Таны халаасандаа байгаа ухаалаг гар утас, таны ширээн дээрх компьютер, таны машины дэвшилтэт системүүд нь дуугүй, онцлог шинж чанаргүй ажил хийх боломжгүй юм. Аж үйлдвэрийн хийн үйлдвэрийн эзэн, Аллен, Аллен, эдгээр эгзэгтэй материалууд нь орчин үеийн технологийн орон зайнд хэрхэн нөлөөлж байгааг харсан. Тэмдэглэл Shen-ийн цогцолборын нишингэ шиг бизнес эрхлэгчдийн хувьд эдгээр хийн нарийн төвөгтэй гинжин хэлхээг ойлгодог бөгөөд эдгээр хий нь шинэ боломжуудыг нээх түлхүүр юм. Энэ нийтлэл нь энэ талбарт хамгийн чухал тоглогчдын нэгэнд таны иж бүрэн гарын авлага юм. Азот Трифлуорид (NF₃)Байна уу. Бид энэхүү хүчирхэг байдлыг demystify болно байгалийн хий, түүний амин чухал үүргийг судлах хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн үйл явц, мөн түүний чанар, хангамжийг бүхэлд нь чухал гэж тайлбарлана уу Электроник үйлдвэрлэл салбарын.

Нитроген Трифлуорид (NF₃) хий яг юу вэ?

Эхлээд харцаар, Азот Трифлуорид, ихэнхдээ түүний химийн томъёо гэж нэрлэдэг NF₃, өөр нэг аж үйлдвэрийн байгалийн хийБайна уу. Энэ бол өнгөгүй, шатамхай биш, бага зэрэг эмзэг үнэртэй байдаг хүрээБайна уу. Гэсэн хэдий ч ертөнцөд Нарийвчилсан үйлдвэрлэлХарий энэ байгалийн хий нь өндөр гүйцэтгэлтэй хэрэгсэл юм. Энэ нь синтетик байдлаар үйлдвэрлэсэн хүрээ нэг азотын атом, гурван гуалинтай атомууд. Түүний хүчний түлхүүр нь энэ бүтцэд оршдог. Өрөөний температурт NF₃ харьцангуй тогтвортой бөгөөд Бум, Илүү их дэгдэмхий хийтэй харьцуулахад тээвэрлэх, бариулахад аюулгүй болгодог.

Энерги нь энерги хэрэглэх үед тохиолддог. Дотор нь өндөр эрчим хүчний нөхцөлд a хагас дамжуулагч гэх мэт үйлдвэрлэлийн хэрэгсэл импортын танхим, NF₃ молекулууд задранаБайна уу. Тэд салж, маш их суллав урвалд орох гуалинтай радикалууд. Үүнийг микроскопийн масштабын хяналттай дэлбэрэлт гэж бод. Эдгээр үнэгүй гуалинтай Атомууд нь хүсээгүй материалыг даван туулах, зайлуулах, зайлуулахад хүргэдэг цоолт мөн түүний нэгдлүүд. Танд хэрэгтэй үед тогтвортой байх нь тогтвортой байх болно урвалд орох Хүссэн үедээ Азотын трифлуоридын хий бодит ертөнцөд үнэлж баршгүй хөрөнгө чип үйлдвэрлэх.

Энэ өвөрмөц хос шинж чанар нь яагаад юм NF₃ орчин үеийн үймэг юм хагас дамжуулагчБайна уу. Түүний тогтворгүй байдал нь мэдээллийн сүлжээнд аюулгүй байдлын талаар аюулгүй байдлыг хангадаг, тэжээллэгцүүлэгчид өндөр үзүүлэлт судалгаа, боловсруулсан материалыг үзүүлдэг, тоног төхөөрөмжтэй материалыг үзүүлэлт, мэргэжлийн чадварыг өгдөг. Бид илүү гүнзгийрч байна, та энэ энгийн сонсогдож байгааг харах болно байгалийн хий дэлхий дээрх хамгийн төвөгтэй төхөөрөмжийг бий болгох боломжийг олгодог.

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбарт мэргэшсэн хий нь яагаад чухал вэ?

Ач холбогдлыг ойлгохын тулд NF₃, бид эхлээд илүү өргөн хүрээг үнэлэх хэрэгтэй хий нь зайлшгүй шаардлагатай хувьд шалтгаан хагас дамжуулагч үйлдвэрБайна уу. Үйлдвэрлэх Нэгдсэн хэлхээний Тэнгэрт тэшүүрээр барих нь таны өнгөц зургийн хэмжээ юм. Энэ бол A дээр янз бүрийн материалын хэт нимгэн давхар давхар давхар давхарга нэмж, хасах үйл явц юм цоолт ХушБайна уу. Нэг алхам бүрийг нүцгэн бий болгох Хуш эцсийн чип рүү, мэргэжлийн хяналттай уур амьсгалд найддаг цалин төлөх.

Эдгээр хий нь хэд хэдэн чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Зарим нь гэх мэт Арагсгай ба хиголт, тогтвортой бус, реактив бус орчныг бий болгохын тулд инерцийн операторын хий болгон ашигладаг. Бусад нь ашиглагддаг өөрчлөлт, газар байгалийн хий ашиглаж байна хадгаламж Материалын нимгэн хальс ХушБайна уу. Жишээлбэл, химийн хувьд Манан Өөрчлөлт (Хувьлахлалберк), хий чип хэлхээний нэг хэсэг болох хатуу хальсыг үүсгэдэг. Дараа нь eCoging хий ялгаруулдаг NF₃, эдгээр давхаргад хэв маягийг нарийвчлан шийдвэрлэхэд ашигладаг, цахилгаан эрчим хүчний нарийн замыг бий болгоход ашигладаг.

Тогтмол биш,Өндөр цөөсөн байдал эдгээр янз бүрийн хий, бүхэлд нь нийлүүлэх үйлдвэрлэлийн үйл явц зогсоох болно. Бүр хасах магадлалгүй дотор байгалийн хий нэг сая долларын үнэтэй, нэг сая долларын үнэтэй Энэ бол яагаад хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчид хийн ханган нийлүүлэгчдийн чанар, найдвартай байдалд маш мэдрэмтгий байдаг. Цэвэр ариун байдал байгалийн хий чанарыг шууд орчуулж, Үйлдвэрлэлийн гарц эцсийн бүтээгдэхүүн.

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчийн үйл явцад NF₃ evency хэрхэн ашигладаг вэ?

Азот Трифлуорид хоёр анхан шатны, чухал хэрэглээтэй Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн үйл явц: плазмын echetching ба chamber цэвэрлэх. Хоёулаа өндөр гүйцэтгэлтэй микроч, процессороос бий болгоход зайлшгүй шаардлагатай Nand флэш санах ой.

Нэгдүгээрт, eching-ийн талаар ярилцъя. Материалын давхаргын дараа цоолт дүрмүүд хадгалагдаж байгаа a Хуш, хэв маягийг гэрэл ашиглан төсөөлж байна. Тухайлах ялгац гишүүн etгыг туг Процесс дараа нь материалыг хамгаалалтгүй газар нутгаас хасдаг. NF₃ нь танхимд нэвтрүүлж, бий болгохыг эрмэлздэг импортын-Ажилтай үүл хурхи тоосонцор ба реактив гуалинтай радикалууд. Эдгээр радикалууд нь нарийн бөмбөгдөлттэй Хуш гадаргуу, хариу үйлдэл үзүүлэх цоолт дотор нь хувиргах а нарийн хүрээ (цоолт теттрлуорид) танхимаас амархан шахаж болох юм. Энэ процессын нарийвчлал бол оюун ухаандаа хуурах, инженерүүд нь хүний ​​үснээс нимгэн байдаг.

Хоёр дахь нь, илүү нийтлэг, нитроген трифлуорид ашиглах нь a хийн цэврахБайна уу. Явцад Химийн уурын элэгдэл (Хувьлахлалберк) үйл явц, нимгэн хальснууд дээр ургадаг Хуш, хүсээгүй материал нь процессын танхимын дотоод ханан дээр бий болдог. Энэ ерөнхий засал, ихэвчлэн хийсэн цоолт эсвэл цахиурын нитридийг боловсруулж, боловсруулах хооронд бүрэн арилгана Хуш эсвэл вафлигийн багц. Хэрэв үгүй ​​бол энэ барилга нь унтарч, дараагийн удаа Хуш, согогийг үүсгэдэг. Энд NF₃ хоосон танхим руу шахдаг импортын гал авалцдаг. Хүчирхэг гуалинтай радикалууд нь танхимын ханыг цэвэрлэж, хатуу, хатуу хөрвүүлэх ерөнхий засал тай нарийн барар амархан арилгадаг. Энэхүү цэвэрлэгээний мөчлөг нь арчлахад чухал ач холбогдолтой үйлдвэрлэлийн орчны цэвэр байдал, өндөр байдлыг хангах Үйлдвэрлэлийн гарц.

NF₃-ийг өөр хувилбартай харьцуулахад илүү сайн цэвэрлэгээний хий юу хийдэг вэ?

Олон жилийн турш хагас дамжуулагч үйлдвэр нүүрстөрөгчийн театрарокароконууд (PFCS) дээр тулгуурласан (PFCS) -д найдаж байна (CF₄) ба hexafluoroetoethane (C₂f₆) цэвэрлэх, цэвэрлэхэд зориулагдсан. Үр дүнтэй байх үед эдгээр нэгдлүүд нь томоохон дутагдалтай ирэв: тэд маш урт удаан хугацааны хүлэмжийн хий юм. Жишээлбэл, c₂f₆ нь a Дэлхийн дулаарлын өндөр (GWP) ба 10,000 жилийн турш уур амьсгалд тэсвэртэй байж болно. Байгаль орчны журам чангарах тусам салбар илүү сайн шийдэл хэрэгтэй.

Энэ бол хаан NF₃ тодорхой ялагч болж гарч ирэв. Хооронд Азот Трифлуорид нь а хүч боловсруулсан найрамна, энэ нь илүү богино агаар мандлын насан туршдаа (500 орчим жил) байдаг. Илүү чухал бөгөөд энэ нь цэвэрлэх үйл явцад илүү үр дүнтэй байдаг. Дид нь импортын танхим, илүү өндөр хувь NF₃ Молекулууд реактивийг суллахын тулд задардаг гуалинтай PFC-тэй харьцуулахад. Энэ нь бага гэсэн үг юм undaved байгалийн хий танхимаас ядарсан байна. Орчин үеийн хагас дамжуулагч fabs бараг бүгдийг нь устгадаг бамбай системийг (scrubbers) суулгана undaved NF₃ хортой барар чөлөөлөхөөс өмнө хийнүүд.

Илүү өндөр үр ашгийн хослол, илүү үр дүнтэй устгал гэсэн үг нь бодит юм хүлэмжийн хийн ялгаруулалт ашиглахаас NF₃ хуучин PFC хийнээс хамаагүй бага байна. Энэхүү дээд зэргийн гүйцэтгэл нь түүний өргөн хүрээг өргөжүүлэх түлхүүр юм.

Өндөр цэвэрлэг байдал Азроген Трифлуорид хэрхэн ажилладаг вэ?

Үйлдвэрлэгчийн хувьд би танд үйлдвэрлэж байгаагаа хэлж чадна NF₃ нь нарийн төвөгтэй бөгөөд маш их хяналттай байдаг Үйлдвэрлэлийн явцБайна уу. Зорилго нь гайхалтай цэвэр цэвэр бүтээгдэхүүнийг бий болгох эцсийн бүтээгдэхүүн үүсгэх явдал юм магадлалгүй сүйрэлд хүргэж болно хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлБайна уу. Энэ үйл явц нь маш их реактив химийн бодисыг зохицуулахыг шаарддаг гуалинтай.

Тухайлах ялгац гишүүн Nf₃ үйлдвэрлэл ихэвчлэн хариу үйлдэл үзүүлэхэд ашигладаг шувтэр (а хүрээ азот агуулсан) эсвэл аммиак бүУс элементтэй нийлмэл гуалинтай реактор дахь хий өндөр түвшингүүдБайна уу. Энэ урвал нь хийн холимог үүсгэдэг NF₃, undaved материаллаг материал, янз бүрийн дайвар бүтээгдэхүүн. Жинхэнэ сорилт, ханган нийлүүлэгчийн мэргэшсэн мэргэжилтнүүд нь үнэхээр шоу нэвтрүүлэг юм ээлжцэм дараахь үе шат.

Түүхий нарийн Холимог хэд хэдэн дамждаг ээлжцэм хүсээгүй нэгдлүүдийг арилгах алхамууд. Энэ нь ихэвчлэн цуврал скрабийг хамардаг, А уудиорлох, криоген нэрээр үйл явц. Тухайлах ялгац гишүүн нэрэх үйл явц, ялангуяа, тусгаарлагдсан цэг дээр үндэслэн өөр өөр хий ялгаруулах, хэт бага температурыг тусгаарлах, тусгаарлах NF₃ үлдсэн хольцоос. Алхам бүрийг давж гардаг Нарийвчилсан аналитик тоног төхөөрөмжийг хянаж байхын тулд эцсийн аналитик тоног төхөөрөмжийг хянадаг хагас дамжуулагч салбарын. Энэхүү чанарын хяналтанд тууштай байх нь найдвартай ханган нийлүүлэгчийг бусад хүмүүсээс тусгаарладаг.

NF₃ GAVE-д аюулгүй, харьцах нь юу вэ?

Аюулгүй байдал нь аж үйлдвэрийн хамгийн чухал ач холбогдолтой юм байгалийн хий бизнес. Хооронд NF₃ Шатамхай бус, харьцангуй тогтвортой, өрөөний температурт, ялангуяа өндөр температурт хүчтэй исэлдүүлэгч агент юм. Энэ нь шатамхай материалаар хүчтэй хариу үйлдэл үзүүлэх бөгөөд болгоомжтой харьцах шаардлагатай гэсэн үг юм. Үндсэн эрсдэл бол түүний хортой байдал; амьсгалах байгалийн хий хортой, тиймээс зохих ёсоор агааржуулалт, хувийн хамгаалалт, хувийн хамгаалалтын хэрэгсэл нь зайлшгүй шаардлагатай байдаг Үйлдвэрлэлийн газар.

Манай үйлдвэрээс гаргасан бүх тэжээлийн сүлжээ хагас дамжуулагч Фаб, аюулгүй байдлын эргэн тойронд баригдсан. NF₃ өндөр даралтанд тусгайлан боловсруулсан ган цилиндрт хүргэдэг. Эдгээр цилиндрүүд нь аюулгүй байдлыг хангах үүднээс хатуу тест, гэрчилгээг дагаж мөрддөг байгалийн хийБайна уу. Нийлүүлэгчийн хувьд бид зохих аюулгүй байдлын мэдээллийн хуудсыг (SDS), суралцаж, холболт, харьцах журамд сургалт явуулдаг. Үүнд зааварчилгаа орно хувьсгал илрүүлэх системийг хянах, хянах.

Аюулгүй байдлын бүртгэлтэй, найдвартай, найдвартай, найдвартай, найдвартай, найдвартай хангамжийн сүлжээ нь батлагдсан ханган нийлүүлэгчтэй хамтран ажиллах нь батлагдсан ханган нийлүүлэгч юм. Нийлүүлэгчээс тодорхойгүй харилцаа холбоо эсвэл аюулгүй байдлын тодорхой протокол нь томоохон улаан туг юм. Бид зөвхөн бүтээгдэхүүн өгөхгүй, харин логистик дэмжлэг, аюулгүй байдлын мэргэжил, аюулгүй байдлын талаархи бүрэн үйлчилгээ, бүрэн үйлчилгээг багтаасан бүрэн үйлчилгээ байгалийн хий ирэх бөгөөд алхам тутамд аюулгүйгээр зохицуулдаг.

Нитроген Трифлуорид хүлэмжийн хий? Хүрээлэн буй орчны нөлөөллийг ойлгох.

Байгаль орчны талаар тунгалаг байх нь маш чухал юм NF₃Байна уу. Тиймээ, Азот Трифлуорид нь хүчтэй хүлэмжийн хийБайна уу. Уур амьсгалын өөрчлөлтийн самбар (IPCC) нь дэлхийн дулаарлын боломжит (GWP) -ийг нүүрстөрөгчөөс илүү их хэмжээгээр тооцсон болно дүрмүүд 100 жилийн хугацаанд. Энэ бол салбар их нухацтай явагддаг баримт юм.

Гэсэн хэдий ч түүх тэнд дуусдаггүй. Тухайлах ялгац гишүүн хүрээлэн буй орчинд үзүүлэх нөлөө Бенигийн боломжоос хамаарахгүй, гэхдээ энэ нь уур амьсгалд үнэндээ хэр их гарсан бэ. Өмнө дурьдсанчлан, NF₃ өндөр үр дүнтэй байдаг. Орчин үеийн хагас дамжуулагч байгууламж, өргөн уудам дийлэнх нь ашиглуур ашиглаж байсан үйлдвэрлэлийн явцад хэрэглэсэн эсвэл устгадаг. Тухайлах ялгац гишүүн импортын үүнийг эвдэж, undaved байгалийн хий шавхагдсан нь зайлшгүй шаардлагатай систем рүү илгээгддэг. Эдгээр систем нь маш үр дүнтэй бөгөөд ихэнхдээ үлдсэн 99% -ийг устгадаг NF₃.

Үйлдвэрийн салбарыг PFCS-ээс шилжүүлэх NF₃, зайлуулах технологийн өргөн хэрэглээний тусламжтайгаар нэгтгэсэн, үнэндээ цэвэр бууралтад хүргэсэн хүлэмжийн хийн ялгаруулалт үйлдвэрлэлийн нэгж бүрт. Хариуцлагатай хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчид ба хийн нийлүүлэгчид нь ялгаруулалтыг багасгахыг баталгаажуулахын тулд хамтран ажилладаг. Үүнд хамгийн бага хэмжээг ашиглахын тулд цэвэрлэх ажлыг оновчтой болгоход орно байгалийн хий гүйцэтгэлийн гүйцэтгэлийн хувьд зайлшгүй шаардлагатай, зайлуулах системийг хадгалах, хадгалах. Тиймээс, NF₃ нь хүчтэй хүлэмжийн хий лабораторид, түүний бодит байгаль орчны ул мөр хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгч үүнийг сайтар удирдаж, үүнийг сольж байсан хувилбаруудаас бага хэмжээгээр удирддаг.

Том хагас дамжуулагч FABS-д зориулсан сайтын хийн үеийн үйл ажиллагаа юу вэ?

Орчин үеийн масштаб хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгч амьсгалж байна. Мега-фаб гэж нэрлэгддэг хамгийн том байгууламжууд, асар их хэмжээний хийн хэмжээгээр мэддэг. Нитроген гэх мэт зарим хийн хувьд, тэдгээрийг мянга мянган цилиндрээр ачааны машинаас илүү үр дүнтэй байлгахад илүү үр дүнтэй байдаг. Үүнийг нэрлэдэг газар дээр нь Үүрийн үе. Өндөр мэргэшсэн, реактив байгалийн хий шиг NF₃, бага зэрэг өөр загвар гарч ирж байна: газар дээр нь цэвэршүүлэх, дүн шинжилгээ хийх.

Бүрэн байх үед Nf₃ үйлдвэрлэл Фаб дээр нь түүний нарийн төвөгтэй байдлаас шалтгаалан тодорхойлогддог, томоохон хэмжээний хэрэглэгчид ихэвчлэн боловсронгуй байдаг газар дээр нь хийн менежментийн систем. Их хэмжээний хангамж NF₃ FAB-д хүргэж, дараа нь энэ систем нь эцсийн шатыг гүйцэтгэдэг ээлжцэм мөн өмнөх үеийн тасралтгүй чанарын шинжилгээ байгалийн хий үнэтэй үйлдвэрлэлийн хэрэгслийг оруулдаг. Энэ нь чанарын хяналтын эцсийн давхаргыг өгдөг бөгөөд нийлүүлэлтийн шугамаас ямар нэгэн болзошгүй бохирдолыг баталж байна. Энэ арга нь их хэмжээний худалдан авалтын эдийн засгийн үр өгөөжийг чанарын баталгаатайгаар нэгтгэдэг газар дээр нь удирдлага.

Эдгээр хувьсан хувьцааны загваруудыг ойлгох нь чухал юм. Нийлүүлэгчийн хувьд бид зөвхөн цилиндрийг дүүргэхээс гадна манай үйлчилгээг өргөжүүлсэн. Бид одоо ажиллаж байна дэлхийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчид цөөн тооны хийн хүргэлт, менежментийн шийдлийг зохион бүтээх, хэрэгжүүлэх. Үүнд зориулсан бүтээгдэхүүн томоохон үйлчлүүлэгч, мэргэшсэн логистик, эсвэл тэдгээртэй нэгтгэх хүчин чадал газар дээр нь системүүд. Шаардагдах хэрэгцээг хангаж буй уян хатан, найдвартай хангамжийн сүлжээг хангах тухай юм 21-р зууны үйлдвэрлэлБайна уу. Энэ бол бидний стратегийн гол хэсэг бөгөөд ялангуяа үйлчлүүлэгчдэд ач холбогдолтой үйлчлүүлэгчдэд үйлчилдэг үйлдвэрлэлийн чадвар.

NF₃ цэвэр байдал нь чип үйлдвэрлэхэд үйлдвэрлэлийн ургацад хэрхэн нөлөөлдөг вэ?

Дахь хагас дамжуулагч Дэлхий, "ЗУРАГ" нь бүх зүйл юм. Энэ бол дангаараа үйлдвэрлэсэн сайн, ажлын чадварын хувь хэмжээ юм цоолт ХушБайна уу. Өндөр ургац гэдэг нь өндөр ашиг олох чадвар; Бага ургац нь санхүүгийн хувьд сүйрэлд хүргэж болзошгүй юм. Үйл явцын хийн цэвэр байдал, ялангуяа реактив байгалийн хий шиг NF₃, шууд болон эрс нөлөө үзүүлдэг Үйлдвэрлэлийн гарц.

Төсөөлөөд үз дээ магадлалгүй жижиг жижиг хэсгүүд шиг (H₂o) эсвэл өөр нарийн хүрээ холимог NF₃Байна уу. Мэдрэмтгий etch процессын үеэр магадлалгүй химийн урвалд саад болж, чипийн хэлхээний микроскопийн гажиг үүсгэдэг. Энэ нь хааж магадгүй юм etгыг туг, материаллаг байж болохгүй, эсвэл хэт их материалыг зайлуулах, эсвэл хэт их материалыг зайлуулахад хүргэдэг. Аль ч тохиолдолд, үүний үр дүнд Нэгдсэн хэлхээний эцсийн шалгалтаа биелүүлнэ. Нэг чип дээр сая сая транзистор хийж байгаа бол тэр ч байтугай "алуурчин согог" -аас үүдэлтэй магадлалгүй бүх чипийг ашиггүй болгож чадна.

Ийм учраас бид маш их хөрөнгө оруулалт хийдэг. Баталгаажуулсан, баталгаажуулах, хэт ихӨндөр цөөсөн байдал NF₃, бид үйлчлүүлэгчиддээ итгэх итгэлийг өгдөг байгалийн хий согогын эх үүсвэр байх ёсгүй. Төвлөрлийг хянах хэсгээс бүрдэх бүрэлдэхүүн хэсэг тус бүрт үйлдвэрлэлийн үйл явц тогтвортой, давтагдах боломжтой. Тогтвортой үйл явц нь урьдчилан таамаглах боломжтой, өндөрт хүргэдэг Үйлдвэрлэлийн гарц, энэ нь бүхэнд эцсийн зорилго юм хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгч. Ханган нийлүүлэгчийн үүрэг Өндөр цэвэр ариун байдлын тусгай хий хувьсагчдыг арилгах, эвгүй чанарын бүтээгдэхүүнийг арилгах явдал юм.

Ниттрен Трифлуоридын ханган нийлүүлэгчээс юу хайх хэрэгтэй вэ?

Тэмдэглэгээний ажилтны ажилтны хувьд зохих ханган нийлүүлэгчийг сонгохдоо зөв ханган нийлүүлэгчийг сонгох NF₃ Үнэийг харьцуулж үзье. Муу түншлэлийн ачилтын саатал, чанарын асуудал, чанар муутай холбоо, харилцаа холбоо муу байна. Миний туршлага дээр үндэслэн энд анхаарах гол хүчин зүйлүүд байна.

Нэгдүгээрт, баталгаажуулах чанар, гэрчилгээ. Итгэмжлэгдсэн хөрш нийлүүлэгч нь цэвэр байдлын түвшинг (COA) -ийг ачилт (COA) -ийг агуулсан, аливаа илрүүлсэн хольцыг жагсаах болно. Тэд ISO 9001 гэх мэт олон улсын стандартад нийцсэн байх ёстой. Шинжлэх ухааны чадварын талаар асуу. Шаардагдах түвшинг илрүүлэх чадварыг илрүүлэх тоног төхөөрөмж бий юу? хагас дамжуулагч програмууд уу?

Хоёрдугаарт, нийлүүлэлтийн сүлжээний найдвартай байдал, ил тод байдал. Нийлүүлэгч нь саатал гарахаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд бат бөх логистик сүлжээг харуулж чадах уу? Тэд илүү ихийг бий юу? үйлдвэрлэлийн чадвар Тогтвортой хангамжийг хангах уу? Харилцаа холбоо нь түлхүүр юм. Таны ханган нийлүүлэгч нь идэвхтэй, ачилтын шинэчлэлтийг хангаж, асуултанд хариулахад бэлэн байгаа бөгөөд асуултанд хариулахад бэлэн байх ёстой. Энэ нь үр ашиггүй харилцааны өвдөлтийн цэгийг шууд хаядаг.

Эцэст нь техникийн мэдлэг олж авах. Сайн ханган нийлүүлэгч нь зөвхөн бүтээгдэхүүнийг зардаггүй; Тэд шийдлийг гаргаж өгдөг. Тэд таны өргөдлийг ойлгох, техникийн дэмжлэг үзүүлэх боломжтой байх ёстой. Тэд аюулгүй байдал, харьцах талаар мэдлэгтэй байх ёстой хийн програмуудБайна уу. Мэдлэгтэй түншийн үүрэг гүйцэтгэж чадах ханган нийлүүлэгч нь зөвхөн борлуулагч юм. Энэхүү туршлага бол урт хугацааны, ашигтай харилцааны үндэс суурь юм. Зөвхөн манай бүх үйлчлүүлэгчдэд энэ түнш байхыг хичээдэг байгалийн хий Гэхдээ түүнтэй хамт ирдэг сэтгэлийн амар амгалан.

Түлхүүр takeaways

• Шаардлагатай хэрэгсэл: Азот Трифлуорид (NF₃) чухал мэргэжил юм байгалийн хий плазма echching болон chamber цэвэрлэхэд ашигладаг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн үйл явц.
• Дээд зэргийн гүйцэтгэл: NF₃ илүү үр ашигтай бөгөөд энэ нь хуучин PFC хийнээс хямд үр дүнтэй, өндөр ашиг тустай, uplizations-аас бага үр дүнтэй нөлөөлдөг.
• Цэвэрлэгээ нь ашиг орлого: Хэт өндөр цэвэр ариун байдал NF₃ тохиролцоогүй байна. Уламжлалт хольц нь a дээр согог үүсгэдэг цоолт Хуш, эрс бууруулах Үйлдвэрлэлийн гарц ба ашиг орлого чип үйлдвэрлэх.
• Аюулгүй байдал, харьцах нь түлхүүр: Тогтвортой байх үед NF₃ нь хортой, исэлдэлт юм байгалийн хий мэргэшсэн харьцах, баталгаажсан цилиндр, аюулгүй байдлын протоколын гүн гүнзгий ойлголтыг шаарддаг.
• Нийлүүлэгчийн сонголт нь чухал юм. Сонгохдоо NF₃ нийлүүлэгч нь нийлүүлэгч, шалгаж, баталгаажуулах, тохь тухтай байдлын найдвартай байдал, ил тод байдал, ил тод, тод харилцаа,