အပေြာင်း ပေါင်းခံခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်အထူးသဖြင့်အထူးသဖြင့်အပူချိန်အလွန်နိမ့်သောအပူချိန်ကိုသူတို့ပွက်ပွက်ဆူနေသောနေရာများအပေါ် အခြေခံ. သီးခြားခွဲထုတ်ရန်အလွန်နိမ့်သောအပူချိန်များကိုအသုံးပြုသည် nf₃ မည်သည့်ကျန်ရှိသောအညစ်အကြေးကနေ။ နောက်ဆုံးထုတ်ကုန်သည်တင်းကြပ်သောသတ်မှတ်ချက်များနှင့်ကိုက်ညီစေရန်အဆင့်တိုင်းကိုအဆင့်မြင့်သရုပ်ဆောင်ပစ္စည်းကိရိယာများဖြင့်စောင့်ကြည့်သည် semiconductor စက်မှုလုပ်ငန်း။ အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှုအတွက်ဤကတိကဝတ်သည်ကြွင်းသောအရာများမှယုံကြည်စိတ်ချရသောပေးသွင်းသူကိုခွဲခြားသိမြင်စေသည်။

NF₃ Gas အတွက်စဉ်းစားဆင်ခြင်စရာများနှင့်ကိုင်တွယ်ရန်စဉ်းစားတွေးခေါ်မှုများသည်အဘယ်နည်း။
အန္တရာယ်ကင်းရှင်းရေးသည်စက်မှုလုပ်ငန်းအတွက်ထိပ်တန်း ဦး စားပေးဖြစ်သည် ဓါတ်ငေှ့ စီးပွားရေး။ စဉ် nf₃ အခန်းအပူချိန်တွင်လောင်ကျွမ်းခြင်းနှင့်အတော်အတန်တည်ငြိမ်ပြီး, ဆိုလိုသည်မှာ၎င်းသည်လောင်ကျွမ်းနိုင်သောပစ္စည်းများနှင့်ကြမ်းတမ်းစွာကိုင်တွယ်နိုင်ပြီးဂရုတစိုက်ကိုင်တွယ်ရန်လိုအပ်သည်။ အဓိကအန္တရာယ်မှာ၎င်း၏အဆိပ်အတောက်ဖြစ်စေသည်။ ရှူရှိုက်မိပါ ဓါတ်ငေှ့ အန္တရာယ်ရှိနိုင်သည်, ထို့ကြောင့်သင့်လျော်သောလေဝင်လေထွက်နှင့်ကိုယ်ပိုင်အကာအကွယ်ပစ္စည်းကိရိယာများသည်မရှိမဖြစ်လိုအပ်သည် ထုတ်လုပ်မှု site ကို.
ကျွန်တော်တို့ရဲ့စက်ရုံမှဖောက်သည်များထံမှထောက်ပံ့ရေးကွင်းဆက်တစ်ခုလုံး semiconductor fab ကိုလုံခြုံစိတ်ချရသောပတ် 0 န်းကျင်တည်ဆောက်သည်။ nf₃ မြင့်မားသောဖိအားအောက်မှာအထူးဒီဇိုင်းသံမဏိဆွေမျိုးများတွင်သယ်ယူပို့ဆောင်သည်။ ဤဆလင်ဒါများသည်သူတို့လုံခြုံစွာဆံ့နိုင်ရန်သေချာစေရန်တိကျခိုင်မာစွာစမ်းသပ်ခြင်းနှင့်အသိအမှတ်ပြုလက်မှတ်ကိုခံယူကြသည် ဓါတ်ငေှ့။ ကုန်ပစ္စည်းပေးသွင်းသူအနေဖြင့်ကျွန်ုပ်တို့သည်လုံခြုံစိတ်ချရသောအချက်အလက်စာရွက်များ (SDS) နှင့်ကျွန်ုပ်တို့၏ဖောက်သည်များအားသိုလှောင်ခြင်း, ဆက်သွယ်မှုနှင့်ကိုင်တွယ်ခြင်းလုပ်ထုံးလုပ်နည်းများတွင်လေ့ကျင့်သင်ကြားပေးသည်။ ၎င်းတွင်လမ်းညွှန်ချက်များပါဝင်သည် စီးဆင်းမှုနှုန်း ထိန်းချုပ်မှုနှင့်ယိုစိမ့်ထောက်လှမ်းစနစ်များ။
Mark ကဲ့သို့သောစီးပွားရေးပိုင်ရှင်များအတွက်အဓိကစိုးရိမ်ပူပန်မှုသည်ချောမွေ့စွာလုံခြုံစိတ်ချရသောမှတ်တမ်းရှိသည့်ကုန်ပစ္စည်းပေးသွင်းသူနှင့်လက်တွဲလုပ်ကိုင်သည်။ ကုန်ပစ္စည်းပေးသွင်းသူထံမှမတတ်နိုင်သောဆက်သွယ်ရေးသို့မဟုတ်ရှင်းလင်းသောလုံခြုံစိတ်ချရသော protocols များမရှိခြင်းသည်အကြီးမားဆုံးအလံဖြစ်သည်။ ထုတ်ကုန်တစ်ခုမျှသာမဟုတ်ဘဲပစ္စည်းတစ်ခုမျှသာပေးအပ်ခြင်းအပေါ်ကျွန်ုပ်တို့ဂုဏ်ယူသည်, ဓါတ်ငေှ့ ရောက်ရှိလာခြင်းနှင့်လမ်းတိုင်းတိုင်း၏ခြေလှမ်းတိုင်းကိုကိုင်တွယ်သည်။
နိုက်ထရိုဂျင်သည်ဖန်လုံအိမ်ဓာတ်ငင်ကိုထိန်းထားနိုင်ပါသလား။ ပတ် 0 န်းကျင်ဆိုင်ရာသက်ရောက်မှုကိုနားလည်ခြင်း။
ပတ် 0 န်းကျင်ဆိုင်ရာရှုထောင့်နှင့် ပတ်သက်. ပွင့်လင်းမြင်သာမှုရှိရန်အလွန်အရေးကြီးသည် nf₃။ ဟုတ်တယ်, နိုက်ထရိုဂျင် trifluoride အစွမ်းထက်သည် ဖန်လုံအိမ်ဓာတ်ငွေ့။ ရာသီဥတုပြောင်းလဲခြင်းဆိုင်ရာအစိုးရမဟုတ်သောအဖွဲ့ (IPCC) တွင်ကမ္ဘာကြီးပူနွေးလာမှုအလားအလာ (GWP) သည်ကာဗွန်ထက် 12 ထောင်ပေါင်းများစွာရှိသည်ဟုတွက်ချက်သည် ဒိုင်အောက်ဆိုဒ် နှစ် 100 ကာလအတွင်း။ ဤသည်စက်မှုလုပ်ငန်းအလွန်အလေးအနက်ထားသည်ဆိုတဲ့အချက်ကိုဖြစ်ပါတယ်။
သို့သော်ထိုတွင်ဇာတ်လမ်းသည်မပြီးဆုံးသေးပါ။ အပေြာင်း ပတ်ဝန်းကျင်အပေါ်သက်ရောက်မှု သဘာဝဓာတ်ငွေ့၏အလားအလာများပေါ်တွင်သာမကလေထုထဲသို့အမှန်တကယ်မည်မျှဖြန့်ချိသည်ကိုမူတည်သည်။ အစောပိုင်းတွင်ဖော်ပြခဲ့သည့်အတိုင်း, nf₃ အလွန်အမင်းထိရောက်သောဖြစ်ပါတယ်။ ခေတ်သစ်၌တည်၏ semiconductor စက်ရုံ, အများစု၏အများစု အသုံးပြုသောဓာတ်ငွေ့ ကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်းလောင်သို့မဟုတ်ဖျက်ဆီးခံရသည်။ အပေြာင်း ပလာပမာ အဲဒါကိုဖြိုဖျက်ပြီးမဆို လက်လွှတ် ဓါတ်ငေှ့ ၎င်းသည်မောပန်းသောစနစ်သို့ပေးပို့သည်။ ဤစနစ်များသည်အလွန်ထိရောက်သောကြောင့်ကျန်ရှိနေသေးသော 99% ကျော်ကိုမကြာခဏဖျက်ဆီးပစ်သည် nf₃.
စက်မှုလုပ်ငန်းရဲ့ PFCs မှပြောင်းကုန်ပြီ nf₃အငြိုးထားသောနည်းပညာကျယ်ပြန့်စွာအသုံးပြုခြင်းနှင့်ပေါင်းစပ်ပြီးအမှန်တကယ်တွင်အသားတင်လျှော့ချရေးကိုဖြစ်ပေါ်စေသည် ဖန်လုံအိမ်ဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှတ်မှု ထုတ်လုပ်မှုတစ်ခုယူနစ်နှုန်း။ တာဝန်ရှိသော semiconductor ထုတ်လုပ်သူများ ထုတ်လွှတ်မှုများကိုလျှော့ချနိုင်အောင်ဓာတ်ငွေ့ပေးသွင်းသူများအတူတကွအလုပ်လုပ်ကြသည်။ ၎င်းတွင်အနည်းဆုံးငွေပမာဏကိုအသုံးပြုရန်သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်ကိုပိုမိုကောင်းမွန်စေရန်ပါ 0 င်သည် ဓါတ်ငေှ့ အထွတ်အထိပ်စွမ်းဆောင်ရည်အတွက် abatement စနစ်များကိုထိန်းသိမ်းထားရန်လိုအပ်သည်။ ဒါကြောင့် nf₃ အစွမ်းထက်သည် ဖန်လုံအိမ်ဓာတ်ငွေ့ ဓာတ်ခွဲခန်း setting ကိုအတွက်၎င်း၏အစစ်အမှန်ကမ္ဘာပတ် 0 န်းကျင်ခြေရာခံ semiconductor ကုန်ထုတ်လုပ်မှု ဂရုတစိုက်စီမံခန့်ခွဲခြင်းနှင့်အစားထိုးအခြားနည်းလမ်းများထက်သိသိသာသာနိမ့်သည်။
ကြီးမားသော semiconductor fabs များအတွက် On-site ကိုဓာတ်ငွေ့မျိုးဆက်၏အခန်းကဏ် is ကဘာလဲ?
ခေတ်သစ်၏စကေး semiconductor ကုန်ထုတ်လုပ်မှု ရင်သပ်ရှုမောဖွယ်ကောင်းပါတယ် Mega-Ass ဟုလူသိများသောအကြီးမားဆုံးအဆောက်အအုံများသည်ကြီးမားသောဓာတ်ငွေ့ပမာဏကိုစားသုံးကြသည်။ နိုက်ထရိုဂျင်ကဲ့သို့သောဓာတ်ငွေ့အချို့အတွက်ထောင်နှင့်ချီသောဆလင်ဒါများ၌ထရပ်ကားမဟုတ်ဘဲစက်ရုံတွင်၎င်းတို့ကိုတိုက်ရိုက်ထုတ်လွှင့်ရန်ပိုမိုထိရောက်စေသည်။ ဒါကိုလူသိများတယ် ထိုနေရာမှာပဲ မျိုးဆက်။ အလွန်အမင်းအထူးပြုနှင့်တုံ့ပြန်သည် ဓါတ်ငေှ့ ကဲ့သို့ nf₃အနည်းငယ်ကွဲပြားသောမော်ဒယ်ပေါ်ပေါက်လာသည်။ ထိုနေရာမှာပဲ သန့်စင်ခြင်းနှင့်ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာ။
နေစဉ် NF₃ထုတ်လုပ်မှု ကြီးမားသောရှုပ်ထွေးမှုများကြောင့် FANMOMON တွင်အဆန်းမဟုတ်ဘဲအကြီးစားသုံးစွဲသူများသည်မကြာခဏခေတ်မီဆန်းပြားသည် ထိုနေရာမှာပဲ ဓာတ်ငွေ့စီမံခန့်ခွဲမှုစနစ်များ။ တစ် ဦး အမြောက်အများထောက်ပံ့ရေး nf₃ FAB မှကယ်နှုတ်ခြင်းနှင့်ထို့နောက်ဤစနစ်နောက်ဆုံးအဆင့်လုပ်ဆောင်သည် စင်ကြယ်ခြင်း နှင့်ရှေ့ဆက်မတိုင်မီအရည်အသွေးအသွေးစုံဆန်းဆန်းဆန်းစစ်ခြင်း ဓါတ်ငေှ့ စျေးကြီးသောကုန်ထုတ်လုပ်မှုကိရိယာများကိုဝင်သည်။ ၎င်းသည်အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှု၏အန္တိမထိန်းချုပ်မှုအလွှာကိုပေးသည်။ ထောက်ပံ့ရေးလိုင်းများမှမည်သည့်ညစ်ညမ်းမှုကိုမဆိုဖမ်းမိကြောင်းသေချာစေသည်။ ဤချဉ်းကပ်မှုသည်အရည်အသွေးအာမခံချက်နှင့်အတူ 0 ယ်ယူခြင်း၏စီးပွားရေးအကျိုးကျေးဇူးများကိုပေါင်းစပ်ထားသည် ထိုနေရာမှာပဲ စီမံခန့်ခွဲမှု။
ဤပြောင်းလဲနေသောထောက်ပံ့ရေးမော်ဒယ်များကိုနားလည်ခြင်းသည်အရေးကြီးသည်။ ကုန်ပစ္စည်းပေးသွင်းသူတစ် ဦး အနေဖြင့်ကျွန်ုပ်တို့သည်ဆလင်ဒါများဖြည့်ဆည်းရုံထက် ကျော်လွန်. ကျွန်ုပ်တို့၏ 0 န်ဆောင်မှုများကိုတိုးချဲ့ခဲ့သည်။ ကျနော်တို့ယခုအလုပ်လုပ်ကြသည် ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ semiconductor ထုတ်လုပ်သူများ ပြည့်စုံသောဓာတ်ငွေ့ပေးပို့ခြင်းနှင့်စီမံခန့်ခွဲမှုဆိုင်ရာဖြေရှင်းနည်းများကိုဒီဇိုင်းဆွဲရန်နှင့်အကောင်အထည်ဖော်ရန်။ ဤသည်ဆက်ကပ်အပ်နှံပါဝင်နိုင်သည် ကုန်ထုတ်ရေးလိုင်း အဓိကဖောက်သည်တစ် ဦး, အထူးထောက်ပံ့ပို့ဆောင်ရေးသို့မဟုတ်သူတို့နှင့်ပေါင်းစည်းခြင်းအတွက်စွမ်းရည် ထိုနေရာမှာပဲ စနစ်များ။ လိုအပ်ချက်များနှင့်ကိုက်ညီသောပြောင်းလွယ်ပြင်လွယ်။ ယုံကြည်စိတ်ချရသောထောက်ပံ့ရေးကွင်းဆက်ကိုထောက်ပံ့ရန်ဖြစ်သည် 21 ရာစုနှစ် - ရာစု။ ၎င်းသည်ကျွန်ုပ်တို့၏နည်းဗျူဟာ၏အဓိကအစိတ်အပိုင်းဖြစ်သည်, အထူးသဖြင့်ဖောက်သည်များအားသိသာထင်ရှားသည့်အတွက် 0 န်ဆောင်မှုပေးသည့်အခါ ထုတ်လုပ်မှုစွမ်းရည်.

NF₃ Purity သည် CPP ထုတ်လုပ်မှုတွင်ထုတ်လုပ်မှုအထွက်နှုန်းကိုမည်သို့အကျိုးသက်ရောက်သနည်း။
အတွက် semiconductor ကမ္ဘာ, "အထွက်နှုန်း" သည်အရာအားလုံးဖြစ်သည်။ ၎င်းသည်ကောင်းမွန်သောအလုပ်လုပ်သောချစ်ပ်များဖြစ်သည် ဆီလီဂရမ် ညှစ်။ မြင့်မားသောအထွက်နှုန်းသည်အမြတ်အစွန်းမြင့်မားခြင်းကိုဆိုလိုသည်။ အထွက်နှုန်းနိမ့်သည်ငွေရေးကြေးရေးအရအကြီးအကျယ်ပျက်စီးစေနိုင်သည်။ လုပ်ငန်းစဉ်ဓာတ်ငွေ့များ၏သန့်ရှင်းမှု, အထူးသဖြင့်ဓာတ်ငွေ့ ဓါတ်ငေှ့ ကဲ့သို့ nf₃, တိုက်ရိုက်နှင့်သိသိသာသာသက်ရောက်မှုရှိပါတယ် ထုတ်လုပ်မှုအထွက်နှုန်း.
မြင်ယောင်ကြည့်ပါ ညစ်ညူးခြင်း အစိုဓာတ် (h₂o) သို့မဟုတ်အခြားတစ်ခု၏သေးငယ်သောအမှုန်များကဲ့သို့ စိတ်အားကြီးသော ဒင်းနား နှင့်အတူရောနှော nf₃။ ကြောင်းအထိခိုက်မခံ etch ဖြစ်စဉ်ကာလအတွင်း ညစ်ညူးခြင်း ဓာတုဓာတ်ပြုမှုကို 0 င်ရောက်စွက်ဖက်ခြင်းဖြင့် chips circuitry တွင်ဏုချို့ယွင်းချက်တစ်ခုဖြစ်ပေါ်စေသည်။ ကပိတ်ဆို့လိမ့်မယ် ရယူပစ္စည်းများကိုမဖြစ်သင့်သည့်ပစ္စည်းများကိုဖယ်ရှားခြင်း, တစ်ခုခုကိုလမ်း, ရလဒ် ပေါင်းစပ် circuit ၎င်း၏နောက်ဆုံးစမ်းသပ်ပျက်ကွက်ပါလိမ့်မယ်။ သင်တစ် ဦး တည်း chip တစ်ခုတည်းအပေါ်သန်းပေါင်းများစွာသော transistors လုပ်နေစဉ်, တစ် ဦး ကြောင့်ဖြစ်ရတဲ့ "လူသတ်သမားချွတ်ယွင်းချက်" တောင်မှ ညစ်ညူးခြင်း တစ်ခုလုံးကို chip ကိုအသုံးမကျနိုင်ပါတယ်။
ထို့ကြောင့်ကျွန်ုပ်တို့သည်အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှုတွင်အလွန်အကြီးအကျယ်ရင်းနှီးမြှုပ်နှံသည်။ အသိအမှတ်ပြုလက်မှတ်ရခြင်းအားဖြင့်သန့်ရှင်းစင်ကြယ် nf₃ငါတို့ဖောက်သည်တွေကိုယုံကြည်စိတ်ချတယ် ဓါတ်ငေှ့ ချို့ယွင်းချက်များ၏အရင်းအမြစ်ဖြစ်လိမ့်မည်မဟုတ်ပေ။ အဆိုပါအာရုံစူးစိုက်မှုကိုထိန်းချုပ် အပိုင်းတစ်ဘီလီယံနှုန်းမှဆင်းအစိတ်အပိုင်းတိုင်း၏အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်ပါတယ် ကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ် တည်ငြိမ်နှင့်ထပ်ခါတလဲလဲဖြစ်ပါတယ်။ တည်ငြိမ်သောဖြစ်စဉ်တစ်ခုသည်ကြိုတင်ခန့်မှန်းနိုင်ပြီးမြင့်မားသောအရာများကိုဖြစ်ပေါ်စေသည် ထုတ်လုပ်မှုအထွက်နှုန်းတိုင်းအတွက်အဆုံးစွန်ဂိုးဖြစ်ပါတယ် semiconductor ထုတ်လုပ်သူ။ တစ် ဦး ပေးသွင်းအဖြစ်ကျွန်ုပ်တို့၏အခန်းကဏ် မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်အထူးဓာတ်ငွေ့ variable တွေကိုဖယ်ရှားခြင်းနှင့်အလျှော့မပေးအရည်အသွေး၏ထုတ်ကုန်ပေးရန်ဖြစ်ပါတယ်။
နိုက်ထရိုဂျင် trifluoride ပေးသွင်းသူအတွက်ဘာကိုရှာသင့်သလဲ။
MARG ကဲ့သို့သော 0 ယ်ယူခြင်းအရာရှိတစ် ဦး အတွက်မှန်ကန်သောပစ္စည်းအတွက်မှန်ကန်သောပေးသွင်းသူကိုရွေးချယ်ခြင်း nf₃ စျေးနှုန်းများနှိုင်းယှဉ်ရုံကျော်လွန်သွားကျော်လွှား။ မကောင်းသောမိတ်ဖက်တင်ပို့မှုနှောင့်နှေးမှု, အရည်အသွေးပြ issues နာများ, ကျွန်ုပ်၏အတွေ့အကြုံအပေါ် အခြေခံ. စဉ်းစားရမည့်အဓိကအချက်များဖြစ်သည်။
ပထမ ဦး စွာစိစစ်အတည်ပြုအရည်အသွေးနှင့်အသိအမှတ်ပြုလက်မှတ်။ ယုံကြည်စိတ်ချရသည့်ကုန်ပစ္စည်းပေးသွင်းသူသည်တင်ပို့မှုတိုင်းနှင့်အတူ, ၎င်းတို့သည် ISO 9001 ကဲ့သို့သောနိုင်ငံတကာစံနှုန်းများနှင့်လိုက်ဖက်သင့်သည်။ သူတို့ရဲ့ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာနိုင်စွမ်းအကြောင်းမေးပါ။ သူတို့အတွက်လိုအပ်သောအဆင့်များတွင်အညစ်အကြေးများကိုရှာဖွေရန်သူတို့တွင်ပစ္စည်းကိရိယာများရှိပါသလား semiconductor လျှောက်လွှာများ?
ဒုတိယ, ထောက်ပံ့ရေးကွင်းဆက်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုနှင့်ပွင့်လင်းမြင်သာမှု။ ပေးသွင်းသူသည်နှောင့်နှေးမှုများကိုကာကွယ်ရန်အတွက်အားကောင်းထောက်ပံ့ရေးပစ္စည်းများကွန်ယက်ကိုအားပေးနိုင်ပါသလား။ သူတို့မလိုအပ်သောရှိသည် ထုတ်လုပ်မှုစွမ်းရည် တည်ငြိမ်သောထောက်ပံ့မှုကိုသေချာစေရန်? ဆက်သွယ်ရေးသည်ဤနေရာတွင်သော့ချက်ဖြစ်သည်။ သင်၏ကုန်ပစ္စည်းပေးသွင်းသူသည်တက်ကြွသောတက်ကြွမှုဖြစ်သင့်သည်။ ၎င်းသည်နာကျင်မှု၏နာကျင်မှု၏အချက်ကိုတိုက်ရိုက်ဖြေရှင်းသည်။
နောက်ဆုံးတွင်နည်းပညာဆိုင်ရာကျွမ်းကျင်မှုကိုရှာဖွေပါ။ ကုန်ပစ္စည်းပေးသွင်းသူတစ် ဦး သည်ကုန်ပစ္စည်းကိုသာရောင်းရုံမျှသာမဟုတ်ပါ။ သူတို့ကအဖြေတစ်ခုပေးတယ်။ သူတို့သည်သင်၏လျှောက်လွှာများကိုနားလည်သင့်ပြီးနည်းပညာအထောက်အပံ့များပေးနိုင်သည်။ ၎င်းတို့သည်ဘေးကင်းလုံခြုံမှု, ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့်ပတ် 0 န်းကျင်ဆိုင်ရာစည်းမျဉ်းများကိုပင်သိရှိနားလည်သင့်သည် ဓာတ်ငွေ့အသုံးချပရိုဂရမ်များ။ ဗဟုသုတရှိသောမိတ်ဖက်အဖြစ်ဆောင်ရွက်နိုင်သောကုန်ပစ္စည်းပေးသွင်းသူသည်ရောင်းချသူတစ် ဦး ထက်ပိုပြီးတန်ဖိုးရှိသည်။ ဤကျွမ်းကျင်မှုသည်ရေရှည်, အမြတ်အစွန်းရှိသောဆက်ဆံရေး၏အခြေခံအုတ်မြစ်ဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည်ကျွန်ုပ်တို့၏ဖောက်သည်အားလုံးအတွက်ထိုလုပ်ဖော်ကိုင်ဖက်ဖြစ်ရန်ကြိုးစားသည် ဓါတ်ငေှ့ သို့သော်၎င်းနှင့်အတူပါ 0 င်သောစိတ်ငြိမ်သက်မှု။
အဓိက takeaways
- မရှိမဖြစ်လိုအပ်သောကိရိယာ: နိုက်ထရိုဂျင် trifluoride (nf₃) အရေးပါသောအထူး ဓါတ်ငေှ့ Plasma etching နှင့် chamber သန့်ရှင်းရေးအတွက်အသုံးပြုခဲ့သည် semiconductor ထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်.
- သာလွန်စွမ်းဆောင်ရည်: nf₃ ပိုမိုထိရောက်သောအရာနှင့်ခေတ်မီသောကာလများနှင့်ခေတ်မီဆန့်ကျင်ရေးစနစ်များကြောင့်အစားထိုးထားသော PFC ဓာတ်ငွေ့များထက်ပိုမိုထိရောက်သောသဘာဝပတ်ဝန်းကျင်ဆိုင်ရာသက်ရောက်မှုရှိသည်။
- သန့်ရှင်းစင်ကြယ်ခြင်းသည်အမြတ်အစွန်းဖြစ်သည်။ ၏ Ultra- မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ် nf₃ Non-Negotiable ဖြစ်ပါတယ်။ ပင်အညစ်အကြေးများပင်ကအညစ်အကြေးများကချွတ်ယွင်းစေနိုင်သည် ဆီလီဂရမ် ညှစ်, အကြီးအကျယ်လျှော့ချ ထုတ်လုပ်မှုအထွက်နှုန်း နှင့်အမြတ်အစွန်း၏ PPOCTURINGS.
- လုံခြုံမှုနှင့်ကိုင်တွယ်ခြင်းသော့ချက်ဖြစ်သည်။ တည်ငြိမ်နေစဉ်, nf₃ အဆိပ်နှင့်ဓာတ်တိုးသည် ဓါတ်ငေှ့ ၎င်းသည်အထူးကိုင်တွယ်ခြင်း, အသိအမှတ်ပြုလက်မှတ်ဆလင်ဒါများနှင့်လုံခြုံစိတ်ချရသော protocols များကိုနက်ရှိုင်းစွာနားလည်ရန်လိုအပ်သည်။
- ကုန်ပစ္စည်းပေးသွင်းသူရွေးချယ်မှုအလွန်အရေးကြီးပါသည်: တစ်ခုရွေးချယ်တဲ့အခါ nf₃ ကုန်ပစ္စည်းပေးသွင်းသူ, တန်ဖိုးထားသောအရည်အသွေး, ထောက်ပံ့ရေးကွင်းဆက်ယုံကြည်စိတ်ချရမှု,
