Хюазгон хий нь аж үйлдвэрийн урлаг, шинжлэх ухааныг эзэмшихийн тулд өөрсдийгөө зориулдаг мэргэн бойн Үйлдвэрлэлийн. Өнөөгийн өндөр технологийн ертөнцөд ялангуяа хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, эрэлт хэрэгцээ хэт өндөр цэвэр байдал хий нь зөвхөн давуу эрх биш юм; Энэ бол үнэмлэхүй зайлшгүй шаардлага юм. Энэ нийтлэл нь чухал ертөнцөд хуваагдана буудалтын бохирдолын Хэмжчил төлөө Давуут зориулсан цэсийн хутгаБайна уу. Бид яагаад хамгийн их хэмжээгээр судлах болно магадлалгүй том үр дагавартай байж болно, бид эдгээрийг хэрхэн илрүүлж байгааг олж мэдэх боломжтой хольц нь хольц, энэ нь бизнес эрхлэхэд юу гэсэн үг вэ. Ойлголт хийн хольц мөн тэдний арга ээлжцэм гэх мэт илрүүлэх ICP-MS, орчин үеийн найдвартай байдал, гүйцэтгэлийг хангах түлхүүр юм ЭлектроникБайна уу. Энэ хэсэг нь таны цаг хугацааны үнэ цэнэтэй бөгөөд учир нь тэр нь хатуу, мөрийг хадгалахад хүргэдэг Цахим тусгай хий цэвэрлэгээ, of oberterstone хагас дамжуулагч ба Электроник салбарууд.

Цахим мэргэжлийн тусгай хий яг юу вэ, яагаад тэдний цэвэр байдал нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгч үйлдвэрлэлд байдаг вэ?

Давуут зориулсан цэсийн хутга, ихэвчлэн гэж нэрлэдэг цалин төлөх эсвэл хагас дамжуулагч хий, өвөрмөц ангилал юм Өндөр цэвэрлэгээний хий ба хийн хольц тусгайлан боловсруулсан боловсронгуй үйл явцыг үйлдвэрлэлийн цахим бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд оролцдог. Тэдгээрийг дижитал наснаас үл үзэгдэх архитектор гэж боддог. Эдгээр Хагас дамжуулагчд ашигладаг хий Fabication нь cillane (Silnien), жишээ нь cillane (sihogen trifluore (nf₃) -ийг танхимын цэвэрлэгээнд хадгалдаг, Арагсгай (Ar) нь инерцийн бамбай, янз бүрийн допинг хий фосфин (PH₃) эсвэл Arsine (Ash₃) нь цахилгаан шинж чанарыг өөрчлөх хагас дамжуулагч материал. Нэр томъёо "цорвтой стандарт"Өөрөө тохируулсан програмыг онцолж, тэдний найрлагад шаардагдах экстрементийг онцоллоо. Эдгээр нь таны өдөр бүр биш юм ахааааны шат;; Тэдний тодорхойлолтууд нь илүү их хатуу байдаг.

Тэдний ач холбогдол цахилгаан ялангуяа хэтрүүлж болохгүй, ялангуяа хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхБайна уу. Орчин үеийн нэгтгэсэн хэлхээний (ICS) онцлог шинж чанарууд ба дамжуулагч ба дамжуулагч болон дамжуулагч замууд нь ихэвчлэн жижиг жижиг, дамжуулагч замууд (тэрбум гарагт (тэрбум метр) хэмжигддэг. Энэ микроскопийн хэмжээнд, тэр ч байтугай ганц хүсээгүй атом магадлалгүй-Сан нь цахиурын урсгалтай, цахилгааны урсгалыг тасалдуулж, эсвэл бүтцийн гажиг үүсгэдэг. Энэ нь алдаатай чип, олон сая чипсийг нэгтгэж, сая сая чипс үйлдвэрлэгддэг үйлдвэрлэлд гардаг, санхүүгийн болон нэр хүндтэй хохирол гардаг бохирдол асар их байж болно. Тиймээс, Цахим тусгай хий цэвэрлэгээ энэ нь ямар нэг үндэстний баган юм Электроник ба хагас дамжуулагч салбарын салбар. Аль ч магадлалгүй төхөөрөмжийн гүйцэтгэл, ургац, найдвартай байдал, найдвартай байдал хийн цэнгэх хяналтын зайлшгүй.

Хюазхонгын хийн дээр бид үйлчлүүлэгчдэдээ ойлгодог хагас дамжуулагч үйлдвэрүүд "Таван Нис" (99.999%) эсвэл бүр "зургаан NINE" (99.99999999%) эсвэл бүр (99.9999%) цэвэр байдлын түвшинг хангахад найдаж байна. Энэ нь ямар ч гэсэн үг юм магадлалгүй сая сая (PPM) эсвэл тэрбум тутамд (PPM) эсвэл бүр (PPB) -аас бүрдэх агууламжаас бага байх ёстой. Иймэрхүү түвшинд хүрэх, шалгах томт Түвшин нь нарийн төвөгтэй байхыг шаарддаг ээлжцэм техник ба үйрмэг, нэмж буудалтын бохирдолын Хэмжчил арга. Гэнэтийн зүйл байгаа эсэх магадлалгүй асуудлыг илтгэж болно хийн цилиндр эсвэл хангамжийн сүлжээ нь тууштай чанарыг шалгадаг. Бид баталгаажуулдаг Азотын цилиндр Нитроген нь олон хагас дамжуулагч ковальт дахь ажлын байрны хувьд энэхүү нарийн зөвлөмжийг санал болгов.

Микроскопийн ул мөр чөтгөрийн хольцыг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчийн үйлдвэрлэдэг.

Ямар нэгэн зүйл яаж ийм жижиг, a Цөхрөлийн аюул нэг тэрбум (PPB) эсвэл нэг триллион (PPT) -д хэмжигдэхүүнээр хэмжигддэг. Гэхдээ дэлхий дээр хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, эдгээр микроскопик бузарын эзэн том муу санаатнууд юм. Ердийн хагас дамжуулагч маягийн хуурамч үйл явцыг авч үзье: энэ нь хэдэн арван, олон зуун, Алхам бүр нь тодорхой хяналттай химийн орчинд тулгуурладаг, ихэвчлэн бүтээсэн эсвэл арчилдаг Давуут зориулсан цэсийн хутгаБайна уу. Хэрвээ ашиглуур ашиглаж байсан Эдгээр алхамуудын нэг нь хүсээгүй магадлалгүй, нь нь магадлалгүй нарийхан давхаргад багтааж болно хагас дамжуулагч Төхөөрөмж.

Жишээлбэл, металл хольц Хэт бага концентрацид чөтгөр, төмөр, зэс, зэс, цахиурын цахилгаан шинж чанарыг эрс өөрчлөх боломжтой. Тэд богино холболтын замыг үүсгэж, богино хэлхээг удаашруулах, эсвэл энэ нь төхөөрөмжийг удаашруулах, эсвэл бүхэлд нь буурахад хүргэдэг. Ангаахан магадлалгүй процессын алхамд зориулагдсан химийн урвалд саад болж болно. Жишээлбэл, a тардаа eching хий нь гадагш гарах, хэт халалтад хүргэж болзошгүй бөгөөд Нөлөөлөл нь зөвхөн бие даасан чипс дээр байдаггүй; тодорхойгүй магадлалгүй Асуудал нь устаж, бага хэмжээний чанартай нийлүүлэх, тогтвортой хангамжийн тухай мэдээллийг олж авахад портупорозуудын хувьд үлдсэн сая долларын корпорацуудад хүргэдэг. Энэ нь бат бөх байдлын чухал хэрэгцээг онцлон тэмдэглэв хольцын хэмжилтийг хянах.

Сорилт бол "хүлээн зөвшөөрөгдсөн" түвшин юм магадлалгүй багасч байна хагас дамжуулагч Төхөөрөмжийн онцлог нь бага болж байна. Хүлээн авах боломжтой гэж үзсэн магадлалгүй ДЭЛГЭРЭНГҮЙ АЖИЛЛАГААНЫ ХУВЬЦААГҮЙ БАЙНА бохирдол өнөөдөр. Миниатризаци хийхэд хүргэх энэхүү аргагүй жолоодлого нь сайжруулахын тулд хийн үйлдвэрлэгчид болон аналитик лабораторийн асар их даралтыг өгдөг илрүүлэх хязгаар чадвар. Хүртэл хавтгай гэрээз Нүцгэн нүдэнд үл үзэгдэг, жижиг тоосны толбо нь нүцгэн нүдэнд үл үзэгдэх, гэрэл зургийн гадаргуу дээр гэрэлтэх боломжтой. Тиймээс боломж бүрийг хянах магадлалгүй - Gasyous, металл эсвэл хавтгай гэрээз - чухал ач холбогдолтой. Тухайлах ялгац гишүүн Халуус болох Энэ нь цогц хэрэгцээг онцлон тэмдэглэж, өргөн цар хүрээтэй юм Хийн шинжилгээ.

Хамгийн түгээмэл асуудалтай хүмүүс юу вэ? Электроникийн хийнээс хольцыг таних.

Бид ярилцах үед хийнд хольц зориулагдсан Электроник ба хагас дамжуулагч Салбар, бид олон янзын дүрийн шидийг харж, бие даасан хохирол учруулах боломжтой. Эдгээр илрүүлэх хольц өргөн цар хүрээтэй, металл, тоосонцор хэлбэрээр ангилж болно. Эдгээр нийтлэг асуудал тулгарч буй эдгээр түгээмэл бэрхшээлүүд нь үр дүнтэй болох эхний алхам юм буудалтын бохирдолын Хэмжчил ба хянах. Онцгой хольц бэлэглэв хий ялгаруулж, түүний үйлдвэрлэлийн арга, хадгалах, хадгалах, зохицуулах.

Нарийн цэгт бусад хий нь үндсэн дээр байдаг мэргэн бойнБайна уу. Жишээлбэл, дотор нь томт Нитроген, нийтлэг гуаас цэгт хүчилтөрөгч (O₂), чийгшүүлэгч (H₂o), нүүрстөрөгчийн давхар исэл (CO₂), нүүрстөрөгчийн исэл (CO), нүүрстөрөгчийн моноксид (CO), нүүрстөрөгчийн мэлхий (chdrocarbons (chₓ). Хүчилтөрөгч, чийг нь маш их хариу үйлдэл үзүүлдэг бөгөөд хүсээгүй исэлдүүлэхэд хүргэдэг хагас дамжуулагч материал эсвэл процессын тоног төхөөрөмж. Бүр дотор нь иннийийн эерт шиг Арагсгай, эдгээр нь ул мөрний түвшинд байж болно. Компанийн хувьд бид a-ийн дүн шинжилгээ хийх хүсэлтийг ихэвчлэн хардаг өргөн хүрээний хольц, үүнд эдгээр реактив зүйл. Жишээлбэл, бидний чадвар нь нарийн төвөгтэй цогцолборт багтдаг Шатахуун Бүтээгдэхүүн бүрийг хянаж, багтаасан болно цэгт, параметр байна.

Металл хольц өөр нэг томоохон асуудал. Эдгээр нь натри (NA), калори (CA), кальци (CA), Төмөр (CA), Төмөр (CA), ТУСГАЙ (CA), ХОЁРДУГААР (NI), ХУВЬЦАА (NI), ХУВЬД ОРОЛЦОЖ БАЙНА. Тэд түүхий эд, үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжөөс үүсэх боломжтой (дамжуулах хоолой, реактор гэх мэт), эсвэл тэр ч байтугай хийн цилиндр зохих ёсоор эмчлэхгүй бол өөрсдийгөө. Дээр дурдсанчлан эдгээр металл хольц цахилгааны гүйцэтгэлд маш их нөлөөлж болно хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүд. Эдгээрийг PPB эсвэл PPT түвшинд илрүүлэх нь ингэснээр холбосон хосолсон плазмын массын спектрометртэй адил мэдрэмтгий аналитик техникийг шаарддаг (ICP-MS). Бид бас авч үзэх хэрэгтэй хавтгай гэрээз асуудал. Эдгээр нь цөөн тооны хатуу эсвэл шингэн хэсгүүдийг түдгэлзүүлсэн байдаг нөөзар урсгалБайна уу. Тэдгээр нь WAFERS дээр бие махбодийн гажиг үүсгэж болзошгүй, эсвэл тоног төхөөрөмжийн цорго дээр бузарын эзэнБайна уу. Шүүлтүүр нь тоосонцорыг арилгах түлхүүр юм, гэхдээ тэдний түвшинг хянах нь цогцолборын нэг хэсэг юм шат Бийтийн чанар хөтөлбөр. Зарим нь Давуут зориулсан цэсийн хутга бас бас бас бас зэврэлт хийх хий эсвэл хортой эрчилсэн хийнэ, энэ нь ямар нэг төвөгтэй нарийн төвөгтэй, дүн шинжилгээ, дүн шинжилгээ хийх, магадлалгүй Профайл нь эдгээр аюулыг улам хурцатгадаггүй.

ICP-MS: Хагас дамжуулагч хийнд металл булцууг илрүүлэх алтан стандарт?

Энэ нь ирэхэд металл хольцын шинжилгээ -аар / -оор хэт өндөр цэвэр ариун бамз, Индуктив байдлаар холбосон плазмын массын спектрометр, эсвэл ICP-MS, тэргүүлэх технологи гэж үздэг. Энэ бол өргөн хүрээг илрүүлж, тоон үзүүлж чаддаг хүчирхэг аналитик техник юм Elepdal Bestity, ихэнхдээ гайхмаар бага түвшинд хүрдэг - хэдэн ширхэг (PPT) эсвэл бүрт квадратик (PPQ) эсвэл бүр хэдэн элементүүдэд зориулж байдаг. Энэ мэдрэмж нь яг яагаад юм ICP-MS маш чухал зүйл болжээ хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, хаана, хэзээ ч ярьсан шиг, тэр ч байтугай минутын ул мөр металл хольц хор хөнөөлтэй байж болно Бүсны чанар.

Хэрхэн ICP-MS ид шидийг ажиллуулах уу? Энгийн нөхцөлд, дээж хий (эсвэл хийнээс гаргаж авсан уусмал) нь ихэвчлэн маш халуун плазма, ихэвчлэн хийгдсэн байдаг АрагсгайБайна уу. Энэ плазм, 6,000-аас 10,000 ° C-ийн температурт 6000-10.00 C-ийн температурт хүрч, үүнд үүнд байгаа атомыг ашиглан эрч хүчтэй бөгөөд үүнд үүнд байгаа атомууд, үүнд үүнтэй холбоотой байдаг металл хольцБайна уу. Эдгээр ионуудыг дараа нь плазмаас гаргаж аваад масс спектрометр рүү чиглүүлдэг. Масс спектрометр нь маш нарийн шүүлтүүр шиг, ионыг маш их хэмжээгээр нь төлдөг. Аг дэри Дараа нь тодорхой масс тус бүрт ионыг тоолж, аль элементүүд, аль элементүүд байгааг тодорхойлох боломжийг олгодог. Чадвар ICP-MS өргөн спектрийг скан хийх МЭДЭЭЛЛИЙН МЭДЭЭЛЛИЙН МЭДЭЭЛЭЛ нэгэн зэрэг үүнийг өндөр үр дүнтэй болгодог.

Хооронд ICP-MS үнэхээр хүчирхэг, энэ нь түүний сорилт, ялангуяа харьцахгүйгээр биш юм Хагас дамжуулагчд ашигладаг хий хуурамч. Нэг нийтлэг арга бол урхинд орох явдал юм цэгт томоохон бензинээс эсвэл дараа нь шинээр эсвэл шингэн хэлбэрээр ICP-MSБайна уу. Гэсэн хэдий ч шууд хийн шууд тарилга руу ICP-MS Систем нь тодорхой програмууд бөгөөд энэ нь тусгай програмыг шаарддаг бөгөөд энэ нь тусгай интерфейс шаарддаг. Сонголт нь тодорхой зүйлээс хамаарна хийн хольц сонирхол, матриц хий, шаардлагатай илрүүлэх хязгаарБайна уу. Хюазхонгын хийн дээр бид урлагийн аналитик тоног төхөөрөмжид ихээхэн хөрөнгө оруулалт хийдэг ICP-MS чадвартай, учир нь бид найдвартай байдлыг хангаж байгааг мэддэг буудалтын бохирдолын Хэмжчил Мэдээлэл нь манай үйлчлүүлэгчдэд итгэж буй итгэлцлийн үндсэн дээр үндэс суурь юм Өндөр цэвэр ариун цахим электрон хийнүүд. Нарийвчлал ICP-MS үүнийг батлахад тусална хийн цэвэр байдал хатуу шаардлагыг хангасан Цён цэг материал.

Электроник ба хагас дамжуулагч үйлдвэрүүдэд яагаад тохиролцоогүй хий цэвэр ариун байдалтай байдаг вэ?

Хүсээгүй байх хэрэгцээ хийн цэнгэх дахь Электроник ба хагас дамжуулагч үйлдвэрүүд зөвхөн давуу эрх биш; Энэ бол орчин үеийн төхөөрөмжийн үйлдвэрлэлийн физик, эдийн засгийн чиглэлээр удирддаг үндсэн шаардлага юм. Учраас хагас дамжуулагч Төхөөрөмжийн онцлог шинж чанарууд нь нанометрийн хэмжүүрээр агшагдсан, тэдгээрийн аливаа хэлбэрт мэдрэмтгий байдаг бохирдол тэнгэрийн тэнгэр. Ангаахан магадлалгүй Хуучин, том, том төхөөрөмжүүдээс илүү том төхөөрөмжүүд нь одоо тасралтгүй чипсээр бүтэлгүйтлийг үүсгэж болзошгүй юм. Энэ нь шууд нөлөөлдөг бөгөөд вафер тутамд сайн чипсийн хувь, тэр ч байтугай жижиг ургацын хувь нь сая сая орлогын орлогод нэг сая доллараар дамжуулж болно хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгч.

Орчин үеийн микропроцессор эсвэл санах ойн чипийн нарийн төвөгтэй архитектурын талаар бод. Энэ нь олон тэрбум транзистор агуулсан, бүхэн Бямба гарагийн инженерийн гайхамшигт инженер юм. Эдгээр транзисторуудын гүйцэтгэл нь тодорхой цахилгаан шинж чанараас хамаарна хагас дамжуулагч ашигласан материалыг ашиглах, эргээд, өндөр өртөмтгий байдаг цэгтБайна уу. Жишээлбэл, тодорхой металл хольц Нэвчилт, эсвэл буурсан тээвэрлэгчийн хөдөлгөөнийг нэмэгдүүлэхэд хүргэдэг. Энэ нь удаан, үр ашиг, үр дүнтэй, эсвэл бүрэн бус төхөөрөмж биш гэсэн үг юм. Нарийн цэгт Хүчилтсэн хүчилтөрөгч эсвэл чийг нь төлөвлөөгүй оксидын давхаргад төхөөрөмжийг өөрчлөхөд хүргэдэг. Нийт ашиг шат Бийтийн чанар шууд орчуулж өгдөг Бүсны чанар найдвартай байдал.

Цаашилбал, Электроник ба хагас дамжуулагч үйлдвэрүүд маш нарийн төвөгтэй, үнэтэй үйлдвэрлэлийн үйл явцаар тодорхойлогддог. Ганц хагас дамжуулагч Фабризийн үйлдвэр ("FAB") нь тэрбум долларын зардлыг бүрдүүлэх, тоноглоход хүргэдэг. Тухайлах ялгац гишүүн ашигласан хий эдгээр нь олон өртөгтэй үйл явцын алхамуудын нэгдлүүд юм. Хэрвээ мэргэн бойн бохирдсон байна магадлалгүй, одоогоор боловсруулж байгаа вафтерд нөлөөлөхгүй; Энэ нь мөн үнэтэй боловсруулах төхөөрөмжийг өөрөө бохирдуулах боломжтой. Энэ нь цэвэрлэгээний болон үнэлэмж, хуваарилалтад хүргэхэд хүргэж болзошгүй тул үйлдвэрлэгчдийн зардлыг хангахад хүргэдэг. Тиймээс, тоог хангах Цахим тусгай хий цэвэрлэгээ Хатуу замаар буудалтын бохирдолын Хэмжчил Нийлүүлэлтийн сүлжээг бүхэлд нь чухал эрсдлийн бууралт юм. Анхаарлаа төвлөрүүл Өндөр цэвэр ариун хий учир нь гадас нь гайхалтай өндөр байдаг.

ТУСГАЙ ХАМГИЙН ХАМГИЙН ГАЗРЫН ТУХАЙ ТӨЛӨВЛӨГӨӨГИЙН ГАЗРЫН ТУХАЙ ХУУДАС ХЭРХЭН ВЭ?

Дүн шинжилгээ хийх металл хольц -аар / -оор төрийн эмчилгээ, ялангуяа ашигласан хүмүүс хагас дамжуулагч аж үйлдвэр, өвөрмөц сорилт бэрхшээлийг танилцуулдаг. Үндсэн бэрхшээл нь эдгээр нь эдгээр нь маш бага концентрациас үүдэлтэй ишлэл юм цэгт асуудалтай байж болно - ихэвчлэн тэрбум дахь хэсэгт (PPB) эсвэл бүр триллион (PPT) хүрээ. Ийм минутын хэмжээг илрүүлж, нарийвчлан судлах нь зөвхөн өндөр мэдрэмжтэй аналитик хэрэгсэл биш юм ICP-MS Гагцхүү гадны нэвтрүүлгээс зайлсхийхийн тулд онцгой цэвэр цэвэрлэгээ, нямбай дээж боловсруулсан протоколууд бохирдол.

Нэг чухал сорилт бол дээжийн танилцуулга юм. Олон Ашигласан тусгай хий -аар / -оор Электроник маш их реактив, идэвхитэй, эсвэл пирофорик (аяндаа аяндаа агаарт гал авалцдаг). Эдгээрийг аюулгүй, үр дүнтэй шилжүүлэх нуруухан нух аналитик хэрэгсэл болгон ICP-MS өөрчлөхгүйгээр дээж хий эсвэл бохирдлыг бохирдуулах нь тусгай интерфейс, процедурыг зохицуулахыг шаарддаг. Жишээ нь, шууд тарина a идийг идэмхий хийг хий устөрөгчийн хлорид (HCL) гэх мэт ICP-MS систем нь үүнийг гэмтээж болно. Тиймээс, шууд бус аргууд, тухайлбал хавчих (хийн түлшээр шингэнийг шингэн хэмжээгээр бөмбөлөгээр бөмбөлөг цэгт) эсвэл криоген хавхлах, ихэвчлэн ажилладаг. Гэсэн хэдий ч эдгээр аргууд өөрсдийн боломжит эх үүсвэрийг танилцуулж болно бохирдол эсвэл төгс төгөлдөр хийгээгүй бол анализын алдагдал. Сонголт ачааны бараан Шаардлагатай бол шингэрүүлэлтийн хувьд бас зайлшгүй байх ёстой цахилгаан.

Өөр нэг бэрхшээл бол "матрицын нөлөө" юм. Чиндолцоо байгалийн хий өөрөө (жишээ нь Арагсгай, нитроген, устөрөгч) илрүүлэхэд саад болж болно хольц нь хольцБайна уу. Жишээлбэл, дотор нь ICP-MS, ихэсч эхэлсэн плазм байгалийн хий Зарим зорилтот харьцаатай ижил масстай харьцуулахад ижил масстай харьцаатай поляомийн ион үүсгэж болно металл хольц, хуурамч эерэг эсвэл буруу тохируулга хийхэд хүргэдэг. Шинжээчид нь мөргөлдөөн / урвалын эсүүдтэй адил техникийг ашиглах ёстой ICP-MS эсвэл өндөр нарийвчлалтай массын спектрометрийг даван туулах. Цаашилбал, тохируулгын стандартыг тоонд ашиглахад ашигладаг металл хольц туйлын нарийвчлалтай, мөртэй байх ёстой бөгөөд энэ нь найдвартай байдлыг хангахын тулд бүх шинжилгээний процессыг баталгаажуулах ёстой буудалтын бохирдолын Хэмжчил үр дүн. Бид, нийлүүлэгчийн хувьд мөн бүрэн бүтэн байдлын талаар санаа зовдог хийн цилиндр болон тэдний хувь нэмрээ оруулах боломж металл хольц цаг хугацааны явцад үргэлжилж буй чанарын хяналтанд байдаг.

Хийн солилцооны төхөөрөмжийг ашиглан ул мөргүй хэмжилтүүдийн нарийвчлалыг сайжруулж чадах уу?

Тиймээ, хийн солилцооны төхөөрөмжийг ашиглан үнэхээр нарийвчлалыг сайжруулахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг хольцын хэмжилтийг хянах, ялангуяа бэрхшээлтэй харьцахдаа байгалийн хий матрицууд эсвэл хэт бага зүйлийг зорих үед илрүүлэх хязгаарлалтБайна уу. Аг хийн солилцооны төхөөрөмж, заримдаа матрицыг арилгах систем гэж нэрлэдэг, ихэвчлэн бөөнөөрөө салгах замаар ажилладаг байгалийн хий (гол бүрэлдэхүүн хэсэг дээж хий) төвлөрөхдөө хольц нь хольц сонирхлын. Энэ концентрацийн өмнөх алхам алхам нь дараагийн аналитик техникийн мэдрэмжийг эрс сайжруулж чадна ICP-MS эсвэл хийн хроматограф системүүд.

Ард байгаа зарчим хийн солилцооны төхөөрөмж хагас нэвчсэн мембран эсвэл сонгомол adsorption / сонгогдсон adsorption / cheorortion / cheorortion механизм. Жишээлбэл, палладийн мембраныг устөрөгчийг а-аас салгахад ашиглахад ашиглаж болно хийн хольц, бусад зөвшөөрөх хийнд хольц төвлөрч, а дэриБайна уу. Үүнтэй адилаар, тодорхой зар сурталчилгааны материалыг тодорхой урлаж болно цэгт урсаж байна байгалийн хий Цэвэрхэн байхын тулд тохойгоороо тоормослох боломжтой горхи ачааны бараан шинжилгээний хувьд. Бөөнийг нь бууруулах замаар байгалийн хий хүрч болох дэри, эдгээр төхөөрөмжүүд нь матрицын хөндлөн огтлолыг багасгаж, арын дуу чимээг багасгаж, зорилтот дууны харьцааг үр дүнтэй нэмэгдүүлээрэй хольц нь хольцБайна уу. Энэ нь доод хэсэгт хүргэж болно илрүүлэх хязгаарлах.

Ашиглэл нь хийн солилцооны төхөөрөмжийг ашиглан ялангуяа дүн шинжилгээ хийх үед тодорхой байдаг цахимаар хольц Шууд зохицуулахад хэцүү эсвэл энэ нь аналитик хэрэгслээр ихээхэн хөндлөнгийн оролцоотой болоход хэцүү байдаг. Жишээлбэл, өндөр реактиваар хүчилтөрөгч, чийгийг хэмжихийг оролдох үед мэргэн бойнба хийн солилцооны төхөөрөмж эдгээрийг салгах боломжтой байсан цэгт илүү их баяр хүргэе ачааны бараан шиг Арагсгай эсвэл хүрэхээс өмнө гелиум дэриБайна уу. Энэ нь зөвхөн нарийвчлалыг сайжруулдаггүй боловч мэдрэмтгий аналитик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг хамгаалах боломжтой. Үйлдвэрлэгчийн хувьд 99.999% цэвэр байдал 50l цилиндр Xenon xenon хий, Онцгой байдлыг шалгаж үзэхэд бид ийм дэвшилтэт техникүүдийн үнэ цэнийг ойлгодог цахилгаан ховор тохиолддог ба төрийн эмчилгээБайна уу. Энэ технологийн тусламж нь чухал хийн урсгал ба баталгаажуулах үе шатууд.

Шүүмжлэлтэй холбоос: Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл үйлдвэрлэсэн хийн хэмжээг шууд ашигладаг хийн дүн шинжилгээ.

Тухайлах ялгац гишүүн Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл үйлдвэрлэсэн шууд ашигладаг хийнүүд хуурамч үйл явцын амьдрал юм. Эдгээр нь зөвхөн биш юм Бөөнөөр хий азот шиг Арагсгай, гэхдээ бас өргөн цар хүрээтэй Давуут зориулсан цэсийн хутга сурталчилга эпакциаль хий (E.G., Silane, Cillane, CANDER CARDERES DEASTERSED), echeging хий (e.g., nf₃, sf₆, cl₂ patterning-д зориулсан), ион суулгацын хий (E.G., arsine, фосефин, ХӨДӨЛГӨӨН, БОНГИЙН ХОРООЛОЛУУД), ХОРООЛОЛТОЙ ХУВЬЦАА. Эдгээр бүрийн хувьд Шаардлагатай хийнүүд, хүлээн зөвшөөрөгдсөн түвшин ба төрөл магадлалгүй ямар ч хазайлт нь гажигтай шууд орчуулж чаддаг тул хатуу тодорхойлдог хагас дамжуулагч вафер. Энэ бол буудалтын бохирдолын Хэмжчил Эдгээр үед боловсруулах хий туйлын чухал чанарын хяналтын алхам.

Нимгэн силикон давхар исэл давхар давхарга, транзистор дахь нийтлэг тусгаарлагчийг авч үзье. Хэрэв хүчилтөрөгч Хийн хий ашигладаг Энэ үйл явц нь нүүрсустөрөгчийг агуулдаг цэгт, нүүрстөрөгчийн давхаргад нь тусгаарлагдсан, төхөөрөмжийн эвдрэлийг доройтуулж, төхөөрөмжийн бүтэлгүйтэлд хүргэж болзошгүй. Үүнтэй адил, хэрэв etching бол байгалийн хий гэнэтийн зүйлийг агуулдаг магадлалгүй, etch etch хурд эсвэл сонгон шалгаруулалтыг өөрчлөх, хэтэрхий том, хэт жижиг, эсвэл буруу хэлбэртэй. Ч гэсэн магадлалгүй дахь иннийийн эерт шиг Аргон хийн цилиндр Хөндлөн огтлолцоход ашигладаг, кипоны чанарыг нөлөөлж, вафал гадаргуу дээр шилжиж болно. Нөлөөлөл магадлалгүй нь ихэвчлэн боловсруулдаг, тодорхой утгатай байдаг магадлалгүй Нэг алхамаар тэвчих нь шүүмжлэлтэй байж магадгүй юм тардаа бусдад.

Энэхүү эгзэгтэй холбоос нь цогц арга барилыг шаарддаг буудалтын бохирдолын ХэмжчилБайна уу. Энэ нь зөвхөн эцсийн бүтээгдэхүүнийг шалгах тухай биш юм; нь түүхий эд, боловсруулалтын урсгалыг хянах, дамжуулалт, эцсийн байгалийн хий цэвэршүүлэх үе шатууд. Төлөө хагас дамжуулагч мэргэжил хийнүүд, техникийн үзүүлэлтүүд хагас дамжуулагч дахь хольц Аппликешнүүд нь ихэвчлэн нягт, аналитик илрүүлэлтийг түлхэж өгдөг. Бид үйлчлүүлэгчидтэйгээ нягт хамтран ажилладаг хагас дамжуулагч ба электроник тодорхой хэмжээгээр ойлгох талбар магадлалгүй өөр өөр мэдрэмж Хий ба хийн хольцБайна уу. Энэхүү хамтын ажиллагаа нь үүнийг батлахад тусалдаг Цэвэрлэгийн тусгай хий Бид өөрсдийн дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн үйл явцын хэрэгцээг хангах шаардлагыг байнга хангаж өгдөг. Сорилтыг илрүүлэхэд тулгуурладаг өргөн хүрээний хольц Үргэлж буурах түвшин.

Лабораторийн цаана: Бохирдлыг урьдчилан сэргийлэхийн тулд өндөр цэвэрлэгээний хагас дамжуулагч хийтэй харьцах шилдэг туршлагууд.

Хангах Цахим тусгай хий цэвэрлэгээ хэзээ дуусахгүй байгалийн хий үйлдвэрлэлийн байгууламжийг орхисон. Үүнийг хадгалах цахилгаан Ашиглах цэг рүү чиглэсэн бүх зам хагас дамжуулагч Фаб нь харьцах, хадгалах, хадгалах, түгээх талаар болгоомжтой анхаарал шаарддаг. Тэр ч байтугай хамгийн өндөр нь Цэвэр байдлын хийн зөв удирддаггүй бол бохирдох боломжтой. Хюазхонг хийн дээр бид зөвхөн үйлдвэрлэхэд анхаарлаа төвлөрүүлдэггүй Өндөр цэвэрлэгээний хий Гэхдээ миний үйлчлүүлэгчдэд чиглэсэн шилдэг туршлагуудад зөвлөгөө өгөхийг зөвлөж байна бохирдол.

Хамгийн сайн шилдэг практикт багтсан:

• Бүрэлдэхүүн хэсэг: Хийн хүргэх систем дэх бүх бүрэлдэхүүн хэсгүүд - үүнд орно хийн цилиндр, зохицуулагч, хавхлаг, хоолой, тууралт, тохируулга - Тохиромжтой материалыг (E.G., Электрезгүй гангаар хийх ёстой), тусгайлан цэвэрлэгдэх ёстой хэт өндөр цэвэр байдал (Uhp) үйлчилгээ. Буруу материалыг ашиглахад хүргэж болзошгүй юм цэгт эсвэл а металл бохир руу орох нөөзар урсгал.
• Системийн бүрэн бүтэн байдал: Хийн хүргэх систем нь гоожсон байх ёстой. Жижиг гоожсон нь агаар мандлын шинж чанарыг зөвшөөрдөг бузарын эзэн хүчилтөрөгч, чийг гэх мэт хавтгай гэрээз системд оруулах, буулт хийх асуудал хийн цэнгэхБайна уу. Тогтмол гоожсон шалгалт нь зайлшгүй шаардлагатай.
• Цэвэрлэх журам: Зохих ёсоор цэвэрлэх журам нь холболт хийгдсэн эсвэл цилиндрийг өөрчлөх бүрт чухал ач холбогдолтой юм. Үүнд мөрүүдийг нь а Өндөр цэвэр ариун inther хий (жишээ нь Арагсгай эсвэл нитроген) хавхлагдсан агаарыг арилгах эсвэл цэгтБайна уу. Хангалттай цэвэрлэгээ нь нийтлэг эх сурвалж юм бохирдолБайна уу. Тогтвортой байдлыг хангахын тулд бид ихэвчлэн автомат цэвэрлэгээний самбарыг зөвлөж байна.
• Зориулагдсан тоног төхөөрөмж: Тусгай зохицуулагч, мөрийг ашиглах нуруухан нух эсвэл гэр бүлүүд нуруухан нух хөндлөн бохирдлоос урьдчилан сэргийлэх боломжтой. Энэ нь ялангуяа хоорондоо шилжих үед ялангуяа чухал юм иннийийн эерт ба реактив эсвэл идийг идэмхий хийг хий.
• Цилиндртэй харьцах: Хийн цилиндр хохирол учруулахгүйн тулд анхаарал халамж тавих ёстой. Тэдгээрийг сайтар, агааржуулалттай газарт хадгалах, Ашиглаж зориулалттай чийг, хүчилтөрөгч Шүүмжлэлийн цэг дээр анализаторууд нь эдгээр нийтлэг зүйлийн аливаа зүйлийг хянахад тусалдаг цэгт.

Баталгаажуулах, үйлдвэрлэгчдэд зориулж, үйлдвэрлэгчдэд зориулж, үйлдвэрлэгчдэд зориулж хий, үйлдвэрлэлд зориулж хий, үйлдвэрлэлд зориулж, үйлдвэрлэлд зориулж хий, үйлдвэрлэлд зориулж хий, үйлдвэрлэлд зориулж хий, эсвэл үйлдвэрлэлд ашиглах, үйлдвэрлэлд ашиглах, эдгээр харьцах үйл ажиллагааг сайжруулах нь чухал юм Бүсны чанар Тэд өөрсдийн үйлчлүүлэгчдэд амлаж байна. Энэ бол хуваалцсан хариуцлага юм. Бид баталгаажуулдаг Устөрөгч цилиндр Урьдчилан сэргийлэх зорилгоор бүтээгдэхүүн, бөглөж, урьдчилан сэргийлэх зорилгоор хадгалдаг магадлалгүй ingresse, гэхдээ эцсийн хэрэглэгчийн систем нь ижил чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Эсрэг тэмцэл магадлалгүй нь аппликешнийн тасралтгүй хүчин чармайлт юм.

Болор бөмбөлөг рүү ширтэж байна: Цахим ангийн хийнд ямар хүчин төгөлдөр болох вэ?

Урьд өмнө хэзээ ч хамаагүй цахилгаан -аар / -оор эхлэх хийн бөглөрол илүү мэдрэмтгий байдаг Хүргэлт үл нүүлэх арга нь тасралтгүй аялал бөгөөд энэ нь инновацийн сэтгэл хөдлөлийн найдваргүй хурдаар удирддаг хагас дамжуулагч салбарын. Төхөөрөмжийн онцлог шинж чанарууд нь Submox-ийн Suber-10 Subment Realm, шинэ материал, архитектурын хувьд (3D болон хаалганууд, хаалга гэх мэт) хольц нь хольц илүү ихийг олж авах болно. Энэ нь хоёуланд нь цаашид урагшлах шаардлагатай болно хийн урсгал технологи ба буудалтын бохирдолын Хэмжчил чадвар.

Бид хэд хэдэн чиг хандлагыг урьдчилан таамаглаж болно.

• Илүү бага илрүүлэх хязгаарлалт: Аналитик техникүүд шиг ICP-MS, Хийн хроматографи-Мастографик спектрометр (GC-MS), Хөндлөн цагираг, and Carity Ring-Dop илрүүлэх хязгаарлалт Илүү өргөн Халуус болох нэг оронтой оронтой PPT түвшинд хүртэл доош эсвэл бүр PPQ домэйнд орно. Энэ нь ионы эх үүсвэрт шинэлэг зүйл шаардагдана, массын анализаторууд, мөн дэри технологи.
• Бодит цагийн хяналт: Хяналт хийх боломжтой аналитик системд нэмэгдэж буй эрэлт байна хийн цэнгэх бодит цаг хугацаанд, шууд ашиглах цэг дээр хагас дамжуулагч Fab. Энэ нь аливаа зүйлийг шууд илрүүлэх боломжийг олгодог бохирдол үйл явдал эсвэл дрифт магадлалгүй Түвшин, хурдан залруулах арга хэмжээ авах, бүтээгдэхүүний алдагдлыг багасгах. Miniaturized Sensers ба FENCETYMETAT ELGORY ALGORYGERMS нь гол үүрэг гүйцэтгэнэ.
• Хийн цогцос хольцын шинжилгээ: Ирээдүй хагас дамжуулагч үйл явц нь илүү төвөгтэй байж болно хийн хольц олон реактив бүрэлдэхүүн хэсгүүдтэй. Дүн шинжилгээ хийх цэгт Ийм хэцүү матрицад шинэ аналитик стратеги, боловсронгуй мэдээлэл, нарийн өгөгдлийн тайлбарыг шаарддаг. Хэмжих чадвар магадлалгүй Бусдаас хөндлөнгөөс оролцохгүй нэг бүрэлдэхүүн хэсэг нь нэн чухал болно.
• "Алуурчин" хольц дээр анхаарлаа төвлөрүүл. Судалгаа нь тодорхой зүйлийг тодорхойлох болно хагас дамжуулагч дахь хольц Төхөөрөмжийн гүйцэтгэл эсвэл ургацын хувьд хэт их нөлөө үзүүлдэг. Аналитик аргууд эдгээр "алуурчин" руу чиглүүлэхэд илүү чиглэсэн болно. цэгт.
• Мэдээллийн аналитик ба AI: Дэвшилтэт өгөгдлийг дэвшилтэт өгөгдлүүд буудалтын бохирдолын Хэмжчил системүүд нь чиг хандлагыг тодорхойлохын тулд AI болон MAVE-ийг ашиглахдаа ашиглах боломжтой болно бохирдол асуудлууд, оновчтой болгох хийн урсгал явц. Энэ нь реактив асуудлыг шийдвэрлэхээс илүүтэйгээр сайжруулахад тусалдаг.

Хьюзань хийд бид эдгээр бүтээсэн байрны замт явж байсан. Бид шинжлэх ухааны түншүүд, эрдэм шинжилгээний ажилчид, хөгжүүлэх, хөгжүүлэх, хөгжүүлэх, хөгжүүлэх, хөгжүүлэх, хөгжүүлэх өндөр зэргийн цэнгэг. Үйлдвэрлэлийн болон буудалтын бохирдолын ХэмжчилБайна уу. Манай үйлчлүүлэгчдэд зориулсан, үүнд тэмдэглэгээтэй байдаг бөгөөд энэ нь тэмдэглэгээ шиг Давуут зориулсан цэсийн хутга хувьсан өөрчлөгдөх хэрэгтэй Электроник ба хагас дамжуулагч үйлдвэрүүдБайна уу. Бидний хүрээ Хиголт, нарийн боловсруулсан өргөдлөөр нь мэддэг бөгөөд тэдгээрийн боловсролд хамрагдсан мэдлэгтэй, тэдгээрийн нарийвчилсан аналитик, магадлалгүй түвшин.

КОНГООНЫ ТУХАЙ ХУУЛЬ:

• Давуут зориулсан цэсийн хутга суурь нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгч, ба тэдний цахилгаан тохиролцоогүй байна.
• Хүртэл хольц нь хольц, PPB эсвэл PPT-т хэмжигддэг, энэ нь мэдэгдэхүйц согог, алдагдалд хүргэж болзошгүй юм хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүд.
• Нийтлэг хийнд хольц бусад хий (o ₂, h₂o гэх мэт), металл хольцмөн хавтгай гэрээз асуудал.
• ICP-MS нь олж илрүүлэхэд зориулсан Cornerstone технологи юм өргөн хүрээний хольц, яланг боловсруулалт металл хольц, хэт бага түвшинд.
• Үүнийг хадгалах хийн цэнгэх нь болгоомжтой харьцах, системийн бүрэн бүтэн байдлыг шаарддаг шатахийн цилиндр урьдчилан сэргийлэх зорилгоор ашиглах цэг хүртэл бохирдол.
• Ирээдүй бүр доогуур харагдах болно илрүүлэх хязгаарлалт, бодит цагийн хяналт, ani-хөтөч буудалтын бохирдолын Хэмжчил төлөө Цён цэг хийнүүд.
• Боломж бүрийг хянах магадлалгүй хангахад чухал ач холбогдолтой юм Бүсны чанар орчин үеийн найдвартай байдал Электроник.