വ്യാവസായിക വാതകങ്ങൾ ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കുന്നതിൽ വൈദഗ്ദ്ധ്യമുള്ള ഒരു ഫാക്ടറി ഞങ്ങൾ ചൈനയിൽ നടത്തിവരുന്നു. എൻ്റെ കാഴ്ചപ്പാടിൽ നിന്ന്, സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ അവിശ്വസനീയമായ പരിണാമത്തിന് ഞാൻ സാക്ഷ്യം വഹിച്ചിട്ടുണ്ട്, മിക്ക ആളുകളും ഒരിക്കലും കാണാത്ത ഒന്നിൽ നിന്നാണ് ഇവയെല്ലാം പ്രവർത്തിക്കുന്നത്: അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി വാതകങ്ങൾ. നിങ്ങളുടെ ഫോണിലെയും കമ്പ്യൂട്ടറിലെയും കാറിലെയും ചെറിയ മൈക്രോചിപ്പുകൾ ആധുനിക എഞ്ചിനീയറിംഗിൻ്റെ അത്ഭുതങ്ങളാണ്, എന്നാൽ ഈ പ്രത്യേക വാതകങ്ങളുടെ കൃത്യവും കുറ്റമറ്റതുമായ വിതരണമില്ലാതെ അവയുടെ സൃഷ്ടി അസാധ്യമാണ്.

ഗുണനിലവാരത്തിൻ്റെയും വിശ്വസനീയമായ വിതരണ ശൃംഖലയുടെയും പ്രാധാന്യം നിങ്ങൾ മനസ്സിലാക്കുന്നു, പക്ഷേ നിങ്ങൾ അതിശയിച്ചേക്കാം എന്തുകൊണ്ട് അർദ്ധചാലക വാതകങ്ങളുടെ മാനദണ്ഡങ്ങൾ ജ്യോതിശാസ്ത്രപരമായി വളരെ ഉയർന്നതാണ്. ആർഗോണിൻ്റെ ഒരു ഷിപ്പിംഗ് 99.9999% ശുദ്ധമായിരിക്കേണ്ടത് എന്തുകൊണ്ട്? ഈ ഗൈഡ് അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൻ്റെ ലോകത്തെ തിരശ്ശീല പിൻവലിക്കും. ഉപയോഗിച്ച നിർദ്ദിഷ്ട വാതകങ്ങൾ, അവ എന്തുചെയ്യുന്നു, അവയുടെ പരിശുദ്ധി ഏറ്റവും നിർണായകമായ ഘടകം എന്തുകൊണ്ടെന്ന് ഞങ്ങൾ പര്യവേക്ഷണം ചെയ്യും. അവസാനത്തോടെ, നിങ്ങൾ ഉറവിടമാക്കുന്ന ഉൽപ്പന്നങ്ങളെക്കുറിച്ച് നിങ്ങൾക്ക് കൂടുതൽ വ്യക്തമായ ധാരണ ഉണ്ടായിരിക്കുകയും നിങ്ങളുടെ ഉപഭോക്താക്കളുമായി അവയുടെ മൂല്യം ആശയവിനിമയം നടത്താൻ കൂടുതൽ സജ്ജരാകുകയും ചെയ്യും.

അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിന് സ്പെഷ്യാലിറ്റി വാതകങ്ങൾ വളരെ നിർണായകമായിരിക്കുന്നത് എന്തുകൊണ്ട്?

ഒരു അംബരചുംബിയായ കെട്ടിടം പണിയുന്നത് സങ്കൽപ്പിക്കുക, അവിടെ ഒരു തെറ്റായ മണൽ തരി മുഴുവൻ ഘടനയും തകരാൻ ഇടയാക്കും. അതിൽ ആവശ്യമായ കൃത്യതയുടെ നിലവാരമാണിത് അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം വ്യവസായം. ഈ വ്യവസായത്തിൻ്റെ "ബിൽഡിംഗ് ബ്ലോക്കുകൾ" ഇഷ്ടികയും മോർട്ടറുമല്ല, മറിച്ച് ആറ്റങ്ങളാണ്, കൂടാതെ "ഉപകരണങ്ങൾ" പലപ്പോഴും ഉയർന്ന പ്രത്യേക വാതകങ്ങളാണ്. മുഴുവൻ കൃത്രിമത്വം ഒരു ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് ഒരു മൈക്രോസ്കോപ്പിക് സ്കെയിലിൽ സംഭവിക്കുന്നു, അവിടെ പദാർത്ഥങ്ങളുടെ പാളികൾ, പലപ്പോഴും കുറച്ച് ആറ്റങ്ങൾ മാത്രം കട്ടിയുള്ള, നിക്ഷേപിക്കുകയോ അതിൽ നിന്ന് അകറ്റുകയോ ചെയ്യുന്നു. സിലിക്കൺ വേഫർ.

ഇവ അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയകൾ അവിശ്വസനീയമാംവിധം സെൻസിറ്റീവ് ആണ്. ഏതെങ്കിലും അനാവശ്യ കണിക അല്ലെങ്കിൽ രാസവസ്തു അശുദ്ധി മൈക്രോചിപ്പിൻ്റെ അതിലോലമായ വാസ്തുവിദ്യയെ തടസ്സപ്പെടുത്തുകയും അത് ഉപയോഗശൂന്യമാക്കുകയും ചെയ്യും. ഇവിടെയാണ് വാതകങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. അവ വളരെ വൃത്തിയുള്ള അന്തരീക്ഷം സൃഷ്ടിക്കുന്നു, പുതിയ പാളികൾക്കുള്ള അസംസ്കൃത വസ്തുക്കൾ നൽകുന്നു, കൂടാതെ വൈദ്യുതത്തിനായുള്ള സങ്കീർണ്ണമായ പാതകൾ കൊത്തിയെടുക്കുന്ന രാസ "സ്കാൽപലുകൾ" ആയി പ്രവർത്തിക്കുന്നു. ദി അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ എന്ന സങ്കീർണ്ണമായ നൃത്തമാണ് രാസപ്രവർത്തനങ്ങൾ, വാതകങ്ങളാണ് പ്രധാന നർത്തകർ. ഈ വാതകങ്ങളുടെ സ്ഥിരവും വിശ്വസനീയവും അസാധാരണവുമായ ശുദ്ധമായ വിതരണം ഇല്ലെങ്കിൽ, ആധുനിക ഇലക്ട്രോണിക്സ് നിലനിൽക്കില്ല.

ദി അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകങ്ങൾ നിങ്ങളുടെ സ്റ്റാൻഡേർഡ് വ്യാവസായിക ഉൽപ്പന്നങ്ങളല്ല. മനസ്സിലാക്കാൻ പ്രയാസമുള്ള പരിശുദ്ധി നിലകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനാണ് അവ രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്, പലപ്പോഴും ഒരു ബില്യണിൻ്റെ ഭാഗങ്ങളിൽ അല്ലെങ്കിൽ ഒരു ട്രില്യൺ ഭാഗങ്ങളിൽ പോലും അളക്കുന്നു. യുടെ പ്രകടനമാണ് ഇതിന് കാരണം അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങൾ അവയുടെ ആറ്റോമിക് ഘടനയുടെ പൂർണതയുമായി നേരിട്ട് ബന്ധപ്പെട്ടിരിക്കുന്നു. ഓക്സിജൻ്റെയോ ജലബാഷ്പത്തിൻ്റെയോ ഒരു പ്രതിപ്രവർത്തന തന്മാത്ര ഒരു നിഷ്ക്രിയമായിരിക്കണം വാതകം ഓക്സിഡേഷൻ കാരണമാകും, മാറ്റുന്നു വൈദ്യുത ഗുണങ്ങൾ സർക്യൂട്ടിൻ്റെ വൈകല്യങ്ങളിലേക്കും നയിക്കുന്നു. ഇതുകൊണ്ടാണ് ദി പ്രത്യേക വാതക വ്യവസായം സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ ലോകത്തിന് അത് വളരെ പ്രധാനമാണ്.

അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകങ്ങളുടെ പ്രധാന വിഭാഗങ്ങൾ ഏതൊക്കെയാണ്?

നമ്മൾ സംസാരിക്കുമ്പോൾ അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിലെ വാതകങ്ങൾ, അവ സാധാരണയായി അവയുടെ പ്രവർത്തനത്തെ അടിസ്ഥാനമാക്കി ചില പ്രധാന വിഭാഗങ്ങളായി പെടുന്നു. ഈ ഗ്രൂപ്പുകളെ മനസ്സിലാക്കുന്നത് ഓരോരുത്തരുടെയും പങ്ക് വ്യക്തമാക്കാൻ സഹായിക്കുന്നു വാതകം സമുച്ചയത്തിൽ കളിക്കുന്നു ഉത്പാദന പ്രക്രിയ. ഇത് ഒന്നോ രണ്ടോ വാതകങ്ങൾ മാത്രമല്ല; ഒരു ആധുനിക അർദ്ധചാലക ഫാബ് 30-ലധികം വ്യത്യസ്തത ആവശ്യമാണ് പ്രവർത്തിക്കാൻ വാതകങ്ങളും മിശ്രിതങ്ങളും.

ആദ്യത്തേത് ബൾക്ക് വാതകങ്ങൾ. ഇവയാണ് വർക്ക്‌ഹോഴ്‌സുകൾ, സൗകര്യത്തിലുടനീളം വൻതോതിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു. അവരെ ഫാബിൻ്റെ അടിസ്ഥാന അന്തരീക്ഷമായി കരുതുക. ഏറ്റവും സാധാരണമായവ ഇവയാണ്:

• നൈട്രജൻ (N₂): മലിനീകരണം നീക്കം ചെയ്യാനും നിഷ്ക്രിയമായ അന്തരീക്ഷം സൃഷ്ടിക്കാനും അറകളും ഉപകരണങ്ങളും ശുദ്ധീകരിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
• ഓക്സിജൻ (O₂): ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള സിലിക്കൺ ഡയോക്സൈഡ് (SiO₂) പാളികൾ വളർത്താൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു, അത് ഇൻസുലേറ്ററായി പ്രവർത്തിക്കുന്നു.
• ഹൈഡ്രജൻ (H₂): ഉപരിതലങ്ങൾ വൃത്തിയാക്കാനും പ്രത്യേകം ഉപയോഗിക്കാനും ഉപയോഗിക്കുന്നു നിക്ഷേപം പ്രക്രിയകൾ.
• ആർഗോൺ (ആർ): എ നിഷ്ക്രിയ വാതകം സ്പട്ടറിംഗ് പോലുള്ള പ്രക്രിയകൾക്ക് സ്ഥിരതയുള്ള അന്തരീക്ഷം സൃഷ്ടിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

അടുത്തത് പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ, എന്നും അറിയപ്പെടുന്നു ഇലക്ട്രോണിക് പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ. ഇവ വളരെ നിർദ്ദിഷ്ടമാണ്, പലപ്പോഴും റിയാക്ടീവ് അല്ലെങ്കിൽ അപകടകരമായ, എച്ചിംഗ്, ഡിപ്പോസിഷൻ എന്നിവയുടെ നിർണായക ജോലികൾ ചെയ്യുന്ന വാതകങ്ങൾ. അവ ചെറിയ അളവിലാണ് ഉപയോഗിക്കുന്നത്, എന്നാൽ വളരെ ഉയർന്ന വിലയും വളരെ ശ്രദ്ധാപൂർവ്വമുള്ള കൈകാര്യം ചെയ്യലും ആവശ്യമാണ്. ഇവയെ കൂടുതൽ ഗ്രൂപ്പുകളായി തിരിക്കാം:

• നിക്ഷേപ വാതകങ്ങൾ: സിലേൻ (SiH₄) പോലെയുള്ള ഈ വാതകങ്ങളാണ് ചിപ്പിൻ്റെ പാളികൾ നിർമ്മിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്ന വസ്തുക്കളുടെ ഉറവിടം. അവ വിഘടിപ്പിക്കുകയും നിക്ഷേപിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു a നേർത്ത ഫിലിം മെറ്റീരിയലിൻ്റെ സിലിക്കൺ വേഫർ.
• എച്ചൻ്റ് വാതകങ്ങൾ: ഇവയാണ് പ്രതിപ്രവർത്തന വാതകങ്ങൾ മെറ്റീരിയൽ തിരഞ്ഞെടുത്ത് നീക്കം ചെയ്യാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഉദാഹരണങ്ങളിൽ കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡ് (CF₄) പോലുള്ള ഫ്ലൂറിൻ സംയുക്തങ്ങൾ ഉൾപ്പെടുന്നു ഹൈഡ്രജൻ ക്ലോറൈഡ് (HCl). അവയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു കൊത്തുപണി പ്രക്രിയ സർക്യൂട്ട് പാറ്റേണുകൾ കൊത്തിയെടുക്കാൻ.
• ഡോപാൻ്റ് വാതകങ്ങൾ: ഈ വാതകങ്ങൾ "ഡോപ്പ്" ചെയ്യാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു സിലിക്കൺ, അതിനർത്ഥം മനപ്പൂർവ്വം ഒരു നിർദ്ദിഷ്ട പരിചയപ്പെടുത്തൽ എന്നാണ് അശുദ്ധി (എ ഡോപൻ്റ്) അതിൻ്റെ മാറ്റാൻ വൈദ്യുത ഗുണങ്ങൾ. ട്രാൻസിസ്റ്ററുകൾ സൃഷ്ടിക്കുന്നതിനുള്ള അടിസ്ഥാനമാണിത്. സാധാരണ ഡോപൻ്റ് വാതകങ്ങൾ Arsine (AsH₃), ഫോസ്ഫിൻ (PH₃) എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു.

അർദ്ധചാലക ഫാബുകളിൽ നൈട്രജൻ വാതകം എങ്ങനെയാണ് പ്രവർത്തിക്കുന്നത്?

നിങ്ങൾ ഒരു വഴി നടക്കുകയാണെങ്കിൽ അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം സൗകര്യം, ഏറ്റവും സർവ്വവ്യാപി വാതകം നിങ്ങൾ കണ്ടുമുട്ടും നൈട്രജൻ. ഇത് എല്ലായ്പ്പോഴും പ്രധാനത്തിൽ പങ്കെടുക്കുന്നില്ലെങ്കിലും രാസപ്രവർത്തനങ്ങൾ ചിപ്പ് നിർമ്മിക്കുന്നത്, ആ പ്രതികരണങ്ങൾ വിജയിക്കുന്നതിനുള്ള സാഹചര്യങ്ങൾ സൃഷ്ടിക്കുന്നതിന് അതിൻ്റെ പങ്ക് അത്യന്താപേക്ഷിതമാണ്. നൈട്രജൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു പ്രാഥമികമായി അതിൻ്റെ നിഷ്ക്രിയത്വത്തിന്; ഇത് മറ്റ് ഘടകങ്ങളുമായി പെട്ടെന്ന് പ്രതികരിക്കുന്നില്ല, ഇത് തികഞ്ഞ "ഫില്ലർ" ആക്കുന്നു വാതകം.

പ്രാഥമിക ഉപയോഗം നൈട്രജൻ ശുദ്ധീകരിക്കുകയും ഒരു നിഷ്ക്രിയ അന്തരീക്ഷം സൃഷ്ടിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ഏതെങ്കിലും സെൻസിറ്റീവിന് മുമ്പ് അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയ ആരംഭിക്കാം, ഓക്സിജൻ, ജലബാഷ്പം, പൊടി തുടങ്ങിയ മാലിന്യങ്ങളിൽ നിന്ന് ചേമ്പർ പൂർണ്ണമായും മുക്തമായിരിക്കണം. ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി നൈട്രജൻ ഈ അനാവശ്യ ഘടകങ്ങളെ പുറത്തേക്ക് തള്ളാൻ ചേമ്പറിലൂടെ ഫ്ലഷ് ചെയ്യുന്നു. ഇത് ആകസ്മികമായ ഓക്സിഡേഷൻ അല്ലെങ്കിൽ മറ്റ് പ്രതിപ്രവർത്തനങ്ങളെ നശിപ്പിക്കുന്നത് തടയുന്നു വേഫർ. കൊണ്ടുപോകുന്ന ടൂളുകൾക്കും ട്രാൻസ്പോർട്ട് പോഡുകൾക്കും (FOUPs എന്നറിയപ്പെടുന്നു) ഇതേ തത്ത്വം ബാധകമാണ് സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ വിവിധ ഘട്ടങ്ങൾക്കിടയിൽ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ.

കൂടാതെ, നൈട്രജൻ എന്നതിൽ നിർണായക പങ്ക് വഹിക്കുന്നു ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി, സർക്യൂട്ട് ഡിസൈൻ വേഫറിലേക്ക് പ്രിൻ്റ് ചെയ്യുന്ന പ്രക്രിയ. ആധുനിക ആഴത്തിലുള്ള അൾട്രാവയലറ്റിൽ (DUV) ലിത്തോഗ്രാഫി, ലെൻസും തമ്മിലുള്ള ഇടം വേഫർ അൾട്രാ പ്യൂവർ കൊണ്ട് നിറഞ്ഞിരിക്കുന്നു നൈട്രജൻ (അല്ലെങ്കിൽ ആർഗോൺ) ചെറിയ തരംഗദൈർഘ്യമുള്ള പ്രകാശത്തെ വായുവിലൂടെ ആഗിരണം ചെയ്യാതെ കടന്നുപോകാൻ അനുവദിക്കുക. ഈ നിഷ്ക്രിയ പരിതസ്ഥിതി ഇല്ലെങ്കിൽ, പ്രക്രിയ അസാധ്യമാണ്. ഫാബുകൾക്ക് വിതരണം ചെയ്യുന്ന എൻ്റെ അനുഭവത്തിൽ, തുടർച്ചയായ, ഉയർന്ന അളവിലുള്ള, ഉയർന്ന ശുദ്ധതയ്ക്കുള്ള ആവശ്യം നൈട്രജൻ വിതരണം വിലമതിക്കാനാവാത്തതാണ്.

തികഞ്ഞ പരിസ്ഥിതി സൃഷ്ടിക്കുന്നതിൽ ആർഗോൺ എന്ത് പങ്കാണ് വഹിക്കുന്നത്?

നൈട്രജൻ പോലെ, ആർഗോൺ ഒരു കുലീനനാണ് വാതകം, അത് രാസപരമായി എന്നാണ് നിഷ്ക്രിയ. എന്നിരുന്നാലും, ആർഗൺ ഉപയോഗിക്കുന്നു അതിൻ്റെ ഭാരമേറിയ ആറ്റോമിക ഭാരം ഒരു നേട്ടം നൽകുന്ന നിർദ്ദിഷ്ട ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക്. ഈ ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ ഏറ്റവും പ്രധാനപ്പെട്ട ഒന്ന് സ്പട്ടർ ഡിപ്പോസിഷൻ അല്ലെങ്കിൽ സ്പട്ടറിംഗ് ആണ്. ഇതൊരു ഭൗതിക നീരാവി ആണ് നിക്ഷേപ പ്രക്രിയ കനം കുറഞ്ഞ മെറ്റൽ ഫിലിമുകൾ നിരത്താൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഇത് വയറിംഗായി മാറുന്നു ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട്.

സ്പട്ടറിംഗിൽ, നിറച്ച വാക്വം ചേമ്പറിൽ ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് പ്രയോഗിക്കുന്നു ആർഗോൺ വാതകം. ഇത് പോസിറ്റീവ് ചാർജുള്ള ഒരു പ്ലാസ്മ സൃഷ്ടിക്കുന്നു ആർഗോൺ അയോണുകൾ. ഈ അയോണുകൾ ത്വരിതപ്പെടുത്തുകയും നമ്മൾ നിക്ഷേപിക്കാൻ ആഗ്രഹിക്കുന്ന ലോഹം (ചെമ്പ് അല്ലെങ്കിൽ അലുമിനിയം പോലെ) കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച ഒരു "ലക്ഷ്യത്തിലേക്ക്" തകർക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. കൂട്ടിയിടിയുടെ ശക്തി ലോഹ ആറ്റങ്ങളെ ലക്ഷ്യത്തിൽ നിന്ന് തട്ടിയെടുക്കുന്നു, അത് അറയിലൂടെ പറന്ന് പൂശുന്നു. സിലിക്കൺ വേഫർ നേർത്ത, ഏകീകൃത പാളിയിൽ. ആർഗോൺ ടാർഗെറ്റ് ആറ്റങ്ങളെ ഫലപ്രദമായി പിരിച്ചുവിടാൻ ഭാരമുള്ളതും എന്നാൽ രാസപരമായി നിർജ്ജീവവുമായതിനാൽ അത് സൃഷ്ടിക്കാൻ സഹായിക്കുന്ന മെറ്റൽ ഫിലിമുമായി പ്രതികരിക്കില്ല എന്നതിനാൽ ഇതിന് അനുയോജ്യമാണ്. അത് തികഞ്ഞത് നൽകുന്നു ലോഹങ്ങളുടെ സ്പട്ടർ നിക്ഷേപത്തിനുള്ള പരിസ്ഥിതി.

മറ്റൊരു പ്രധാന ഉപയോഗം ആർഗോൺ പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗിലാണ്. ഇതിൽ കൊത്തുപണി പ്രക്രിയ, ആർഗോൺ പലപ്പോഴും a യുമായി കലർത്തിയിരിക്കുന്നു റിയാക്ടീവ് അക്ഷരമാല വാതകം. ദി ആർഗോൺ പ്ലാസ്മയെ സുസ്ഥിരമാക്കാനും ഉപരിതലത്തിൽ ഭൗതികമായി ബോംബെറിയാനും സഹായിക്കുന്നു, രാസ എച്ചിനെ സഹായിക്കുകയും മെറ്റീരിയലിൽ കൂടുതൽ കൃത്യമായ, ലംബമായ മുറിവുകൾ സൃഷ്ടിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ഒരു വിശ്വസനീയമായ വിതരണം ആർഗോൺ ഗ്യാസ് സിലിണ്ടറുകൾ മെറ്റലൈസേഷൻ അല്ലെങ്കിൽ അഡ്വാൻസ്ഡ് എച്ചിംഗ് നടത്തുന്ന ഏതൊരു സൗകര്യത്തിനും ഇത് നിർണായകമാണ്.

ഹൈഡ്രജൻ നിക്ഷേപിക്കുന്നതിനും വൃത്തിയാക്കുന്നതിനും ഉപയോഗിക്കുന്നതെങ്ങനെയെന്ന് വിശദീകരിക്കാമോ?

നൈട്രജനും ആർഗോണും പ്രതികരിക്കാത്തതിനാൽ, ഹൈഡ്രജൻ ഉയർന്നതായിരിക്കുന്നതിന് വിലമതിക്കുന്നു റിയാക്ടീവ്, എന്നാൽ വളരെ വൃത്തിയുള്ളതും നിയന്ത്രിതവുമായ രീതിയിൽ. ഹൈഡ്രജൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു വിപുലമായി ൽ അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം ഉപരിതലങ്ങൾ വൃത്തിയാക്കുന്നതിനും ഒരു പ്രത്യേക തരത്തിലും നിക്ഷേപം എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ച എന്ന് വിളിക്കുന്നു. അതിൻ്റെ ചെറിയ ആറ്റോമിക വലുപ്പം മറ്റ് വാതകങ്ങൾക്ക് കഴിയാത്ത രീതിയിൽ തുളച്ചുകയറാനും പ്രതികരിക്കാനും അനുവദിക്കുന്നു.

ഒരു പുതിയ പാളി വളർത്തുന്നതിന് മുമ്പ് വേഫർ, ഉപരിതലം തികച്ചും വൃത്തിയുള്ളതായിരിക്കണം, ആറ്റോമിക തലത്തിലേക്ക്. ഹൈഡ്രജൻ വാതകം "ഹൈഡ്രജൻ ബേക്ക്" എന്ന് വിളിക്കപ്പെടുന്ന ഉയർന്ന-താപനിലയുള്ള പ്രക്രിയയിൽ ഏതെങ്കിലും നേറ്റീവ് ഓക്സൈഡ് (സിലിക്കൺ ഡയോക്സൈഡിൻ്റെ നേർത്ത, സ്വാഭാവികമായി ഉണ്ടാകുന്ന പാളി) നീക്കം ചെയ്യാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു. സിലിക്കൺ ഉപരിതലം. ദി ഹൈഡ്രജൻ ഓക്സിജനുമായി പ്രതിപ്രവർത്തിച്ച്, ജലബാഷ്പം (H₂O) ഉണ്ടാക്കുന്നു, അത് അറയിൽ നിന്ന് പുറത്തേക്ക് പമ്പ് ചെയ്യപ്പെടുകയും ഒരു പ്രാകൃതമായിരിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. സിലിക്കൺ അടുത്ത ഘട്ടത്തിനായി ഉപരിതലം തയ്യാറാണ്.

ഹൈഡ്രജൻ എന്നതിലും ഒരു പ്രധാന ഘടകമാണ് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ച (അല്ലെങ്കിൽ "എപി"), ഒരു ഏക-ക്രിസ്റ്റൽ പാളി വളരുന്ന ഒരു പ്രക്രിയ സിലിക്കൺ മുകളിൽ സിലിക്കൺ വേഫർ. ഈ പുതിയ പാളിക്ക് തികഞ്ഞ ക്രിസ്റ്റൽ ഘടനയും കൃത്യമായി നിയന്ത്രിതവുമുണ്ട് ഡോപൻ്റ് ലെവലുകൾ. ഹൈഡ്രജൻ ഒരു വാഹകനായി പ്രവർത്തിക്കുന്നു വാതകം വേണ്ടി സിലിക്കൺ ഉറവിടം വാതകം (സിലാൻ അല്ലെങ്കിൽ ട്രൈക്ലോറോസിലേൻ പോലെ). വഴിതെറ്റിയ ഓക്സിജൻ ആറ്റങ്ങളെ തുരത്തിക്കൊണ്ട് വൃത്തിയുള്ള വളർച്ചാ അന്തരീക്ഷവും ഇത് ഉറപ്പാക്കുന്നു. ഈ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ലെയറിൻ്റെ ഗുണമേന്മ ഹൈ-എൻഡ് പ്രൊസസറുകളുടെ പ്രവർത്തനത്തിന് അടിസ്ഥാനമാണ്, ഇത് അതിൻ്റെ പരിശുദ്ധി ഉണ്ടാക്കുന്നു. ഹൈഡ്രജൻ സിലിണ്ടർ വിതരണം തികച്ചും നിർണായകമാണ്.

എന്താണ് എച്ചൻ്റ് വാതകങ്ങൾ, അവ എങ്ങനെയാണ് മൈക്രോസ്കോപ്പിക് സർക്യൂട്ടുകൾ കൊത്തിയെടുക്കുന്നത്?

ഡിപ്പോസിഷൻ എന്നത് പാളികൾ കെട്ടിപ്പടുക്കുന്നതാണെങ്കിൽ, സർക്യൂട്ട് പാറ്റേണുകൾ സൃഷ്ടിക്കുന്നതിനായി അവയെ തിരഞ്ഞെടുത്ത് കൊത്തിയെടുക്കുന്നതാണ് എച്ചിംഗ്. സൂക്ഷ്മമായ ശിൽപം എന്ന് കരുതുക. ഉപയോഗിച്ച് ഒരു പാറ്റേൺ നിർവചിച്ച ശേഷം ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി, etchant നൽകാൻ വാതകങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു സംരക്ഷിത പ്രദേശങ്ങളിൽ നിന്ന് മെറ്റീരിയൽ നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള രാസ മാർഗ്ഗം വേഫർ. ഇത് ഏറ്റവും സങ്കീർണ്ണവും നിർണായകവുമായ ഘട്ടങ്ങളിൽ ഒന്നാണ് ചിപ്പ് നിർമ്മാണം.

ദി കൊത്തുപണിയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകങ്ങൾ പ്രക്രിയ സാധാരണയായി ഫ്ലൂറിൻ, ക്ലോറിൻ അല്ലെങ്കിൽ ബ്രോമിൻ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള സംയുക്തങ്ങളാണ്. എന്ന തിരഞ്ഞെടുപ്പ് വാതകം കൊത്തിയെടുത്ത മെറ്റീരിയലിനെ ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു.

• ഫ്ലൂറിൻ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള വാതകങ്ങൾ (ഉദാ., CF₄, SF₆, NF₃) എച്ചിംഗിന് മികച്ചതാണ് സിലിക്കൺ സിലിക്കൺ ഡയോക്സൈഡും.
• ക്ലോറിൻ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള വാതകങ്ങൾ (ഉദാ., Cl₂, BCl₃, HCl) പലപ്പോഴും അലുമിനിയം പോലുള്ള ലോഹങ്ങൾ കൊത്തിവയ്ക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

ഇവ പ്രതിപ്രവർത്തന വാതകങ്ങൾ ഒരു പ്ലാസ്മ ചേമ്പറിലേക്ക് അവതരിപ്പിക്കുന്നു. പ്ലാസ്മ തകർക്കുന്നു വാതകം തന്മാത്രകൾ ഉയർന്നതിലേക്ക് വേറിട്ടുനിൽക്കുന്നു റിയാക്ടീവ് അയോണുകളും റാഡിക്കലുകളും. ഈ റാഡിക്കലുകൾ പിന്നീട് അതിൻ്റെ ഉപരിതലവുമായി പ്രതിപ്രവർത്തിക്കുന്നു വേഫർ, എളുപ്പത്തിൽ പമ്പ് ചെയ്യാവുന്ന ഒരു പുതിയ അസ്ഥിര സംയുക്തം ഉണ്ടാക്കുന്നു, അങ്ങനെ മെറ്റീരിയൽ "എച്ചിംഗ്" ചെയ്യുന്നു. ആവശ്യമായ കൃത്യത വളരെ വലുതാണ്; എന്നതാണ് ലക്ഷ്യം etch പാറ്റേൺ ചെയ്ത പാളിക്ക് അടിവരയിടാതെ നേരെ താഴേക്ക് (അനിസോട്രോപ്പിക്കൽ). ആധുനികം അർദ്ധചാലക ഫാബ്സ് സങ്കീർണ്ണമായ ഉപയോഗിക്കുക വാതക മിശ്രിതങ്ങൾ ഇത് നേടുന്നതിന് പ്ലാസ്മ അവസ്ഥകളെ ശ്രദ്ധാപൂർവ്വം നിയന്ത്രിച്ചു.

എന്താണ് കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (സിവിഡി), ഏത് വാതകങ്ങളാണ് ഉൾപ്പെട്ടിരിക്കുന്നത്?

രാസ നീരാവി നിക്ഷേപം (CVD) ഒരു മൂലക്കല്ലാണ് നിക്ഷേപ പ്രക്രിയ ഇൻ അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം. വിവിധ ഇൻസുലേറ്റിംഗും ചാലകവുമായ നേർത്ത ഫിലിമുകൾ നിർമ്മിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്ന പ്രാഥമിക രീതിയാണിത് അർദ്ധചാലക ഉപകരണം. അടിസ്ഥാന ആശയം ഒഴുകുക എന്നതാണ് വാതകം (അല്ലെങ്കിൽ വാതകങ്ങളുടെ മിശ്രിതം) ചൂടാക്കിയതിന് മുകളിൽ വേഫർ. ചൂട് കാരണമാകുന്നു വാതകം വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ പ്രതികരിക്കുകയോ വിഘടിപ്പിക്കുകയോ ചെയ്യുക, ആവശ്യമുള്ള മെറ്റീരിയലിൻ്റെ ഒരു സോളിഡ് ഫിലിം അവശേഷിക്കുന്നു.

ഈ പ്രതിപ്രവർത്തനങ്ങളിൽ ഓരോന്നിനും അവിശ്വസനീയമാംവിധം സ്ഥിരതയുള്ള അവസ്ഥകളും അത്യധികം ആവശ്യമാണ് ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതകങ്ങൾ. ഉദാഹരണത്തിന്, സിലാൻ ഉപയോഗിച്ച് ഒരു പോളിസിലിക്കൺ പാളി നിക്ഷേപിക്കുമ്പോൾ, ഏതെങ്കിലും ഓക്സിജൻ അശുദ്ധി ൽ വാതകം സ്ട്രീം പകരം സിലിക്കൺ ഡൈ ഓക്സൈഡ് രൂപപ്പെടാൻ ഇടയാക്കും, ഇത് പാളിയുടെ ചാലക ഗുണങ്ങളെ നശിപ്പിക്കും. അതുകൊണ്ടാണ് ഒരു വിതരണക്കാരൻ എന്ന നിലയിൽ ഞങ്ങൾ വളരെയധികം ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിക്കുന്നത് ശുദ്ധീകരണം ഇവയുടെ വിശകലനവും നിക്ഷേപ വാതകങ്ങൾ. യുടെ മുഴുവൻ ലൈബ്രറിയും ബൾക്ക് ഹൈ പ്യൂരിറ്റി സ്പെഷ്യാലിറ്റി വാതകങ്ങൾ ഈ കർശനമായ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി ഞങ്ങൾ ഓഫർ ചെയ്യുന്നു.

അർദ്ധചാലക വാതകങ്ങൾക്ക് അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി ഏറ്റവും പ്രധാനപ്പെട്ട ഘടകമായിരിക്കുന്നത് എന്തുകൊണ്ട്?

എനിക്ക് ഇത് അമിതമായി പറയാൻ കഴിയില്ല: ഇൻ അർദ്ധചാലക വ്യവസായം, പരിശുദ്ധി എല്ലാം ആണ്. നിബന്ധന ഉയർന്ന-ശുദ്ധി 99% അല്ലെങ്കിൽ 99.9% എന്നല്ല അർത്ഥമാക്കുന്നത്. വേണ്ടി അർദ്ധചാലക വാതകങ്ങൾ, ഞങ്ങൾ സംസാരിക്കുന്നത് അൾട്രാ ഉയർന്ന ശുദ്ധി (UHP), ഇത് സാധാരണയായി 99.999% (പലപ്പോഴും "ഫൈവ് ഒമ്പത്" എന്ന് വിളിക്കുന്നു) അല്ലെങ്കിൽ ഉയർന്നതാണ്. ചില വിമർശനങ്ങൾക്ക് പ്രോസസ്സ് വാതകങ്ങൾ, ആവശ്യകത 99.9999% ("ആറ് ഒമ്പത്") അല്ലെങ്കിൽ അതിലും ഉയർന്നതായിരിക്കാം. കാരണം ലളിതമാണ്: മലിനീകരണം പ്രകടനത്തെ നശിപ്പിക്കുന്നു.

ഒരു ആധുനിക മൈക്രോചിപ്പിലെ സവിശേഷതകൾ അളക്കുന്നത് നാനോമീറ്ററിലാണ് (ഒരു മീറ്ററിൻ്റെ ശതകോടികൾ). ഈ സ്കെയിലിൽ, ഒരൊറ്റ വിദേശ കണിക അല്ലെങ്കിൽ ആവശ്യമില്ലാത്ത തന്മാത്ര ഒരു സൂപ്പർഹൈവേയുടെ നടുവിലുള്ള ഒരു പാറ പോലെയാണ്. എ അശുദ്ധി കഴിയും:

• ആൾട്ടർ ഇലക്ട്രിക്കൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾ: വഴിതെറ്റിയ സോഡിയം അയോണിന് ട്രാൻസിസ്റ്ററിൻ്റെ ത്രെഷോൾഡ് വോൾട്ടേജ് മാറ്റാൻ കഴിയും, ഇത് തെറ്റായ സമയത്ത് ഓണാക്കാനോ ഓഫാക്കാനോ ഇടയാക്കും.
• ഘടനാപരമായ വൈകല്യങ്ങൾ സൃഷ്ടിക്കുക: ഒരു ഓക്സിജൻ തന്മാത്രയ്ക്ക് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ചയുടെ സമയത്ത് തികഞ്ഞ ക്രിസ്റ്റൽ ലാറ്റിസിനെ തടസ്സപ്പെടുത്താൻ കഴിയും, ഇത് ഇലക്ട്രോൺ പ്രവാഹത്തെ തടസ്സപ്പെടുത്തുന്ന ഒരു "ഡിസ്ലോക്കേഷൻ" സൃഷ്ടിക്കുന്നു.
• ഷോർട്ട് സർക്യൂട്ടുകൾക്ക് കാരണമാകുന്നു: ഒരു മെറ്റാലിക് കണികയ്ക്ക് അടുത്തുള്ള രണ്ട് ചാലക രേഖകളെ ബന്ധിപ്പിക്കാൻ കഴിയും, ഇത് ഒരു നിർജ്ജീവമായ ഷോർട്ട് സൃഷ്ടിക്കുന്നു.
• വിളവ് കുറയ്ക്കുക: കൂടുതൽ മലിനീകരണം ഉള്ളതിനാൽ, ഓരോന്നിലും വികലമായ ചിപ്പുകളുടെ എണ്ണം കൂടും വേഫർ, ഇത് ലാഭക്ഷമതയെ നേരിട്ട് ബാധിക്കുന്നു.

അതുകൊണ്ടാണ്, ഒരു നിർമ്മാതാവ് എന്ന നിലയിൽ, ഞങ്ങളുടെ ഏറ്റവും വലിയ നിക്ഷേപം ശുദ്ധീകരണത്തിലും വിശകലന ഉപകരണങ്ങളിലുമാണ്. ഓരോ ബാച്ചും ഗ്യാസ് വേണം ഞങ്ങളുടെ ക്ലയൻ്റുകൾക്ക് ആവശ്യമായ പാർട്‌സ് പെർ-ബില്യൺ (പിപിബി) അല്ലെങ്കിൽ പാർട്‌സ് പെർ-ട്രില്യൺ (പിപിടി) സ്‌പെസിഫിക്കേഷനുകൾ ഇത് പാലിക്കുന്നുണ്ടെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ പരിശോധിക്കണം. ദി ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതകങ്ങളുടെ ആവശ്യം അതാണ് മുഴുവൻ നയിക്കുന്നത് പ്രത്യേക വാതക വിപണി ഇലക്ട്രോണിക്സ് വേണ്ടി.

ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതകങ്ങളുടെ ഗുണനിലവാരവും വിശ്വസനീയവുമായ വിതരണം ഞങ്ങൾ എങ്ങനെ ഉറപ്പാക്കും?

മാർക്കിനെപ്പോലുള്ള ഒരു സംഭരണ ​​ഉദ്യോഗസ്ഥനെ സംബന്ധിച്ചിടത്തോളം ഇത് ഏറ്റവും പ്രധാനപ്പെട്ട ചോദ്യമാണ്. എങ്കിൽ വലിയ വില അർത്ഥശൂന്യമാണ് വാതകം ഗുണനിലവാരം അസ്ഥിരമാണ് അല്ലെങ്കിൽ കയറ്റുമതി വൈകി. ഭയാനകമായ കഥകൾ ഞാൻ കേട്ടിട്ടുണ്ട്: വിശകലനത്തിൻ്റെ വ്യാജ സർട്ടിഫിക്കറ്റുകൾ നൽകുന്ന വിതരണക്കാർ, അല്ലെങ്കിൽ ഷിപ്പിംഗ് പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ ആഴ്ചകളോളം കസ്റ്റംസിൽ തടഞ്ഞുവെച്ചത്, ഉൽപ്പാദനം നിലയ്ക്കുന്നതിന് കാരണമായി. ഈ വേദന പോയിൻ്റുകളെ അഭിസംബോധന ചെയ്യുന്നത് ഞങ്ങളുടെ ബിസിനസ്സ് തത്വശാസ്ത്രത്തിൻ്റെ കാതലാണ്.

ഗുണനിലവാരം ഉറപ്പാക്കുന്നത് ഇതിൽ നിന്നാണ് ആരംഭിക്കുന്നത് ശുദ്ധീകരണം പ്രക്രിയ. മാലിന്യങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യാൻ ഞങ്ങൾ ക്രയോജനിക് ഡിസ്റ്റിലേഷനും പ്രത്യേക അഡ്‌സോർബൻ്റ് മെറ്റീരിയലുകളും പോലുള്ള നൂതന സംവിധാനങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. എന്നാൽ പ്രക്രിയ അവിടെ അവസാനിക്കുന്നില്ല. ഏറ്റവും നിർണായകമായ ഘട്ടം സ്ഥിരീകരണമാണ്. ഓരോ സിലിണ്ടറും അയയ്‌ക്കുന്നതിന് മുമ്പ് പരിശോധിക്കാൻ ഗ്യാസ് ക്രോമാറ്റോഗ്രാഫ്-മാസ് സ്പെക്‌ട്രോമീറ്ററുകൾ (ജിസി-എംഎസ്) പോലുള്ള അത്യാധുനിക അനലിറ്റിക്കൽ ഉപകരണങ്ങൾ ഞങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഞങ്ങളുടെ ഉപഭോക്താക്കൾക്ക് ഓരോ ബാച്ചിനും ഞങ്ങൾ വിശദവും ആധികാരികവുമായ അനാലിസിസ് സർട്ടിഫിക്കറ്റ് (COA) നൽകുന്നു, വാതക പരിശുദ്ധി.

A വിശ്വസനീയമായ വിതരണം സമവാക്യത്തിൻ്റെ മറ്റേ പകുതിയാണ് ചെയിൻ. ഇതിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു:

• കരുത്തുറ്റ സിലിണ്ടർ തയ്യാറാക്കൽ: വേണ്ടി സിലിണ്ടറുകൾ അൾട്രാ ഹൈ പ്യൂരിറ്റി വാതകങ്ങൾ കണ്ടെയ്നർ തന്നെ മലിനമാക്കുന്നില്ലെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ ഒരു പ്രത്യേക ക്ലീനിംഗ്, പാസിവേഷൻ പ്രക്രിയയ്ക്ക് വിധേയമാക്കുക വാതകം.
• ഇൻ്റലിജൻ്റ് ലോജിസ്റ്റിക്സ്: ഉയർന്ന മർദ്ദവും ചിലപ്പോൾ അപകടകരവുമായ വസ്തുക്കൾ അന്തർദേശീയമായി ഷിപ്പിംഗ് ചെയ്യുന്നതിനുള്ള നിയന്ത്രണങ്ങൾ മനസ്സിലാക്കുന്ന പരിചയസമ്പന്നരായ ലോജിസ്റ്റിക്സ് പങ്കാളികളുമായി ഞങ്ങൾ പ്രവർത്തിക്കുന്നു. സുഗമമായ കസ്റ്റംസ് ക്ലിയറൻസ് ഉറപ്പാക്കുന്നതിന് ആവശ്യമായ എല്ലാ രേഖകളും ഞങ്ങൾ നൽകുന്നു.
• വ്യക്തമായ ആശയവിനിമയം: ഞങ്ങളുടെ സെയിൽസ്, സപ്പോർട്ട് ടീമുകൾ പതിവായി അപ്‌ഡേറ്റുകൾ നൽകുന്നതിന് പരിശീലനം നേടിയവരാണ്. പ്രൊഡക്ഷൻ മുതൽ ഫൈനൽ ഡെലിവറി വരെയുള്ള നിങ്ങളുടെ ഓർഡറിൻ്റെ നില നിങ്ങൾക്ക് എപ്പോഴും അറിയാം. പ്രവചനാതീതമാണെന്ന് ഞങ്ങൾ മനസ്സിലാക്കുന്നു ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതകങ്ങളുടെ വിതരണം ഞങ്ങളുടെ ഉപഭോക്താക്കൾക്ക് അവരുടെ സ്വന്തം പ്രൊഡക്ഷൻ ഷെഡ്യൂളുകൾ കൈകാര്യം ചെയ്യേണ്ടത് അത്യാവശ്യമാണ്. ഞങ്ങൾ പലതരം വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു വാതക മിശ്രിതം നിർദ്ദിഷ്ട പ്രക്രിയ ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നതിനുള്ള ഓപ്ഷനുകൾ.

അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിലെ വാതകങ്ങളുടെ ഭാവി എന്താണ്?

ദി അർദ്ധചാലക വ്യവസായം ഒരിക്കലും നിശ്ചലമായി നിൽക്കുന്നില്ല. മൂറിൻ്റെ നിയമം പ്രവചിച്ചതുപോലെ, ചെറുതും വേഗതയേറിയതും കൂടുതൽ ശക്തവുമായ ഉപകരണങ്ങൾ സൃഷ്ടിക്കാൻ ചിപ്പ് നിർമ്മാതാക്കൾ നിരന്തരം ശ്രമിക്കുന്നു. ഈ നിരന്തരമായ നവീകരണം നേരിട്ട് ബാധിക്കുന്നു വാതകങ്ങളും മിശ്രിതങ്ങളും അവയുടെ നിർമ്മാണത്തിൽ ഉപയോഗിച്ചു. ഞങ്ങൾ നീങ്ങുമ്പോൾ അർദ്ധചാലകത്തിൻ്റെ അടുത്ത തലമുറ സാങ്കേതികവിദ്യ, ഫീച്ചർ വലുപ്പങ്ങൾ ഏതാനും നാനോമീറ്ററുകളായി ചുരുങ്ങുമ്പോൾ, വാതക പരിശുദ്ധിയുടെ ആവശ്യകതകൾ കൂടുതൽ രൂക്ഷമാകും.

അതിനപ്പുറം പുതിയ മെറ്റീരിയലുകളിലേക്കുള്ള പ്രവണത ഞങ്ങൾ കാണുന്നു സിലിക്കൺ, ഗാലിയം നൈട്രൈഡ് (GaN), സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) എന്നിവ പോലെ, പുതിയതും വ്യത്യസ്തവും ആവശ്യമാണ് പ്രോസസ്സ് വാതകങ്ങൾ കൊത്തുപണികൾക്കും നിക്ഷേപത്തിനും. ഫിൻഫെറ്റ്, ഗേറ്റ്-ഓൾ-എറൗണ്ട് (ജിഎഎ) ട്രാൻസിസ്റ്ററുകൾ പോലെയുള്ള കൂടുതൽ സങ്കീർണ്ണമായ 3D ആർക്കിടെക്ചറുകളിലേക്കുള്ള ഒരു നീക്കവും ഉണ്ട്, ഇത് കൂടുതൽ കൃത്യത ആവശ്യപ്പെടുന്നു. നിക്ഷേപം ഒപ്പം etch പടികൾ. ഇതിനർത്ഥം പ്രത്യേക വാതകം പുതിയ തന്മാത്രകൾ വികസിപ്പിക്കുന്നതിനും അതിലും ഉയർന്ന നിലവാരം കൈവരിക്കുന്നതിനും വ്യവസായം നിരന്തരം നവീകരിക്കേണ്ടതുണ്ട് ശുദ്ധീകരണം.

ഒരു വിതരണക്കാരൻ എന്ന നിലയിൽ എൻ്റെ കാഴ്ചപ്പാടിൽ, ഭാവി പങ്കാളിത്തത്തെക്കുറിച്ചാണ്. ഇനി ഒരു സിലിണ്ടർ വിറ്റാൽ മാത്രം പോരാ വാതകം. ഞങ്ങളുടെ ഉപഭോക്താക്കളുമായി ഞങ്ങൾ അടുത്ത് പ്രവർത്തിക്കണം ഇലക്ട്രോണിക്സ് നിർമ്മാണം അവരുടെ ഭാവി സാങ്കേതിക റോഡ്മാപ്പുകൾ മനസ്സിലാക്കാൻ മേഖല. പുതിയതിൻ്റെ ആവശ്യകത മുൻകൂട്ടി അറിയാൻ ഇത് ഞങ്ങളെ അനുവദിക്കുന്നു ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതകങ്ങൾ അവ വിതരണം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ഉൽപാദനത്തിലും വിശകലന ശേഷിയിലും നിക്ഷേപിക്കുക. യുടെ അദൃശ്യ നായകന്മാർ അർദ്ധചാലകം ലോകം - വാതകങ്ങൾ - സാങ്കേതിക പുരോഗതിയുടെ മുൻനിരയിൽ തുടരും.

പ്രധാന ടേക്ക്അവേകൾ

ആവശ്യപ്പെടുന്ന അർദ്ധചാലക വിപണിയിലേക്ക് നിങ്ങൾ വ്യാവസായിക വാതകങ്ങൾ ഉറവിടമാക്കുമ്പോൾ, ഓർക്കേണ്ട ഏറ്റവും പ്രധാനപ്പെട്ട കാര്യങ്ങൾ ഇതാ:

• പരിശുദ്ധി പരമപ്രധാനമാണ്: ഏറ്റവും നിർണായകമായ ഏക ഘടകം അൾട്രാ ഉയർന്ന ശുദ്ധി. മലിനീകരണം, ഒരു ബില്യണിൻ്റെ ഭാഗങ്ങളിൽ പോലും, വിനാശകരമായ ഉപകരണ പരാജയത്തിന് കാരണമാവുകയും ഉൽപാദന ആദായം കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യും.
• വാതകങ്ങൾക്ക് പ്രത്യേക ജോലികൾ ഉണ്ട്: വാതകങ്ങൾ പരസ്പരം മാറ്റാവുന്നതല്ല. നിഷ്ക്രിയ അന്തരീക്ഷം (നൈട്രജൻ, ആർഗോൺ), നിർമ്മാണ പാളികൾ (നിർമ്മിക്കുക) പോലുള്ള വ്യതിരിക്തമായ പ്രക്രിയകൾക്കായി ഉപയോഗിക്കുന്ന വളരെ സവിശേഷമായ ഉപകരണങ്ങളാണ് അവ.നിക്ഷേപ വാതകങ്ങൾ സിലാൻ പോലെ), കൊത്തുപണി സർക്യൂട്ടുകൾ (എച്ചൻ്റ് വാതകങ്ങൾ CF₄ പോലെ).
• വിതരണ ശൃംഖല നിർണായകമാണ്: വിശ്വസനീയമായ ഒരു വിതരണക്കാരൻ ഒരു ഉൽപ്പന്നം വിൽക്കുന്നതിനേക്കാൾ കൂടുതൽ ചെയ്യുന്നു. അവർ കർശനമായ പരിശോധനയിലൂടെ ഗുണനിലവാരം ഉറപ്പാക്കുന്നു, ആധികാരിക സർട്ടിഫിക്കേഷനുകൾ നൽകുന്നു, സങ്കീർണ്ണമായ ലോജിസ്റ്റിക്സ് കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നു, ചെലവേറിയ ഉൽപ്പാദന കാലതാമസം തടയുന്നതിന് വ്യക്തമായ ആശയവിനിമയം നിലനിർത്തുന്നു.
• സാങ്കേതിക പരിജ്ഞാനം മൂല്യം കൂട്ടുന്നു: മനസ്സിലാക്കുന്നു എന്തുകൊണ്ട് ഒരു നിശ്ചിത വാതകം ഉപയോഗിക്കുന്നു ഒപ്പം എന്തുകൊണ്ട് അതിൻ്റെ പരിശുദ്ധി വളരെ നിർണായകമാണ്, നിങ്ങളുടെ സ്വന്തം ഉപഭോക്താക്കൾക്ക് കൂടുതൽ ഫലപ്രദമായ പങ്കാളിയാകാൻ നിങ്ങളെ അനുവദിക്കുന്നു, ഗുണനിലവാരം ന്യായീകരിക്കുകയും ദീർഘകാല വിശ്വാസം വളർത്തുകയും ചെയ്യുന്നു.
• വ്യവസായം വികസിക്കുന്നു: ചെറുതും ശക്തവുമായ ചിപ്പുകൾക്കുള്ള പുഷ് അർത്ഥമാക്കുന്നത് പുതിയതും കൂടുതൽ ശുദ്ധവുമായവയുടെ ആവശ്യകതയാണ് പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ വളർന്നുകൊണ്ടേയിരിക്കും. മുന്നോട്ട് നോക്കുന്ന ഒരു വിതരണക്കാരനുമായുള്ള പങ്കാളിത്തം മുന്നോട്ട് പോകുന്നതിന് പ്രധാനമാണ്.