ആധുനിക ലോകം ചിപ്പുകളിൽ പ്രവർത്തിക്കുന്നു. നിങ്ങളുടെ പോക്കറ്റിലെ സ്‌മാർട്ട്‌ഫോൺ മുതൽ എയ്‌റോസ്‌പേസ് എഞ്ചിനീയറിംഗിലെ മാർഗ്ഗനിർദ്ദേശ സംവിധാനങ്ങൾ വരെ, ചെറുത് അർദ്ധചാലക ഉപകരണം ഡിജിറ്റല് യുഗത്തിലെ പാടാത്ത നായകനാണ്. എന്നാൽ നായകൻ്റെ പിന്നിലെ നായകൻ എന്താണ്? പ്രത്യേക വാതകങ്ങളുടെ അദൃശ്യവും പലപ്പോഴും അസ്ഥിരവുമായ ലോകമാണിത്. പ്രത്യേകം, ഫ്ലൂറിൻ രസതന്ത്രം എന്നതിൽ ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം മാറ്റിസ്ഥാപിക്കാൻ കഴിയാത്ത പ്രക്രിയ.

നിങ്ങൾ ഒരു വിതരണ ശൃംഖല കൈകാര്യം ചെയ്യുകയാണെങ്കിലോ ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരം നിരീക്ഷിക്കുകയാണെങ്കിലോ അർദ്ധചാലകം ഫൗണ്ടറി, പിശകിൻ്റെ മാർജിൻ പൂജ്യമാണെന്ന് നിങ്ങൾക്കറിയാം. ഈർപ്പത്തിൻ്റെ ഒരു കുതിച്ചുചാട്ടം അല്ലെങ്കിൽ ഒരു മൈക്രോസ്കോപ്പിക് കണിക കോടിക്കണക്കിന് ഡോളർ ഉൽപാദനത്തെ നശിപ്പിക്കും. ഈ ലേഖനം അതിൻ്റെ റോളിലേക്ക് ആഴത്തിൽ നീങ്ങുന്നു ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ വാതകങ്ങൾ-നാം എന്തിനാണ് അവ ഉപയോഗിക്കുന്നത്, അവയെ ഫലപ്രദമാക്കുന്ന നിർദ്ദിഷ്ട രസതന്ത്രം, സപ്ലൈ ചെയിൻ സ്ഥിരതയുടെയും ശുദ്ധതയുടെയും നിർണായക പ്രാധാന്യം. ഇവ എങ്ങനെയെന്ന് ഞങ്ങൾ അന്വേഷിക്കും ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതകങ്ങൾ ൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു etch ഡിപ്പോസിഷൻ ഘട്ടങ്ങളും, എന്തിനാണ് വിശ്വസനീയമായ പങ്കാളിയിൽ നിന്ന് അവ സോഴ്‌സ് ചെയ്യുന്നത് എന്നത് ഈ വർഷം നിങ്ങൾക്ക് എടുക്കാൻ കഴിയുന്ന ഏറ്റവും പ്രധാനപ്പെട്ട തീരുമാനമാണ്.

എന്തുകൊണ്ടാണ് അർദ്ധചാലക വ്യവസായം ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ വാതകങ്ങളെ ആശ്രയിക്കുന്നത്?

മനസ്സിലാക്കാൻ അർദ്ധചാലക വ്യവസായം, ആവർത്തനപ്പട്ടിക നോക്കണം. സിലിക്കൺ ക്യാൻവാസ് ആണ്, പക്ഷേ ഫ്ലൂറിൻ ബ്രഷ് ആണ്. ദി അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം പ്രക്രിയയിൽ മെറ്റീരിയലുകളുടെ പാളികൾ നിർമ്മിക്കുകയും സർക്യൂട്ടുകൾ സൃഷ്ടിക്കുന്നതിനായി അവയെ തിരഞ്ഞെടുത്ത് നീക്കം ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു. ഈ നീക്കം ചെയ്യൽ പ്രക്രിയയെ എച്ചിംഗ് എന്ന് വിളിക്കുന്നു.

ഫ്ലൂറിൻ ഏറ്റവും ഇലക്ട്രോനെഗറ്റീവ് മൂലകമാണ്. ലളിതമായി പറഞ്ഞാൽ, ഇലക്ട്രോണുകൾക്ക് അവിശ്വസനീയമാംവിധം വിശക്കുന്നു. ഞങ്ങൾ പരിചയപ്പെടുത്തുമ്പോൾ ഫ്ലൂറിൻ വാതകം അല്ലെങ്കിൽ ഫ്ലൂറിനേറ്റഡ് സംയുക്തങ്ങൾ ഒരു പ്ലാസ്മ ചേമ്പറിലേക്ക്, ഫ്ലൂറിൻ ആറ്റങ്ങൾ സിലിക്കണുമായി ആക്രമണാത്മകമായി പ്രതികരിക്കുന്നു സിലിക്കൺ ഡയോക്സൈഡ്. ഈ രാസപ്രവർത്തനം ഖര സിലിക്കണിനെ എളുപ്പത്തിൽ പമ്പ് ചെയ്യാവുന്ന അസ്ഥിര വാതകങ്ങളാക്കി (സിലിക്കൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡ് പോലെ) മാറ്റുന്നു. ഈ കെമിക്കൽ റിയാക്‌റ്റിവിറ്റി കൂടാതെ, ആധുനികതയ്‌ക്ക് ആവശ്യമായ മൈക്രോസ്കോപ്പിക് ട്രെഞ്ചുകളും കോൺടാക്റ്റ് ഹോളുകളും സൃഷ്ടിക്കാൻ ഞങ്ങൾക്ക് കഴിയില്ല. ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾ.

ഇൻ ഉയർന്ന അളവിലുള്ള നിർമ്മാണം, വേഗതയും കൃത്യതയുമാണ് എല്ലാം. ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ വാതകങ്ങൾ ഒരു മെറ്റീരിയലിന് താഴെയുള്ള പാളിക്ക് കേടുപാടുകൾ വരുത്താതെ മുറിക്കാനുള്ള സെലക്ടിവിറ്റി വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നതോടൊപ്പം, ത്രൂപുട്ട് നിലനിർത്താൻ ആവശ്യമായ ഉയർന്ന എച്ച് നിരക്കുകൾ നൽകുക. ഇത് സൂക്ഷ്മമായ ബാലൻസിങ് പ്രവർത്തനമാണ് രസതന്ത്രം ഭൗതികശാസ്ത്രവും.

ഹൈ-പ്രിസിഷൻ എച്ചിംഗിന് ഫ്ലൂറിൻ കെമിസ്ട്രിയെ ഇത്രമാത്രം സവിശേഷമാക്കുന്നത് എന്താണ്?

നിങ്ങൾ ചോദിച്ചേക്കാം, എന്തുകൊണ്ട് ക്ലോറിനോ ബ്രോമിനോ ഉപയോഗിക്കരുത്? ചില പാളികൾക്കായി ഞങ്ങൾ ചെയ്യുന്നു. എന്നിരുന്നാലും, ഫ്ലൂറിൻ രസതന്ത്രം സിലിക്കൺ അധിഷ്‌ഠിത സാമഗ്രികൾ കൊത്തുപണി ചെയ്യുമ്പോൾ അതുല്യമായ നേട്ടം നൽകുന്നു. സിലിക്കണും ഫ്ലൂറിനും തമ്മിലുള്ള ബന്ധം അവിശ്വസനീയമാംവിധം ശക്തമാണ്. എപ്പോൾ ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ പ്ലാസ്മ വേഫറിൽ പതിക്കുന്നു, പ്രതികരണം ബാഹ്യതാപവും സ്വാഭാവികവുമാണ്.

മാജിക് സംഭവിക്കുന്നത് പ്ലാസ്മ. ഒരു അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയ ചേമ്പർ, കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡ് (CF4) അല്ലെങ്കിൽ സൾഫർ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡ് (SF6) പോലുള്ള സ്ഥിരതയുള്ള വാതകത്തിലേക്ക് ഞങ്ങൾ ഉയർന്ന ഊർജ്ജം പ്രയോഗിക്കുന്നു. ഇത് വാതകത്തെ വിഘടിപ്പിക്കുകയും റിയാക്ടീവ് പുറത്തുവിടുകയും ചെയ്യുന്നു ഫ്ലൂറിൻ റാഡിക്കലുകൾ. ഈ റാഡിക്കലുകൾ അതിൻ്റെ ഉപരിതലത്തെ ആക്രമിക്കുന്നു വേഫർ.

"ഇതിൻ്റെ കൃത്യത etch ചിപ്പിൻ്റെ പ്രകടനം നിർവ്വചിക്കുന്നു. നിങ്ങളുടെ ഗ്യാസ് പ്യൂരിറ്റിയിൽ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകൾ സംഭവിക്കുകയാണെങ്കിൽ, നിങ്ങളുടെ ഇഷ് റേറ്റ് ചാഞ്ചാടുകയും നിങ്ങളുടെ വിളവ് തകരുകയും ചെയ്യുന്നു."

എന്ന ആശയത്തിലേക്ക് ഇത് നയിക്കുന്നു അനിസോട്രോപിക് കൊത്തുപണി-വശം കഴിക്കാതെ നേരെ വെട്ടി. മിക്സിംഗ് വഴി ഫ്ലൂറിൻ മറ്റ് കൂടെ പ്രോസസ്സ് വാതകങ്ങൾ, എഞ്ചിനീയർമാർക്ക് ട്രെഞ്ചിൻ്റെ പ്രൊഫൈൽ തികച്ചും നിയന്ത്രിക്കാനാകും. ചെറിയ നോഡുകളിലേക്ക് (7nm, 5nm, താഴെ) നീങ്ങുമ്പോൾ ഈ കഴിവ് അത്യന്താപേക്ഷിതമാണ്, അവിടെ ഒരു നാനോമീറ്റർ വ്യതിയാനം പോലും പരാജയമാണ്.

അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിലെ വാതകങ്ങൾ എങ്ങനെയാണ് നൂതനമായ എച്ച് പ്രക്രിയകളെ നയിക്കുന്നത്?

എറ്റ്ച്ച് പ്രക്രിയകൾ യുടെ ശിൽപ ഉപകരണങ്ങളാണ് ഫാബ്സ്. രണ്ട് പ്രധാന തരങ്ങളുണ്ട്: വെറ്റ് എച്ച് (ദ്രവ രാസവസ്തുക്കൾ ഉപയോഗിച്ച് ഹൈഡ്രജൻ ഫ്ലൂറൈഡ്) കൂടാതെ ഡ്രൈ എച്ച് (പ്ലാസ്മ ഉപയോഗിച്ച്). ആധുനികം വിപുലമായ അർദ്ധചാലകം നോഡുകൾ മിക്കവാറും ഡ്രൈ പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗിനെ ആശ്രയിക്കുന്നു, കാരണം ഇത് കൂടുതൽ കൃത്യമാണ്.

ഒരു സാധാരണ ൽ പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് ക്രമം, എ ഫ്ലൂറിനേറ്റഡ് വാതകം പരിചയപ്പെടുത്തുന്നു. ഉപയോഗിച്ച വൈവിധ്യങ്ങൾ നോക്കാം:

• കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡ് (CF4): ഓക്സൈഡ് എച്ചിംഗിനുള്ള വർക്ക്ഹോഴ്സ്.
• ഒക്ടഫ്ലൂറോസൈക്ലോബ്യൂട്ടെയ്ൻ (C4F8): തോടിൻ്റെ പാർശ്വഭിത്തികളിൽ ഒരു പോളിമർ പാളി നിക്ഷേപിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു, അടിഭാഗം ആഴത്തിൽ കൊത്തിവച്ചിരിക്കുമ്പോൾ അവയെ സംരക്ഷിക്കുന്നു.
• സൾഫർ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡ് (SF6): വളരെ വേഗത്തിലുള്ള സിലിക്കൺ എച്ചിംഗ് നിരക്കുകൾക്ക് പേരുകേട്ടതാണ്.

തമ്മിലുള്ള ഇടപെടൽ പ്ലാസ്മ കൂടാതെ അടിവസ്ത്രം സങ്കീർണ്ണമാണ്. അയോണുകളാൽ ശാരീരിക ബോംബാക്രമണവും റാഡിക്കലുകളുടെ രാസപ്രവർത്തനവും ഇതിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു. ദി അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ ഉപകരണങ്ങൾ ഈ വാതകങ്ങളുടെ ഒഴുക്ക്, മർദ്ദം, മിശ്രിതം എന്നിവ കർശനമായി നിയന്ത്രിക്കണം. എങ്കിൽ പ്രത്യേക വാതകം ഈർപ്പം പോലെയുള്ള മാലിന്യങ്ങൾ അടങ്ങിയിരിക്കുന്നു, ഇത് ഡെലിവറി ലൈനുകളിലോ ചേമ്പറിലോ ഹൈഡ്രോഫ്ലൂറിക് ആസിഡ് ഉണ്ടാക്കാം, ഇത് നാശത്തിനും കണികാ വൈകല്യങ്ങൾക്കും കാരണമാകുന്നു.

എന്തുകൊണ്ടാണ് നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡ് ചേംബർ ക്ലീനിംഗ് ആപ്ലിക്കേഷനുകളുടെ രാജാവ്?

അതേസമയം കൊത്തുപണിയും വൃത്തിയാക്കലും കൈകോർത്ത് പോകുക, നിർമ്മാണ ഉപകരണങ്ങൾ വൃത്തിയാക്കുന്നത് വേഫർ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുന്നത് പോലെ പ്രധാനമാണ്. സമയത്ത് കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (CVD), സിലിക്കൺ അല്ലെങ്കിൽ ടങ്സ്റ്റൺ പോലുള്ള വസ്തുക്കൾ വേഫറിൽ നിക്ഷേപിക്കുന്നു. എന്നിരുന്നാലും, ഈ സാമഗ്രികൾ ചേമ്പറിൻ്റെ ചുവരുകളിലും പൂശുന്നു. ഈ അവശിഷ്ടം അടിഞ്ഞുകൂടുകയാണെങ്കിൽ, അത് അടരുകളായി വേഫറുകളിലേക്ക് വീഴുകയും വൈകല്യങ്ങൾ ഉണ്ടാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

നൽകുക നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡ് (NF3).

വർഷങ്ങൾക്ക് മുമ്പ്, വ്യവസായം ഉപയോഗിച്ചു ഫ്ലൂറിനേറ്റഡ് ഹരിതഗൃഹം ചേമ്പർ വൃത്തിയാക്കാൻ C2F6 പോലുള്ള വാതകങ്ങൾ. എന്നിരുന്നാലും, NF3 എന്നതിൻ്റെ മാനദണ്ഡമായി മാറിയിരിക്കുന്നു ചേമ്പർ വൃത്തിയാക്കൽ പ്രക്രിയകൾ അതിൻ്റെ ഉയർന്ന ദക്ഷത കാരണം. വിദൂര പ്ലാസ്മ ഉറവിടത്തിൽ വിഘടിപ്പിക്കുമ്പോൾ, NF3 ഒരു വലിയ തുക സൃഷ്ടിക്കുന്നു ഫ്ലൂറിൻ ആറ്റങ്ങൾ. ഈ ആറ്റങ്ങൾ അറയുടെ ഭിത്തികൾ വൃത്തിയാക്കുന്നു, ഖര അവശിഷ്ടങ്ങളെ പുറത്തേക്ക് പമ്പ് ചെയ്യുന്ന വാതകമാക്കി മാറ്റുന്നു.

നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡ് മുൻകാലങ്ങളെ അപേക്ഷിച്ച് ഉയർന്ന ഉപയോഗ നിരക്കും (യഥാർത്ഥത്തിൽ കൂടുതൽ വാതകം ഉപയോഗിക്കുന്നു) കുറഞ്ഞ ഉദ്വമനവും ഉള്ളതിനാൽ ഇത് തിരഞ്ഞെടുക്കപ്പെടുന്നു ക്ലീനിംഗ് ഏജൻ്റ്സ്. ഒരു ഫെസിലിറ്റി മാനേജറെ സംബന്ധിച്ചിടത്തോളം, അറ്റകുറ്റപ്പണികൾക്കുള്ള പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയവും വേഗതയേറിയ ത്രൂപുട്ടും ഇതിനർത്ഥം.

ഉയർന്ന അളവിലുള്ള നിർമ്മാണത്തിന് ആവശ്യമായ ഫ്ലൂറിനേറ്റഡ് സംയുക്തങ്ങൾ ഏതാണ്?

ദി അർദ്ധചാലക വിതരണ ശൃംഖല നിർദ്ദിഷ്ട ഒരു കൊട്ടയിൽ ആശ്രയിക്കുന്നു ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ വാതകങ്ങൾ. ഓരോന്നിനും ഒരു പ്രത്യേക "പാചകക്കുറിപ്പ്" അല്ലെങ്കിൽ ആപ്ലിക്കേഷനുണ്ട്. ചെയ്തത് ജിയാങ്‌സു ഹുവാഷോങ് ഗ്യാസ്, ഇനിപ്പറയുന്നവയ്ക്ക് വലിയ ഡിമാൻഡ് ഞങ്ങൾ കാണുന്നു:

ഇവ ഫ്ലൂറിനേറ്റഡ് സംയുക്തങ്ങൾ ജീവവായുവാണ് ഉയർന്ന അളവിലുള്ള നിർമ്മാണം. ഇവയുടെ ഒരു സ്ഥിരമായ ഒഴുക്കില്ലാതെ അർദ്ധചാലകത്തിലെ വാതകങ്ങൾ ഉത്പാദനം, ലൈനുകൾ നിർത്തുന്നു. അത് വളരെ ലളിതമാണ്. അതുകൊണ്ടാണ് എറിക് മില്ലറെപ്പോലുള്ള പർച്ചേസിംഗ് മാനേജർമാർ നിരന്തരം നിരീക്ഷിക്കുന്നത് സപ്ലൈ ചെയിൻ തടസ്സങ്ങൾക്കായി.

എന്തുകൊണ്ടാണ് ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതകങ്ങൾ അർദ്ധചാലക വിളവിൻ്റെ നട്ടെല്ല്?

എനിക്ക് ഇത് വേണ്ടത്ര ഊന്നിപ്പറയാൻ കഴിയില്ല: പരിശുദ്ധിയാണ് എല്ലാം.

നമ്മൾ സംസാരിക്കുമ്പോൾ ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതകങ്ങൾ, ഞങ്ങൾ വെൽഡിങ്ങിനായി ഉപയോഗിക്കുന്ന "വ്യാവസായിക ഗ്രേഡ്" നെക്കുറിച്ചല്ല സംസാരിക്കുന്നത്. നമ്മൾ സംസാരിക്കുന്നത് 5N (99.999%) അല്ലെങ്കിൽ 6N (99.9999%) പരിശുദ്ധിയെക്കുറിച്ചാണ്.

എന്തുകൊണ്ട്? കാരണം എ അർദ്ധചാലക ഉപകരണം നാനോമീറ്ററിൽ അളക്കുന്ന സവിശേഷതകൾ ഉണ്ട്. ഒരു ലോഹ അശുദ്ധിയുടെ ഒരു തന്മാത്ര അല്ലെങ്കിൽ ഈർപ്പത്തിൻ്റെ അളവ് (H2O) ഒരു ഷോർട്ട് സർക്യൂട്ടിന് കാരണമാകാം അല്ലെങ്കിൽ ഒരു പാളി പറ്റിനിൽക്കുന്നത് തടയാം.

• ഈർപ്പം: കൂടെ പ്രതികരിക്കുന്നു ഫ്ലൂറിൻ ഗ്യാസ് ഡെലിവറി സിസ്റ്റത്തെ നശിപ്പിക്കുന്ന HF സൃഷ്ടിക്കാൻ.
• ഓക്സിജൻ: സിലിക്കണിനെ അനിയന്ത്രിതമായി ഓക്സിഡൈസ് ചെയ്യുന്നു.
• കനത്ത ലോഹങ്ങൾ: ട്രാൻസിസ്റ്ററിൻ്റെ വൈദ്യുത ഗുണങ്ങൾ നശിപ്പിക്കുക.

ഒരു വിതരണക്കാരൻ എന്ന നിലയിൽ, അത് ഉറപ്പാക്കുക എന്നതാണ് ഞങ്ങളുടെ ജോലി ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള സെനോൺ അല്ലെങ്കിൽ ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്രേഡ് നൈട്രസ് ഓക്സൈഡ് നിങ്ങൾ കർശനമായി പാലിക്കുന്നു വ്യവസായ മാനദണ്ഡങ്ങൾ. കണ്ടെത്തുന്നതിന് ഞങ്ങൾ വിപുലമായ ഗ്യാസ് ക്രോമാറ്റോഗ്രാഫി ഉപയോഗിക്കുന്നു മാലിന്യങ്ങൾ കണ്ടെത്തുക ഒരു ബില്യണിൻ്റെ ഭാഗങ്ങൾ വരെ (പിപിബി). ഒരു വാങ്ങുന്നയാൾക്ക്, സർട്ടിഫിക്കറ്റ് ഓഫ് അനാലിസിസ് (COA) കാണുന്നത് വെറും പേപ്പർവർക്കല്ല; അത് അവരുടെ ഉറപ്പാണ് അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം ഒരു വിനാശകരമായ വിളവ് തകർച്ച നേരിടേണ്ടിവരില്ല.

വ്യവസായം ഹരിതഗൃഹ വാതക ഉദ്‌വമനവും GWP യും എങ്ങനെ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നു?

മുറിയിൽ ഒരു ആനയുണ്ട്: പരിസ്ഥിതി. പലതും ഫ്ലൂറിനേറ്റഡ് വാതകങ്ങൾ ഒരു ഉയർന്ന ഉണ്ട് ആഗോളതാപന സാധ്യത (GWP). ഉദാഹരണത്തിന്, സൾഫർ ഹെക്സാഫ്ലൂറൈഡ് (SF6) ഏറ്റവും കൂടുതൽ ഒന്നാണ് ശക്തമായ ഹരിതഗൃഹ വാതകങ്ങൾ CO2 നേക്കാൾ ആയിരക്കണക്കിന് മടങ്ങ് കൂടുതലുള്ള GWP ഉള്ള മനുഷ്യർക്ക് അറിയാം.

ദി അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ വ്യവസായം അതിൻ്റെ കാർബൺ കാൽപ്പാട് കുറയ്ക്കാൻ വലിയ സമ്മർദ്ദത്തിലാണ്. ഇത് രണ്ട് പ്രധാന മാറ്റങ്ങളിലേക്ക് നയിച്ചു:

1. കുറയ്ക്കൽ: ഫാബ്സ് അവയുടെ എക്‌സ്‌ഹോസ്റ്റ് ലൈനുകളിൽ കൂറ്റൻ "ബേൺ ബോക്സുകൾ" അല്ലെങ്കിൽ സ്‌ക്രബ്ബറുകൾ സ്ഥാപിക്കുന്നു. ഈ സംവിധാനങ്ങൾ പ്രതികരിക്കാത്തതിനെ തകർക്കുന്നു ഹരിതഗൃഹ വാതകം അത് അന്തരീക്ഷത്തിലേക്ക് വിടുന്നതിന് മുമ്പ്.
2. പകരം വയ്ക്കൽ: ഗവേഷകർ ബദൽ തിരയുകയാണ് etch കുറഞ്ഞ GWP ഉള്ള വാതകങ്ങൾ. എന്നിരുന്നാലും, പാരിസ്ഥിതിക ആഘാതം കൂടാതെ C4F8 അല്ലെങ്കിൽ SF6 പോലെ പ്രവർത്തിക്കുന്ന ഒരു തന്മാത്ര കണ്ടെത്തുന്നത് രാസപരമായി ബുദ്ധിമുട്ടാണ്.

നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡ് പഴയ പിഎഫ്‌സികളേക്കാൾ എളുപ്പത്തിൽ തകരുകയും മൊത്തത്തിൽ കുറയുകയും ചെയ്യുന്നതിനാൽ വൃത്തിയാക്കുന്നതിനുള്ള ശരിയായ ദിശയിലേക്കുള്ള ഒരു ചുവടുവയ്പായിരുന്നു അത് ഉദ്വമനം കുറയ്ക്കൽ സംവിധാനങ്ങൾ ശരിയായി പ്രവർത്തിക്കുന്നുണ്ടെങ്കിൽ. കുറയ്ക്കുന്നു ഹരിതഗൃഹ വാതക ഉദ്വമനം ഇനി ഒരു PR നീക്കം മാത്രമല്ല; EU-ലും US-ലും ഇത് ഒരു നിയന്ത്രണ ആവശ്യകതയാണ്.

അർദ്ധചാലക വിതരണ ശൃംഖല പ്രത്യേക വാതക ക്ഷാമത്തിന് ഇരയാകുമോ?

കഴിഞ്ഞ കുറച്ച് വർഷങ്ങൾ നമ്മെ എന്തെങ്കിലും പഠിപ്പിച്ചിട്ടുണ്ടെങ്കിൽ, അത് അതാണ് സപ്ലൈ ചെയിൻ ദുർബലമാണ്. അർദ്ധചാലക നിർമ്മാതാക്കൾ നിയോൺ മുതൽ എല്ലാറ്റിനും ക്ഷാമം നേരിട്ടു ഫ്ലൂറോപോളിമറുകൾ.

യുടെ വിതരണം ഫ്ലൂറിൻ വാതകം അതിൻ്റെ ഡെറിവേറ്റീവുകൾ ഫ്ലൂസ്പാർ (കാൽസ്യം ഫ്ലൂറൈഡ്) ഖനനത്തെ ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു. ചൈനയാണ് ഈ അസംസ്കൃത വസ്തുക്കളുടെ പ്രധാന ആഗോള സ്രോതസ്സ്. ഭൗമരാഷ്ട്രീയ പിരിമുറുക്കങ്ങൾ ഉയരുകയോ ലോജിസ്റ്റിക്സ് റൂട്ടുകൾ തടസ്സപ്പെടുകയോ ചെയ്യുമ്പോൾ, ഇവയുടെ ലഭ്യത നിർണായകമാണ് പ്രോസസ്സ് വാതകങ്ങൾ തുള്ളി, വില കുതിച്ചുയരുന്നു.

എറിക്കിനെപ്പോലുള്ള ഒരു വാങ്ങുന്നയാൾക്ക്, "ഫോഴ്സ് മജ്യൂർ" എന്ന ഭയം യഥാർത്ഥമാണ്. ഇത് ലഘൂകരിക്കാൻ, വിദഗ്ദ്ധരായ കമ്പനികൾ അവരുടെ വിതരണക്കാരെ വൈവിധ്യവൽക്കരിക്കുന്നു. അവർ സ്വന്തമായി പങ്കാളികളെ തേടുന്നു iso-ടാങ്കുകൾ ലോജിസ്റ്റിക് നെറ്റ്‌വർക്കുകൾ സ്ഥാപിച്ചു. വിശ്വാസ്യതയിൽ ലോജിസ്റ്റിക്സ് വാതകത്തിൻ്റെ പരിശുദ്ധി പോലെ തന്നെ പ്രധാനമാണ്. നിങ്ങൾക്ക് ഏറ്റവും ശുദ്ധമായത് ലഭിക്കും C4F8 ഗ്യാസ് ലോകത്ത്, പക്ഷേ അത് ഒരു തുറമുഖത്ത് കുടുങ്ങിയാൽ, അത് ഉപയോഗശൂന്യമാണ് ഫാബ്.

ഹൈഡ്രജൻ ഫ്ലൂറൈഡും മറ്റ് വിഷ വസ്തുക്കളും കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള സുരക്ഷാ പ്രോട്ടോക്കോളുകൾ എന്തൊക്കെയാണ്?

സുരക്ഷയാണ് നമ്മുടെ വ്യവസായത്തിൻ്റെ അടിത്തറ. പലതും ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ വാതകങ്ങൾ ഒന്നുകിൽ വിഷാംശമുള്ളതോ, ശ്വാസം മുട്ടിക്കുന്നതോ, അല്ലെങ്കിൽ ഉയർന്ന പ്രതിപ്രവർത്തനശേഷിയുള്ളതോ ആണ്. ഹൈഡ്രജൻ ഫ്ലൂറൈഡ് (HF), പലപ്പോഴും വെറ്റ് എച്ചിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു അല്ലെങ്കിൽ ഒരു ഉപോൽപ്പന്നമായി ജനറേറ്റ് ചെയ്യുന്നത് പ്രത്യേകിച്ച് അപകടകരമാണ്. ഇത് ചർമ്മത്തിൽ തുളച്ചുകയറുകയും അസ്ഥികളുടെ ഘടനയെ ആക്രമിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

ഈ മെറ്റീരിയലുകൾ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിന് കഠിനമായ പരിശീലനവും പ്രത്യേക ഉപകരണങ്ങളും ആവശ്യമാണ്.

• സിലിണ്ടറുകൾ: DOT/ISO സാക്ഷ്യപ്പെടുത്തിയിരിക്കണം കൂടാതെ ആന്തരിക നാശത്തിനായി പതിവായി പരിശോധന നടത്തുകയും വേണം.
• വാൽവുകൾ: ചോർച്ച തടയാൻ ഡയഫ്രം വാൽവുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
• സെൻസറുകൾ: അർദ്ധചാലക ഫാബ്സ് ചെറിയ ചോർച്ചയിൽ അലാറങ്ങൾ ഉണ്ടാക്കുന്ന ഗ്യാസ് ഡിറ്റക്ഷൻ സെൻസറുകളാൽ മൂടപ്പെട്ടിരിക്കുന്നു.

ഞങ്ങൾ ഒരു സിലിണ്ടർ നിറയ്ക്കുമ്പോൾ ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്രേഡ് നൈട്രസ് ഓക്സൈഡ് അല്ലെങ്കിൽ വിഷലിപ്തമായ ഒരു മുദ്രാവാക്യം, ഞങ്ങൾ അതിനെ ഒരു ലോഡ് ആയുധം പോലെയാണ് കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നത്. കണികകൾ തടയുന്നതിന് സിലിണ്ടർ ആന്തരികമായി മിനുക്കിയിട്ടുണ്ടെന്നും വാൽവ് തൊപ്പി അടച്ച് അടച്ചിട്ടുണ്ടെന്നും ഞങ്ങൾ ഉറപ്പാക്കുന്നു. ഞങ്ങളുടെ ഉപഭോക്താക്കൾക്കായി, അത് അറിഞ്ഞുകൊണ്ട് കാരിയർ ഗ്യാസ് അല്ലെങ്കിൽ എച്ചാൻറ് സുരക്ഷിതവും അനുസരണമുള്ളതുമായ പാക്കേജിംഗിൽ എത്തുന്നത് ഒരു വലിയ ആശ്വാസമാണ്.

സെമികണ്ടക്ടർ ഫാബ്രിക്കേഷൻ പ്രക്രിയയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന മെറ്റീരിയലുകൾക്ക് എന്താണ് മുന്നിലുള്ളത്?

ദി അർദ്ധചാലക ഉത്പാദനം റോഡ്മാപ്പ് ആക്രമണാത്മകമാണ്. ഗേറ്റ്-ഓൾ-എറൗണ്ട് (GAA) ട്രാൻസിസ്റ്ററുകൾ പോലെയുള്ള 3D ഘടനകളിലേക്ക് ചിപ്പുകൾ നീങ്ങുമ്പോൾ, സങ്കീർണ്ണത കൊത്തുപണിയും വൃത്തിയാക്കലും വർദ്ധിക്കുന്നു. കൂടുതൽ വിചിത്രമായവയ്ക്കുള്ള ആവശ്യം ഞങ്ങൾ കാണുന്നു ഫ്ലൂറിനേറ്റഡ് വാതകം ആറ്റോമിക കൃത്യതയോടെ ആഴമേറിയതും ഇടുങ്ങിയതുമായ ദ്വാരങ്ങൾ കൊത്താൻ കഴിയുന്ന മിശ്രിതങ്ങൾ.

ആറ്റോമിക് ലെയർ എച്ചിംഗ് (ALE) ഒരു സമയം ഒരു ആറ്റോമിക് പാളി നീക്കം ചെയ്യുന്ന ഒരു ഉയർന്നുവരുന്ന സാങ്കേതികതയാണ്. ഇതിന് അവിശ്വസനീയമാംവിധം കൃത്യമായ ഡോസ് ആവശ്യമാണ് പ്രതിപ്രവർത്തന വാതകങ്ങൾ. കൂടാതെ, "പച്ച" നിർമ്മാണത്തിനായുള്ള പുഷ് പുതിയവ സ്വീകരിക്കുന്നതിന് കാരണമാകും ഫ്ലൂറിൻ രസതന്ത്രം അത് താഴ്ന്ന അതേ പ്രകടനം വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു ജി.ഡബ്ല്യു.പി.

വാതക സമന്വയത്തിലും ശുദ്ധീകരണത്തിലും ഒരുപോലെ നവീകരിക്കാൻ കഴിയുന്നവരുടേതാണ് ഭാവി. പോലെ അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കൾ പരിണമിക്കുക, അവയെ രൂപപ്പെടുത്താൻ ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകങ്ങളും പരിണമിക്കേണ്ടതുണ്ട്.

പ്രധാന ടേക്ക്അവേകൾ

• ഫ്ലൂറിൻ അത്യാവശ്യമാണ്: ഫ്ലൂറിൻ രസതന്ത്രം എന്ന താക്കോലാണ് etch ഒപ്പം ശുദ്ധമായ കടന്നുവരുന്നു അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം.
• വിശുദ്ധിയാണ് രാജാവ്: ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി (6N) വൈകല്യങ്ങൾ തടയുന്നതിനും ഉറപ്പാക്കുന്നതിനും വിലപേശൽ സാധ്യമല്ല പ്രക്രിയ സ്ഥിരത.
• വിവിധതരം വാതകങ്ങൾ: CF4, SF6, കൂടാതെ വിവിധ വാതകങ്ങൾ നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡ് ൽ പ്രത്യേക റോളുകൾ സേവിക്കുന്നു കൃത്രിമത്വം.
• പാരിസ്ഥിതിക ആഘാതം: മാനേജിംഗ് ഹരിതഗൃഹ വാതക ഉദ്വമനം ഒപ്പം കുറയ്ക്കൽ ഒരു നിർണായക വ്യവസായ വെല്ലുവിളിയാണ്.
• വിതരണ സുരക്ഷ: ഒരു കരുത്തുറ്റ സപ്ലൈ ചെയിൻ ഉൽപ്പാദനം നിർത്തുന്നത് ഒഴിവാക്കാൻ വിശ്വസനീയമായ പങ്കാളികൾ ആവശ്യമാണ്.

Jiangsu Huazhong Gas-ൽ, ഈ വെല്ലുവിളികൾ ഞങ്ങൾ മനസ്സിലാക്കുന്നു, കാരണം ഞങ്ങൾ അവ എല്ലാ ദിവസവും ജീവിക്കുന്നു. നിങ്ങൾക്ക് ആവശ്യമുണ്ടോ എന്ന് ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി സെനോൺ നിങ്ങളുടെ ഏറ്റവും പുതിയ എച്ച് പ്രക്രിയയ്‌ക്കോ സാധാരണ വ്യാവസായിക വാതകങ്ങളുടെ വിശ്വസനീയമായ വിതരണത്തിനോ, ഭാവി കെട്ടിപ്പടുക്കുന്ന സാങ്കേതികവിദ്യയെ പിന്തുണയ്ക്കാൻ ഞങ്ങൾ ഇവിടെയുണ്ട്.