വ്യാവസായിക കലയിലും ശാസ്ത്രത്തിലും വൈദഗ്ദ്ധ്യം നേടുന്നതിന് Huazhong Gas നമ്മെത്തന്നെ സമർപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു പ്രത്യേക വാതകം ഉത്പാദനം. ഇന്നത്തെ ഹൈടെക് ലോകത്ത്, പ്രത്യേകിച്ച് അതിനുള്ളിൽ അർദ്ധചാലകം വ്യവസായം, ആവശ്യം അൾട്രാ ഉയർന്ന ശുദ്ധി വാതകങ്ങൾ ഒരു മുൻഗണന മാത്രമല്ല; അത് ഒരു പരമമായ ആവശ്യമാണ്. എന്ന വിമർശനാത്മക ലോകത്തേക്കാണ് ഈ ലേഖനം കടന്നുപോകുന്നത് അശുദ്ധി വിശകലനം വേണ്ടി ഇലക്ട്രോണിക് പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ. എന്തുകൊണ്ടാണ് ഏറ്റവും ചെറിയത് പോലും എന്ന് ഞങ്ങൾ പര്യവേക്ഷണം ചെയ്യും അശുദ്ധി ഭീമാകാരമായ അനന്തരഫലങ്ങൾ ഉണ്ടാക്കാം, ഇവയെ നമ്മൾ എങ്ങനെ കണ്ടെത്തുന്നു മാലിന്യങ്ങൾ കണ്ടെത്തുക, ബിസിനസ്സുകൾക്ക് ഇത് എന്താണ് അർത്ഥമാക്കുന്നത്. മനസ്സിലാക്കുന്നു വാതക മാലിന്യങ്ങൾ അവരുടെ രീതികളും ശുദ്ധീകരണം പോലുള്ള കണ്ടെത്തലും ഐസിപി-എംഎസ്, ആധുനികതയുടെ വിശ്വാസ്യതയും പ്രകടനവും ഉറപ്പാക്കുന്നതിനുള്ള താക്കോലാണ് ഇലക്ട്രോണിക്സ്. ഈ ഭാഗം നിങ്ങളുടെ സമയത്തിന് മൂല്യമുള്ളതാണ്, കാരണം ഇത് കർശനമായി നിലനിർത്തുന്നതിനുള്ള ഒരു ഫാക്ടറി-ഇൻസൈഡറുടെ കാഴ്ചപ്പാട് വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യാലിറ്റി വാതകങ്ങളുടെ പരിശുദ്ധി, ഒരു മൂലക്കല്ല് അർദ്ധചാലകം ഒപ്പം ഇലക്ട്രോണിക്സ് മേഖലകൾ.

ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യാലിറ്റി വാതകങ്ങൾ കൃത്യമായി എന്താണ്, അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൽ അവയുടെ പരിശുദ്ധി വളരെ പ്രധാനമായിരിക്കുന്നത് എന്തുകൊണ്ട്?

ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യാലിറ്റി വാതകങ്ങൾ, പലപ്പോഴും പരാമർശിക്കപ്പെടുന്നു ഇലക്ട്രോണിക് വാതകങ്ങൾ അല്ലെങ്കിൽ അർദ്ധചാലക വാതകങ്ങൾ, എന്ന തനത് വിഭാഗമാണ് ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതകങ്ങൾ ഒപ്പം വാതക മിശ്രിതങ്ങൾ ഇലക്ട്രോണിക് ഘടകങ്ങളുടെ നിർമ്മാണത്തിൽ ഉൾപ്പെട്ടിരിക്കുന്ന സങ്കീർണ്ണമായ പ്രക്രിയകൾക്കായി പ്രത്യേകം രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിട്ടുള്ളതാണ്. അവരെ ഡിജിറ്റൽ യുഗത്തിലെ അദൃശ്യ വാസ്തുശില്പികളായി കരുതുക. ഇവ അർദ്ധചാലകത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകങ്ങൾ ഫാബ്രിക്കേഷനിൽ സിലിക്കൺ പാളികൾ നിക്ഷേപിക്കുന്നതിന് സിലേൻ (SiH₄), ചേമ്പർ വൃത്തിയാക്കുന്നതിന് നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡ് (NF₃) എന്നിങ്ങനെയുള്ള വൈവിധ്യമാർന്ന ശ്രേണി ഉൾപ്പെടുന്നു. ആർഗോൺ (Ar) ഒരു നിഷ്ക്രിയ കവചമായി, വിവിധ ഉത്തേജക വാതകങ്ങൾ ഫോസ്ഫൈൻ (PH₃) അല്ലെങ്കിൽ ആർസിൻ (AsH₃) പോലെയുള്ള വൈദ്യുത ഗുണങ്ങൾ മാറ്റാൻ അർദ്ധചാലകം വസ്തുക്കൾ. നിബന്ധന "ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യാലിറ്റി"തന്നെ അവരുടെ യോജിച്ച പ്രയോഗവും അവയുടെ ഘടനയിൽ ആവശ്യമായ അതീവ കൃത്യതയും എടുത്തുകാണിക്കുന്നു. ഇവ നിങ്ങളുടെ ദൈനംദിനമല്ല വ്യാവസായിക വാതകങ്ങൾ; അവയുടെ സവിശേഷതകൾ കൂടുതൽ കർശനമാണ്.

അവയുടെ പരമമായ പ്രാധാന്യം പരിശുദ്ധി അമിതമായി പറയാനാവില്ല, പ്രത്യേകിച്ച് അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം. ആധുനിക ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകൾ (ICs) ട്രാൻസിസ്റ്ററുകളും ചാലക പാതകളും ഉൾക്കൊള്ളുന്നു, അവ അവിശ്വസനീയമാംവിധം ചെറുതാണ്, പലപ്പോഴും നാനോമീറ്ററിൽ (ഒരു മീറ്ററിൻ്റെ കോടിക്കണക്കിന്) അളക്കുന്നു. ഈ മൈക്രോസ്കോപ്പിക് സ്കെയിലിൽ, ഒരു അനാവശ്യ ആറ്റം പോലും - an അശുദ്ധി- ഒരു ചെറിയ അരുവിയിലെ ഒരു പാറ പോലെ പ്രവർത്തിക്കാം, ഉദ്ദേശിച്ച വൈദ്യുത പ്രവാഹത്തെ തടസ്സപ്പെടുത്തുകയോ ഘടനാപരമായ വൈകല്യങ്ങൾ ഉണ്ടാക്കുകയോ ചെയ്യാം. ഇത് ഒരു തെറ്റായ ചിപ്പിലേക്ക് നയിച്ചേക്കാം, ദശലക്ഷക്കണക്കിന് ചിപ്പുകൾ ഒരൊറ്റ വേഫറിൽ ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കപ്പെടുന്ന ഒരു വ്യവസായത്തിൽ, വ്യാപകമായ സാമ്പത്തിക, പ്രശസ്തി നാശം മലിനീകരണം വലിയ കഴിയും. അതിനാൽ, ദി ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യാലിറ്റി വാതകങ്ങളുടെ പരിശുദ്ധി മൊത്തത്തിൽ ഒരു അടിസ്ഥാന സ്തംഭമാണ് ഇലക്ട്രോണിക്സും അർദ്ധചാലകവും വ്യവസായം നിലകൊള്ളുന്നു. ഏതെങ്കിലും അശുദ്ധി ഉപകരണത്തിൻ്റെ പ്രകടനം, വിളവ്, വിശ്വാസ്യത എന്നിവയിൽ വിട്ടുവീഴ്ച ചെയ്യാനാകും, ഇത് കർശനമാക്കുന്നു വാതക പരിശുദ്ധി നിയന്ത്രണം അത്യാവശ്യമാണ്.

Huazhong Gas-ൽ, ഞങ്ങളുടെ ഉപഭോക്താക്കൾ അത് മനസ്സിലാക്കുന്നു അർദ്ധചാലക വ്യവസായങ്ങൾ "അഞ്ച് ഒമ്പത്" (99.999%) അല്ലെങ്കിൽ "ആറ് ഒമ്പത്" (99.9999%) പരിശുദ്ധി നിലകൾ നിറവേറ്റുന്നതോ അതിലധികമോ ഉള്ള വാതകങ്ങൾ നൽകാൻ ഞങ്ങളെ ആശ്രയിക്കുക. ഇതിനർത്ഥം ഏതെങ്കിലും അശുദ്ധി പാർട്‌സ് പെർ മില്യൺ (പിപിഎം) അല്ലെങ്കിൽ പാർട്‌സ് പെർ ബില്യൺ (പിപിബി) എന്നതിനേക്കാൾ കുറഞ്ഞ സാന്ദ്രതയിൽ ഉണ്ടായിരിക്കണം. അത്തരത്തിലുള്ളവ നേടുകയും സ്ഥിരീകരിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി ലെവലുകൾക്ക് സങ്കീർണ്ണമായത് ആവശ്യമാണ് ശുദ്ധീകരണം സാങ്കേതികതകളും, നിർണ്ണായകമായി, വിപുലമായ അശുദ്ധി വിശകലനം രീതികൾ. അപ്രതീക്ഷിതമായ ഒരു സാന്നിദ്ധ്യം അശുദ്ധി എന്നതുമായുള്ള പ്രശ്നങ്ങൾ സൂചിപ്പിക്കാനും കഴിയും ഗ്യാസ് സിലിണ്ടറുകൾ അല്ലെങ്കിൽ വിതരണ ശൃംഖല, സ്ഥിരമായ ഗുണനിലവാര പരിശോധനകൾ പ്രധാനമാണ്. ഞങ്ങൾ ഉറപ്പുനൽകുന്നു നൈട്രജൻ സിലിണ്ടർ ഓഫറുകൾ, ഉദാഹരണത്തിന്, ഈ കൃത്യമായ മാനദണ്ഡങ്ങൾ പാലിക്കുന്നു, കാരണം പല അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ ഘട്ടങ്ങളിലും നൈട്രജൻ ഒരു വർക്ക്ഹോഴ്സ് വാതകമാണ്.

മൈക്രോസ്കോപ്പിക് ട്രെയ്സ് മാലിന്യങ്ങൾ പോലും അർദ്ധചാലക ഉൽപ്പാദന ലൈനുകളെ എങ്ങനെ പാളം തെറ്റിക്കും?

വളരെ ചെറിയ ഒന്ന് എങ്ങനെയെന്ന് സങ്കൽപ്പിക്കാൻ ചിലപ്പോൾ ബുദ്ധിമുട്ടാണ്, എ അശുദ്ധി കണ്ടെത്തുക ഒരു ബില്യണിൻ്റെ ഭാഗങ്ങളിൽ (പിപിബി) അല്ലെങ്കിൽ ഒരു ട്രില്യൺ ഭാഗങ്ങളിൽ (പിപിടി) അളക്കുന്നത് അത്തരം കാര്യമായ പ്രശ്‌നങ്ങൾക്ക് കാരണമാകും. എന്നാൽ ലോകത്ത് അർദ്ധചാലകം നിർമ്മാണം, ഈ സൂക്ഷ്മദർശിനികൾ മലിനീകരണം പ്രധാന വില്ലന്മാരാണ്. നമുക്ക് ഒരു സാധാരണ അർദ്ധചാലക ഫാബ്രിക്കേഷൻ പ്രക്രിയ പരിഗണിക്കാം: അതിൽ ഡസൻ, ചിലപ്പോൾ നൂറുകണക്കിന്, ഡെപ്പോസിഷൻ (നേർത്ത ഫിലിമുകൾ ഇടുക), എച്ചിംഗ് (മെറ്റീരിയൽ നീക്കം ചെയ്യുക), അയോൺ ഇംപ്ലാൻ്റേഷൻ (നിർദ്ദിഷ്ട ആറ്റങ്ങൾ ചേർക്കൽ) എന്നിങ്ങനെയുള്ള സൂക്ഷ്മമായ ഘട്ടങ്ങൾ ഉൾപ്പെടുന്നു. ഓരോ ഘട്ടവും കൃത്യമായി നിയന്ത്രിത രാസ പരിതസ്ഥിതിയെ ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു, പലപ്പോഴും സൃഷ്ടിക്കുകയോ പരിപാലിക്കുകയോ ചെയ്യുന്നു ഇലക്ട്രോണിക് പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ. എങ്കിൽ എ ഉപയോഗിച്ച വാതകം ഈ ഘട്ടങ്ങളിലൊന്നിൽ അനാവശ്യമായത് വഹിക്കുന്നു അശുദ്ധി, അത് അശുദ്ധി യുടെ അതിലോലമായ പാളികളിൽ ഉൾപ്പെടുത്താം അർദ്ധചാലകം ഉപകരണം.

ഉദാഹരണത്തിന്, ലോഹ മാലിന്യങ്ങൾ സോഡിയം, ഇരുമ്പ് അല്ലെങ്കിൽ ചെമ്പ് പോലെ, വളരെ കുറഞ്ഞ സാന്ദ്രതയിൽ പോലും, സിലിക്കണിൻ്റെ വൈദ്യുത ഗുണങ്ങളെ ഗണ്യമായി മാറ്റാൻ കഴിയും. അവ അനാവശ്യ ചാലക പാതകൾ സൃഷ്ടിച്ചേക്കാം, ഇത് ഷോർട്ട് സർക്യൂട്ടുകളിലേക്ക് നയിച്ചേക്കാം, അല്ലെങ്കിൽ ഇലക്ട്രോണുകളുടെ പ്രവാഹത്തെ തടസ്സപ്പെടുത്തുന്ന "ട്രാപ്പുകൾ" ആയി പ്രവർത്തിച്ചേക്കാം, ഉപകരണത്തെ മന്ദഗതിയിലാക്കുന്നു അല്ലെങ്കിൽ പൂർണ്ണമായും പരാജയപ്പെടാൻ ഇടയാക്കും. എ അശുദ്ധി ഒരു പ്രക്രിയ ഘട്ടത്തിൽ ഉദ്ദേശിച്ചിട്ടുള്ള രാസപ്രവർത്തനങ്ങളിലും ഇടപെടാൻ കഴിയും. ഉദാഹരണത്തിന്, എ മലിനീകരണം ഒരു എച്ചിംഗ് വാതകത്തിൽ, വേഫറിലെ കൃത്യമായ പാറ്റേണുകൾ നശിപ്പിച്ച്, അണ്ടർ-എച്ചിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ ഓവർ-എച്ചിംഗ് കാരണമാകാം. ആഘാതം വ്യക്തിഗത ചിപ്പുകളിൽ മാത്രമല്ല; ഒരു കണ്ടെത്താത്തത് അശുദ്ധി പ്രശ്‌നം വേഫറുകളുടെ മുഴുവൻ ബാച്ചുകളും സ്‌ക്രാപ്പ് ചെയ്യപ്പെടുന്നതിന് ഇടയാക്കും, അതിൻ്റെ ഫലമായി ദശലക്ഷക്കണക്കിന് ഡോളർ നഷ്ടം, ഉൽപ്പാദന കാലതാമസം, ഗുണനിലവാരമുള്ള വസ്തുക്കളുടെ സ്ഥിരമായ വിതരണം ഉറപ്പാക്കേണ്ട മാർക്ക് ഷെനെപ്പോലുള്ള സംഭരണ ​​ഉദ്യോഗസ്ഥർക്ക് തലവേദന എന്നിവ ഉണ്ടാകാം. ഇത് ദൃഢതയുടെ നിർണായക ആവശ്യകതയെ എടുത്തുകാണിക്കുന്നു മാലിന്യങ്ങളുടെ അളവ് കണ്ടെത്തുക.

വെല്ലുവിളി ഏത് "സ്വീകാര്യമായ" നില എന്നതാണ് അശുദ്ധി ആയി ചുരുങ്ങിക്കൊണ്ടിരിക്കുന്നു അർദ്ധചാലകം ഉപകരണ സവിശേഷതകൾ ചെറുതായിത്തീരുന്നു. സ്വീകാര്യമായി കണക്കാക്കപ്പെട്ടിരുന്നത് അശുദ്ധി ഒരു ദശാബ്ദം മുമ്പുള്ള നില ഒരു ദുരന്തമായേക്കാം മലിനീകരണം ഇന്ന്. മിനിയേച്ചറൈസേഷനായുള്ള ഈ അശ്രാന്ത പരിശ്രമം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് ഗ്യാസ് നിർമ്മാതാക്കളിലും അനലിറ്റിക്കൽ ലാബുകളിലും വലിയ സമ്മർദ്ദം ചെലുത്തുന്നു. കണ്ടെത്തൽ പരിധി കഴിവുകൾ. പോലും കണികകൾ മാലിന്യങ്ങൾ, നഗ്നനേത്രങ്ങൾക്ക് അദൃശ്യമായ ചെറിയ പൊടിപടലങ്ങൾ, ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി ഘട്ടങ്ങളിൽ പ്രകാശത്തെ തടയുകയോ വേഫർ ഉപരിതലത്തിൽ ശാരീരിക വൈകല്യങ്ങൾ സൃഷ്ടിക്കുകയോ ചെയ്യാം. അതിനാൽ, എല്ലാ സാധ്യതകളും നിയന്ത്രിക്കുക അശുദ്ധി - വാതകമോ, ലോഹമോ, അല്ലെങ്കിൽ കണികകൾ - നിർണായകമാണ്. ദി മാലിന്യങ്ങളുടെ പരിധി പ്രശ്‌നങ്ങൾക്ക് കാരണമാകുന്നത് വളരെ വലുതാണ്, സമഗ്രമായതിൻ്റെ ആവശ്യകത ഊന്നിപ്പറയുന്നു വാതക വിശകലനം.

ഏറ്റവും സാധാരണമായ പ്രശ്നമുണ്ടാക്കുന്നവ ഏതൊക്കെയാണ്? ഇലക്ട്രോണിക്സിനുള്ള വാതകങ്ങളിലെ മാലിന്യങ്ങൾ തിരിച്ചറിയൽ.

നമ്മൾ സംസാരിക്കുമ്പോൾ വാതകങ്ങളിലെ മാലിന്യങ്ങൾ വേണ്ടി ഉദ്ദേശിച്ചത് ഇലക്ട്രോണിക്സും അർദ്ധചാലകവും സെക്ടർ, വ്യത്യസ്തമായ കഥാപാത്രങ്ങളെയാണ് ഞങ്ങൾ നോക്കുന്നത്, ഓരോന്നിനും കാര്യമായ ദോഷം വരുത്താൻ സാധ്യതയുണ്ട്. ഇവ മാലിന്യങ്ങൾ കണ്ടുപിടിക്കണം വാതകം, ലോഹം, കണികാ രൂപങ്ങൾ എന്നിങ്ങനെ വിശാലമായി തരംതിരിക്കാം. ഈ സാധാരണ പ്രശ്‌നമുണ്ടാക്കുന്നവരെ മനസ്സിലാക്കുന്നത് ഫലപ്രദമാകാനുള്ള ആദ്യപടിയാണ് അശുദ്ധി വിശകലനം നിയന്ത്രണവും. നിർദ്ദിഷ്ട മാലിന്യങ്ങൾ ഉണ്ട് വാതകം, അതിൻ്റെ ഉൽപാദന രീതി, സംഭരണം, കൈകാര്യം ചെയ്യൽ എന്നിവയെ ആശ്രയിച്ച് വ്യത്യാസപ്പെടാം.

വാതകം മാലിന്യങ്ങൾ പ്രധാനമായും ഉള്ള മറ്റ് വാതകങ്ങളാണ് പ്രത്യേക വാതകം. ഉദാഹരണത്തിന്, ഇൻ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി നൈട്രജൻ, സാധാരണ വാതകം മാലിന്യങ്ങൾ ഓക്സിജൻ (O₂), ഈർപ്പം (H₂O), കാർബൺ ഡൈ ഓക്സൈഡ് (CO₂), കാർബൺ മോണോക്സൈഡ് (CO), ഹൈഡ്രോകാർബണുകൾ (CHₓ) എന്നിവ ഉൾപ്പെടാം. ഓക്‌സിജനും ഈർപ്പവും പ്രത്യേകിച്ച് പ്രശ്‌നകരമാണ്, കാരണം അവ വളരെ റിയാക്ടീവ് ആയതിനാൽ അനാവശ്യ ഓക്‌സിഡേഷനിലേക്ക് നയിച്ചേക്കാം. അർദ്ധചാലകം മെറ്റീരിയലുകൾ അല്ലെങ്കിൽ പ്രോസസ്സ് ഉപകരണങ്ങൾ. ഒരു ൽ പോലും നിഷ്ക്രിയ വാതകം പോലെ ആർഗോൺ, ഇവ ട്രെയ്സ് ലെവലിൽ ഉണ്ടാകാം. ഒരു കമ്പനി എന്ന നിലയിൽ, ഒരു വിശകലനത്തിനുള്ള അഭ്യർത്ഥനകൾ ഞങ്ങൾ പലപ്പോഴും കാണാറുണ്ട് മാലിന്യങ്ങളുടെ വിശാലമായ ശ്രേണി, ഈ റിയാക്ടീവ് സ്പീഷീസ് ഉൾപ്പെടെ. ഉദാഹരണത്തിന്, ഞങ്ങളുടെ കഴിവുകളിൽ സമുച്ചയം നിർമ്മിക്കുന്നത് ഉൾപ്പെടുന്നു വാതക മിശ്രിതം ഉൽപന്നങ്ങൾ, അവിടെ ഓരോ ഘടകങ്ങളും നിയന്ത്രിക്കുന്നു, സാധ്യതയുള്ള വാതകം ഉൾപ്പെടെ മാലിന്യങ്ങൾ, പരമപ്രധാനമാണ്.

ലോഹ മാലിന്യങ്ങൾ എന്നിവയാണ് മറ്റൊരു പ്രധാന ആശങ്ക. സോഡിയം (Na), പൊട്ടാസ്യം (K), കാൽസ്യം (Ca), ഇരുമ്പ് (Fe), ചെമ്പ് (Cu), നിക്കൽ (Ni), ക്രോമിയം (Cr), അലുമിനിയം (Al) തുടങ്ങിയ ലോഹങ്ങളുടെ ആറ്റങ്ങളാണിവ. അവ അസംസ്‌കൃത വസ്തുക്കളിൽ നിന്നോ ഉൽപ്പാദന ഉപകരണങ്ങളിൽ നിന്നോ (പൈപ്പ് ലൈനുകളും റിയാക്ടറുകളും പോലുള്ളവ) നിന്ന് ഉത്ഭവിക്കാം ഗ്യാസ് സിലിണ്ടറുകൾ ശരിയായി ചികിത്സിച്ചില്ലെങ്കിൽ സ്വയം. സൂചിപ്പിച്ചതുപോലെ, ഇവ ലോഹ മാലിന്യങ്ങൾ യുടെ ഇലക്ട്രിക്കൽ പ്രകടനത്തെ സാരമായി ബാധിക്കും അർദ്ധചാലകം ഉപകരണങ്ങൾ. പിപിബി അല്ലെങ്കിൽ പിപിടി തലങ്ങളിൽ ഇവ കണ്ടെത്തുന്നതിന് ഇൻഡക്റ്റീവ്ലി കപ്പിൾഡ് പ്ലാസ്മ മാസ് സ്പെക്ട്രോമെട്രി (ഇൻഡക്റ്റീവ്ലി കപ്പിൾഡ് പ്ലാസ്മ മാസ് സ്പെക്ട്രോമെട്രി) പോലെയുള്ള അതീവ സെൻസിറ്റീവ് അനലിറ്റിക്കൽ ടെക്നിക്കുകൾ ആവശ്യമാണ്.ഐസിപി-എംഎസ്). നാമും പരിഗണിക്കേണ്ടതുണ്ട് കണികകൾ കാര്യം. ഇവയിൽ സസ്പെൻഡ് ചെയ്തിരിക്കുന്ന ചെറിയ ഖര അല്ലെങ്കിൽ ദ്രാവക കണങ്ങളാണ് വാതക പ്രവാഹം. അവ വേഫറുകളിൽ ശാരീരിക വൈകല്യങ്ങൾ ഉണ്ടാക്കാം, ഉപകരണങ്ങളിൽ നോസിലുകൾ തടയാം അല്ലെങ്കിൽ മറ്റുള്ളവ അവതരിപ്പിക്കാം മലിനീകരണം. കണികകൾ നീക്കം ചെയ്യുന്നതിൽ ഫിൽട്ടറേഷൻ പ്രധാനമാണ്, എന്നാൽ അവയുടെ അളവ് നിരീക്ഷിക്കുന്നതും സമഗ്രമായ ഒരു ഭാഗമാണ്. വാതക ഗുണനിലവാരം പ്രോഗ്രാം. ചിലത് ഇലക്ട്രോണിക് പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ ആകുന്നു നശിപ്പിക്കുന്ന വാതകങ്ങൾ അല്ലെങ്കിൽ വിഷവാതകങ്ങൾ, ഇത് അവരുടെ കൈകാര്യം ചെയ്യലിനും വിശകലനത്തിനും സങ്കീർണ്ണതയുടെ മറ്റൊരു പാളി ചേർക്കുന്നു, അത് ഉറപ്പാക്കുന്നു അശുദ്ധി പ്രൊഫൈൽ ഈ അപകടങ്ങളെ കൂടുതൽ വഷളാക്കുന്നില്ല.

ICP-MS: അർദ്ധചാലക വാതകങ്ങളിലെ ലോഹ മാലിന്യങ്ങൾ കണ്ടെത്തുന്നതിനുള്ള ഗോൾഡ് സ്റ്റാൻഡേർഡ്?

അത് വരുമ്പോൾ ലോഹ മാലിന്യങ്ങളുടെ വിശകലനം ഇൻ അൾട്രാ ഹൈ പ്യൂരിറ്റി വാതകങ്ങൾ, ഇൻഡക്റ്റീവ് കപ്പിൾഡ് പ്ലാസ്മ മാസ് സ്പെക്ട്രോമെട്രി, അല്ലെങ്കിൽ ഐസിപി-എംഎസ്, ഒരു പ്രമുഖ സാങ്കേതികവിദ്യയായി പരക്കെ കണക്കാക്കപ്പെടുന്നു. വിശാലമായ ശ്രേണി കണ്ടെത്താനും അളക്കാനും കഴിയുന്ന ശക്തമായ ഒരു വിശകലന സാങ്കേതികതയാണിത് മൂലക മാലിന്യങ്ങൾ, പലപ്പോഴും അമ്പരപ്പിക്കും വിധം താഴ്ന്ന നിലകളിലേക്ക് - ചില മൂലകങ്ങൾക്ക് പാർട്സ് പെർ ട്രില്യൺ (പിപിടി) അല്ലെങ്കിൽ പാർട്സ് പെർ ക്വാഡ്രില്യൺ (പിപിക്യു) പോലും ചിന്തിക്കുക. ഈ സെൻസിറ്റിവിറ്റി കൃത്യമായി എന്തിനാണ് ഐസിപി-എംഎസ് എന്നതിന് വളരെ നിർണായകമായി മാറിയിരിക്കുന്നു അർദ്ധചാലകം വ്യവസായം, എവിടെ, ഞങ്ങൾ ചർച്ച ചെയ്തതുപോലെ, ചെറിയ സൂചനകൾ പോലും ലോഹ മാലിന്യങ്ങൾ ദോഷകരമാകാം ഉൽപ്പന്ന നിലവാരം.

എങ്ങനെ ചെയ്യുന്നു ഐസിപി-എംഎസ് അതിൻ്റെ മാന്ത്രികത പ്രവർത്തിക്കുമോ? ലളിതമായി പറഞ്ഞാൽ, ദി സാമ്പിൾ ഗ്യാസ് (അല്ലെങ്കിൽ വാതകത്തിൽ നിന്ന് ഉരുത്തിരിഞ്ഞ ഒരു ലായനി) വളരെ ചൂടുള്ള പ്ലാസ്മയിലേക്ക് അവതരിപ്പിക്കപ്പെടുന്നു, ഇത് സാധാരണയായി നിർമ്മിച്ചതാണ് ആർഗോൺ. 6,000 മുതൽ 10,000 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസ് വരെ താപനിലയിൽ എത്തുന്ന ഈ പ്ലാസ്മ, വാതക തന്മാത്രകളെ വിഘടിപ്പിക്കാനും നിലവിലുള്ള ആറ്റങ്ങളെ അയോണീകരിക്കാനും കഴിയുന്നത്ര ഊർജ്ജസ്വലമാണ്. ലോഹ മാലിന്യങ്ങൾ. ഈ അയോണുകൾ പ്ലാസ്മയിൽ നിന്ന് വേർതിരിച്ചെടുക്കുകയും ഒരു മാസ് സ്പെക്ട്രോമീറ്ററിലേക്ക് നയിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. മാസ്സ് സ്പെക്ട്രോമീറ്റർ വളരെ കൃത്യമായ ഒരു ഫിൽറ്റർ പോലെ പ്രവർത്തിക്കുന്നു, അയോണുകളെ അവയുടെ പിണ്ഡം-ചാർജ് അനുപാതത്തെ അടിസ്ഥാനമാക്കി വേർതിരിക്കുന്നു. എ ഡിറ്റക്ടർ ഓരോ നിർദ്ദിഷ്ട പിണ്ഡത്തിനും അയോണുകൾ കണക്കാക്കുന്നു, ഏത് മൂലകങ്ങളാണ് ഉള്ളതെന്നും ഏത് അളവിലാണെന്നും തിരിച്ചറിയാൻ ഞങ്ങളെ അനുവദിക്കുന്നു. യുടെ കഴിവ് ഐസിപി-എംഎസ് വിശാലമായ സ്പെക്ട്രത്തിനായി സ്കാൻ ചെയ്യാൻ പ്രത്യേക വാതകങ്ങളിലെ ലോഹ മാലിന്യങ്ങൾ ഒരേസമയം അത് വളരെ കാര്യക്ഷമമാക്കുന്നു.

അതേസമയം ഐസിപി-എംഎസ് അവിശ്വസനീയമാംവിധം ശക്തമാണ്, അത് അതിൻ്റെ വെല്ലുവിളികളില്ലാതെയല്ല, പ്രത്യേകിച്ച് കൈകാര്യം ചെയ്യുമ്പോൾ അർദ്ധചാലകത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകങ്ങൾ കൃത്രിമത്വം. ഒരു സാധാരണ സമീപനം ട്രാപ്പ് ചെയ്യുക എന്നതാണ് മാലിന്യങ്ങൾ ഒരു വലിയ അളവിലുള്ള വാതകത്തിൽ നിന്ന് ഒരു ശേഖരണ മാധ്യമത്തിലേക്കോ ദ്രാവകത്തിലേക്കോ, അത് വിശകലനം ചെയ്യുന്നു ഐസിപി-എംഎസ്. എന്നിരുന്നാലും, നേരിട്ട് ഗ്യാസ് നേരിട്ടുള്ള കുത്തിവയ്പ്പ് ഉള്ളിലേക്ക് ഐസിപി-എംഎസ് സ്പെഷ്യലൈസ്ഡ് ഇൻ്റർഫേസുകൾ ആവശ്യമാണെങ്കിലും, ചില ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് സിസ്റ്റം കൂടുതൽ സാധാരണമായിക്കൊണ്ടിരിക്കുകയാണ്. രീതിയുടെ തിരഞ്ഞെടുപ്പ് നിർദ്ദിഷ്ട രീതിയെ ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു വാതക മാലിന്യങ്ങൾ താൽപ്പര്യമുള്ള, മാട്രിക്സ് ഗ്യാസ്, ആവശ്യമുള്ളത് കണ്ടെത്തൽ പരിധി. Huazhong Gas-ൽ, ഉൾപ്പെടെയുള്ള അത്യാധുനിക വിശകലന ഉപകരണങ്ങളിൽ ഞങ്ങൾ വൻതോതിൽ നിക്ഷേപം നടത്തുന്നു. ഐസിപി-എംഎസ് കഴിവുകൾ, കാരണം അത് വിശ്വസനീയമാണെന്ന് ഞങ്ങൾക്കറിയാം അശുദ്ധി വിശകലനം ഞങ്ങളുടെ ഉപഭോക്താക്കൾ ഞങ്ങളിൽ അർപ്പിക്കുന്ന വിശ്വാസത്തിന് ഡാറ്റ അടിസ്ഥാനപരമാണ് ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ഇലക്ട്രോണിക് വാതകങ്ങൾ. എന്നതിൻ്റെ കൃത്യത ഐസിപി-എംഎസ് എന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ സഹായിക്കുന്നു വാതകങ്ങളുടെ പരിശുദ്ധി എന്ന കർശനമായ ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നു ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്രേഡ് വസ്തുക്കൾ.

ഇലക്‌ട്രോണിക്‌സ്, അർദ്ധചാലക വ്യവസായങ്ങൾക്ക് അനിയന്ത്രിതമായ വാതക ശുദ്ധി വിലമതിക്കാനാകാത്തത് എന്തുകൊണ്ട്?

അചഞ്ചലമായ ആവശ്യം വാതക പരിശുദ്ധി ൽ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, അർദ്ധചാലക വ്യവസായങ്ങൾ വെറുമൊരു മുൻഗണന മാത്രമല്ല; ആധുനിക ഉപകരണ നിർമ്മാണത്തിൻ്റെ ഭൗതികശാസ്ത്രവും സാമ്പത്തികശാസ്ത്രവും നയിക്കുന്ന അടിസ്ഥാനപരമായ ആവശ്യകതയാണിത്. പോലെ അർദ്ധചാലകം ഉപകരണ സവിശേഷതകൾ നാനോമീറ്റർ സ്കെയിലിലേക്ക് ചുരുങ്ങുന്നു, ഏത് രൂപത്തിലുമുള്ള അവയുടെ സംവേദനക്ഷമത മലിനീകരണം ആകാശം മുട്ടുന്നു. എ അശുദ്ധി പഴയതും വലുതുമായ ഉപകരണങ്ങളിൽ അത് നിസ്സാരമായിരുന്നിരിക്കാം, അത് ഇപ്പോൾ അത്യാധുനിക ചിപ്പുകളിൽ വിനാശകരമായ പരാജയങ്ങൾക്ക് കാരണമാകും. ഇത് വിളവെടുപ്പിനെ നേരിട്ട് ബാധിക്കുന്നു - ഓരോ വേഫറിനും നല്ല ചിപ്പുകളുടെ ശതമാനം - വിളവിലെ ചെറിയ ഇടിവ് പോലും ദശലക്ഷക്കണക്കിന് ഡോളർ വരുമാനം നഷ്ടപ്പെടുത്തും. അർദ്ധചാലകം നിർമ്മാതാവ്.

ഒരു ആധുനിക മൈക്രോപ്രൊസസ്സറിൻ്റെയോ മെമ്മറി ചിപ്പിൻ്റെയോ സങ്കീർണ്ണമായ വാസ്തുവിദ്യയെക്കുറിച്ച് ചിന്തിക്കുക. അതിൽ കോടിക്കണക്കിന് ട്രാൻസിസ്റ്ററുകൾ അടങ്ങിയിരിക്കുന്നു, ഓരോന്നും മിനിയേച്ചർ എഞ്ചിനീയറിംഗിൻ്റെ അത്ഭുതമാണ്. ഈ ട്രാൻസിസ്റ്ററുകളുടെ പ്രവർത്തനം കൃത്യമായ വൈദ്യുത ഗുണങ്ങളെ ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു അർദ്ധചാലകം ഉപയോഗിച്ച വസ്തുക്കൾ, അതാകട്ടെ, വളരെ സാധ്യതയുള്ളവയാണ് മാലിന്യങ്ങൾ. ഉദാഹരണത്തിന്, ഉറപ്പാണ് ലോഹ മാലിന്യങ്ങൾ സിലിക്കൺ ബാൻഡ് വിടവിനുള്ളിൽ അനാവശ്യ ഊർജ്ജ നിലകൾ അവതരിപ്പിക്കാൻ കഴിയും, ഇത് ലീക്കേജ് കറൻ്റ് വർദ്ധിക്കുന്നതിനോ കാരിയർ മൊബിലിറ്റി കുറയുന്നതിനോ ഇടയാക്കും. വേഗത കുറഞ്ഞതോ കാര്യക്ഷമത കുറഞ്ഞതോ പൂർണ്ണമായും പ്രവർത്തനരഹിതമായതോ ആയ ഉപകരണങ്ങൾ എന്നാണ് ഇതിനർത്ഥം. വാതകം മാലിന്യങ്ങൾ ഓക്സിജനോ ഈർപ്പമോ പോലെ, ഉദ്ദേശിക്കാത്ത ഓക്സൈഡ് പാളികൾ രൂപപ്പെടുന്നതിനും, ഉപകരണത്തിൻ്റെ പ്രവർത്തനത്തിന് നിർണായകമായ ഫിലിം കനം അല്ലെങ്കിൽ ഇൻ്റർഫേസ് ഗുണങ്ങൾ മാറ്റുന്നതിനും ഇടയാക്കും. മൊത്തത്തിൽ വാതക ഗുണനിലവാരം നേരിട്ട് വിവർത്തനം ചെയ്യുന്നു ഉൽപ്പന്ന നിലവാരം വിശ്വാസ്യതയും.

കൂടാതെ, ദി ഇലക്ട്രോണിക്സ്, അർദ്ധചാലക വ്യവസായങ്ങൾ വളരെ സങ്കീർണ്ണവും ചെലവേറിയതുമായ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളാണ് ഇവയുടെ സവിശേഷത. ഒരു സിംഗിൾ അർദ്ധചാലകം ഫാബ്രിക്കേഷൻ പ്ലാൻ്റ് ("ഫാബ്") നിർമ്മിക്കുന്നതിനും സജ്ജീകരിക്കുന്നതിനും കോടിക്കണക്കിന് ഡോളർ ചിലവാകും. ദി ഉപയോഗിച്ച വാതകങ്ങൾ ഈ ചെലവേറിയ പ്രക്രിയ ഘട്ടങ്ങളിൽ അവിഭാജ്യമാണ്. എങ്കിൽ എ പ്രത്യേക വാതകം ഒരു ഉപയോഗിച്ച് മലിനമായിരിക്കുന്നു അശുദ്ധി, ഇത് നിലവിൽ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുന്ന വേഫറുകളെ മാത്രമല്ല ബാധിക്കുന്നത്; വിലകൂടിയ പ്രോസസ്സിംഗ് ഉപകരണങ്ങളെ തന്നെ അത് മലിനമാക്കുകയും ചെയ്യും. ഇത് ക്ലീനിംഗ്, റിക്വലിഫിക്കേഷൻ എന്നിവയ്ക്കായി നീണ്ടുനിൽക്കുന്ന പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയത്തിലേക്ക് നയിച്ചേക്കാം, കൂടുതൽ ചെലവുകൾ വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ഉൽപ്പാദന ഷെഡ്യൂളുകൾ തടസ്സപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യും - മാർക്ക് ഷെനെപ്പോലുള്ള ഒരാൾക്ക്, ഉപഭോക്താക്കളുടെ ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി സമയബന്ധിതമായ ഡെലിവറിയെ ആശ്രയിക്കുന്ന ഒരു പ്രധാന വേദന. അതിനാൽ, ഉറപ്പാക്കുന്നു ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യാലിറ്റി വാതകങ്ങളുടെ പരിശുദ്ധി കർശനമായ വഴി അശുദ്ധി വിശകലനം മുഴുവൻ വിതരണ ശൃംഖലയ്‌ക്കുമുള്ള നിർണായക അപകട ലഘൂകരണ തന്ത്രമാണ്. ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിക്കുന്നു ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി വാതകങ്ങൾ ഓഹരികൾ അവിശ്വസനീയമാംവിധം ഉയർന്നതാണ് കാരണം.

പ്രത്യേക വാതകങ്ങളിലെ ലോഹമാലിന്യങ്ങളുടെ വിശകലനത്തിൽ നാം നേരിടുന്ന പ്രധാന വെല്ലുവിളികൾ എന്തൊക്കെയാണ്?

വിശകലനം ചെയ്യുന്നു ലോഹ മാലിന്യങ്ങൾ ഇൻ പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ, പ്രത്യേകിച്ച് ഇതിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നവ അർദ്ധചാലകം വ്യവസായം, സവിശേഷമായ വെല്ലുവിളികൾ അവതരിപ്പിക്കുന്നു. പ്രാഥമിക ബുദ്ധിമുട്ട് ഉണ്ടാകുന്നത് ഇവ വളരെ കുറഞ്ഞ സാന്ദ്രതയിൽ നിന്നാണ് മാലിന്യങ്ങൾ പ്രശ്‌നമുണ്ടാക്കാം - പലപ്പോഴും ബില്യൺ-പെർ-ബില്യൺ (ppb) അല്ലെങ്കിൽ പാർട്‌സ്-പെർ-ട്രില്യൺ (ppt) ശ്രേണിയിൽ. അത്തരം ചെറിയ തുകകൾ കണ്ടെത്തുന്നതിനും കൃത്യമായി കണക്കാക്കുന്നതിനും വളരെ സെൻസിറ്റീവ് അനലിറ്റിക്കൽ ഇൻസ്ട്രുമെൻ്റേഷൻ ആവശ്യമാണ് ഐസിപി-എംഎസ് മാത്രമല്ല, അസാധാരണമാംവിധം ശുദ്ധിയുള്ള an_alytical പരിതസ്ഥിതികളും ബാഹ്യമായി അവതരിപ്പിക്കുന്നത് ഒഴിവാക്കാൻ സൂക്ഷ്മമായ സാമ്പിൾ കൈകാര്യം ചെയ്യൽ പ്രോട്ടോക്കോളുകളും മലിനീകരണം.

ഒരു പ്രധാന വെല്ലുവിളി സാമ്പിൾ ആമുഖമാണ്. പലതും പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു ഇൻ ഇലക്ട്രോണിക്സ് വളരെ റിയാക്ടീവ്, നശിപ്പിക്കുന്ന, അല്ലെങ്കിൽ പൈറോഫോറിക് (വായുവിൽ സ്വയമേവ ജ്വലിക്കുന്നു). ഇവ സുരക്ഷിതമായും ഫലപ്രദമായും കൈമാറുന്നു വാതകങ്ങൾ ഒരു പോലെയുള്ള ഒരു വിശകലന ഉപകരണത്തിലേക്ക് ഐസിപി-എംഎസ് മാറ്റം വരുത്താതെ സാമ്പിൾ ഗ്യാസ് അല്ലെങ്കിൽ ഉപകരണം മലിനമാക്കുന്നതിന് പ്രത്യേക ഇൻ്റർഫേസുകളും കൈകാര്യം ചെയ്യൽ നടപടിക്രമങ്ങളും ആവശ്യമാണ്. ഉദാഹരണത്തിന്, നേരിട്ട് കുത്തിവയ്ക്കുന്നത് എ നശിപ്പിക്കുന്ന വാതകം ഹൈഡ്രജൻ ക്ലോറൈഡ് (HCl) പോലെ ഐസിപി-എംഎസ് സിസ്റ്റം അതിനെ ഗുരുതരമായി നശിപ്പിക്കും. അതിനാൽ, ഇംപിംഗർ ട്രാപ്പിംഗ് പോലുള്ള പരോക്ഷ രീതികൾ (ഗ്യാസ് പിടിച്ചെടുക്കാൻ ഒരു ദ്രാവകത്തിലൂടെ വാതകം കുമിളയാക്കുന്നു മാലിന്യങ്ങൾ) അല്ലെങ്കിൽ ക്രയോജനിക് ട്രാപ്പിംഗ്, പലപ്പോഴും ഉപയോഗിക്കാറുണ്ട്. എന്നിരുന്നാലും, ഈ രീതികൾക്ക് അവരുടേതായ സാധ്യതയുള്ള ഉറവിടങ്ങൾ അവതരിപ്പിക്കാൻ കഴിയും മലിനീകരണം അല്ലെങ്കിൽ പൂർണ്ണമായി നടപ്പിലാക്കിയില്ലെങ്കിൽ നഷ്ടം വിശകലനം ചെയ്യുക. എന്ന തിരഞ്ഞെടുപ്പ് കാരിയർ ഗ്യാസ് നേർപ്പിക്കുന്നതിന്, ആവശ്യമെങ്കിൽ, കുറ്റമറ്റതായിരിക്കണം പരിശുദ്ധി.

മറ്റൊരു വെല്ലുവിളി "മാട്രിക്സ് പ്രഭാവം" ആണ്. ബൾക്ക് വാതകം സ്വയം (ഉദാ. ആർഗോൺ, നൈട്രജൻ, ഹൈഡ്രജൻ) കണ്ടുപിടിക്കുന്നതിൽ ഇടപെടാൻ കഴിയും മാലിന്യങ്ങൾ കണ്ടെത്തുക. ഉദാഹരണത്തിന്, ഇൻ ഐസിപി-എംഎസ്, ബൾക്കിൽ നിന്ന് രൂപപ്പെട്ട പ്ലാസ്മ വാതകം ചില ലക്ഷ്യങ്ങളുടെ അതേ മാസ്-ചാർജ് അനുപാതമുള്ള പോളിറ്റോമിക് അയോണുകൾ സൃഷ്ടിക്കാൻ കഴിയും ലോഹ മാലിന്യങ്ങൾ, തെറ്റായ പോസിറ്റീവുകളിലേക്കോ കൃത്യതയില്ലാത്ത അളവുകളിലേക്കോ നയിക്കുന്നു. കൂട്ടിയിടി/പ്രതികരണ കോശങ്ങൾ പോലുള്ള സാങ്കേതിക വിദ്യകൾ വിശകലന വിദഗ്ധർ ഉപയോഗിക്കണം ഐസിപി-എംഎസ് അല്ലെങ്കിൽ ഈ സ്പെക്ട്രൽ ഇടപെടലുകളെ മറികടക്കാൻ ഉയർന്ന റെസല്യൂഷൻ മാസ് സ്പെക്ട്രോമെട്രി. കൂടാതെ, അളവെടുക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്ന കാലിബ്രേഷൻ മാനദണ്ഡങ്ങൾ ലോഹ മാലിന്യങ്ങൾ വളരെ കൃത്യവും കണ്ടെത്താനാകുന്നതുമായിരിക്കണം, കൂടാതെ വിശ്വാസ്യത ഉറപ്പാക്കാൻ മുഴുവൻ വിശകലന പ്രക്രിയയും സാധൂകരിക്കുകയും വേണം. അശുദ്ധി വിശകലനം ഫലങ്ങൾ. ഒരു വിതരണക്കാരൻ എന്ന നിലയിൽ ഞങ്ങൾ അതിൻ്റെ സമഗ്രതയെക്കുറിച്ച് ആശങ്കാകുലരാണ് ഗ്യാസ് സിലിണ്ടറുകൾ സംഭാവന ചെയ്യാനുള്ള അവരുടെ കഴിവും ലോഹ മാലിന്യങ്ങൾ കാലക്രമേണ, ഇതിന് തുടർച്ചയായ ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണം ആവശ്യമാണ്.

ഒരു ഗ്യാസ് എക്സ്ചേഞ്ച് ഉപകരണം ഉപയോഗിക്കുന്നത് ട്രെയ്സ് ഇംപ്യൂരിറ്റീസ് മെഷർമെൻ്റിൻ്റെ കൃത്യത വർദ്ധിപ്പിക്കുമോ?

അതെ, ഗ്യാസ് എക്സ്ചേഞ്ച് ഉപകരണം ഉപയോഗിച്ച് കൃത്യത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിൽ തീർച്ചയായും ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കാനാകും മാലിന്യങ്ങളുടെ അളവ് കണ്ടെത്തുക, പ്രത്യേകിച്ച് വെല്ലുവിളികൾ കൈകാര്യം ചെയ്യുമ്പോൾ വാതകം മെട്രിക്സ് അല്ലെങ്കിൽ അൾട്രാ ലോ ലക്ഷ്യമിടുമ്പോൾ കണ്ടെത്തൽ പരിധികൾ. എ ഗ്യാസ് എക്സ്ചേഞ്ച് ഉപകരണം, ചിലപ്പോൾ ഒരു മാട്രിക്സ് എലിമിനേഷൻ സിസ്റ്റം എന്ന് വിളിക്കപ്പെടുന്നു, പ്രധാനമായും ബൾക്ക് തിരഞ്ഞെടുത്ത് നീക്കം ചെയ്തുകൊണ്ട് പ്രവർത്തിക്കുന്നു വാതകം (ഇതിൻ്റെ പ്രധാന ഘടകം സാമ്പിൾ ഗ്യാസ്) കേന്ദ്രീകരിക്കുമ്പോൾ മാലിന്യങ്ങൾ കണ്ടെത്തുക താൽപ്പര്യമുള്ളത്. ഈ പ്രീ-കോൺസൻട്രേഷൻ ഘട്ടം തുടർന്നുള്ള വിശകലന സാങ്കേതിക വിദ്യകളുടെ സംവേദനക്ഷമതയെ നാടകീയമായി മെച്ചപ്പെടുത്തും ഐസിപി-എംഎസ് അല്ലെങ്കിൽ ഗ്യാസ് ക്രോമാറ്റോഗ്രാഫ് സംവിധാനങ്ങൾ.

പലതിനു പിന്നിലെ തത്വം ഗ്യാസ് എക്സ്ചേഞ്ച് ഉപകരണങ്ങൾ ഒരു സെമി-പെർമെബിൾ മെംബ്രൺ അല്ലെങ്കിൽ ഒരു സെലക്ടീവ് അഡ്സോർപ്ഷൻ/ഡെസോർപ്ഷൻ മെക്കാനിസം ഉൾപ്പെടുന്നു. ഉദാഹരണത്തിന്, a-യിൽ നിന്ന് ഹൈഡ്രജനെ തിരഞ്ഞെടുത്ത് നീക്കം ചെയ്യാൻ പലേഡിയം മെംബ്രൺ ഉപയോഗിക്കാം വാതക മിശ്രിതം, മറ്റുള്ളവ അനുവദിക്കുന്നു വാതകങ്ങളിലെ മാലിന്യങ്ങൾ ഏകാഗ്രമാക്കുകയും a ലേക്ക് കൈമാറുകയും വേണം ഡിറ്റക്ടർ. അതുപോലെ, പ്രത്യേക അഡ്‌സോർബൻ്റ് മെറ്റീരിയലുകൾക്ക് ചിലത് കുടുക്കാൻ കഴിയും മാലിന്യങ്ങൾ ഒഴുകുന്നതിൽ നിന്ന് വാതകം സ്ട്രീം കാരിയർ ഗ്യാസ് വിശകലനത്തിനായി. ബൾക്കിൻ്റെ അളവ് കുറച്ചുകൊണ്ട് വാതകം എത്തുന്നു ഡിറ്റക്ടർ, ഈ ഉപകരണങ്ങൾ മാട്രിക്സ് ഇടപെടലുകൾ കുറയ്ക്കുകയും പശ്ചാത്തല ശബ്‌ദം കുറയ്ക്കുകയും ലക്ഷ്യത്തിനായുള്ള സിഗ്നൽ-ടു-നോയ്‌സ് അനുപാതം ഫലപ്രദമായി വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു മാലിന്യങ്ങൾ കണ്ടെത്തുക. ഇത് താഴ്ന്ന നിലയിലേക്ക് നയിച്ചേക്കാം കണ്ടെത്തലിൻ്റെ പരിധി.

യുടെ പ്രയോജനങ്ങൾ ഗ്യാസ് എക്സ്ചേഞ്ച് ഉപകരണം ഉപയോഗിച്ച് വിശകലനം ചെയ്യുമ്പോൾ പ്രത്യേകിച്ചും വ്യക്തമാണ് ഇലക്ട്രോണിക്സിലെ മാലിന്യങ്ങൾ നേരിട്ട് കൈകാര്യം ചെയ്യാൻ ബുദ്ധിമുട്ടുള്ള അല്ലെങ്കിൽ വിശകലന ഉപകരണങ്ങളിൽ കാര്യമായ ഇടപെടൽ ഉണ്ടാക്കുന്ന വാതകങ്ങൾ. ഉദാഹരണത്തിന്, ഉയർന്ന റിയാക്ടീവിലുള്ള ഓക്സിജനോ ഈർപ്പമോ അളക്കാൻ ശ്രമിക്കുമ്പോൾ പ്രത്യേക വാതകം, എ ഗ്യാസ് എക്സ്ചേഞ്ച് ഉപകരണം ഇവ വേർതിരിക്കാൻ സാധ്യതയുണ്ട് മാലിന്യങ്ങൾ കൂടുതൽ സൗമ്യതയിലേക്ക് കാരിയർ ഗ്യാസ് പോലെ ആർഗോൺ അല്ലെങ്കിൽ ഹീലിയം എത്തുന്നതിന് മുമ്പ് ഡിറ്റക്ടർ. ഇത് കൃത്യത മെച്ചപ്പെടുത്തുക മാത്രമല്ല, സെൻസിറ്റീവ് അനലിറ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങളെ സംരക്ഷിക്കുകയും ചെയ്യും. ഒരു നിർമ്മാതാവ് എന്ന നിലയിൽ 99.999% ശുദ്ധി 50L സിലിണ്ടർ സെനോൺ ഗ്യാസ്, അസാധാരണമായവ പരിശോധിക്കുന്നതിൽ അത്തരം വിപുലമായ സാങ്കേതിക വിദ്യകളുടെ മൂല്യം ഞങ്ങൾ മനസ്സിലാക്കുന്നു പരിശുദ്ധി അപൂർവ്വവും പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ. ഈ സാങ്കേതികവിദ്യ നിർണായകമായി സഹായിക്കുന്നു വാതക ശുദ്ധീകരണം സ്ഥിരീകരണ ഘട്ടങ്ങളും.

നിർണ്ണായക ലിങ്ക്: അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൽ നേരിട്ട് ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകങ്ങളിലെ അശുദ്ധി വിശകലനം.

ദി അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൽ നേരിട്ട് ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകങ്ങൾ ഫാബ്രിക്കേഷൻ പ്രക്രിയയുടെ ജീവവായുവാണ്. ഇവയിൽ മാത്രമല്ല ഉൾപ്പെടുന്നു ബൾക്ക് വാതകങ്ങൾ നൈട്രജൻ പോലെ ആർഗോൺ, മാത്രമല്ല വിശാലമായ ഒരു നിര ഇലക്ട്രോണിക് പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ അതുപോലെ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വാതകങ്ങൾ (ഉദാ., ക്രിസ്റ്റൽ പാളികൾ വളർത്തുന്നതിനുള്ള സിലാൻ, ജർമ്മൻ) എച്ചിംഗ് വാതകങ്ങൾ (ഉദാ. NF₃, SF₆, Cl₂ പാറ്റേണിംഗിനായി) അയോൺ ഇംപ്ലാൻ്റേഷൻ വാതകങ്ങൾ (ഉദാ. ആർസിൻ, ഫോസ്ഫിൻ, ഡോപ്പിംഗിനുള്ള ബോറോൺ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡ്), നിക്ഷേപ വാതകങ്ങൾ. ഇവയിൽ ഓരോന്നിനും ആവശ്യമായ വാതകങ്ങൾ, സ്വീകാര്യമായ നിലയും തരവും അശുദ്ധി കർശനമായി നിർവചിച്ചിരിക്കുന്നു, കാരണം ഏത് വ്യതിയാനവും നേരിട്ട് വൈകല്യങ്ങളായി വിവർത്തനം ചെയ്യപ്പെടും അർദ്ധചാലകം വേഫർ. ഇത് ഉണ്ടാക്കുന്നു അശുദ്ധി വിശകലനം ഇവയ്ക്ക് പ്രോസസ്സ് വാതകങ്ങൾ തികച്ചും നിർണായകമായ ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണ ഘട്ടം.

ട്രാൻസിസ്റ്ററുകളിലെ ഒരു സാധാരണ ഇൻസുലേറ്ററായ നേർത്ത സിലിക്കൺ ഡയോക്സൈഡ് പാളിയുടെ നിക്ഷേപം പരിഗണിക്കുക. ഓക്സിജൻ ആണെങ്കിൽ ഗ്യാസ് ഉപയോഗിക്കുന്നു ഈ പ്രക്രിയയിൽ ഹൈഡ്രോകാർബൺ അടങ്ങിയിരിക്കുന്നു മാലിന്യങ്ങൾ, കാർബൺ ഓക്സൈഡ് പാളിയിൽ ഉൾപ്പെടുത്താം, അതിൻ്റെ ഇൻസുലേറ്റിംഗ് ഗുണങ്ങളെ നശിപ്പിക്കുകയും ഉപകരണത്തിൻ്റെ പരാജയത്തിലേക്ക് നയിക്കുകയും ചെയ്യും. അതുപോലെ, ഒരു എച്ചിംഗ് ആണെങ്കിൽ വാതകം ഒരു അപ്രതീക്ഷിതമായത് അടങ്ങിയിരിക്കുന്നു അശുദ്ധി, ഇത് വളരെ വലുതോ ചെറുതോ തെറ്റായി ആകൃതിയിലുള്ളതോ ആയ ഫീച്ചറുകളിലേക്ക് നയിച്ചേക്കാം, ഇത് etch റേറ്റോ സെലക്റ്റിവിറ്റിയോ മാറ്റിയേക്കാം. ഒരു പോലും അശുദ്ധി ഒരു ൽ നിഷ്ക്രിയ വാതകം പോലെ ആർഗോൺ ഗ്യാസ് സിലിണ്ടർ സ്‌പട്ടറിങ്ങിനുപയോഗിക്കുന്നവ വേഫർ ഉപരിതലത്തിലേക്ക് മാറ്റാം, ഇത് ഫിലിം ഗുണനിലവാരത്തെ ബാധിക്കും. ഒരു ആഘാതം അശുദ്ധി പലപ്പോഴും പ്രക്രിയ-നിർദ്ദിഷ്ടമാണ്, അതായത് an അശുദ്ധി ഒരു ഘട്ടത്തിൽ സഹിക്കുന്നത് ഒരു നിർണായകമായേക്കാം മലിനീകരണം മറ്റൊന്നിൽ.

ഈ നിർണായക ലിങ്കിന് സമഗ്രമായ ഒരു സമീപനം ആവശ്യമാണ് അശുദ്ധി വിശകലനം. അന്തിമ ഉൽപ്പന്നം പരിശോധിക്കുന്നത് മാത്രമല്ല; അസംസ്‌കൃത വസ്തുക്കൾ, ഇൻ-പ്രോസസ് സ്ട്രീമുകൾ, ഫൈനൽ എന്നിവ നിരീക്ഷിക്കുന്നത് ഇതിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു വാതകം ശുദ്ധീകരണ ഘട്ടങ്ങൾ. വേണ്ടി അർദ്ധചാലക സ്പെഷ്യാലിറ്റി വാതകങ്ങൾ, അതിനുള്ള പ്രത്യേകതകൾ അർദ്ധചാലകത്തിലെ മാലിന്യങ്ങൾ പ്രയോഗങ്ങൾ പലപ്പോഴും വളരെ ഇറുകിയതാണ്, വിശകലനപരമായ കണ്ടെത്തലിൻ്റെ അതിരുകൾ നീക്കുന്നു. ഞങ്ങളുടെ ഉപഭോക്താക്കളുമായി ഞങ്ങൾ അടുത്ത് പ്രവർത്തിക്കുന്നു അർദ്ധചാലകവും ഇലക്ട്രോണിക്സും അവയുടെ പ്രത്യേകത മനസ്സിലാക്കാനുള്ള ഫീൽഡ് അശുദ്ധി വ്യത്യസ്തതയ്ക്കുള്ള സംവേദനക്ഷമത വാതകങ്ങളും വാതക മിശ്രിതങ്ങളും. ഈ സഹകരണ സമീപനം ഉറപ്പാക്കാൻ സഹായിക്കുന്നു പരിശുദ്ധി പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ അവരുടെ നൂതന ഉൽപ്പാദന പ്രക്രിയകളുടെ ആവശ്യപ്പെടുന്ന ആവശ്യകതകൾ ഞങ്ങൾ സ്ഥിരമായി നിറവേറ്റുന്നു. എ കണ്ടെത്തുന്നതിലാണ് വെല്ലുവിളി മാലിന്യങ്ങളുടെ വിശാലമായ ശ്രേണി നിരന്തരം കുറയുന്ന തലങ്ങളിൽ.

ലാബിനപ്പുറം: മലിനീകരണം തടയുന്നതിന് ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള അർദ്ധചാലക വാതകങ്ങൾ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള മികച്ച സമ്പ്രദായങ്ങൾ.

ഉറപ്പാക്കുന്നു ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യാലിറ്റി വാതകങ്ങളുടെ പരിശുദ്ധി എപ്പോൾ അവസാനിക്കുന്നില്ല വാതകം ഞങ്ങളുടെ ഉൽപ്പാദന സൗകര്യം ഉപേക്ഷിക്കുന്നു. അത് നിലനിർത്തുന്നു പരിശുദ്ധി a-യിലെ ഉപയോഗത്തിലേക്കുള്ള എല്ലാ വഴികളും അർദ്ധചാലകം കൈകാര്യം ചെയ്യൽ, സംഭരണം, വിതരണം എന്നിവയിൽ ഫാബിന് സൂക്ഷ്മമായ ശ്രദ്ധ ആവശ്യമാണ്. ഏറ്റവും ഉയർന്നത് പോലും ശുദ്ധി വാതകം ശരിയായി കൈകാര്യം ചെയ്തില്ലെങ്കിൽ മലിനമാകാം. Huazhong Gas-ൽ, ഞങ്ങൾ ഉൽപ്പാദനത്തിൽ മാത്രമല്ല ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിക്കുന്നത് ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതകങ്ങൾ എന്നാൽ ഡൗൺസ്ട്രീം തടയുന്നതിനുള്ള മികച്ച സമ്പ്രദായങ്ങളെക്കുറിച്ച് ഞങ്ങളുടെ ക്ലയൻ്റുകളെ ഉപദേശിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു മലിനീകരണം.

പ്രധാന മികച്ച പരിശീലനങ്ങളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:

• ഘടകം തിരഞ്ഞെടുക്കൽ: ഗ്യാസ് ഡെലിവറി സിസ്റ്റത്തിലെ എല്ലാ ഘടകങ്ങളും - ഉൾപ്പെടെ ഗ്യാസ് സിലിണ്ടറുകൾ, റെഗുലേറ്ററുകൾ, വാൽവുകൾ, ട്യൂബുകൾ, ഫിറ്റിംഗുകൾ - ഉചിതമായ വസ്തുക്കളിൽ നിന്ന് നിർമ്മിക്കണം (ഉദാ. ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ) കൂടാതെ പ്രത്യേകം വൃത്തിയാക്കി സാക്ഷ്യപ്പെടുത്തിയിരിക്കണം അൾട്രാ ഉയർന്ന ശുദ്ധി (UHP) സേവനം. തെറ്റായ സാമഗ്രികൾ ഉപയോഗിക്കുന്നത് വാതകം പുറത്തേക്ക് പോകുന്നതിന് കാരണമാകും മാലിന്യങ്ങൾ അല്ലെങ്കിൽ എ ലോഹ അശുദ്ധി ഉള്ളിലേക്ക് ഒഴുകുന്നു വാതക പ്രവാഹം.
• സിസ്റ്റം സമഗ്രത: ഗ്യാസ് വിതരണ സംവിധാനം ചോർച്ചയില്ലാത്തതായിരിക്കണം. ചെറിയ ചോർച്ച പോലും അന്തരീക്ഷത്തെ അനുവദിക്കും മലിനീകരണം ഓക്സിജൻ, ഈർപ്പം, കൂടാതെ കണികകൾ വിട്ടുവീഴ്ച ചെയ്തുകൊണ്ട് സിസ്റ്റത്തിൽ പ്രവേശിക്കേണ്ട കാര്യം വാതക പരിശുദ്ധി. പതിവായി ചോർച്ച പരിശോധിക്കേണ്ടത് അത്യാവശ്യമാണ്.
• ശുദ്ധീകരണ നടപടിക്രമങ്ങൾ: ഒരു കണക്ഷൻ ഉണ്ടാക്കുമ്പോഴോ സിലിണ്ടർ മാറ്റുമ്പോഴോ ഓരോ തവണയും ശരിയായ ശുദ്ധീകരണ നടപടിക്രമങ്ങൾ വളരെ പ്രധാനമാണ്. a ഉപയോഗിച്ച് വരികൾ ഫ്ലഷ് ചെയ്യുന്നത് ഇതിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള നിഷ്ക്രിയ വാതകം (ഇഷ്ടം ആർഗോൺ അല്ലെങ്കിൽ നൈട്രജൻ) കുടുങ്ങിയ വായു നീക്കം ചെയ്യാൻ അല്ലെങ്കിൽ മാലിന്യങ്ങൾ. അപര്യാപ്തമായ ശുദ്ധീകരണം ഒരു സാധാരണ ഉറവിടമാണ് മലിനീകരണം. സ്ഥിരത ഉറപ്പാക്കാൻ ഞങ്ങൾ പലപ്പോഴും ഓട്ടോമേറ്റഡ് ശുദ്ധീകരണ പാനലുകൾ ശുപാർശ ചെയ്യുന്നു.
• സമർപ്പിത ഉപകരണങ്ങൾ: നിർദ്ദിഷ്‌ടമായ റെഗുലേറ്ററുകളും ലൈനുകളും ഉപയോഗിക്കുന്നു വാതകങ്ങൾ അല്ലെങ്കിൽ കുടുംബങ്ങളുടെ വാതകങ്ങൾ ക്രോസ്-മലിനീകരണം തടയാൻ കഴിയും. ഒരു തമ്മിൽ മാറുമ്പോൾ ഇത് വളരെ പ്രധാനമാണ് നിഷ്ക്രിയ വാതകം ഒപ്പം ഒരു റിയാക്ടീവ് അല്ലെങ്കിൽ നശിപ്പിക്കുന്ന വാതകം.
• സിലിണ്ടർ കൈകാര്യം ചെയ്യൽ: ഗ്യാസ് സിലിണ്ടറുകൾ കേടുപാടുകൾ ഒഴിവാക്കാൻ ശ്രദ്ധയോടെ കൈകാര്യം ചെയ്യണം. അവ നിയുക്തവും നന്നായി വായുസഞ്ചാരമുള്ളതുമായ സ്ഥലങ്ങളിൽ സൂക്ഷിക്കണം, കൂടാതെ "ആദ്യം, ആദ്യം" ഇൻവെൻ്ററി മാനേജ്മെൻ്റ് പരിശീലിക്കുകയും വേണം. ഉപയോഗിക്കുന്നത് സമർപ്പിത ഈർപ്പവും ഓക്സിജനും നിർണ്ണായക പോയിൻ്റുകളിലെ അനലൈസറുകൾക്ക് ഈ പൊതുവായ ഏതെങ്കിലും പ്രവേശനം നിരീക്ഷിക്കാൻ സഹായിക്കാനാകും മാലിന്യങ്ങൾ.

മാർക്ക് ഷെനെപ്പോലുള്ള ഉപഭോക്താക്കൾക്ക്, പുനർവിൽപ്പനയ്‌ക്കോ നിർമ്മാണത്തിനോ വേണ്ടി വാതകങ്ങൾ സംഭരിക്കുന്നവർ, ഈ കൈകാര്യം ചെയ്യൽ രീതികൾ മനസ്സിലാക്കുന്നത് നിലനിർത്തുന്നതിന് അത്യന്താപേക്ഷിതമാണ്. ഉൽപ്പന്ന നിലവാരം അവർ സ്വന്തം ഉപഭോക്താക്കൾക്ക് വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. അതൊരു കൂട്ടുത്തരവാദിത്തമാണ്. ഞങ്ങൾ ഉറപ്പുനൽകുന്നു ഹൈഡ്രജൻ സിലിണ്ടർ ഉൽപന്നങ്ങൾ, ഉദാഹരണത്തിന്, തടയുന്നതിനായി നിറയ്ക്കുകയും പരിപാലിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു അശുദ്ധി പ്രവേശനം, എന്നാൽ അന്തിമ ഉപയോക്താവിൻ്റെ സിസ്റ്റം ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. എതിരെയുള്ള പോരാട്ടം അശുദ്ധി ഉത്പാദനം മുതൽ പ്രയോഗം വരെയുള്ള നിരന്തര പരിശ്രമമാണ്.

ക്രിസ്റ്റൽ ബോളിലേക്ക് നോക്കുന്നു: ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്രേഡ് വാതകങ്ങൾക്കുള്ള അശുദ്ധി കണ്ടെത്തലിൽ നമുക്ക് ഭാവിയിൽ എന്ത് പുതുമകൾ പ്രതീക്ഷിക്കാം?

എക്കാലത്തെയും ഉയർന്നതിനായുള്ള അന്വേഷണം പരിശുദ്ധി ഇൻ ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്രേഡ് വാതകങ്ങൾ കൂടുതൽ സെൻസിറ്റീവും അശുദ്ധി കണ്ടെത്തൽ രീതികൾ ഒരു തുടർച്ചയായ യാത്രയാണ്, നവീകരണത്തിൻ്റെ നിരന്തരമായ വേഗതയാൽ നയിക്കപ്പെടുന്നു അർദ്ധചാലകം വ്യവസായം. ഉപകരണ സവിശേഷതകൾ സബ്-10 നാനോമീറ്റർ മേഖലയിലേക്ക് കൂടുതൽ ചുരുങ്ങുകയും പുതിയ മെറ്റീരിയലുകളും ആർക്കിടെക്ചറുകളും (3D NAND, ഗേറ്റ്-ഓൾ-എറൗണ്ട് ട്രാൻസിസ്റ്ററുകളും പോലെ) ഉയർന്നുവരുകയും ചെയ്യുമ്പോൾ, മങ്ങിയതിൻ്റെ ആഘാതം. മാലിന്യങ്ങൾ കണ്ടെത്തുക കൂടുതൽ വ്യക്തമാകും. ഇത് രണ്ടിലും കൂടുതൽ മുന്നേറ്റം ആവശ്യമായി വരും വാതക ശുദ്ധീകരണം സാങ്കേതികവിദ്യകളും അശുദ്ധി വിശകലനം കഴിവുകൾ.

നമുക്ക് നിരവധി പ്രവണതകൾ പ്രതീക്ഷിക്കാം:

• താഴ്ന്ന കണ്ടെത്തൽ പരിധികൾ: പോലുള്ള അനലിറ്റിക്കൽ ടെക്നിക്കുകൾ ഐസിപി-എംഎസ്, ഗ്യാസ് ക്രോമാറ്റോഗ്രഫി-മാസ് സ്പെക്ട്രോമെട്രി (ജിസി-എംഎസ്), കാവിറ്റി റിംഗ്-ഡൗൺ സ്പെക്ട്രോസ്കോപ്പി (സിആർഡിഎസ്) എന്നിവ വികസിക്കുന്നത് തുടരും. കണ്ടെത്തൽ പരിധികൾ ഒരു വിശാലമായ വേണ്ടി മാലിന്യങ്ങളുടെ പരിധി ഒറ്റ-അക്ക ppt ലെവലിലേക്ക് അല്ലെങ്കിൽ ppq ഡൊമെയ്‌നിലേക്ക് പോലും. ഇതിന് അയോൺ സ്രോതസ്സുകൾ, മാസ് അനലൈസറുകൾ, കൂടാതെ നവീകരണങ്ങൾ ആവശ്യമാണ് ഡിറ്റക്ടർ സാങ്കേതികവിദ്യ.
• ഇൻ-സിറ്റുവിലും റിയൽ-ടൈം മോണിറ്ററിംഗും: നിരീക്ഷിക്കാൻ കഴിയുന്ന അനലിറ്റിക്കൽ സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക് വർദ്ധിച്ചുവരുന്ന ഡിമാൻഡ് ഉണ്ട് വാതക പരിശുദ്ധി തത്സമയം, നേരിട്ട് ഉപയോഗിക്കുന്ന സ്ഥലത്ത് അർദ്ധചാലകം ഫാബ്. ഇത് പെട്ടെന്ന് കണ്ടുപിടിക്കാൻ അനുവദിക്കുന്നു മലിനീകരണം ഇവൻ്റുകൾ അല്ലെങ്കിൽ ഡ്രിഫ്റ്റുകൾ അശുദ്ധി ലെവലുകൾ, വേഗത്തിലുള്ള തിരുത്തൽ പ്രവർത്തനം പ്രാപ്തമാക്കുകയും ഉൽപ്പന്ന നഷ്ടം കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. മിനിയേച്ചറൈസ്ഡ് സെൻസറുകളും അഡ്വാൻസ്ഡ് കെമോമെട്രിക് അൽഗോരിതങ്ങളും ഇവിടെ ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കും.
• സങ്കീർണ്ണമായ വാതക മിശ്രിതങ്ങളുടെ വിശകലനം: ഭാവി അർദ്ധചാലകം പ്രക്രിയകൾ കൂടുതൽ സങ്കീർണ്ണമായേക്കാം വാതക മിശ്രിതങ്ങൾ ഒന്നിലധികം റിയാക്ടീവ് ഘടകങ്ങളുമായി. വിശകലനം ചെയ്യുന്നു മാലിന്യങ്ങൾ അത്തരം വെല്ലുവിളി നിറഞ്ഞ മെട്രിക്സുകളിൽ പുതിയ വിശകലന തന്ത്രങ്ങളും അത്യാധുനിക ഡാറ്റ വ്യാഖ്യാന ഉപകരണങ്ങളും ആവശ്യമാണ്. ഒരു അളക്കാനുള്ള കഴിവ് അശുദ്ധി ഒരു ഘടകത്തിൽ മറ്റുള്ളവരുടെ ഇടപെടലില്ലാതെ നിർണായകമാകും.
• "കൊലയാളി" മാലിന്യങ്ങളിൽ ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിക്കുക: പ്രത്യേകം തിരിച്ചറിയാൻ ഗവേഷണം തുടരും അർദ്ധചാലകത്തിലെ മാലിന്യങ്ങൾ വളരെ താഴ്ന്ന നിലകളിൽപ്പോലും, ഉപകരണത്തിൻ്റെ പ്രകടനത്തിലോ വിളവിലോ ആനുപാതികമല്ലാത്ത വലിയ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്ന പ്രോസസ്സിംഗ്. വിശകലന രീതികൾ ഈ "കൊലയാളികളെ" കൂടുതൽ ലക്ഷ്യമിടുന്നു മാലിന്യങ്ങൾ.
• ഡാറ്റ അനലിറ്റിക്‌സും AI: വിപുലമായ ഡാറ്റ സൃഷ്‌ടിച്ച വലിയ അളവുകൾ അശുദ്ധി വിശകലനം ട്രെൻഡുകൾ തിരിച്ചറിയുന്നതിനും സാധ്യതകൾ പ്രവചിക്കുന്നതിനും AI, മെഷീൻ ലേണിംഗ് എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് സിസ്റ്റങ്ങൾ പ്രയോജനപ്പെടുത്തും മലിനീകരണം പ്രശ്നങ്ങൾ, ഒപ്പം ഒപ്റ്റിമൈസ് വാതക ശുദ്ധീകരണം പ്രക്രിയകൾ. റിയാക്ടീവ് പ്രശ്‌നപരിഹാരത്തിന് പകരം സജീവമായ ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണത്തിന് ഇത് സഹായിക്കും.

Huazhong Gas-ൽ, ഈ സംഭവവികാസങ്ങളിൽ മുൻപന്തിയിൽ നിൽക്കാൻ ഞങ്ങൾ പ്രതിജ്ഞാബദ്ധരാണ്. ശാസ്ത്രത്തിൻ്റെ പുരോഗതിക്കായി വ്യവസായ പങ്കാളികളുമായും അക്കാദമിക് സ്ഥാപനങ്ങളുമായും സഹകരിച്ച് ഗവേഷണത്തിലും വികസനത്തിലും ഞങ്ങൾ തുടർച്ചയായി നിക്ഷേപം നടത്തുന്നു ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതകം ഉത്പാദനവും അശുദ്ധി വിശകലനം. ഞങ്ങളുടെ ഉപഭോക്താക്കൾക്ക്, മാർക്ക് ഷെനെപ്പോലെ ഗുണനിലവാര ബോധമുള്ളവർ ഉൾപ്പെടെ, ഇത് അർത്ഥമാക്കുന്നത് വിശ്വസനീയമായ വിതരണമാണ് ഇലക്ട്രോണിക് പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ യുടെ വികസിച്ചുകൊണ്ടിരിക്കുന്ന ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നു ഇലക്ട്രോണിക്സ്, അർദ്ധചാലക വ്യവസായങ്ങൾ. ഞങ്ങളുടെ ശ്രേണി ഹീലിയം, അതിൻ്റെ നിഷ്ക്രിയത്വത്തിനും പ്രത്യേക ആപ്ലിക്കേഷനുകളിലെ ഉപയോഗത്തിനും പേരുകേട്ടതാണ്, ചുരുങ്ങിയത് ഉറപ്പാക്കാൻ ഈ വിപുലമായ വിശകലന സൂക്ഷ്മപരിശോധനയിൽ നിന്ന് പ്രയോജനം നേടുന്നു. അശുദ്ധി ലെവലുകൾ.

ഓർമ്മിക്കേണ്ട പ്രധാന കാര്യങ്ങൾ:

• ഇലക്ട്രോണിക് സ്പെഷ്യാലിറ്റി വാതകങ്ങൾ അടിസ്ഥാനപരമാണ് അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം, അവരുടെ പരിശുദ്ധി നോൺ-നെഗോഗബിൾ ആണ്.
• പോലും മാലിന്യങ്ങൾ കണ്ടെത്തുക, ppb അല്ലെങ്കിൽ ppt ൽ അളക്കുന്നത്, കാര്യമായ വൈകല്യങ്ങൾക്കും വിളവ് നഷ്ടത്തിനും കാരണമാകും അർദ്ധചാലകം ഉപകരണങ്ങൾ.
• സാധാരണ വാതകങ്ങളിലെ മാലിന്യങ്ങൾ മറ്റ് വാതകങ്ങൾ ഉൾപ്പെടുത്തുക (O₂, H₂O പോലെ), ലോഹ മാലിന്യങ്ങൾ, ഒപ്പം കണികകൾ കാര്യം.
• ഐസിപി-എംഎസ് a കണ്ടുപിടിക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു മൂലക്കല്ല് സാങ്കേതികവിദ്യയാണ് മാലിന്യങ്ങളുടെ വിശാലമായ ശ്രേണി, പ്രത്യേകിച്ച് ലോഹ മാലിന്യങ്ങൾ, വളരെ താഴ്ന്ന നിലകളിൽ.
• പരിപാലിക്കുന്നു വാതക പരിശുദ്ധി എന്നതിൽ നിന്ന് സൂക്ഷ്മമായ കൈകാര്യം ചെയ്യലും സിസ്റ്റം സമഗ്രതയും ആവശ്യമാണ് ഗ്യാസ് സിലിണ്ടർ തടയാനുള്ള ഉപയോഗത്തിൻ്റെ പോയിൻ്റിലേക്ക് മലിനീകരണം.
• ഭാവി ഇതിലും താഴെയായി കാണപ്പെടും കണ്ടെത്തൽ പരിധികൾ, തത്സമയ മോണിറ്ററിംഗ്, AI-ഡ്രൈവ് അശുദ്ധി വിശകലനം വേണ്ടി ഇലക്ട്രോണിക് ഗ്രേഡ് വാതകങ്ങൾ.
• എല്ലാ സാധ്യതകളും നിയന്ത്രിക്കുന്നു അശുദ്ധി ഉറപ്പാക്കുന്നതിന് അത്യന്താപേക്ഷിതമാണ് ഉൽപ്പന്ന നിലവാരം ആധുനികതയുടെ വിശ്വാസ്യതയും ഇലക്ട്രോണിക്സ്.