Дэлхийн хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл эрчимтэй хөгжихийн хэрээр чип үйлдвэрлэх үйл явц нанометрийн эрин үе рүү бүрэн орлоо. Энэхүү маш нарийн үйлдвэрлэлийн процесст хүрээлэн буй орчны ямар ч хоромхон зуурын хэлбэлзэл эсвэл материалын хольц нь бүхэл бүтэн багцыг хусахад хүргэдэг. Тиймээс электрон тусгай хий, өндөр цэвэршилттэй үйлдвэрлэлийн хий нь юугаар ч солигдохгүй үүрэг гүйцэтгэдэг. Тэдний дунд, өндөр цэвэршилттэй шингэн аргон Химийн дээд зэргийн идэвхгүй байдал, маш сайн физик шинж чанараараа хагас дамжуулагчийн үйлдвэрүүдийн өдөр тутмын үйл ажиллагаанд зайлшгүй шаардлагатай гол хэрэглэгдэхүүн болсон.

Энэхүү нийтлэл нь чип үйлдвэрлэх процесст шингэн аргоны үндсэн хэрэглээг гүнзгий судалж, аж ахуйн нэгжийн нийлүүлэлтийн сүлжээний багуудад мэргэжлийн худалдан авалтын удирдамж өгөх болно.

Үндсэн хэрэглээ: Яагаад шингэн аргоныг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлээс салгаж болохгүй вэ?

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процесст хагас дамжуулагчийн шингэн аргоныг үндсэндээ бүтээгдэхүүний гарцыг тодорхойлдог дараах үндсэн үе шатуудад ашигладаг.

• Физик уурын хуримтлал (PVD) / Шүрших: Шингэн аргоныг хийжүүлэхэд үүссэн хэт цэвэр аргон хий нь PVD цацах үйл явцын хамгийн гол ажлын хий юм. Вакуум камерт аргон ионууд нь цахилгаан талбайн нөлөөгөөр хурдасгаж, зорилтот материалыг бөмбөгдөж, зорилтот атомуудыг салгаж, ялтсуудын гадаргуу дээр жигд байрлуулж, металл хальс үүсгэдэг. Өндөр цэвэршилт нь киноны нягтрал, цахилгааны тогтвортой байдлыг хангах урьдчилсан нөхцөл юм.
• 
  

• Үнэмлэхүй аюулгүй, идэвхгүй хамгаалалтын уур амьсгал: Монокристалл цахиурыг татах процесс (Чохральскийн процесс гэх мэт) болон өндөр температурт задлах процессын үед цахиур нь өндөр температурт хүчилтөрөгчтэй амархан урвалд ордог. Тиймээс агаарыг орлуулахын тулд аргон хийг тасралтгүй нэвтрүүлж, хүчилтөрөгч, чийгээс тусгаарлагдсан туйлын идэвхгүй орчинг бүрдүүлж, цахиурын болор торны төгс өсөлтийг хангах ёстой.
• 
  
• Криоген болон вафель цэвэрлэх технологи: Хэт ягаан туяа (EUV) литограф зэрэг дэвшилтэт процессуудад шингэн аргоны хэт бага температурын шинж чанарыг (буцлах цэг -186 ° C) заримдаа нарийн тоног төхөөрөмжийн хөргөлтийн системд ашигладаг. Үүний зэрэгцээ аргон аэрозолийн технологи нь жижиг тоосонцорыг үл эвдэх чадвартай вафель гадаргуу дээр нанометрийн хэмжээтэй физик цэвэрлэгээнд ашиглагддаг.
• 
  

Чанар нь гарцыг тодорхойлдог: Өндөр цэвэршүүлсэн шингэн аргоны хатуу стандарт

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн түүхий эдэд тавих шаардлага маш хатуу байдаг. Аж үйлдвэрийн жирийн шингэн аргон нь ихэвчлэн 99.9% буюу 99.99% цэвэршилттэй байх ёстой боловч энэ нь чип үйлдвэрлэх хэрэгцээг хангахаас хол байна. Учир нь шаардлага хангасан өндөр цэвэршилттэй шингэн аргон, үндсэн цэвэршилт нь ихэвчлэн 99.999% (5N) хүрэх шаардлагатай байдаг бөгөөд дэвшилтэт зангилаанд 99.9999% (6N) буюу түүнээс дээш байх шаардлагатай.

Илүү чухал зүйл бол бохирдлыг хянах явдал юм. Хүчилтөрөгч, азот, чийг, нийт нүүрсустөрөгч (THC) болон ул мөр металлын ионуудын агууламжийг ppb (тэрбум дахь хэсэг) эсвэл бүр ppt (триллион дахь хэсэг) түвшинд хатуу хянаж байх ёстой. Хэдий багахан хэмжээний хольц нь хий дамжуулах хоолойд холилдсон ч энэ нь ялтсуудын гадаргуу дээр бичил согог үүсгэж, чипний богино холболт эсвэл гүйдэл алдагдах, гарцын хурдыг шууд бууруулж, эдийн засгийн асар их алдагдалд хүргэх болно.

Худалдан авах гарын авлага: Шингэн аргон нийлүүлэгчийг хэрхэн үнэлж, сонгох вэ?

Үйлдвэрлэлийн шугамын үйл ажиллагаанд өндөр цэвэршилттэй хий шийдвэрлэх үүрэг гүйцэтгэдэг тул бүрэн чадварлаг, чадварлаг шингэн аргон нийлүүлэгчийг хайж олох, баталгаажуулах нь худалдан авалт, нийлүүлэлтийн сүлжээний багуудын үндсэн ажил юм. Боломжит ханган нийлүүлэгчдийг үнэлэхдээ дараахь гурван хэмжигдэхүүнд анхаарлаа хандуулахыг зөвлөж байна.

Чанарын хатуу хяналт, туршилтын чадвар: Маш сайн ханган нийлүүлэгчид нь хийн хроматограф (GC) болон масс спектрометр (MS) зэрэг ул мөрийн шинжилгээний дээд түвшний төхөөрөмжөөр тоноглогдсон байх ёстой. Тэд хүргэлтийн хоорондох цэвэр байдлын үнэмлэхүй нийцтэй байдлыг хангахын тулд багц тус бүрд нарийвчилсан COA (шинжилгээний гэрчилгээ) өгөх чадвартай байх ёстой.

Хүчтэй нийлүүлэлтийн гинжин хэлхээний уян хатан байдал ба нийлүүлэлтийн тогтвортой байдал: Үйлдвэрүүд нь ихэвчлэн 24/7/365 цагийн турш ажилладаг бөгөөд сул зогсолтын зардал маш өндөр байдаг. Тиймээс ханган нийлүүлэгчид шингэн хадгалах асар их хүчин чадалтай, өөрийн криоген цистерн ачааны машинтай байх ёстой бөгөөд яаралтай хангамжийн баталгааны иж бүрэн төлөвлөгөөтэй байх ёстой.

Дэвшилтэт сав ба "хоёрдогч бохирдлоос" хамгаалах технологи: Хичнээн өндөр цэвэршилттэй хий байсан ч тээвэрлэх явцад бохирдсон бол ашиггүй. Нийлүүлэгчийн криоген агуулах сав, савны дотоод ханыг цэвэрлэх технологи (цахилгаан өнгөлгөө/EP эмчилгээ хийлгэсэн эсэх гэх мэт), түүнчлэн дүүргэх, дамжуулах үе шатанд хавхлага болон дамжуулах хоолойг цэвэрлэх стандарт үйл ажиллагааны журам (SOP) дээр төвлөрч, өндөр цэвэршилтийг үйлдвэрээс шууд хэрэглэгчийн терминал хүртэл хүргэх боломжтой.

Байгуулах

Мурын хуулийн тасралтгүй дэвшлийн дагуу өндөр цэвэршилттэй шингэн аргон нь зөвхөн үндсэн хэрэглээ биш, харин хагас дамжуулагчийн дэвшилтэт процессын "үл үзэгдэх дагалдагч" юм. Шинжлэх ухааны үндэслэлтэй, нягт нямбай үнэлж, сонгох нь a шингэн аргон нийлүүлэгч Хагас дамжуулагчийн шингэн аргоныг өндөр чанартай, тогтвортой нийлүүлэх иж бүрэн хүч чадал нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэдэг аж ахуйн нэгж бүрийн үйл явцын бүтээмжийг сайжруулж, дэлхийн зах зээлийн өрсөлдөөнд ялах гол тулгуур юм.