Ko te ahumahi semiconductor, ko te kaupapa matua o te whanaketanga hangarau hou, he maha nga hau tino tika me te tino parakore i roto i tana mahi whakangao. Ko nga hau motuhake mo te semiconductor e tohu ana ki nga hau e whai waahi nui ana ki te hanga rauemi semiconductor, te hanga maramara, te whakatakoto kiriata angiangi, te tarai, me etahi atu tukanga. Ko enei hau me tutuki nga whakaritenga tino tika mo te ma, te pumau, me te whakahaere tika mo nga tukanga tauhohenga. Ma tenei tuhinga e whakaatu etahi hau motuhake e whakamahia ana i roto i nga semiconductors me te matapaki i o raatau mahi i roto i te mahi hangahanga semiconductor.

1. Hauwai (H₂)

hauwai Kei te whakamahia nuitia i roto i nga mahi hangahanga hiko, ina koa i roto i te waipara matū (CVD) me nga tauhohenga whakaheke. I roto i te CVD, he maha nga wa ka konatunatuahia te hauwai ki etahi atu hau hei whakatipu i nga kiriata kikokore, penei i te kiriata silicon. Ka mahi ano te hauwai hei kaihoko whakaheke i roto i nga tikanga tango whakarewa me te tango waikura. Hei taapiri, ka whakamahia te hauwai ki te horoi me te rongoa i nga angiangi semiconductor kia pai ai te tango i nga poke o te mata me te whakapai ake i te kounga o nga maramara.

2. hauota (N₂)

hauota, he hau inert, te nuinga whakamahia ki te whakarato i te taiao hāora-kore i roto i te hanga semiconductor. Kei te whakamahia i roto i nga taputapu horoi, nga mahi whakamatao, me te mea he waimeha i roto i nga hau tauhohenga. I roto i te waipara kohu me nga tukanga tarai, he maha nga wa ka konatunatua te hauota ki etahi atu hau hei whakapumau i nga tikanga tauhohenga me te whakahaere i te tere o te tauhohenga. Ka whakamahia hoki te hauota ki te pehi i te waiora, hei tiaki i nga rawa tairongo mai i te kino o te waiora.

3. hāora (O₂)

hāora he mahi nui i roto i te ahumahi semiconductor, ina koa i roto i nga tukanga waikura. I roto i te hanganga o te paparanga hauhā i runga i te mata o te angiangi silicon, he mea nui te hāora. Ma te whakauru i te hāora, ka puta he paparanga waikura rite ki te mata silicon, he mea nui mo te mahi hiko me te pumau o te taputapu. Ka whakamahia hoki te hāora ki nga mahi horoi me te tarai, te tauhohe me etahi atu hau matū hei hanga waikura, hei tango ranei i etahi kiriata whakarewa.

4. Wao Tetrafluoride (CF₄)

Ka whakamahia nuitia te tetrafluoride waro ki nga mahi tarai. I roto i te haukoko hiko, ka konatunatua te CF₄ ki etahi atu hau hei tango pai i nga kiriata angiangi o te silicon, silicon nitride, whakarewa, me etahi atu rawa. Ka hono ana te CF₄ ki te fluorine, ka hanga he fluoride, he kaha te tauhohenga, ka taea te tarai i nga mea i whaaia. He mea nui tenei hau mo te tarai tauira tino tika i roto i te hanga iahiko whakauru.

5. hauwai pūhaumāota (HCl)

Ko te hau hauwai hauwai ka whakamahia hei hau wero, ina koa ki te tarai i nga rawa whakarewa. Ka tauhohe ki nga kiriata whakarewa hei hanga pūhaumāota, ka taea te tango i nga papa whakarewa. Kei te whakamahia nuitia tenei tukanga ki te whakatauira i nga kiriata whakarewa angiangi, me te whakarite i te tika o nga hanganga maramara.

6. Nitrogen Trifluoride (NF₃)

Ko te hauota trifluoride te nuinga o te whakamahi ki te horoi i nga toenga waipara i roto i nga taputapu tarai plasma. I roto i nga tukanga tarai plasma, ka tauhohe a NF₃ ki nga taonga kua penapena (pēnei i te fluoride silicon) ki te hanga pukoro ngawari te tango. He tino pai tenei hau i roto i te mahi horoi, e awhina ana ki te pupuri i te ma o nga taputapu tarai me te whakapai ake i te tika me te pai o nga mahi whakangao.

7. Hirini (SiH₄)

Ko te Silane he hau e whakamahia nuitia ana i roto i te waipara kohu matū (CVD), ina koa mo te whakatakoto i nga kiriata angiangi silicon. Ka pirau a Silane i te wera nui hei hanga kiriata silicon i runga i te mata o te tïpako, he mea nui ki te hanga semiconductor. Ma te whakatikatika i te rere o te silane me nga tikanga tauhohenga, ka taea te whakahaere tika i te reiti waipara me te kounga kiriata.

8. Boron Trifluoride (BF₃)

Ko te Boron trifluoride he hau doping nui, e whakamahia ana i roto i te tukanga doping boron i roto i te hanga semiconductor. Ka whakamahia hei whakatika i nga ahuatanga hiko o te karaihe ma te tauhohe ki te tïpako silicon ki te hanga i te paparanga doping e hiahiatia ana. He mea nui te tukanga doping boron mo te hanga rauemi semiconductor momo-P, a he mahi nui te hau BF₃ i roto i tenei mahi.

9. Hexafluoride whanariki (SF₆)

Hexafluoride whanariki Kei te whakamahia te nuinga i roto i nga tukanga etching semiconductor, ina koa i roto i te etching teitei-pū. Na te nui o nga taonga whakaraerae hiko me te pumau matū, ka taea te whakakotahi a SF₆ me etahi atu hau hei tango tika i nga kiriata rauemi me te whakarite i nga tauira tika. Kei te whakamahia whānuitia hoki i roto i te tarai katote, he pai te tango i nga kiriata whakarewa e kore e hiahiatia.

Whakamutunga

Ko nga hau motuhake mo nga semiconductor he mahi e kore e taea te whakakapi ki te hanga iahiko whakauru. I te mea kei te ahu whakamua tonu te hangarau, ka piki ake te hiahia mo te ma me te mahi o enei hau, e akiaki ana i nga kaiwhakarato ki te arotau tonu i te kounga me nga momo hau. Hei nga ra kei te heke mai, ka whakawhirinaki tonu te umanga semiconductor ki enei hau motuhake hei tautoko i te hanga o nga maramara o muri mai me nga mahi hangarau. No reira, ko te maarama me te tono haurehu motuhake he mea tino nui ki te akiaki i te whakawhanaketanga tonu o te umanga semiconductor.