Сиздин чөнтөгүңүздөгү смартфон, компьютериңиздеги компьютердеги компьютериңиздеги компьютердин алдыңкы тутумдары унчукпай, адистик газдарынын көзгө көрүнбөгөн иши болбосо, мүмкүн эмес. Өндүрүштүк газ заводунун ээси катары, мен, Аллен, бул маанилүү материалдардын заманбап технологиянын тепкичинин пайда болушун өз көздөшкөндү көрдүм. Малк Шен сыяктуу бизнес лидерлери үчүн глобалдык глобалдык жабдуу чынжырын башкарган Марк Шен сыяктуу, бул газдарды түшүнүү жаңы мүмкүнчүлүктөрдү ачуунун ачкычы болуп саналат. Бул макала бул талаадагы эң маанилүү оюнчулардын бири үчүн комплекстүү көрсөтмө сиздин Азот Трифлуорид (NF₃). Биз бул күчтүү деп ойлобойбуз газ, анын маанилүү ролун изилдөө Жарым өткөргүч өндүрүү процессижана анын сапаты жана сунушу эмне үчүн маанилүү экендигин түшүндүрүңүз Электроника өндүрүш өнөр жай.

Азот трифлуорид (NF₃) газ деген эмне?

Бир караганда, Азот трифлуоридкөбүнчө анын химиялык формуласы менен айтылган Nf₃, дагы бир өнөр жай сыяктуу көрүнүшү мүмкүн газ. Бул түссүз, күйүүчү эмес жана бир аз муунтулган жыпар жыттуу кошулма. Бирок, дүйнөдө Өркүндөтүлгөн өндүрүш, бул газ жогорку деңгээлдеги курал. Бул синтетикалык жактан өндүрүлөт кошулма бир азот атомунан жана үч Fluorine атомдор. Анын күчүнүн ачкычы бул түзүлүштө жатат. Бөлмө температурасында, Nf₃ салыштырмалуу туруктуу жана инертжана аны транспорттук жана көтөрүлүүчү газдарга салыштырмалуу ташуу үчүн коопсуз кылуу.

Сыйкырчылык энергия колдонулганда болот. Ички энергетикалык шарттарда Жарым өткөргүч Өндүрүш куралы, мисалы Плазма палата, Nf₃ Молекулалар DECMOZE. Алар өзүлөрүн бөлүп, жогору көтөрүшөт реактивдүү Fluorine Радикалдар. Микроскопиялык масштабдагы көзөмөлдөнгөн жарылуу сыяктуу деп ойлойм. Булар акысыз Fluorine Атомдор, айрыкча, керексиз материалдарды, айрыкча, кызматтан кетирүүдө укмуштай натыйжалуу натыйжалуу натыйжалуу натыйжалуу кремний жана анын кошулмалары. Сизге керек болгондо, бул жөндөмдүү болуу реактивдүү Каалаган учурда Азот трифлуорид газ так дүйнөдө баа жеткис актив Чип өндүрүү.

Бул уникалдуу кош табият эмне үчүн Nf₃ заманбап чекитсиз болуп калды Жарым өткөргүч жасалма. Анын туруктуулугу жабдуулардын коопсуздугун жана ишенимдүүлүгүн камсыз кылат, ал эми анын реактивдүүлүгү өндүрүүчүлөрдүн муктаждыктары үчүн жогорку деңгээлдеги тазалыкты жана жооштук мүмкүнчүлүктөрдү камсыз кылат. Тереңирээк карап жатып, сиз бул жөнөкөй үн менен көрөсүз газ Жердеги эң татаал шаймандарды түзүүгө мүмкүнчүлүк берет.

Мекиндердүү өнөр жайы үчүн адистик газдар эмне үчүн маанилүү?

Маанилүүлүгүн түшүнүү Nf₃, биз алгач кененирээк ролду баалашыбыз керек газдар маанилүү үчүн Жарым өткөргүч өнөр жайы. Өндүрүү Интегралдык схема эскизиңиздин өлчөмүнө асман тиреген имаратты куруу сыяктуу. Бул ар кандай материалдардын ондрь жука жука катмарын кошуу жана алып салуу процесси кремний Wafer. Ар бир кадам, жылаңач жаратуу Wafer Акыркы чипке, адистигинин кылдаттык менен контролдолгон атмосферасына таянат Электрондук газдар.

Бул газдар бир нече критикалык функцияларды аткарат. Кээ бир, сыяктуу Аргон жана гелий, туруктуу, реактивдүү эмес чөйрөнү түзүү жана реактивдүү газдарды жасоо үчүн инерттик оператор газдар катары колдонулат. Башкалар үчүн колдонулат жайгаштыруу, кайда газ колдонулат Депозит Материалдын жука пленкасы Wafer. Мисалы, химиялык Буу Жайгаштыруу (CVD), газдар чиптин районунун бир бөлүгү болуп калган катуу фильмди түзүшөт. Андан кийин газдар бар, сыяктуу Nf₃Бул катмардагы оймо-чиймелерди так сюпот, электр энергиясы үчүн татаал жолдорду жаратат.

Туруктуу, ультра-Жогорку тазалоочу Ушул ар кандай газдарды, толугу менен жеткирүү Өндүрүш процесси токтоп калмак. Жада калса минускул ыплас in a газ кымбатка турган вафликтердин бардыгын миллиондогон долларга баалай алат. Мына ошондуктан Жарым өткөргүч өндүрүүчүлөр алардын газын берүүчүлөрдүн сапатына жана ишенимдүүлүгүнө өтө сезгич. Тазалыгы газ сапатка түздөн-түз которулат Өндүрүш кирешелүүлүгү акыркы продукт.

Жарым өткөргүч өндүрүштүк процесстерде NF₃ газы кандайча колдонулат?

Азот трифлуорид эки негизги, критикалык тиркемелер бар Жарым өткөргүч өндүрүш процесстери: Плазма беттерде жана палатаны тазалоо. Экөө тең жеңилдетилген микрочиптерди иштеп чыгуу үчүн маанилүү Nand Flash Memory.

Алгач, бейпилдик жөнүндө сүйлөшөлү. Катмардын катмарынан кийин кремний Dioxide боюнча сакталат Wafer, жарыкты колдонуп, ал ой жүгүртүүгө коюлган. The etch Андан кийин процессти корголбогон аймактардан материалды жок кылат. Nf₃ палатага киргизип, аны түзүү үчүн энергия киргизилет Плазма- булут заряддалган ион бөлүкчөлөр жана реактивдүү Fluorine Радикалдар. Бул радикалдар так бомбалайт Wafer бети, ага жооп берүү кремний жана аны a газдуу кошулма (кремний тетрафлуорид) Палатадан оңой эле соруп алууга болот. Бул процесстин тактыгы - инженерлер адамдын чачынан миңдеген жолу ичке жука болуп турган өзгөчөлүктөргө жол берген акыл-эс бузулушу.

Экинчи жана андан бетер жалпы, Азот трифлуоридди колдонуу катары Базаны тазалоо. Учурунда Химиялык буу чөкмө (CVD) процесс, анда жука тасмалар өстү Wafer, керексиз материал процесстин бөлмөсүнүн ички дубалдарын курат. Бул калдыккөп учурда жасалат кремний же силикон нитрид, ар бирин иштеп чыгуунун ортосунда толугу менен алынып салынышы керек Wafer же вафлиттердин партиясы. Эгер андай болбосо, анда бул курулуп, экинчисине учуп кетиши мүмкүн Waferкемчиликти жаратат. Мына, Nf₃ бош палатага жана а Плазма күйүп турат. Күчтүү Fluorine Радикалдарга палатанын дубалын тазалаңыз, катуураак калдык ичине газдуу кошумча продукция оңой алынып салынат. Бул тазалоочу цикл болуп саналат сактоо үчүн маанилүү Өндүрүш чөйрөсүнүн тазалыгы жана бийиктигин камсыз кылуу Өндүрүш кирешелүүлүгү.

NF₃ альтернативага салыштырмалуу жогору турган тазалоочу газды эмне кылат?

Көп жылдар бою, Жарым өткөргүч өнөр жайы көмүр кычкыл тетраFluoride (CF₄) сыяктуу PFLUOROCARBONS (PFCS) HexaFluOroThane Тазалоо жана жоош үчүн (C₂f₆). Натыйжалуу болгондо, бул кошулмалар чоң жетишпестик менен келди: алар өтө узун атмосфералык өмүр бою өтө күчтүү каникалык газдар бар. Мисалы, C₂f₆ бар Жогорку глобалдык жылуулук потенциалы (GWP) жана 10000 жылдан бери атмосферада туруштук бере алат. Экологиялык эрежелер бузулган катары, тармакты жакшыраак чечим керек болчу.

Бул жерде Nf₃ так жеңүүчү катары пайда болгон. Ал эми Азот трифлуорид дагы Күнөроксажы газы, ал бир топ кыска атмосфера өмүр бою (болжол менен 500 жашка чейин). Эң негизгиси, тазалоо процессинде алда канча натыйжалуу болот. Ичинде Плазма палата, бир топ жогорку пайыз Nf₃ Молекулалар алардын реактивдүү бөлүгүн бошотуу үчүн бузулат Fluorine pfcs салыштырмалуу. Бул азыраак дегенди билдирет туура эмес газ палатадан алсырады. Заманбап Жарым өткөргүч фабралы Ошондой эле, бузулган тутумдарды (скраберлердин) дээрлик бардыгын жок кылат туура эмес Nf₃ жана зыяндуу кошумча продукция бошотулганга чейин газдар.

Эффективдүүлүктүн жогорку натыйжалуулугун жана натыйжалуу азайтуу айкалышы иш жүзүндө экендигин билдирет Парник газынын чыгарылышы колдонуудан Nf₃ эски ПФК газдарынан бир топ төмөн. Бул жогорку көрсөткүч анын кеңири таралган асырап алуусунун негизги себеби болуп саналат.

Жогорку тазалыктын азот трифлуорид кандайча өндүрүлгөн?

Өндүрүүчү катары мен сизге өндүрүүнү айта алам Nf₃ татаал жана өтө башкарылган Өндүрүш процесси. Максаты - бул укмуштуу таза, көбүнчө 99.999% тазалыкка же андан жогору болгон акыркы продукт түзүү. ыплас катастрофалык болушу мүмкүн Жарым өткөргүч өндүрүү. Процесс жогорку реактивдүү химиялык заттарды, айрыкча Fluorine.

The Nf₃ өндүрүү адатта, реакция жүргүзүүнү камтыйт Аммиак (a кошулма нитрогенди камтыганже аммиий Флуорид Compound Slemental Fluorine Реактордо газ Жогорку температура. Бул реакция газдардын аралашмасын, анын ичинде Nf₃adareed материалдар жана ар кандай кошумча продуктулар. Чыныгы чакырык, жана жеткирүүчү экспертизасы чынында эле көрсөткөндөй, тазалоо кийинки этап.

Чийки газдуу аралашма бир нече жолу тазалоо каалаган кошулмаларын алып салуу үчүн кадамдар. Бул көбүнчө бир катар скрабингди камтыйт, Адсорбцияжана Cryogenic дистилляция процесстери. The Дистилляция процесси, атап айтканда, алардын кайноо пункттарына негизделген, ар кандай газдарды бөлүп берүү үчүн, ар кандай газдарды өзүнчө аз температураларды колдонот Nf₃ калган аралашмалардан. Ар бир кадам алдыңкы продуктка ылайык, алдыңкы продуктка ылайык, алдыңкы аналитикалык шаймандар менен көзөмөл жүргүзүлөт Жарым өткөргүч өнөр жай. Бул сапатты көзөмөлдөө милдеттенмеси - бул ишенимдүү жеткирүүнү эс алуудан бөлүп турат.

Nf₃ газынын коопсуздугу жана иштери кандай ойдо?

Коопсуздук - бул өнөр жайдагы эң жогорку артыкчылык газ Бизнес. Ал эми Nf₃ Бөлмө температурасында күйүүчү эмес жана салыштырмалуу туруктуу, бул күчтүү кычкылдануучу агент, айрыкча жогорку температурада. Демек, ал күйүүчү материалдар менен катуу реакция кыла алат жана кылдат иштөөнү талап кылат. Алгачкы тобокелдик бул анын уулуулугу; дем алуу газ зыяндуу болушу мүмкүн, ошондуктан желдетүү жана жеке коргоочу шаймандар каалаган учурда маанилүү Өндүрүш сайты.

Кардардын заводунан баштап, биздин заводдон жеткирүү чынжыры Жарым өткөргүч ФАБ коопсуздукка курулган. Nf₃ атайын иштелип чыккан болоттон жасалган цилиндерске жогорку басымда ташылат. Бул цилиндрлердин коопсуздугун камсыз кылуу үчүн, тастыктоо жана тастыктоо газ. Жеткирүүчү катары биз коопсуздукка маалыматтарды (SDS) жана биздин кардарларыбызга тийиштүү сактоо, туташуу жана иштетүү процедуралары боюнча кеңири маалымат берүү жана окутуу. Бул көрсөтмөлөрдү камтыйт агым чен Башкаруу жана агып кетүү тутумдары.

Негизги тынчсыздануусунун негизги тынчсыздануусу болуп, негизги тынчсыздануу чынжырчасы болгон белгисиз жана ишенимдүү жеткирүү чынжыры болуп саналат. Натыйжасыз байланыш же жеткирүүчүдөн тышкары коопсуздук протоколдорунун жоктугу - бул негизги желек. Биз жөн гана буюмду гана эмес, материалдык-техникалык жактан камсыз кылуу жана коопсуздук тажрыйбасын камтыган кызматты толугу менен баалабайбыз газ келүү жана жолдун ар бир кадамын коопсуз чечет.

Нитроген трифлуорид парник газы? Айлана-чөйрөгө тийгизген таасирин түшүнүү.

Айлана-чөйрөнүн аспектилери жөнүндө ачык-айкын болуу өтө маанилүү Nf₃. Ооба, Азот трифлуорид күчтүү Парник газы. Климаттын өзгөрүшү боюнча өкмөттөр аралык панел (IPCC) анын глобалдык жылуулук потенциалына (GWP) көмүртекинен чоңураак Dioxide 100 жылдык мезгилден ашык. Бул тармакта олуттуу мааниге ээ экендиги.

Бирок, окуя ошол жерде бүтпөйт. The айлана-чөйрөгө тийгизген таасири газдын потенциалына гана эмес, ал атмосферага канчалык көп болсо, ошончолук кездешет. Жогоруда айтылгандай, Nf₃ жогорку натыйжалуу. Заманбап Жарым өткөргүч мекеме, басымдуу көпчүлүк колдонулган газ өндүрүш процессинде жалмап же жок кылынат. The Плазма аны бузуп, туура эмес газ Бул чарчап-чаалыккан системага жөнөтүлөт. Бул системалар өтө натыйжалуу, көбүнчө калган калдыктын 99% дан ашыгын жок кылат Nf₃.

Өнөр жайдын сменасы Nf₃, азайтуу технологиясын кеңири колдонуу кеңири колдонуу менен айкалыштырып, чындыгында таза азайганга алып келди Парник газынын чыгарылышы өндүрүш бирдигине. Жооптуу Жарым өткөргүч өндүрүүчүлөр жана газ жеткирүүчүлөр биргелешип иштешет, натыйжалуу болуп жатканы үчүн иштешет. Бул, эң аз өлчөмүн колдонуу үчүн тазалоо жараянын оптималдаштыруу кирет газ зарыл жана азайтуу тутумун эң жогорку деңгээлде аткаруу үчүн жүргүзүү. Ошентип, ал эми Nf₃ күчтүү Парник газы Лабораторияда, анын чыныгы дүйнөлүк экологиялык издери Жарым өткөргүч өндүрүү белгиленген альтернативага караганда кылдат башкарылат жана бир кыйла төмөн.

Чоң жарым өткөргүч жарлыгы үчүн жер-жерлерде газ муунунун ролу кандай?

Заманбап масштаб Жарым өткөргүч өндүрүү дем алуу болуп саналат. Мега-Фабс деп аталган эң ири объекттер, чоң көлөмдөгү газдарды сарптайт. Кээ бир газдар үчүн азот сыяктуу, аларды миңдеген цилиндрде, бир жүк ташуучу жайга түздөн-түз өндүрүү үчүн натыйжалуу болот. Бул деп аталат сайтта Муун. Жогорку адистештирилген жана реактивдүү газ сыяктуу Nf₃, бир аз башка модель пайда болот: сайтта тазалоо жана талдоо.

Толуп жатканда Nf₃ өндүрүү Фабда анын татаалдыгынан улам, көп масштабдуу колдонуучулар татаалдашып келишет сайтта Газдарды башкаруу тутумдары. Жапырт жеткирүү Nf₃ фабрга жеткирилет, андан кийин бул система акыркы баскычты аткарат тазалоо жана үзгүлтүксүз сапатты анализдөө газ кымбат өндүрүш куралдарына кирет. Бул сапатты контролдоонун акыркы катмарын камсыз кылат, жеткирүү линиялыктарынан келип чыккан бирдиктүү булгануу кармалгандыгын камсыз кылат. Бул мамиле сапатын кепилдик менен жапырт сатып алуунун экономикалык артыкчылыктарын айкалыштырат сайтта Башкаруу.

Бул эволюттук менен камсыз кылуу моделдерин түшүнүү маанилүү. Жеткирүүчү катары, биз өз кызматтарыбызды толтуруу цилиндрлерди толтуруудан тышкары, кеңейтдик. Азыр иштейбиз Дүйнөлүк жарым өткөргүч өндүрүүчүлөр Бензин жеткирүү жана башкаруу чечимдерин иштеп чыгуу жана жүзөгө ашыруу. Бул конференцияга кириши мүмкүн Өндүрүш сызыгы Негизги кардар, адистештирилген логистика же алардын интеграциясы сайтта Системалар. Бул талап кылынган муктаждыктарына жооп берген ийкемдүү жана ишенимдүү жеткирүү чынжырын камсыз кылуу жөнүндө 21-кылымда өндүрүш. Бул биздин стратегиянын негизги бөлүгү, айрыкча, кардарларга маани берүүдө Өндүрүштүк мүмкүнчүлүктөр.

NF₃ тазалыгы кандайча чип өндүрүү боюнча өндүрүштүн кирешелүүлүгүнө кандай таасир этет?

Ичинде Жарым өткөргүч Дүйнө, "түшүмдүүлүк" болуп саналат. Бул, бул жакшы, жумушчу чиптер бирден өндүрүлгөн кремний Wafer. Жогорку кирешелүүлүк жогорку кирешелүүлүктү билдирет; Төмөн түшүмдүүлүк каржылык жактан кыйратылышы мүмкүн. Процесс газдарынын тазалыгы, айрыкча реактивдүү газ сыяктуу Nf₃түздөн-түз жана драмалык таасирге ээ Өндүрүш кирешелүүлүгү.

Элестетүү ыплас нымдардын кичинекей бөлүкчөсү (H₂o) же башка газдуу кошулма менен аралашкан Nf₃. Сезимтал ech процессинде, ыплас химиялык реакцияга тоскоол болот, чиптин райондорунда микроскопиялык кемтиги пайда болот. Ал бөгөт коюшу мүмкүн etch, материалды таштап кетпеши үчүн, же андан ашып кетпеши үчүн, өтө эле көп материалды алып салуу. Эки жолу, натыйжада Интегралдык схема акыркы сыноодон өтпөйт. Бир гана чипке миллиондогон транзисторлорду жасап жатканда, бир да "өлтүргүч кемчилик" ыплас толугу менен жараксыз нерсени көрсөтө алат.

Мына ошондуктан биз сапаттуу контролго ушунчалык көп каражат жумшайбыз. Сертификатталган, ультра- камсыз кылуу мененЖогорку тазалоочу Nf₃, биз кардарларыбызга ишенебиз газ кемчиликтердин булагы болбойт. Концентрацияны көзөмөлдөө Ар бир компоненттин бөлүктөрүнө бир миллиарддык деңгээлге чейин Өндүрүш процесси туруктуу жана кайталануучу. Туруктуу процесстин болжолдуу жана бийиктикке алып келет Өндүрүш кирешелүүлүгү, бул ар бир үчүн акыркы максат Жарым өткөргүч Өндүрүүчүсү. Жеткирүүчү катары Бийик тазалыкты адистик газдар өзгөрмөлөрдү жок кылуу болуп саналат жана ымыркай сапатынын жемишин берет.

Азот трифлуорид жеткирүүчүдөн эмнени издеш керек?

Сатып алуу кызматкери үчүн Марк сыяктуу, сынчыл материал үчүн керектүү жеткирүүнү тандап алуу Nf₃ бааларды салыштырып болбойт. Жаман өнөктөштүк-жөнөтүүнү кечеңдетүү тобокелдиги, сапаттуу маселелер, начар байланыш өтө эле жогору. Менин тажрыйбамдын негизинде, бул жердеги негизги факторлор:

Биринчи, текшерилүүчү сапат жана сертификаттар. Ишенимдүү жеткирүүчү ар бир жөнөтүү, тазалыкты сактоо, тазалык деңгээлдерин белгилөө жана табылгыс аныкталгандарды тизме менен камсыз кылат. Алар ISO 9001 сыяктуу эл аралык стандарттарга ылайык келиши керек. Алардын аналитикалык мүмкүнчүлүктөрү жөнүндө сураңыз. Аларда талап кылынган деңгээлдеги аралашууларды аныктоо үчүн жабдыктар барбы? Жарым өткөргүч Колдонмолорбу?

Экинчиден, жеткирүү чынжырларына ишенимдүүлүк жана ачык-айкындуулук. Жеткирүүчү кечиктирилбей калгандыгы үчүн, жеткирүүчү тубордук логистикалык тармак экендигин көрсөтө алабы? Алар ашыкча Өндүрүштүк мүмкүнчүлүктөр туруктуу камсыз кылуу үчүн? Байланыш бул жерде баскычы. Жеткирүүчүнүн жигердүүлүгүңүз, жеткирүүлөрдү жаңыртуу жана суроолорго жооп берүүгө даяр болууга болот. Бул натыйжасыз байланыштын оорушун түздөн-түз чечет.

Акыры, техникалык экспертизаны изде. Жакшы жеткирүүчү гана буюм сатпайт; Алар чечим чыгышат. Алар сиздин арызыңызды түшүнүп, техникалык колдоо сунушташы керек. Алар коопсуздук, иштетүү жана курчап турган чөйрөнү курчап турган чөйрөнү коргоо боюнча билимдүү болушу керек Газ тиркемелери. Билимдүү өнөктөш катары иш-аракет кыла турган жеткирүүчү, ал сатуучуга караганда чексиз баалуу. Бул экспертиза узак мөөнөттүү, пайдалуу мамилелердин негизи болуп саналат. Биз бардык кардарлар үчүн бул өнөктөш болууга умтулабыз, жөн гана эмес газ Бирок жан дүйнө тынчтыгы.

Ачкыч

• Эстрадий куралы: Азот Трифлуорид (NF₃) критикалык адистик газ плазма беттерде жана палатаны тазалоо үчүн колдонулат Жарым өткөргүч өндүрүү процесси.
• Жогорку аткаруу: Nf₃ жогорку пайдаланылуучу ставкалар жана заманбап атоо тутумунун алкагына алмаштырылган, натыйжалуу, анын ордуна, Excomcies, анын ордуна экологиялык таасирин тийгизет, ал заманбап азайтуу тутумуна жетет.
• Тазалык кирешелүүлүк: Ультра жогорку тазалыгы Nf₃ сүйлөшүүгө болбойт. Жада калса, байкоочунун аралашмалары да кемчиликтерди жаратышы мүмкүн кремний Waferкескин кыскартуу Өндүрүш кирешелүүлүгү жана кирешелүүлүк Чип өндүрүү.
• Коопсуздук жана иштетүү баскыч болуп саналат: Туруктуу жүргөндө, Nf₃ уулуу жана кычкылдануу газ Адистештирилген колдонмо, сертификатталган цилиндрлерди жана коопсуздук протоколдорун терең түшүнүүнү талап кылат.
• Жеткирүүчү тандоо маанилүү: Тандоодо Nf₃ Жеткиликтүүлүктүн тастыкталуучу сапаты, жеткирүү чынжырын ишенимдүүлүгүн, ачык байланыш жана терең техникалык экспертизаны гана сактайт.