Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгч үйлдвэрлэл нь олон төрлийн хийн дээр тулгуурладаг. Бөөнөөр хий, мэргэжлийн хүнж шавуун, бензин. Эдгээр хий нь бохир, нарийн төвөгтэй бүтэцийг сүйтгэж болзошгүй бохирдол үүсэхээс урьдчилан сэргийлэхийн тулд эдгээр хий маш өндөр цэвэр байдал байх ёстой.

Бөөнөөр хий

Азот (n₂):

Данс: N₂ нь цэвэрлэгээний процессыг цэвэршүүлж, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн үйлдвэрлэлийн үеэр олон зорилгоор үйлчилдэг.
Нэмэлт тэмдэглэл: Азотын нитроген нь ихэвчлэн исгэлэн ваферийг багасгах, хадгалахад ашигладаг. Үүний мөн чанар нь бусад материалуудтай урвалд орохгүй, цэвэр боловсруулах орчинг хадгалахад тохиромжтой болгодог.

Аргон (AR):
Данс: Плазмын процессын оролцоотой холбоотойгоор аргон нь хяналттай хийн найрлага нь чухал юм.
Нэмэлт тэмдэглэл: Энэ нь ихэнх материалд хариу үйлдэл үзүүлэхгүй, аргоныг бохирдуулж, гадаргууг бохирдуулж байх ёстой.

Гений (тэр):
Данс: Хеллийн дулааны шинж чанар нь реактив үйл явцад температурын тууштай, температурын тууштай байдлыг хадгалахад хүргэдэг.
Нэмэлт тэмдэглэл: Энэ нь реактив бус шинж чанартай, бохирдохгүй байх, оптик замыг бохирдуулж, оптик замаас зайлсхийх чадвартай байдаг.

Устөрөгч (H₂):
Данс: Хасалт хийх, устөрөгчийн гадаргуу дээрээс гадна вафлерийн гадаргууг цэвэрлэхэд тусалдаг бөгөөд epitaxy-ийн үеэр химийн урвалд оролцож болно.
Нэмэлт тэмдэглэл: Нимгэн хальсан дээр байрлах устөрөгчийн хэрэглээ нь хагас дамжуулагчийн концентрациас илүү их хяналт тавих боломжийг олгодог.

Тусгай хий, допантууд

Силан (SIH₄):
Данс: Силикон элэгдлийн эсрэг байхаас гадна торманыг цахим шинж чанарыг сайжруулж болно.
Нэмэлт тэмдэглэл: Түүний реактив байдал нь аюулгүй байдлын асуудлаас үүдэлтэй, ялангуяа агаар эсвэл хүчилтөрөгчтэй холилдож байхаас илүү болгоомжтой харьцах шаардлагатай.

Аммиак (NH₃):
Данс: Нитридын кинонуудыг үйлдвэрлэхээс гадна, аммиак нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн найдвартай байдлыг сайжруулдаг.
Нэмэлт тэмдэглэл: Нитрогенийг силикон, цахим шинж чанарыг сайжруулахад шаардагдах үйл явцад оролцож болно.

Фосфин (PH₃), Arsine (Ash₃), and and diborne (B₂H₆):
Данш: Эдгээр хий нь допингийн хувьд ердөө л зайлшгүй шаардлагатай биш, гэхдээ хагас дамжуулагч төхөөрөмжид хүртээмжтэй байдаг.
Нэмэлт тэмдэглэл: Тэдний хоруу чанар нь аюулгүй байдлын хатуу хамгаалалтын протокол, хяналтын системийг бууруулах явдал юм.

Хий, цэвэрлэгээг цэвэрлэх

Флюрокарбон (CF₄, SF₆):
Данс: Эдгээр хий нь хуурай etching аргуудтай харьцуулахад өндөр нарийвчлалтай боловсруулдаг хуурай uctes-д ажилладаг.
Нэмэлт тэмдэглэл: CF₄ ба SF₆ нь орчин үеийн микроэлектроникт маш их хэмжээгээр нягталж үзэх нь тэдний нарийн ширийн материалыг үнэлэх боломжийг олгодог.

Хлор (CLOR) ба Устөрөгчийн флоторид (HF):
Данс: Хлорпин нь түрэмгий ур чадварыг хангаж, ялангуяа металлын чадварыг өгдөг, ялангуяа металлын чадварыг өгдөг.
Нэмэлт тэмдэглэл: Эдгээр хийний хослол нь янз бүрийн хийцтэй үе шатуудын үеэр үр дүнтэй байх боломжийг олгодог.

Азот Трифлуорид (NF₃):
Данс: NF₃ нь CVD системийг CVD-ийн цэвэрлэгээний цэвэрлэгээнд зориулж байгаль орчны цэвэрлэгээнд хариу үйлдэл үзүүлэх.
Нэмэлт тэмдэглэл: Хүлэмжийн хийн боломжит байдлын талаар санаа зовж байгаа нь түүнийг цэвэрлэхэд анхаарал хандуулах нь олон төрлийн сонголтыг илүүд үздэг.

Хүчилтөрөгч (O₂):
Данс: Хүчилтөрөгчийн тусламжтайгаар исэлдэлтийн үйл явц нь хагас дамжуулагч бүтэц дэх чухал тусгаарлагч давхаргыг бий болгож чадна.
Нэмэлт тэмдэглэл: Sio₂-ийн давхарга үүсгэхийн тулд Силиконы исэлдэлтийг сайжруулах нь хүчилтөрөгчийн ockidation-ийн үүрэг бол хаалтын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг хамгаалахад чухал ач холбогдолтой юм.

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн үйлдвэрлэлд шинээр гарч ирж буй хий

Дээр дурдсан уламжлалт хийнээс гадна бусад хий нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчийн үйлдвэрлэгчийн үйл ажиллагааны явцад анхаарлаа хандуулж байна.

Нүүрстөрөгчийн давхар исэл (CO₂): Зарим нь дэвшилтэт материалтай холбоотой зарим цэвэрлэгээ, цэвэрлэгээ, eatch програмуудад ашигладаг.

Цахиурын давхар исэл (Sio₂): Стандарт нөхцөлд хий, уур уцаартай, ууртай хэлбэрийн уур хилэн хэлбэрийн хэлбэр нь тодорхой электрон хэлбэрээр ашиглагддаг.

Байгаль орчны талаархи бодол

Хагас загасны үйлдвэр нь янз бүрийн хий, хор хөнөөлтэй хүлэмжийн хий ашиглахтай холбоотой байгаль орчны нөлөөллийг бууруулахад улам бүр төвлөрдөг. Энэ нь доод шатан менежментийн тогтооготыг хөгжүүлэхэд хүргэв. Бага орчимд бага, байгаль орчны доод иргэдэд ижил төстэй ашиг тусыг өгнө.

Байгуулах

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчийн үйлдвэрлэлд ашигласан хий нь хуурамч үйл явцын нарийвчлал, үр ашгийг баталгаажуулахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Технологийн дэвшил, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбар нь хийн цэвэр байдал, менежментийг сайжруулахыг хичээдэг.