Хуаханг газын өнөр жай искусствосун жана илимин өздөштүрүү үчүн өзүбүзгө арналды адистик газ өндүрүү. Бүгүнкү күндө жогорку технологиялык дүйнөдө, айрыкча, ичинде Жарым өткөргүч Өнөр жай, суроо-талап Ультра жогорку тазалыгы газдар жөн гана артыкчылык эмес; Бул абсолюттук зарылдык. Бул макала критикалык дүйнөгө айланды ыпыластыкты талдоо үчүн Электрондук адистик газдар. Эмне үчүн эң кичинекей нерсени изилдейбиз ыплас Туура кесепеттерге алып келиши мүмкүн, бул кандайча буларды кантип аныктай алабыз издегичжана бул бизнес үчүн эмнени билдирет. Түшүнүү газдын аралашмалары жана алардын ыкмалары тазалоо жана аныктоо, мисалы ICP-MS, заманбап ишенимдүүлүктү жана аткарууну камсыз кылуу үчүн ачкыч Электроника. Бул бөлүк сиздин убактыңызга арзыйт, анткени ал заводдун инсайдердин ырахатын сактоо боюнча перспективасын сунуштайт Электрондук адистик газдардын тазалыгы, бурчтар Жарым өткөргүч жана Электроника Секторлор.

Электрондук адистик газдар деген эмне жана алардын тазалыгы эмне үчүн жарым өткөргүч өндүрүшүндө ушунчалык маанилүү?

Электрондук адистик газдаркөбүнчө деп аталат Электрондук газдар же Жарым өткөргүч газдаруникалдуу категория Жогорку тазалоочу газдар жана Газ аралашмасы Электрондук компоненттерди өндүрүү үчүн тартылган татаал процесстер үчүн атайын иштелип чыккан. Аларды санариптин көзгө көрүнбөгөн архитекторлору катары көрөлү. Булар Жарым өткөргүч ичинде колдонулган газдар Палатанын тазалоо үчүн силонанын катмарларын (NF₃) депозиттерди (NF₃) депозиттерди (NF₃) депозиттерди (NF₃) депозиттерди (NF₃) депозиттерди (nf₃) депозиттерди (NF₃) деп атоо үчүн силандын (SILANE), мисалы, силане (SIL₄) сыяктуу ар түрдүү диапазону, мисалы, Силан (SIH₄) сыяктуу ар түрдүү диапазонду камтыйт, Аргон (AR) инерттүү калкан катары жана ар кандай Допинг газдары Электрдик касиеттерин өзгөртүү үчүн фосфине (PHO₃) же Арсине (Ash₃) сыяктуу Жарым өткөргүч материалдар. Термин "электрондук адистик"Өзүлөрүнүн ылайыкташтырылган арызын жана алардын курамында талап кылынган өтө тактык баса белгиленет. Булар сиздин күнүмдүк эмес Өнөр жай газдары; Алардын өзгөчөлүктөрү алда канча катуу.

Алардын эң чоң мааниси тазалык айрыкча, ашыкча Жарым өткөргүч өндүрүү. Заманбап интегралдык схемалар (ICS) Өзгөчө чакан жана өткөрүлүүчү чакан, көбүнчө нанометрдерде өлчөнөт (метрдин миллиарддан белгилери). Ушул микроскопиялык масштабда, атом бир атом-an ыплас- Боулдерден кичинекей агымдагы, электрдик агымдын бузулушуна же структуралык кемчиликтерди бузган Бул туура эмес чипке алып келиши мүмкүн, ал эми миллиондогон чиптер бир вафаттан, каржылык жана педакциялык зыяндын бузулушуна алып келген тармакка алып келиши мүмкүн булгануу Чоңураак болушу мүмкүн. Ошондуктан, Электрондук адистик газдардын тазалыгы бүтүндөй алуучу тирөөч Электроника жана жарым өткөргүч Өнөр жай турат. Ар кандай ыплас түзмөктүн иштешин, кирешелүүлүгүн жана ишенимдүүлүктү компромисске, кирешелүүлүктү жасаса болот Газ тазалыгы Башкаруу маанилүү.

Huazhong Gas, биз кардарларыбызды түшүнүп жатабыз Semiconductor Industries "Беш нин" (99.999%) же ал тургай "алты нин" (99.9999%) чейинки газдарды камсыз кылууга ишенебиз. Бул кандайдыр бир нерсени билдирет ыплас Миллион (PPM) же ал тургай бир миллиардга чейинки бөлүктөргө караганда төмөн концентрацияга катышуу керек (PPB). Мындай жетишүү жана тастыктоо Жогорку тазалыгы деңгээлдер татаалдаштырууну талап кылат тазалоо Техника жана аттуу, өнүккөн ыпыластыкты талдоо Метод. Күтүлбөгөн ыплас ошондой эле маселелерди да көрсөтүшү мүмкүн газ цилиндрлери же жеткирүү чынжырын ырааттуу сапаттагы текшерүүлөрдү жүргүзүү. Бизди камсыздайбыз Азот цилиндр Маселен, бул так эмес стандарттарга жооп берген курмандыктар, анткени азоттун көптөгөн жарым-жартылай жасалма материалдары көп учурда жумушчу газ.

Жада калса микроскопиялык издегич-микроскопиялык байкоочулардын семикостордук өндүрүш линияларын кантип бузса болот?

Кээде кичинекей, а издин өзгөрүшү бир миллиард (PPB) же ал тургай бир триллион (PPT) бөлүктөрүнө өлчөнөт (PPT), мындай олуттуу көйгөйлөргө алып келиши мүмкүн. Бирок дүйнөдө Жарым өткөргүч Өндүрүш, ушул микроскопиялык булгоочу заттар ири акмактар. Келгиле, жарым өткөргүчтүн жасалгалоочу процесстерин карап көрөлү: ал ондогон, кээде жүздөгөн, кылдат, назик кадамдар (жука фильмдерди жулуп) жана ион имплантациялоо (конкреттүү атомдорду киргизүү). Ар бир кадам такыр башкарылган химиялык чөйрөгө терс таасирин тийгизет, көбүнчө түзүлгөн же сакталат Электрондук адистик газдар. Эгер a колдонулган газ Ушул кадамдардын биринде керексиз ыплас, ыплас назик катмарларына киргизсе болот Жарым өткөргүч Түзмөк.

Мисалы, Металл дөңгөлөктөр Натрий, темир же жез сыяктуу, ал тургай, ультра концентрациясында да кремнийдин электр касиеттерин кескин өзгөртө алат. Алар керексиз жүрүм-турум жолун түзүп, кыска схемага алып барышы мүмкүн, же "тузак", ал түзмөктүн агымын басаңдатуу же толугу менен жок болуп кетишине алып келген "тузак" катары иш алып барышы мүмкүн. An ыплас Процесстин кадамына арналган химиялык реакцияларга тоскоол болот. Мисалы, a булгоочу Бензинде бензин кийип, бадалга же андан ашып-ташып кетиши мүмкүн, Вафлиге так схемаларды бузушу мүмкүн. Таасири жеке чипс боюнча эле эмес; аныкталбаган ыплас Маселени толугу менен вафликтердин талкалоосуна алып келиши мүмкүн, натыйжада сапаттуу материалдарды туруктуу камсыз кылууга туруктуу камсыз кылуу керек болгон сатып алуулар боюнча офицерлер үчүн миллиондогон долларлар, өндүрүш кечигүү боюнча баш тамгаларына алып келет. Бул бекем муктаждыкты баса белгилейт изин алмаштыруу.

Кандайдыр бир кыйынчылык - бул "алгылыктуу" деңгээл ыплас катары кичирейип баратат Жарым өткөргүч түзмөк өзгөчөлүктөрү кичирейип калат. Алгылыктуу деп эсептелген ыплас бир онго жакынкы деңгээлде катастрофалык болушу мүмкүн булгануу бүгүн. Мичилизация үчүн бул катаал диск газ өндүрүүчүлөргө жана аналитикалык лабораторияларга чоң кысым көрсөтөт аныктоо чеги мүмкүнчүлүктөр. Жада калса бөлүкчөлөр Жылаңач көзгө көрүнбөгөндөй, ыпылас бырыштар, кичинекей чаңдуу спек, фотолитография кадамдарына жарык бере алат же вафли бети боюнча физикалык кемчиликтерди жаратышы мүмкүн. Ошондуктан, ар бир потенциалды контролдоо ыплас - газдуу, металл, же бөлүкчөлөр - өтө маанилүү. The аралашмалар Маселелерин басаңдатышы мүмкүн, ар тараптуу муктаждыгын баса белгилейт Газ анализи.

Эң көп кездешүүчү кыйынчылыктар кайсылар? Электроника үчүн газдардагы аралашууларды аныктоо.

Биз сүйлөшкөндө газдардагы аралашмалар арналган Электроника жана жарым өткөргүч Сектор, биз ар бир символдорду, ар бири олуттуу зыян алып келиши мүмкүн болгон потенциалга ээ болобуз. Булар табылгыс газдуу, металлдык, бөлүкчөлөргө бөлүштүрүлө алат. Бул жалпы көйгөйлөрдү түшүнүү натыйжалуу биринчи кадам ыпыластыкты талдоо жана башкаруу. Конкреттүү мүмкүндүк алуу газдын өзүнө жараша өзгөрүп, анын өндүрүш ыкмасына, сактагычка жана иштетүүгө жараша болот.

Газдуу упай Негизги башка газдар адистик газ. Мисалы, Жогорку тазалыгы Азот, жалпы газ упай Кычкылтек (хъ), көмүр кычкыл газы (CO), көмүр кычкыл газын (CO), көмүртектүү кычкыл газы (CO), жана углевой (CO), көмүртектин (CO), көмүртектин, көмүртек. Кычкылтек жана нымдуулук, айрыкча, алар реактивдүү жана керексиз кычкылданууга алып келиши мүмкүн Жарым өткөргүч материалдар же процесстик шаймандар. Жада калса Инерт газы сыяктуу Аргон, булар байкоо деңгээлинде болушу мүмкүн. Компания катары биз көп учурда анализдин сурамдарын көрөбүз ар кандай аралашмалар, анын ичинде бул реактивдүү түрлөр. Мисалы, биздин мүмкүнчүлүктөрүбүздү өндүрүү комплекси кирет Gasmatture ар бир компонентти контролдоо, анын ичинде потенциалдуу газ упай, бул парамот.

Металл дөңгөлөктөр дагы бир чоң тынчсыздануу. Булар натрий (Na) сыяктуу металлдардын атомдору, Кальций (CA), темир (IRO), никель (CU), хром (CR), жана алюминий (AL). Алар чийки зат, өндүрүш жабдыктардан (түтүктөр жана реакторлор сыяктуу) пайда болушат, ал тургай газ цилиндрлери өзүлөрү туура эмес мамиле жасабаса. Жогоруда айтылгандай, булар Металл аралашмалар электрдик иштин натыйжалуулугун катуу таасир этиши мүмкүн Жарым өткөргүч Түзмөктөр. Буларды PPB же PPT деңгээлдеринде аныктоо үчүн, тойгуздук плазма массалык спектрометриялуу шайкеш келгендей аналитикалык техниканы талап кылат (ICP-MS). Биз дагы ойлонушубуз керек бөлүкчөлөр Зат. Булар кичинекей катуу же суюк бөлүкчөлөр газ агымы. Алар вафлиттердеги физикалык кемчиликтерди, жабдууларда шлангаларды жаап, же башка жол менен тааныштырышы мүмкүн булгоочу заттар. Чыпка чыпкалоо - бул маалыматтарды алып салуу баскычы, бирок алардын деңгээлине мониторинг жүргүзүү ар тараптуу бөлүгү болуп саналат газдын сапаты Программа. Кээ бир Электрондук адистик газдар дагы дат баскан газдар же уулуу газдар, бул алардын иштетүү жана талдоосуна дагы бир катмарды кошот, аларды камсыз кылуу ыплас Профиль бул коркунучтарды курчабайт.

ICP-MS: Жарым өткөргүч газдарындагы металлдык аралашмаларды аныктоо үчүн алтын стандартына ээ?

Качан келгенде Металл аралашмаларын талдоо in ультра жогорку тазалыгы газдар, Индуктивдүү плазма массалык спектрометриясын же ICP-MS, алдыңкы технология катары кеңири каралат. Бул кеңири чөйрөнү таап, эсептеген күчтүү аналитикалык техник элементардык аралашмаларКөпчүлүк учурда таң калыштуу төмөн деңгээлдерге чейин, кээ бир элементтер үчүн бир нече бөлүктөргө (PPT) же пер-ппадриллион (PPQ) бөлүктөрүнө) деп эсептешет. Бул сезимталдык эмне үчүн ICP-MS үчүн ушунчалык маанилүү болуп калды Жарым өткөргүч Өнөр жай, кайда, биз талкуулаганбыз, ал тургай, мүнөттөрдүн издери Металл дөңгөлөктөр зыяндуу болушу мүмкүн Продукциянын сапаты.

Кантип ICP-MS өз сыйкырдуу иштөө? Жөнөкөй мааниде, Үлгү (же газдан алынган чечим), адатта, өтө ысык плазмада киргизилет Аргон. Бул плазма, температура 6000ден 10,000 ° C температурасына жетүү үчүн, газ молекулаларын талкалоо үчүн, анын ичинде атомдорду, анын ичинде Металл дөңгөлөктөр. Андан кийин бул иондор Плазмадан алынып, массалык спектрометрге жетектелди. Массалык спектрометр өтө так чыпка сыяктуу иш-аракеттерди жасап, иондорду өз масштабдуу катышына жараша бөлүп салат. A Детектор Андан соң ар бир конкреттүү масса үчүн иондорду эсептеп, кайсы элементтерди жана кайсы санда экендигин аныктоого мүмкүндүк берет. Жөндөмү ICP-MS кеңири спектрге сканерлөө адистик газдарындагы металлдык аралашмалар бир эле учурда аны натыйжалуу кылат.

Ал эми ICP-MS Укмуштуу күчтүү, айрыкча, кыйынчылыктардан эмес Жарым өткөргүч ичинде колдонулган газдар жасалма. Бир жалпы мамиле - бул тузакка түшүү упай көп көлөмдөгү газдын өндүрүшүнө же суюктукка чейин, андан кийин анализделген ICP-MS. Бирок, түздөн-түз газ түздөө ичине ICP-MS Система айрым арыздар үчүн кеңири таралган, бирок адистештирилген интерфейстен талап кылынат. Тандоо ыкмасын конкреттүү деп эсептейт газдын аралашмалары пайыздык, матрица газы жана талап кылынган аныктоо чеги. Хуаханг Газ менен биз заманбап аналитикалык жабдууларга, анын ичинде ICP-MS мүмкүнчүлүктөр, анткени биз ишенимдүү деп билебиз ыпыластыкты талдоо Маалыматтар биздин кардарларга биздин биздин кардарларга болгон ишенимибиздин негизи болуп саналат Жогорку тазалыктын электрондук электрондук газдар. Тактык ICP-MS аны камсыз кылууга жардам берет Газалардын тазалыгы үчүн катуу талаптарга жооп берет электрондук баа материалдар.

Эмне үчүн электроника жана жарым өткөргүч тармактары үчүн газ тазалыгы эмне үчүн сүйлөшүлбөйт?

Кыйынчылыкка муктаж Газ тазалыгы ичинде Электроника жана жарым өткөргүч тармактары жөн гана артыкчылык эмес; Бул заманбап түзмөктүн физика жана экономика башкарган негизги талап. Катары Жарым өткөргүч Түзмөк өзгөчөлүктөрү нанометрдик шкаланы, алардын сезимталдыгы каалаган формага чейин булгануу SkyroKets. An ыплас Улуу, чоңураак түзмөктөрдө чоң шаймандарда болушу мүмкүн, азыр кырдуу чиптеринде катастрофалык кемчиликтерге алып келиши мүмкүн. Бул түздөн-түз таасир берүү - вафли үчүн жакшы чиптердин пайызы, ал тургай, түшүмдүүлүктүн кичинекей тамчысы миллиондогон долларга жоголгон киреше үчүн которсо болот Жарым өткөргүч Өндүрүүчүсү.

Заманбап микропроцессордун же эс тутумунун татаал архитектурасы жөнүндө ойлон. Анда миллиарддаган транзисторлор, ар биринин миниатюралык инженерия. Бул транзисторлордун аткарылышы презервативдик электрдик касиеттерге көз каранды Жарым өткөргүч Колдонулган материалдар, бул, өз кезегинде, өтө сезгич упай. Мисалы, белгилүү Металл дөңгөлөктөр Силикон тобундагы боштуктардын чегинде керексиз энергия деңгээлин киргизсе болот, агып кетүүчү же азайган ташуучу мобилдүүлүгүн жогорулатууга алып келет. Бул жайыраак, анча натыйжалуу эмес же толук иштебеген шаймандарды билдирет. Газдуу упай Кычкылтек же нымдай болуп, күтүлбөгөн кычкыл катмарларын түзүүгө алып келиши мүмкүн, кинотасмаларды өзгөртүүгө же интерфейс интерфейс касиеттерин түзүүгө алып келиши мүмкүн. Жалпы газдын сапаты түздөн-түз которушат Продукциянын сапаты ишенимдүүлүк.

Андан тышкары, Электроника жана жарым өткөргүч тармактары өтө татаал жана кымбат өндүрүш процесстер менен мүнөздөлөт. Бир Жарым өткөргүч Жасалма өсүмдүк ("ФАБ") курууга жана жабдууга миллиарддаган долларга арзыбайт. The колдонулган газдар көпчүлүк кымбат процесс кадамдарына ажырагыс болуп саналат. Эгер a адистик газ менен булганган ыплас, бул жөн гана иштелип чыккан вафлиге таасир этпейт; Ошондой эле ал кымбат баалуу жабдууларды өзүнө булгашы мүмкүн. Бул кеңейтилген убактылуу иштөө үчүн узартылышы үчүн, чыгымдарды жана өндүрүштүк графигин бузууга алып келет - өз кардарлардын талаптарын канааттандыруу үчүн өз убагында жеткирүүгө үмүттөнгөн Марк Шен сыяктуу чоң оору. Ошондуктан, Электрондук адистик газдардын тазалыгы катаал ыпыластыкты талдоо Бүт берүү чынжырына байланыштуу тобокелдикти жумшартуу стратегиясы болуп саналат. Көңүл буруу Бийик тазалык газдар акылсыз, анткени устундар укмуштуу бийик.

Атайын газдарда металлдык аралашмаларды талдоого биз кандай негизги кыйынчылыктарга туш болуп жатабыз?

Талдоо Металл дөңгөлөктөр in атайын газдар, айрыкча, колдонулган адамдар Жарым өткөргүч Өнөр жай, уникалдуу кыйынчылыктардын уникалдуу топтомун сунуштайт. Негизги кыйроо булардын өтө төмөн концентрациядан келип чыгат упай көйгөйлүү болушу мүмкүн - көбүнчө бир миллиард (PPB) же ал тургай бир триллион (PPT) диапазону. Ушундай мүнөттөрдү аныктоо жана так сандык бир гана сезимтал аналитикалык аспаптыкты гана эмес ICP-MS Ошондой эле, сырткы көрүнүштөрдү киргизбөө үчүн, ан-ляттикалык чөйрөлөрдү жана кылдаттык менен иштөө протоколдору булгануу.

Бир маанилүү маселе - үлгү менен тааныштыруу. Көп адистик газдар колдонулат in Электроника жогорку реактивдүү, дат басуучу, ал тургай пирофорик (абада өзүнөн-өзү иготип). Буларды коопсуз жана натыйжалуу өткөрүп берүү газдар Аналитикалык аспапка окшош ICP-MS өзгөрбөстөн Үлгү же куралды булгоо адистештирилген интерфейстер жана иштетүү процедураларын талап кылат. Мисалы, түздөн-түз сайуу a Коррозивдүү газ Суутек хлоридге окшош (HCL) стандартка айланат ICP-MS тутумга зыян келтириши мүмкүн. Ошондуктан, импингер тепкилөө сыяктуу кыйыр ыкмалар (бензинди суюктук аркылуу тартып алуу үчүн газды көбөйтөт) упай) же Cryogenic Trapp, көбүнчө колдонулат. Бирок, бул ыкмалар өзүлөрүнүн потенциалдуу булактарын киргизе алат булгануу же кемчиликсиз аткарылбаса, аналите жоготуу. Тандоо Carrier Gas Керек болсо, керек болсо, кынтыксыз болушу керек тазалык.

Дагы бир чакырык "матрица эффектиси". Жапырт газ Өзү (мисалы, Аргон, азот, суутек) табууга тоскоол болот издегич. Мисалы, ICP-MS, плазма жапыртынан пайда болгон газ бир эле массалык-зарядга катышкан бир эле массалык катышы бар полятомиялык иондорду түзө алат Металл дөңгөлөктөржалган позитивдерге же туура эмес сандыкка алып келет. Аналитиктер техниканы кагылышуу / реакция клеткалары сыяктуу колдонушу керек ICP-MS же жогорку деңгээлдеги массалык спектрометриялуу спектралдык кийлигишүүлөрдү жеңүү үчүн. Андан тышкары, калибрлөө стандарттары эсептөө үчүн колдонулган калибрлөө стандарттары Металл аралашмалар өтө так жана байкалышы керек жана толугу менен аналитикалык процесс ишенимдүүлүктү камсыз кылуу үчүн тастыктоо керек ыпыластыкты талдоо натыйжалар. Биз, жеткирүүчү катары, ошондой эле кынтыксыз болобуз газ цилиндрлери алардын салымын кошуу мүмкүнчүлүгү Металл дөңгөлөктөр убакыттын өтүшү менен, сапатты көзөмөлдөп туруу талап кылынат.

Газ алмашуу аппарасын колдоно аласыз

Ооба, Газ алмашуу аппаратын колдонуу чындыгында тактыкты жогорулатууда чоң роль ойной алат изин алмаштырууАйрыкча, кыйынчылык менен алектенүүдө газ матрицалар же Ультра-төмөн аныктоо чектери. A Газ алмашуу курсу, кээде матрицацияны жоюу тутуму деп аталат, негизинен, топту тандап алып чыгуу менен иштейт газ (негизги компонент Үлгү) концентрацияланганда издегич кызыгуу. Бул алдын-ала концентрацияланган кадам, андан кийинки аналитикалык техникалардын сезгичтигин кескин жакшырта алат ICP-MS же газ хроматограф Системалар.

Көпчүлүктүн артындагы принцип газынын алмашуу курамдары жарым-жартылай чаап мембрана же тандалма адсорбция / басылуучу механизмди камтыйт. Мисалы, палладий мембрана менен суутекти алып салуу үчүн колдонсо болот Газ аралашмасы, башка газдардагы аралашмалар концентрацияланууга жана А Детектор. Анын сыңарындай, атайын адсорбент материалдары айрымдарды тузакка түшүрөт упай аккан газ Агым, андан кийин таза көлөмдөгү үнсүз болот Carrier Gas Талдоо үчүн. Жапырт суммасын азайтуу менен газ Жетишүү Детектор, бул түзмөктөр матрицанын кийлигишүүлөрүн минималдаштырат, фон ызы-чуусун төмөндөтөт жана бутага сигналга катышкан сигнал катасын натыйжалуу көбөйтүү издегич. Бул төмөнгө алып келиши мүмкүн Табууну чеги.

Артыкчылыктары Газ алмашуу аппаратын колдонуу айрыкча анализде айкыныраак электрондук кирдер түздөн-түз чечүү кыйын же аналитикалык аспаптарга олуттуу кийлигишүүгө алып келген газдар. Мисалы, изин өлчөө үчүн, бир кычкылтекти же нымдуулукту өтө реактивдүү өлчөөгө аракет кылып жатканда адистик газ, a Газ алмашуу курсу буларды өзүнчө бөлүп алмак упай дагы багып Carrier Gas сыяктуу Аргон же алар жеткенге чейин гелий Детектор. Бул тактыкты гана жакшыртуу гана эмес, сезимтал аналитикалык компоненттерди да коргой алат. Өндүрүүчү катары 99.999% Perthity 50L цилиндр Xenon Gas, биз өзгөчө өнүккөн техникалардын маанисин өзгөчө текшерип турабыз тазалык сейрек кездешүүчү жана атайын газдар. Бул технология сабактары газды тазалоо жана текшерүү этаптары.

Критикалык шилтеме: Жарым өткөргүч өндүрүшүндө түздөн-түз колдонулган газдарда өзгөрүүлөрдү талдоо.

The түздөн-түз жарым-жартылай өндүрүшүндө колдонулган газдар жасалма процесстин жашоосу болуп саналат. Буларга жөн гана эмес жапырт газдар Азот сыяктуу жана Аргон, бирок ошондой эле кең массив Электрондук адистик газдар сыяктуу эпитаксиялык газдар (мис., Силейн, герман кристалл катмарларын өстүрүү үчүн), газзарды жеп (Э.Г., NF₃, SF₆, CL₂ үчүн), Ион имплантация газдары (мис., Арсин, фосфин, кароо үчүн), допинг үчүн), допингге чейин. Алардын ар бири үчүн газдар талап кылынат, алгылыктуу деңгээл жана түрү ыплас кылаак аныкталат, анткени ар кандай четтөө, ал эми кемчиликтерди түздөн-түз которсо болот Жарым өткөргүч Wafer. Бул жасайт ыпыластыкты талдоо булар үчүн Процесс газдар таптакыр маанилүү сапатты көзөмөлдөө кадамы.

Транзисторлордогу жалпы силикон диоксид катмарын, жука кремнайддын катмарын жайгаштырууну карап көрөлү. Кычкылтек болсо газ колдонулат Бул процессте углеводород бар упай, көмүртекти кычкыл катмарына киргизсе, анын изоляциялоо касиеттерин басаңдатуу жана түзмөктүн иштебей калышы мүмкүн. Ошо сыяктуу эле, эгер болсо газ Күтүлбөгөн ыплас, бул ETCдин баасын же тандалууну өзгөртүүгө алып келиши мүмкүн, бул өтө чоң, өтө кичинекей же туура эмес формага ээ болгон өзгөчөлүктөргө алып баруучу. Жада калса ыплас in Инерт газы сыяктуу Аргон газ цилиндр Кырсыкка учуроо үчүн колдонулган вафли бетине которулушу мүмкүн, бул фильмдин сапатына таасирин тийгизет. Анын таасири ыплас көбүнчө процесстин өзгөчөлүгү, мааниси ыплас бир кадамга чыдоо сынчыл болушу мүмкүн булгоочу башка.

Бул критикалык шилтеме комплекстүү мамилени талап кылат ыпыластыкты талдоо. Бул акыркы продукт текшерүү жөнүндө гана эмес; Бул чийки зат, процесстер агымдары жана финалга мониторинг жүргүзүүнү камтыйт газ тазалоочу этаптар. Үчүн Жарым өткөргүч адистиги газдар, мүнөздөмөлөр Жарым өткөргүч Өтүнмөлөр көбүнчө аналитикалык аныктоо чектерин түртүп, өтө тар болушат. Биз кардарларыбыз менен тыгыз иштейбиз Жарым өткөргүч жана электроника алардын өзгөчөлүктөрүн түшүнүү үчүн талаа ыплас Ар кандай нерсеге сезимталдык газдар жана газ аралашмасы. Бул биргелешкен мамиле экендигин камсыз кылат Таза адистик газдар Биз алардын алдыңкы өндүрүш процесстеринин талаптарын талап кылган талаптарды ырааттуу камсыз кылабыз. Кыйынчылык a discecing ар кандай аралашмалар бир азайган деңгээлде.

Лабораториянын аркы өйүзүндө: Бийликтин алдын алуу үчүн жогорку тазалоочу жарым өткөргүч газсин иштетүү үчүн мыкты тажрыйбалар.

Аны камсыз кылуу Электрондук адистик газдардын тазалыгы качан бүтпөйт газ Биздин өндүрүштүк мекемени калтырат. Муну сактоо тазалык Мунун бардыгын колдонуу Жарым өткөргүч ФАБ, сактоого, сактоого жана жайылтууга көп көңүл бурууну талап кылат. Ал тургай эң бийик Тазалык бензин туура башкарылбаса, булганган болушу мүмкүн. Хуахонг газы, биз өндүрүүгө гана көңүл бурбайбыз Жогорку тазалоочу газдар Ошондой эле кардарларыбызга эң мыкты тажрыйбага ээ болууну кеңеш берүү булгануу.

Негизги мыкты тажрыйбалар төмөнкүлөрдү камтыйт:

• Компонент тандоо: Газ жеткирүү тутумундагы бардык компоненттер - анын ичинде газ цилиндрлери, жөнгө салуучулар, клапандар, түтүктүн жана арматуралар - тиешелүү материалдардан (Э.Г., электропенделген дат баспас болоттон жасалган) алынып салынышы керек жана атайын тазаланат жана тастыкталган Ультра жогорку тазалыгы (UHP) кызматы. Туура эмес материалдарды колдонуу өкүнүчкө алып келиши мүмкүн упай же a Металлдын ыпыластыгы Ийгиликке жетүү газ агымы.
• Тутумдун бүтүндүгү: Газ жеткирүү тутуму агып кетиши керек. Жада калса кичинекей агып кетүү атмосферага уруксат берет булгоочу заттар кычкылтек, ным жана бөлүкчөлөр Тутумга, компромисске кирүү үчүн зат Газ тазалыгы. Үзгүлтүксүз агып кетүү маанилүү.
• Тазалоочу процедуралар: Туура тарбиялоонун жол-жоболору - бул байланышка кабыл алынса же цилиндр өзгөрүлмөлүү болгон ар бир сынчыл. Бул саптарды а менен жууп салуу кирет Жогорку тазалыктын инерт (сыяктуу) Аргон же нитроген) каалаган камалып калган абаны алып салуу упай. Ийгиликке жетишүү - бул жалпы булак булгануу. Ылайыктуулукту камсыз кылуу үчүн автоматташтырылган тазалагыч панелдерин сунуштайбыз.
• Техникалык жабдыктар: Атайын жөнгө салуучулар жана конкреттүү саптарды колдонуу газдар же үй-бүлөлөр газдар кайчылаш булгануудан сактайт. Бул айрыкча, анын ортосунда өтүүдө маанилүү Инерт газы жана реактивдүү же Коррозивдүү газ.
• Цилиндрди иштетүү: Газ цилиндрлери зыян келтирбөө үчүн кам көрүү керек. Аларды белгиленген, жакшы желдетилген аймактарда сакталышы керек жана "биринчиден, биринчи жолу" инвентаризация жүргүзүү керек. Колдонуу арналган ным жана кычкылтек Критикалык чекиттерде анализаторлор булардын ар кандай йпаластыгына жардам берет упай.

Марк Шен сыяктуу кардарлар үчүн, кайра сатууга же өндүрүшүн колдонууга дуушар болгонун сатып алган кардарлар үчүн бул иштетүү иш-аракеттерин түшүнүү үчүн өтө маанилүү Продукциянын сапаты алар өз кардарларына убада беришет. Бул жалпы жоопкерчилик. Бизди камсыздайбыз Суутек цилиндр Мисалы, продукциялар толтурулуп, алдын алуу үчүн толтурулат ыплас ingress, бирок акыркы колдонуучунун тутуму бирдей маанилүү ролду ойнойт. Менен күрөшүү ыплас Өндүрүштү колдонууга үзгүлтүксүз аракет болуп саналат.

Кристалл топуна көз чаптыруу: Электрондук класстагы газдар үчүн бул келечектеги кайсы жаңылык-ала биле алабыз?

Тапшырма түбөлүктүү тазалык in Электрондук класстын газдары жана көбүрөөк сезимтал ыпластыкты аныктоо Методдор - бул үзгүлтүксүз саякат, инновациянын тынымсыз темпине негизделген Жарым өткөргүч өнөр жай. Түзмөк өзгөчөлүктөрү андан ары суб-10 нанометр чөйрөсүнө жана жаңы материалдарга жана архитектураларга мындан ары кичирейип баратат (3D нандыктар менен дарбаза жана айлана-тегерете айлануу), ал тургай Файнердин таасири издегич көбүрөөк айтылат. Бул эки тарапта андан ары өркүндөтүүнү талап кылат газды тазалоо технологиялар жана ыпыластыкты талдоо мүмкүнчүлүктөр.

Биз бир нече тенденцияларды күтө алабыз:

• Төмөнкү аныктоо лимиттери: Аналитикалык ыкмалар ICP-MS, Газ хроматография-массалык спектрометрия (GC-MS), аныктоо чектери кененирээк аралашмалар бир орундуу PPT деңгээлине же ал тургай, ал тургай, PPQ доменине кирди. Бул Иондуктагы булактарда, Массалык анализаторлордо жана Детектор Технология.
• In-situ and Real-Time Monitoring: Мониторго жете турган аналитикалык системаларга суроо-талап бар Газ тазалыгы реалдуу убакытта түздөн-түз колдонуу Жарым өткөргүч FAB. Бул кандайдыр бир нерсени тез арада аныктоого мүмкүндүк берет булгануу Окуялар же дрейфттер ыплас Тез оңдоп-түзөө иш-аракеттерин иштетүү жана өнүмдүн жоголушун минималдаштыруу деңгээли. Миниатюралык сенсорлор жана өнүккөн химометриялык алгоритмдер бул жерде негизги ролду ойнойт.
• Татаал газ аралашмасын талдоо: Келечек Жарым өткөргүч процесстер көбүрөөк татаал болушу мүмкүн Газ аралашмасы бир нече реактивдүү компоненттер менен. Талдоо упай Мындай татаал матрицада жаңы аналитикалык стратегияларды жана татаал маалыматтарды чечмелөө куралдарын талап кылат. Өлчөө жөндөмү ыплас Башкалардан кийлигишпестен бир компонентте чечүүчү болот.
• "Killer" өтмөктөрүнө көңүл буруңуз: Изилдөөлөр конкреттүү түрдө аныктоону улантат Жарым өткөргүч Түзмөктүн аткарылышына жана түшүмдүүлүгүнө, ал тургай, өтө төмөн деңгээлде диспропорциялык жактан чоң таасирин тийгизет. Аналитикалык ыкмалар "өлтүргүч" үчүн көбүрөөк максаттуу болот упай.
• Маалымат аналитикасы жана AI: Алдыңкы тарабынан түзүлгөн маалыматтардын саны ыпыластыкты талдоо Системалар AI жана машинаны колдонуп, тенденцияларды аныктоону, болжолдонгон потенциалды аныктоону үйрөнүү булгануу маселелер жана оптималдаштыруу газды тазалоо процесстер. Бул реактивдүү көйгөйдү чечүүдөн көрө, активдүү сапатты көзөмөлдөөдө жардам берет.

Huazhong Gas, биз ушул окуялардын алдыңкы орунда турууга милдеттүүбүз. Мен илимий өнөктөштөр жана академиялык институттар менен кызматташууга, өнөр жай өнөктөштөрү жана академиялык институттары менен кызматташууга үзгүлтүксүз инвестиция салабыз Бийик тазалыктын бензин өндүрүү жана ыпыластыкты талдоо. Кардарларыбыз үчүн, анын ичинде Марк Шен сыяктуу сапат катары, бул ишенимдүү жеткирүү дегенди билдирет Электрондук адистик газдар өнүгүп келе жаткан муктаждыктарды канааттандырат Электроника жана жарым өткөргүч тармактары. Биздин ассорт Гелий, адистештирилген тиркемелердеги инерттүү жана колдонуу менен, бул алдыңкы аналитикалык текшерүүнүн артыкчылыктары ыплас деңгээлдер.

Эсиңизде болсун:

• Электрондук адистик газдар негизги Жарым өткөргүч өндүрүүжана алардын тазалык сүйлөшүүгө болбойт.
• Жада калса издегич, PPB же PPT менен өлчөнөт, олуттуу кемчиликтер жана түшүмдүүлүктүн жоголушу мүмкүн Жарым өткөргүч Түзмөктөр.
• Жалпы газдардагы аралашмалар Башка газдарды (o₂, h₂o) кошуңуз, Металл дөңгөлөктөр, жана бөлүкчөлөр Зат.
• ICP-MS аныктоо үчүн бурчтуу технология ар кандай аралашмаларайрыкча Металл дөңгөлөктөр, ультра төмөн деңгээлде.
• Сактоо Газ тазалыгы кылдаттык менен иштөөнү жана тутумдун бүтүндүгүн талап кылат газ цилиндр алдын алуу үчүн колдонуу чекитине чейин булгануу.
• Келечек дагы төмөн көрөт аныктоо чектери, реалдуу убакыт режиминде мониторинг жана ai-driven ыпыластыкты талдоо үчүн электрондук баа газдар.
• Ар бир потенциалды контролдоо ыплас камсыз кылуу үчүн өтө маанилүү Продукциянын сапаты жана заманбап ишенимдүүлүк Электроника.