Аммиак (NH₃), хамгийн чухал химийн урвалж бодисын хувьд янз бүрийн үйлдвэрлэлийн талбайнууд, талт үйлдвэрлэгчийн үйлдвэрлэлд маш чухал ач холбогдолтой байдаг. Шарилалт, ион суулгац, дуулах, цэвэрлэгээ, нипонт, допильт, цэвэрлэгээг багтаасан хэд хэдэн үе шатуудын нэг чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Энэ эелдэг тэшүүрийг сайжруулах, хөгжмөгийн үзүүлэлтийг устгахад арга хэмжээг сайжруулахад тэр чухал зүйлийг нэмэгдүүлэх төсөл, технологийн үл итгэх, ирээдүйн хөгжлийн чиг хандлагыг хэлэлцэж байхад тулгардаг.

1. Аммианы үндсэн шинж чанар, химийн зан байдал

Аммиак бол азотын болон устөрөгч, устөрөгчөөс бүрдсэн бөгөөд үйлдвэрлэлийн азотын үржвэрт байдаг. Аммиак нь тасалгааны температурт хийн түлш гэж үздэг боловч бага температурт шингэрүүлж, маш бага реактив хийн эх үүсвэр хийх боломжтой. Хагас дамжуулагч салбарт, аммиакийн химийн шинж чанарууд нь үүнийг хэд хэдэн чухал үйл явцын шинж чанар, ялангуяа химийн уурын бүрэлдэхүүн хэсэг (CVD), Ион суулгац, эсвэл цэвэрлэх / цэвэрлэх / eatching үйл ажиллагаа явуулдаг.

Аммиакийн молимекулууд нь янз бүрийн металл, цахиурын, болон бусад материалыг нитрид үүсгэх эсвэл тэдгээрийг бий болгох, эсвэл бусад материалаар хариу үйлдэл үзүүлэх боломжтой. Эдгээр урвалууд нь хүссэн туранхай нимгэн хальсан материалыг бүрдүүлэхэд тусалдаг боловч материаллаг, механик, механик шинж чанарыг сайжруулах.

2. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн үйлдвэрлэлийн аммиакийн програмууд

Аммиак нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчдэд маш чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.

2.1 Нитрид нимгэн хальснуудыг шингээх

In modern semiconductor manufacturing, nitride thin films, such as silicon nitride (Si₃N₄), aluminum nitride (AlN), and titanium nitride (TiN), are widely used as protective layers, electrical isolation layers, or conductive materials. Эдгээр нитрийн киноны өсөлтийн үеэр аммиак нь нитраци Азотын нитроген эх сурвалжаар үйлчилдэг.

Химийн уурын элэгдлийг (CVD) нь Нитридын киноны дэвтэрт хамгийн түгээмэл аргуудын нэг юм. Шувтэр Силан (SIHEN) нь шинэхэн температурт урвалд ордог. Урвал дараах байдалтай байна.

3SIH4 + 4NH3 → SI3N4 + 12 + 12H2

Энэ үйл явц нь силикон Вафоны гадаргуу дээр жигд цахиурын нитридын давхаргад хүргэдэг. Аммиак нь тогтвортой азотын эх сурвалжийг хангаж, тодорхой нөхцөлд байгаа урвалын эх үүсвэрийг баталгаажуулж, мөн хальсны чанар, зузаан, хальс, жигд байдлыг хянах боломжийг олгодог.

Нитридын кинонууд нь маш сайн дулааны тогтвортой байдал, цахилгаан дулаалга, цахилгааны тусгаарлагч, исэлдэлтийн эсэргүүцэл, Тэдгээрийг ингэснээр нэгтгэсэн хэлхээний давхарга (ICS) -ийг ингэсцэртэй хэлхээний давхарга, электректрикик төхөөрөмжид өргөн хэрэглэгддэг.

2.2 ион суулгац, допинг

Шувтэр Мөн хагас дамжуулагч материалын допинг хийх явцад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Допинг бол хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийн хуурамч үйлдвэрлэлийн цахилгаан дамжуулалтыг хянахад ашигладаг чухал арга юм. Ammonia, үр дүнтэй азотын эх үүсвэр болгон исгэлэн, Галлумын арслан, гавайн (GAAS) -тай хамт суулгацтай (GAAS) -тай хамт хэрэглэнэ.

Жишээлбэл, азотын допинг нь цахиурын допинг N-Type эсвэл P хэлбэрийн хагас дамжуулагчийг үүсгэхийн тулд цахилгааны шинж чанаруудыг тохируулж болно. Нитрогийн хөгжилд үр дүнтэй ханддаг. Аммиак нь өндөр цэвэрлэг байдлын эх сурвалжийг өгдөг. Энэ нь маш том хэмжээний интеграцийг (VLSI) үйлдвэрлэхэд өндөр гүйцэтгэлтэй төхөөрөмж, үйлдвэрлэлд чухал ач холбогдолтой юм.

2.3 Цэвэрлэх, цэвэрлэх

Цэвэрлэх, цэвэрлэх үйл явц нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчийн үйлдвэрлэлийн гадаргуугийн чанарыг баталгаажуулах түлхүүр юм. Аммиакийг эдгээр үйл явцад өргөн хэрэглэгддэг.

Плазма echching, аммиакийг органик бохирдуулагч, Оксидын давхаргуудтай харьцуулж, allore, extore, extore, металлын хольцыг арилгаж болно. Жишээлбэл, Аммиакен хүчилтөрөгчийн зүйлийг үр дүнтэй арилгаж, дараа нь гадаргуугийн исэлддэг, дараагийн үйл явцад тогтвортой байдлыг хангахын тулд хүчилтөрөгчийн хүчилтөрөгчтэй урвалд ордог.

Нэмэлт, аммиак нь цэвэрлэх үйл явцыг цэвэрлэх, эсвэл үйл явцын улмаас үүсэх ул мөрт бодисын үлдэгдэл болох,

3. Хагас хагас ашгийн салбарт Аммиакийн давуу талууд

Ammonia нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчээс хэд хэдэн давуу талыг санал болгож, ялангуяа дараахь хэсэгт санал болгодог.

3.1 Үр ашигтай азотын эх сурвалж

Аммиак гэдэг нь нитроген кино, допид процесс, нитроген атомын үр дүнтэй, цэвэр азотын хангамж бөгөөд нитроген кино, допингийн үйл явцыг хангаж өгдөг. Энэ нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд микро, нано-масштабын төхөөрөмжийг хуурахад чухал юм. Олон тохиолдолд аммиак нь бусад азотын эх үүсвэрээс илүү хариу үйлдэл, хяналтанд байдаг.

3.2 Маш сайн үйл явцын хяналт

Аммиакийн урвал нь үүнийг нарийн төвөгтэй үйл явцад тодорхой хяналтын түвшин, киноны өтгөн, хальсан дээр байдаг. Аммиак, температурын хурд, урвалын хурдыг тохируулах замаар энэ нь зузаан, жигд байдал, жигд байдал, тэдгээрийн бүтцийн онцлог шинж чанарыг хянах боломжтой.

3.3 өртөг зардал, байгаль орчны найрсаг байдал

Бусад азотын эх үүсвэртэй харьцуулахад аммиак нь харьцангуй бага бөгөөд ammonia нь өртөгтэй харьцуулахад их хэмжээний ханшийн ашиг тустай бөгөөд их хэмжээний хагас масштабтай Цаашилбал, Аммиакийг дахин боловсруулж, дахин ашиглах технологи нь хүрээлэн буй орчны найрсаг байдал улам нэмэгдэж байна.

4. Аюулгүй байдал, хүрээлэн буй орчны бэрхшээлүүд

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгч үйлдвэрлэлийн үйлдвэрлэлд мэдэгдэхүйц үүрэг, аммиак нь болзошгүй аюулыг танилцуулж байна. Өрөөний температурт, аммиаки нь хий, шингэн хэлбэрээр, тэдгээрийн шингэн хэлбэрээр, хортой, хортой, хортой арга хэмжээ авах шаардлагатай.

1. Хадгалах, тээвэрлэх: Аммиакийг бага температур, өндөр температурт, өндөр даралт, өндөр даралтыг ашиглан гоожсон байх ёстой.
2. Үйлгийн аюулгүй байдал: FANDONOUNCOONCUCOONUN UPONDONDONDONDONDONDONDONDONDONDONDONDONDONDONDONDORNOL лого, хулхилал, байгалийн хийцгийн цогцолборын хувцас өмсдөг.
3. Хог хаягдал хийн эмчилгээ: Аммианы хэрэглээ нь хор хөнөөлтэй хог хаягдал хий ялгаруулж, тийм үр дүнтэй хий тэжээлийн эмчилгээний систем нь хүрээлэн буй орчны стандартыг хангах ёстой.

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчийн үйл явцын процессууд үргэлжилж, дээд түвшний гүйцэтгэлийн гүйцэтгэлийн үр дүнг үргэлжилсээр, аммиакийн үүрэг, аммиакийн үүрэг, аммиакийн үүрэг, аммиакийн үүрэг, аммиакийн үүрэг нь өсөлтийг үргэлжлүүлэх болно. Энэ бол ялангуяа өндөр нарийвчлалтай Nano-ийн масштабтай хэлхээний нэгдсэн хэлхээний нэгдсэн хэлхээний чипс, квант тооцоолох чипс, боодлын дэвшилтэт технологи юм. Баяр боловсруулсан, байгаль орчны дүрэм хатуужил нь илүү хүчтэй, аммиакийн үйлдвэрлэл, дахин боловсруулах технологийн технологи нь салбарын ирээдүйн чухал хүчин зүйл болжээ.

Хагас дамжуулагчийн салбар дахь аммиакийн Amamia-ийн өргөдлийг орчин үеийн электроник боловсруулахад хатуу үндэслэлээр хангадаг. Үйлдвэрлэлийн үр ашгийг сайжруулах, үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулах, үйлдвэрлэлийн зардал, жолоодох технологийн инновацийг бууруулах нь зайлшгүй юм. Технологийн дэвшлийн хувьд аммиакийн аппликешнийн аппликешнийн хувьд хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбарыг өргөжиж, илүү их үр ашиг, байгаль орчны тогтвортой байдал руу шилжих болно.

Шувтэр, зайлшгүй шаардлагатай химийн урвалж, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчийн үйлдвэрлэлийн үйлдвэрлэлийн үүрэг гүйцэтгэдэг. Нитридын кино, допинг, боловсруулалт, цэвэрлэгээ хийх / боловсруулалт хийхэд маш чухал юм. Хагас дамжуулагч технологийн дэвшлийн технологи, Аммиакийн програмууд нь технологийн дэвшлийг хөгжүүлэх, талт, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд ихээхэн хувь нэмэр оруулдаг.