Na te tere o te whanaketanga o te umanga semiconductor o te ao, kua uru katoa nga mahi hanga maramara ki te waa nanometer. I roto i tenei mahi hangahanga tino tika, ko nga rereketanga o te taiao me te poke o nga rawa ka taea te whakakore i te puranga katoa o nga angiangi. Na reira, ko nga hau motuhake hiko me nga hau ahumahi tino parakore he mahi e kore e taea te whakakapi. I roto ia ratou, argon wai parakore teitei kua noho hei kai nui mo nga mahi o ia ra o te hangahanga hikoi na te koretake o te matū me te tino pai o nga ahuatanga o te tinana.

Ma tenei tuhinga ka tino wetewete i nga tono matua o te argon wai i roto i nga mahi hanga maramara me te whakarato i tetahi aratohu hoko ngaio mo nga roopu mekameka tuku hinonga.

Nga tono matua: He aha te wai Argon e kore e taea te wehe mai i te hanga Semiconductor?

I roto i te tukanga whakangao semiconductor-mu-mutunga-o-Raina (FEOL), ko te argon wai mo nga semiconductors ka whakamahia i roto i nga waahanga matua e whai ake nei hei whakatau i nga hua hua:

• Te Kohu Kohu Tinana (PVD) / Putea: Ko te hau argon ultra-parakore, i hangaia e te hau o te argon wai, ko te hau mahi auraki i roto i nga tukanga PVD sputtering. I roto i te ruma korehau, ka whakaterehia nga katote argon e te papa hiko ki te pupuhi i nga taonga i whaaia, ka mawehe atu nga ngota i whaaia, ka taurite ki te whakatakoto ki runga i te mata angiangi kia hanga he kiriata whakarewa. Ko te maatanga teitei he mea nui hei whakarite i te kiato me te riterite hiko o te kiriata.
• 
  

• Tino Haumaru Korekore Hunga Parenga: I te wa e toia ana te hiraka monocrystalline (pērā i te tukanga Czochralski) me ngā tukanga whakaene i te pāmahana teitei, ka ngawari te mahi a te silicon ki te hāora i te pāmahana teitei. Na reira, me whakauru tonu te hau argon ki te whakakapi i te hau, me te whakarato i te taiao tino koretake mai i te hāora me te makuku, na reira ka whakarite i te tipu tino pai o te raima karaihe silicon.
• 
  
• Hangarau Horoi Cryogenics me Wafer Cleaning: I roto i nga tikanga o mua penei i te litography Extreme Ultraviolet (EUV), ko nga ahuatanga o te pāmahana ultra-iti o te argon wai (kohua -186°C) ka whakamahia i etahi wa ki nga punaha whakamahana o nga taputapu tika. I te wa ano, ka whakamahia ano te hangarau argon aerosol mo te horoi moroiti-a-tinana-nanomera i runga i nga papa angiangi, e kore e taea te whakakore i nga mea matūriki meneti.
• 
  

Ko te Kounga e Whakatau ana i te Hua: Ko nga Paerewa Tino o te Argon Waiwai Maama

Ko nga whakaritenga a te ahumahi semiconductor mo nga rauemi mata he tino uaua. Ko te argon wai-ahumahi noa te tikanga me eke ki te 99.9%, ki te 99.99% ranei, engari he tawhiti tenei ki te whakatutuki i nga hiahia o te hanga maramara. Mo whai tohu argon wai parakore teitei, Ko te maatanga o te turanga e hiahiatia ana kia eke ki te 99.999% (5N), a, i roto i nga waahanga matatau, me eke ki te 99.9999% (6N) teitei ake ranei.

Ko te mea nui ko te whakahaere poke. Ko nga ihirangi o te hāora, te hauota, te makuku, te tapeke waiwaro (THC), me nga katote whakarewa me tino whakahaere i te taumata ppb (waahanga mo te piriona) tae noa ki te ppt (waahanga mo ia trillion) taumata. Ahakoa he meneti te maha o nga poke ka uru ki roto i te paipa hau, ka puta he hapa moroiti i runga i te mata angiangi, ka puta he maramara poto iahiko, he rerenga o naianei ranei, ka toia iho te reiti hua me te nui o nga mate ohaoha.

Aratohu Hokonga: Me pehea te Aromatawai me te Kowhiri i tetahi Kaiwhakarato Argon Ngaio?

I runga i te mahi nui o nga hau parakore i roto i nga mahi o nga raina whakaputa, ko te rapu me te whakapumau i tetahi kaiwhakarato argon wai tino whai tohu me te kaha he mahi matua mo te hoko me nga roopu mekameka tuku. I te wa e arotake ana i nga kaiwhakarato ka taea, ka tūtohu kia arotahi ki nga waahanga e toru e whai ake nei:

Te Mana Kounga me te Whakamatau Kaha: Ko nga kaiwhakarato kairangi me whakawhiwhi ki nga taputapu tātari tohu o runga penei i te Gas Chromatographs (GC) me te Mass Spectrometers (MS). Me kaha ratou ki te whakarato i tetahi COA (Tiwhikete Tiwhikete) mo ia puranga hei whakarite kia rite tonu te ma i waenga i nga tukunga.

Te Maamaa o te Roopu Whakawhiwhia me te Pumautanga Tukunga: I te nuinga o te wa ka mahi a Fabs 24/7/365, a he tino nui te utu mo te wa heke. No reira, me whai kaha nga kaiwhakarato ki te rokiroki wai-a-rohe, ki a raatau ake waka taraka taraka cryogenic, me nga mahere ohorere mo te whakapumautanga ohotata.

Ko nga Ipu Ake me te Hangarau Anti-“Pakurua Tuarua”: Ahakoa te teitei o te ma o te hau, karekau he painga ki te poke i te wa e kawe ana. Ko te arotahi ki runga i nga taika rokiroki tangihanga a te kaiwhakarato me nga hangarau whakamaarama pakitara o roto (penei i te mea kua pa ki te maimoatanga Electropolishing / EP), me nga Tikanga Whakahaere Paerewa (SOP) mo te horoi i te waapa me te paipa i te wa e whakakiia ana me nga waahanga whakawhiti, me te whakarite ka taea te tuku tika mai i te tipu ki te waahi o te kaihoko.

Whakamutunga

I raro i te ahu whakamua tonu o te Ture a Moore, ko te argon wai parakore nui ehara i te mea kai noa, engari he "kaiwhakahaere e kore e kitea" mo nga tukanga semiconductor matatau. Te arotake me te whiriwhiri i te a kaiwhakarato argon wai me te kaha matawhānui ki te whakarite i te kounga teitei me te pumau o te wai argon mo nga semiconductors te kohatu kokonga matua mo ia hinonga whakangao semiconductor ki te whakapai ake i nga hua mahi me te wikitoria i nga whakataetae maakete o te ao.