Телефонуңузду, ноутбугуңузду, унааңызды атүгүл унааңызды атүгүл унааңызды да элестетип көрүңүз. Бул укмуштуу татаал шаймандар өтө тактык менен курулган жана алардын өндүрүшүнүн жүрөгүндө унчукпай, бирок маанилүү күч: адистик газдар. Бул макалада ушул ультрафиоли-жогорку тазалыктын негизги ролун изилдейт Электроника Тармактар, алардын сапаты эмне үчүн эң сонун жана кандайча иштетет жасалма биз күн сайын таянабыз. Бул жөнүндө ойлонуп көр: бул газдар заманбап турган жашыруун ингредиенттер Электроника мүмкүн. Алардын маанисин түшүнүү технологиянын келечегин түшүнүү баскычы.

Чоо-жайын билүү: газдардын маанилүү ролу

Ушул суроолордун ар бирин кеңири талкуулап көрөлү.

1. "Жарым өткөргүчү газ" же "Электроника" газын "же" электроника "деп эмне түрткү берет?

Баары эле эмес газ барабар, айрыкча, назик процесси жөнүндө сөз болгондо Жарым өткөргүч өндүрүү. Жарым өткөргүч газдар, ошондой эле белгилүү Электрондук адистик газдар, өзгөчө жогорку деңгээлге ээ тазалык. Демек, алар дээрлик толугу менен жазылган газ, көбүнчө бир миллиардга (PPB) бөлүктөрүндө башка заттардын минус өлчөмүндө өлчөнөт. Айырмаланып жапырт газдар Башка тармактарда колдонулат, булар адистик газдар алардын белгилүү бир химиялык касиеттерине жана алардын так функцияларды аткара турган жөндөмү үчүн иштелип чыккан жасалма татаал Электрондук түзмөктөр. Булар газдар колдонулат чийки зат сыяктуу эле эмес, Комплексте жигердүү катышуучулар катары Химиялык реакциялар бул куруу Жарым өткөргүч түзмөктөр.

Мүнөздүү аныктоо Электроника адистик газ анын көзөмөлү Тазалык процесстер газдары. Булар газдар жана газ аралашмасы көбүнчө реактивдүү же инерткылдаттык менен тандалган etch, Допже белгилүү бир катмарды түзүңүз Силикон Вафли. Мисалы, кээ бир газдар жука фильмдерди сактоого колдонулат (жайгаштыруу), ал эми башкалар колдонулса etchкерексиз материалды алып салуу процесси. The Катуу талаптары Электроника өнөр жайы суроо-талап Жогорку тазалыкты берүү финалга ишенимдүүлүктү жана аткарууну камсыз кылуу Электрондук түзмөктөр. Мүмкүн болгон ар түрдүүлүктү түшүнүү үчүн газдарды изилдей аласыз.

2. Ультра жогорку тазалыгы эмне үчүн жарым өткөргүч жасалма жасалгалоолордо колдонулган газдар үчүн өтө маанилүү?

Элестетип көрсөңүз, асман тиреген имаратты курууга аракет кылып көрүңүз - бул жөн гана иштебейт. Ошо сыяктуу эле, жасалма of Жарым өткөргүч чиптер талап кылат Ультра жогорку тазалыгы. Жада калса байкоо ыплас ичинде колдонулган газдар катастрофиялык кесепеттерге алып келиши мүмкүн. Булар ыплас элементтер, сыяктуу кычкылтек жана нымНазикке тоскоол болот Химиялык реакциялар учурунда Жарым өткөргүч өндүрүү, акыры кемчиликтерге, акыры, ийгиликсиз Жарым өткөргүч түзмөктөр.

The тазалыктын деңгээли үчүн талап кылынат Жарым өткөргүч өндүрүшүндөгү газдар болуп саналат дүйнөдөгү эң катаал. Биз сүйлөшүп жатабыз Ультра жогорку тазалыгы, ал тургай, бир миллиардга жакын булгоочу заттардын бөлүктөрү зыян келтириши мүмкүн. Мисалы, керексиз болушу керек ионs электрдик касиеттерин өзгөртө алат кремний, рендеринг Wafer пайдасыз. Мына ошондуктан кылдат болуу сапатты көзөмөлдөө жана алдыңкы тазалоо Техника каалаган үчүн таптакыр маанилүү жеткирүүчү of Жарым өткөргүч газдар. Аны торт бышырды - туура эмес ингредиенттин кичинекей бир азы, бүт нерсени бузушу мүмкүн.

3

Ал эми көп адистик газдар Ролду ойноңуз, кээ бирлери өзүлөрүнүн агындылбаган элчилери Жарым өткөргүч өнөр жайы. Азот кеңири колдонулат инерт газ контролдонуучу атмосфераны түзүү, каалабаган Химиялык реакциялар. Аргон, дагы инерт сейрек кездешүүчү газ, айрыкча, бул контролго алынуучу чөйрөлөрдү жаратканы үчүн да маанилүү жайгаштыруу процесстер. Суутек азайтууда маанилүү ролду ойнойт кычкыл катмарлар жана ташуучу катары газ.

Мындан тышкары, кычкылтек кремний түзүү үчүн кычкылдашуу процесстеринде колдонулат Dioxide, маанилүү изоляциялоочу материал. Carbon Dioxide белгилүү бир арыздарды табат etchнер процесстер. Гелий, дагы сейрек кездешүүчү газ, агып кетүүнү жана критофон муздаткыч катары колдонулат. Ар биринин белгилүү касиеттерин түшүнүү газ ар кандай баскычтарды оптималдаштыруу үчүн өтө маанилүү Жарым өткөргүч жасалма. Ар кандай жумуштар үчүн ар кандай куралдар сыяктуу эле, ар кандай газдар чип жасоодо ар кандай кадамдар үчүн керек. Биздин сапатыңыз жөнүндө көбүрөөк биле аласыз Азот цилиндр Жолдор.

4. Суутек жарым өткөргүч жана электроника өндүрүшүндө атайын колдонулган суутек кандайча колдонулат?

Суутек ар тараптуу газ бир нече критикалык тиркемелер менен Жарым өткөргүч жана Электроника өндүрүш. Анын баштапкы колдонулушунун бири металлдын азайышында кычкылс. Белгилүү бир этаптарда Жарым өткөргүч жасалма, керексиз кычкыл катмарлар пайда болот Силикон Вафли. Жогорку тазалоочу суутек азайтуу агент катары иштейт, аны менен жооп берүү кычкыл аны алып салуу жана таза калтырыңыз кремний бети.

Андан тышкары, суутек ташуучу катары көп колдонулат газ ар кандай жайгаштыруу процесстер. Бул башка реактивдүү транспортту ташууга жардам берет газдар -га Wafer контролдонуучу жол менен, бирдиктүү фильмдин өсүшүн камсыз кылуу. Туруктуулукка өстүрүүнүн өсүшү, ошондой эле айдоочулук жашыл суутек бул тиркемелер үчүн. Так гана сунуш кылынат суутек микрочиптердин татаал структураларын түзүүдө аны баа жеткис курал кылат. Биз ишенимдүү сунуштайбыз Суутек цилиндр Сиздин муктаждыктарыңыз үчүн чечимдер.

5. Жарым өткөрүүчү өнөр жайындагы сапатты камсыздоонун азоту ойнотуу кандай ролду ойнойт?

Азот упай жана маанилүү газ ичинде Жарым өткөргүч өнөр жайы, биринчи кезекте анын эсебинен инерт жаратылыш. Анын негизги ролу - атмосфераны түзүү жана тейлөө кычкылтек нымдуулукту, ал сезимталын булгайт Жарым өткөргүч материалдары жана кийлигишүү Химиялык реакциялар. Аны өндүрүү процесси үчүн коргоочу жууркан катары көрөлү.

Ар кандай баскычтар Жарым өткөргүч жасалма, кристаллдын өсүшүнөн Wafer Кайра иштетүү жана чогултуу, Азот жабдууларды тазалоо үчүн колдонулат, жана кычкылдануунун алдын алуу үчүн колдонулат. Бул кемчиликтерди азайтууга жана акыркы сапатын жана ишенимдүүлүгүн камсыз кылууга жардам берет Жарым өткөргүч түзмөктөр. Бийик тазалыкты ырааттуу жана ишенимдүү жеткирүү Азот Демек, бул үчүн Жарым өткөргүч өндүрүүчүлөр. Ар кандай изилдөө Азот Өндүрүшүңүздүн үзгүлтүксүз иштешин камсыз кылуу үчүн жеткирүү параметрлери.

6. Эмне үчүн аргон жарым-жартылай процесстерде инерттүү газ катары артык көрүлөт?

Окшош Азот, Аргон асыл болуп саналат газ ошондуктан химиялык инертаны башкаруучу атмосфераны түзүү үчүн сонун тандоо Жарым өткөргүч процесстери. Ал эми Азот кеңири колдонулат, Аргон белгилүү бир колдонмолордо айрым артыкчылыктарды сунуштайт. Анын жогорку атомдук салмагы салыштырмалуу Азот каалабаган диффузиядан качууга жол бербейт ыплас атомдор.

Аргон адатта, чокусунда колдонулат, а жайгаштыруу Максаттуу материал бомбалаган техниканы ионs, атомдорду чыгарып, жука фильм катары жайгаштырууга алып келет Wafer. Анын инерттүүлүк максаттуу материал менен же депонирленген тасма менен реакцияга жол бербейт. Аргон плазмада да колдонулат etchнер процесстер. Сыяктуу Азот, жогорку тазалыкты ырааттуу берүү Аргон бүтүндүгүн сактоо үчүн абдан маанилүү Өндүрүш процесси. Биздин көзкарандыбызды карап көрөлү Аргон газ цилиндр Сиздин мекеме үчүн параметрлер.

7. Негизинен, башка электрондук газдар дагы кандай электрондук газдар маанилүү?

Ал эми суутек, Азот, жана Аргон негизги, бир катар башка Электрондук адистик газдар конкреттүү тиркемелер үчүн өтө маанилүү Жарым өткөргүч өндүрүү. Phosphine ачкыч болуп саналат Dopant фосфорду киргизүү булагы кремнийэлектр өткөргүчүн өзгөртүү. Ошо сыяктуу эле, Арсинча (Арсеникалык) жана Диборан (камтыган) Борон) катары колдонулат Dopantс.

Гелий, жарык сейрек кездешүүчү газ, вакуум системаларында жана муздатуучу агент катары жана муздатуучу агент катары колдонулат. Fluorine-Онтаттын газдар, мисалы, сульфур гексаалуусу, плазмада колдонулат etchматериалдарды тандоо мүмкүнчүлүгүнө байланыштуу. Белгилүү бир айкалышы газдар жана газ аралашмасы колдонулат тактоого жараша болот Жарым өткөргүч процесстери катышкан. Биз кенен сунуштайбыз газдардын чөйрөсү Ар түрдүү өндүрүш муктаждыктарын канааттандыруу.

8. Жарым өткөргүч газдардын жогорку тазалыгын камсыз кылат деген эмне?

Сактоо Ультра жогорку тазалыгы of Жарым өткөргүч газдар Абдан көп катмарлуу мамилени талап кылат Катуу өндүрүшкө, өндүрүштөн ар бир баскычта чаралар. Тазалоо Протоколдор дистилляция, адсорбан жана мембрутаны бөлүштүрүү сыяктуу алдыңкы ыкмаларды камтыйт ыплас. Татаал анализаторs тынымсыз мониторго колдонулат Газ тазалыгы.

ЦилиндрБуларды сактоо жана ташуу үчүн колдонулат газдар булгануунун алдын алуу үчүн катуу тазалоо жана сыноодон өтүү. ЖеткирүүчүБул тармакка эң жогорку деңгээлге чейин каршылык көрсөтүшү керек сапатты көзөмөлдөө стандарттар жана көбүнчө талап кылынган талаптарга жооп берүү жөндөмүн көрсөтүп тургандыгы көрсөтүлөт. Бүт берүү чынжыры эч кандай таанышуунун тобокелдигин азайтуу үчүн иштелип чыккан ыплас ушул сын материалдарга кирет. Биздин заводдун 7 өндүрүш линиялары менен эң жогорку тазалыктын эң жогорку стандарттарын камсыз кылат.

9. Жарым өткөргүч газдарындагы араздашуу акыркы электрондук продуктка кандайча таасирин тийгизет?

Минускулдун көлөмүнө тийгизген таасири ыплас in Жарым өткөргүч газдар олуттуу, көрсөткүчтөрдүн көрсөткүчтөрүн кемсинтүү жана азайтууга алып келет Электрондук түзмөктөр. Булгоочу заттардын назикти бузушу мүмкүн Химиялык реакциялар учурунда жайгаштыруу жана etchнер, бирдиктүү эмес катмарларга же керексиз катмарларга алып баруучу. Ыплас атомдорду да киргизсе болот кремний электрдик касиеттерин өзгөртүү жана түзмөктүн иштебей калышы мүмкүн.

Акыры, ыплас функционалдык кирешелүүлүктү азайтса болот Жарым өткөргүч түзмөктөр, өндүрүштүк чыгымдарды көбөйтүү жана акыркы ишенимдүүлүктү бузат Электроника. Мына ошондуктан Жарым өткөргүч өнөр жайы Ушундай басымга басым жасоо Газ тазалыгы жана менен тыгыз иштейт жеткирүүчүs талап кылынганга кепилдик бере алат Ультра жогорку тазалыгы. Микроскопиялык райондук схеманы бузган бир гана чаңды элестетип көрүңүз - бул көйгөйдүн масштабы.

10. Алдыга караган: Жарым өткөргүч жана электроника үчүн газдарда келечектеги тенденциялар кандай?

The Жарым өткөргүч өнөр жайы тынымсыз өнүгүп жатат жана талаптар Жарым өткөргүч газдар аны менен өзгөрүп жатышат. Тилдендер андан да жогору болгон талаптын жогорулашын камтыйт Тазалоо Чипстин өзгөчөлүктөрү, анткени чипс боюнча кичирейип баратат. Жаңы өнүгүүгө өстү адистик газдар жана газдар жана аралашмалар Өркүндөтүлгөн өндүрүш ыкмалары үчүн өркүндөтүлгөн касиеттер менен.

Туруктуулук - бул дагы бир ачкыч айдоочу, жашыл суутек жана экологиялык таза газдар. Өркүндөтүлгөн өнүгүү анализатор Жада калса төмөн деңгээлдеги технология ыплас ошондой эле чечүүчү болот. Келечеги Электроника өндүрүштөгү ийгиликтерге жетишүү жана ушул нерсени иштетүүдөгү жетишкендиктерге байланыштуу газдар.

Негизги өргөрү: Жарым өткөргүчтүн газдарынын мааниси

• Адистик газдар менен Ультра жогорку тазалыгы үчүн маанилүү Жарым өткөргүч жана электроника өндүрүү.
• Жада калса байкоо ыплас сапатына жана ишенимдүүлүгүнө катуу таасирин тийгизиши мүмкүн Электрондук түзмөктөр.
• Азот жана Аргон түзүү үчүн өтө маанилүү инерт Атмосфералар, ал эми суутек азайтуу жана ташуучу тиркемелер үчүн өтө маанилүү.
• Бир катар Электрондук адистик газдар, сыяктуу Phosphine жана гелийконкреттүү процесстер үчүн колдонулат.
• Камсыз кылуу үчүн станттуулук чаралары Жогорку тазалыгы булардын газдар жеткирүү чынжырында.
• Келечеги Электроника өнөр жайы улантууну улантуудан көз каранды Жарым өткөргүч газ Технология.

Ишенимдүү Жогорку тазалыкты берүү Өнөр жай газдары, анын ичинде Азот, Аргон, жана суутек, Биз менен байланышыңыз Хуахонг газы. Сиз биздин курмандыктарыбызды да изилдей аласыз Төмөн температура жылдырылуучу газ цилиндр жана биздин ассорт Аргон газ цилиндр.