Huazhong Gas xwe terxan kiriye ku huner û zanista pîşesazî û hunerî bi dest bixe gaza taybet çêkerî. Di cîhana teknolojiya bilind a îroyîn de, nemaze di hundurê de semiconductor pîşesazî, daxwaza ji bo paqijiya ultra-bilind gaz ne tenê tercîhek e; ev pêwîstiyeke teqez e. Ev gotar di cîhana krîtîk de vedigere analîzkirina nepakiyê bo gazên taybetî yên elektronîkî. Em ê lêkolîn bikin ka çima ya herî piçûk jî nepakî dikarin encamên mezin hebin, ka em çawa van nezelal nas dikin şopên nepakî, û ji bo karsaziyan tê çi wateyê. Lihevhat nepakiyên gazê û rêbazên ji bo wan paqijkirin û tespîtkirin, wek ICP-MS, mifteya dabînkirina pêbawerî û performansa nûjen e elektronîk. Ev perçe hêjayî wextê we ye ji ber ku ew perspektîfek kargeh-hunduristî li ser domandina hişk pêşkêşî dike paqijiya gazên taybetî yên elektronîkî, kevirê bingehîn yê semiconductor û elektronîk sektorên.

Gazên Taybet ên Elektronîkî bi rastî çi ne û çima paqijiya wan di hilberîna nîvconductor de ew qas girîng e?

Gazên taybetî yên elektronîkî, pir caran wekî tê gotin gazên elektronîk an gazên nîvconductor, kategoriyek yekta ya ne gazên paqijiya bilind û tevliheviyên gazê bi taybetî ji bo pêvajoyên tevlihev ên ku di çêkirina hêmanên elektronîkî de têkildar in hatine çêkirin. Ji wan re wekî mîmarên nedîtbar ên serdema dîjîtal bifikirin. Eva gazên ku di semiconductor de têne bikar anîn çêkirinê cûrbecûr cûrbecûr vedihewîne, wekî silane (SiH4) ji bo vekirina qatên silicon, trifluoride nîtrojen (NF3) ji bo paqijkirina odeyê, argon (Ar) wekî mertalek bêhêz, û cûrbecûr gazên dopîngê mîna fosfîn (PH3) an arsine (AsH3) ku taybetmendiyên elektrîkê biguhezîne. semiconductor materyalên. Têgeha "taybetiya elektronîk"Bi xwe sepana wan a lihevhatî û rastbûna zêde ya ku di pêkhatina wan de hewce dike ronî dike. Ev ne rojaneya we ne gazên pîşesaziyê; taybetmendiyên wan pir hişktir in.

Girîngiya wan a herî mezin paqijiyê nikare were zêdekirin, nemaze di çêkirina nîvconductor. Dormeyên entegre yên nûjen (IC) transîstor û rêçên guhêrbar ên ku pir piçûk in, bi gelemperî bi nanometeran (mîlyar metreyek) têne pîvandin vedihewînin. Di vê pîvana mîkroskopî de, yek atomek nexwestî jî - an nepakî- Dikare di çemek piçûk de mîna kevirekî tevbigere, herikîna elektrîkê ya mebest asteng bike an jî bibe sedema kêmasiyên strukturî. Ev dikare bibe sedema çîpek xelet, û di pîşesaziyek ku bi mîlyonan çîp li ser yek waferek têne hilberandin, zirara darayî û navdar ji ber belavbûnê gemarkirî dikare mezin be. Ji ber vê yekê, ya paqijiya gazên taybetî yên elektronîkî stûnek bingehîn e ku hemî li ser wê ye elektronîk û semiconductor pîşesaziyê radiweste. Herçiyek nepakî dikare performansa, hilber û pêbaweriya cîhazê tawîz bide, hişk bike paqijiya gazê kontrola bingehîn.

Li Huazhong Gas, em fam dikin ku xerîdarên me di nav de pîşesaziyên semiconductor xwe bispêrin me ku em gazên ku bi astên paqijiya "pênc neh" (99.999%) an jî "şeş neh" (99.9999%) digihîjin an derbas dibin peyda bikin. Ev tê wê wateyê ku her nepakî Pêdivî ye ku di tansiyonên ji perçeyên per mîlyon (ppm) an jî perçeyên per milyar (ppb) kêmtir be. Gihîştin û tesdîqkirina wiha paqijiya bilind astên sofîstîke hewce dike paqijkirin teknîk û, ya girîng, pêşketî analîzkirina nepakiyê rêbazên. Hebûna yekî neçaverêkirî nepakî di heman demê de dikare pirsgirêkên bi xêzkirinê re destnîşan bike sîlinderên gazê an zincîra peydakirinê, çêkirina kontrolên kalîteyê yên domdar girîng e. Em xwe misoger dikin Pîleya nîtrojenê Mînakî, pêşkêşî van standardên bikêrhatî bicîh tîne, ji ber ku nîtrojen di gelek gavên çêkirina nîvconductor de gazek karek e.

Çawa Tewra Nepaqijiyên Şopa Mîkroskobîk Dikarin Xetên Hilberîna Semiconductor ji rê derxînin?

Carinan zehmet e ku meriv bifikire ku tiştek wusa piçûk, a şopa nepakiyê ku bi beşên per milyar (ppb) an jî perçeyên per trîlyonek (ppt) tê pîvandin, dikare bibe sedema pirsgirêkên weha girîng. Lê di cîhanê de semiconductor çêkirin, van mîkroskopî contaminants xerabkarên sereke ne. Ka em pêvajoyek çêkirina nîvconduktorê ya tîpîk bihesibînin: ew bi dehan, carinan bi sedan gavên nazik ên mîna depokirin (raxistina fîlimên zirav), eçkirin (rakirina maddeyan), û îlonkirina îyonan (têxistina atomên taybetî) vedihewîne. Her gav xwe dispêre hawîrdorek kîmyewî ya tam kontrolkirî, ku pir caran ji hêla ve hatî afirandin an parastin gazên taybetî yên elektronîkî. Ger a gaz tê bikaranîn di yek ji van gavan de nexwestî hildigire nepakî, ew nepakî dikare di nav tebeqeyên nazik de were vehewandin semiconductor sazî.

Bo nimûne, nepakiyên metalîk mîna sodyûm, hesin, an sifir, tewra di tansiyonên pir hindik de jî, dikarin taybetmendiyên elektrîkî yên silicon bi tundî biguhezînin. Dibe ku ew rêyên guhezbar ên nedilxwaz biafirînin, ku rê li ber pêlên kin bigirin, an wekî "xefik" tevbigerin ku herikîna elektronan asteng dikin, amûrê hêdî dikin an jî dibe sedema têkçûna wê bi tevahî. An nepakî di heman demê de dikare bi reaksiyonên kîmyewî yên ku di pêngavek pêvajoyê de têne armanc kirin jî asteng bike. Mînak, a contaminant di gaza eçkirinê de dibe ku bibe sedema kêmbûn an jî zêde xişandinê, ku qalibên rast ên li ser waferê xera bike. Bandor ne tenê li ser çîpên kesane ye; a nedîtî nepakî Pirsgirêk dikare bibe sedema hilweşandina tevahiya beşên waferan, di encamê de bi mîlyonan dolar zirar, dereng hilberîn û serêş ji bo efserên kirînê yên mîna Mark Shen, yên ku hewce ne peydakirina domdar a materyalên bi kalîte peyda bikin. Ev pêdiviya krîtîk a bi hêz ronî dike pîvana nepakîyên şopê.

Pirsgirêk ev e ku ji bo her yekê asta "qebûl" e nepakî her ku diçe piçûk dibe semiconductor taybetmendiyên amûrê piçûktir dibin. Tiştê ku qebûl kirin hate hesibandin nepakî asta berî deh salan dibe ku bibe felaketek gemarkirî îro. Ev ajotina bêdawî ya ji bo piçûkbûnê zextek mezin dixe ser hilberînerên gazê û laboratîfên analîtîk ku çêtir bikin. sînorê tespîtê şiyanên. Hetta particulate nepakî, piçikên tozê yên piçûk ku bi çavê rût nayên dîtin, dikarin di gavên fotolîtografî de ronahiyê asteng bikin an jî li ser rûbera waferê kêmasiyên laşî çêbikin. Ji ber vê yekê, kontrolkirina her potansiyelê nepakî - çi gazî, çi metalî, çi particulate - girîng e. Ew rêza nepakîyan ya ku dikare bibe sedema pirsgirêkan berfireh e, tekezî li ser hewcedariya berfireh dike analîza gazê.

Pirsgirêkên Herî Berbelav Çi ne? Ji bo Elektronîkê Naskirina Nepaqijiyên di Gazan de.

Dema ku em behsa nepakîyên di gazan de ji bo elektronîk û semiconductor sektora, em li kasteke cihêreng karakteran digerin, her yek bi potansiyela ku bibe sedema zirarek girîng. Eva nepakiyên ku bêne tespît kirin bi berfirehî dikare di nav formên gaz, metalî, û perçebûyî de were categorîzekirin. Fêmkirina van alozkerên hevpar gava yekem a bi bandor e analîzkirina nepakiyê û kontrol. The taybet nepakiyên heyî dikare li gorî gazê bixwe, awayê hilberîn, hilanîn û hilberandina wê ve girêdayî be.

Gaseous nepakî gazên din ên sereke hene gaza taybet. Ji bo nimûne, di paqijiya bilind nîtrojen, gazê hevpar nepakî dibe ku oksîjen (O2), şilbûn (H2O), karbondîoksît (CO2), karbonmonoksît (CO) û hîdrokarbon (CH2) hebe. Oksîjen û şilbûn bi taybetî pirsgirêk in ji ber ku ew pir reaktîf in û dikarin bibin sedema oksîdasyona nedilxwaz. semiconductor materyal an alavên pêvajoyê. Heta di an gaza bêhêz çawa argon, ev dikarin di astên şopê de hebin. Wekî pargîdaniyek, em pir caran daxwazên analîzkirina a cûrbecûr nepakî, di nav de van cureyên reaktîf. Mînakî, kapasîteyên me hilberandina kompleks hene Gasmixture hilberan, ku her pêkhateyek, di nav wan de gaza potansiyel jî tê kontrol kirin nepakî, serekî ye.

Nepaqijiyên metalîk xemeke din a sereke ne. Ew atomên metalên mîna sodyûm (Na), potasyum (K), kalsiyûm (Ca), hesin (Fe), sifir (Cu), nîkel (Ni), krom (Cr), û aluminium (Al) ne. Ew dikarin ji madeyên xav, alavên hilberînê (mîna lûle û reaktoran), an tewra jî çêbibin sîlinderên gazê xwe eger bi rêkûpêk neyê dermankirin. Wekî ku hate gotin, ev nepakiyên metal dikare bi giranî bandorê li performansa elektrîkê bike semiconductor cîhazên. Tesbîtkirina van di astên ppb an ppt de pêdivî bi teknîkên analîtîk ên pir hesas ên mîna Spectrometrya Komkujî ya Plasmaya Bi Inductive Coupled (ICP-MS). Divê em jî bifikirin particulate mesele. Ev perçeyên piçûk ên hişk an şil in ku di nav de sekinîne herikîna gazê. Ew dikarin bibin sedema kêmasiyên laşî yên li ser waferan, girêkên di amûran de asteng bikin, an yên din bidin nasîn contaminants. Parzûnkirin ji bo rakirina perçeyan girîng e, lê çavdêriya astên wan jî beşek ji berfirehiyek e kalîteya gazê bername. Hin gazên taybetî yên elektronîkî jî hene gazên korozîf an gazên jehrî, ku qateyek din a tevliheviyê li hilgirtin û analîza wan zêde dike, piştrast dike ku nepakî profîla van xetereyan zêde nake.

ICP-MS: Standarda Zêrîn ji bo Tespîtkirina Nepaqijiyên Metal ên di Gazên Nîvconductor de?

Dema ku ew tê ser analîzkirina nepakiyên metalîk li gazên paqijiya ultra-bilind, Spectrometrya Komkujî ya Plasmaya Bi Induktîf, an ICP-MS, bi berfirehî wekî teknolojiyek pêşeng tê hesibandin. Ew teknîkek analîtîk a hêzdar e ku dikare cûrbecûr cûrbecûr tespît bike û bihejmêre nepakiyên elementan, bi gelemperî digihîje astên ecêb nizm - ji bo hin hêmanan perçe-per-trilyon (ppt) an jî perçe-per-quadrilyon (ppq) bifikirin. Ev hesasiyet tam sedem e ICP-MS ji bo wê pir girîng bûye semiconductor pîşesazî, li wir, wekî ku me behs kir, şopên hûrgelê jî hene nepakiyên metalîk dikare zirarê bide kalîteya hilberê.

Çawa dike ICP-MS efsûna xwe bixebite? Bi gotinên hêsan, ya nimûneya gazê (an jî çareseriyek ku ji gazê tê) dikeve nav plasmayek pir germ, ku bi gelemperî jê hatî çêkirin argon. Ev plazma ku digihîje germahiya 6000 heta 10000°C, têra xwe enerjîk e ku molekulên gazê bişkîne û atomên heyî, di nav wan de, îyonîze bike. nepakiyên metalîk. Dûv re ev îyon ji plazmayê têne derxistin û di nav spektrometerek girseyî de têne rêve kirin. Spektrometra girseyî mîna parzûnek pir rast tevdigere, îyonan li gorî rêjeya girseya wan ji hev vediqetîne. YEK detektor paşê îyonan ji bo her girseyek taybetî dihejmêre, ku rê dide me ku em nas bikin ka kîjan hêman hene û di kîjan hejmarê de ne. Kapasîteya ji ICP-MS ji bo spektrek berfireh bigerin nepaqijiyên metalîk ên di gazên taybetî de di heman demê de ew pir bi bandor dike.

Demek ICP-MS pir bi hêz e, ew ne bê kêşeyên xwe ye, nemaze dema ku pê re mijûl dibin gazên ku di semiconductor de têne bikar anîn fabrîkî. Nêzîkatiyek hevpar ev e ku meriv kef bike nepakî ji hejmûnek mezin a gazê ber bi navgînek berhevkirinê an şilekek ve, ku paşê ji hêla ve tê analîz kirin ICP-MS. Lêbelê, rasterast derzîlêdana rasterast ya gazê nav ICP-MS pergal ji bo hin serîlêdanan jî gelemperî dibe, her çend ew pêwendiyên pispor hewce dike. Hilbijartina rêbazê bi taybetî ve girêdayî ye nepakiyên gazê berjewendî, gaza matrixê, û pêdivî ye sînorê tespîtê. Li Huazhong Gas, em di nav alavên analîtîk ên herî pêşkeftî de, di nav de, gelek veberhênan dikin ICP-MS kapasîteyên xwe, ji ber ku em dizanin ku pêbawer peyda dikin analîzkirina nepakiyê Daneyên bingehîn e ku pêbaweriya xerîdarên me li me digirin elektronîk paqijiya bilind gazên. Rastiya ICP-MS alîkarî dike ku piştrast bikin ku paqijiya gazan daxwazên tund pêk tîne pola elektronîk materyalên.

Çima Paqijiya Gazê ya Bêdawî ji bo Pîşesaziyên Elektronîk û Nîvconductor Ne-Danûstandinek e?

Pêdiviya bêserûberiyê paqijiya gazê di pîşesaziya elektronîk û semiconductor ne tenê tercîhek e; ew hewcedariyek bingehîn e ku ji hêla fîzîk û aborî ya hilberîna cîhaza nûjen ve tê rêve kirin. Dema semiconductor taybetmendiyên cîhazê di pîvana nanometer de piçûk dibin, hesasiya wan ji her cûreyê re gemarkirî ezmên diqelişin. An nepakî ya ku dibe ku di cîhazên kevn û mezin de neguhez be, naha dikare di çîpên pêşkeftî de bibe sedema têkçûnên felaketê. Ev rasterast bandorê li ser hilberînê dike - rêjeya çîpên baş ên her wafer - û hetta kêmbûnek piçûk di hilberînê de dikare bibe bi mîlyonan dolar dahata winda ji bo yek. semiconductor çêker.

Li ser mîmariya tevlihev a mîkroprosesorek an çîpê bîranînê ya nûjen bifikirin. Ew bi mîlyaran transîstor dihewîne, ku her yek ecêbek endezyariya mînyaturê ye. Performansa van transîstoran bi taybetmendiyên elektrîkî yên rastîn ve girêdayî ye semiconductor materyalên ku têne bikar anîn, ku di encamê de, pir bi guman in nepakî. Mînakî, hin nepakiyên metalîk dikare astên enerjiyê yên nedilxwaz di nav valahiya band silicon de destnîşan bike, ku bibe sedema zêdekirina leaksiyonê an kêmkirina tevgera hilgirê. Ev tê wateya amûrên hêdîtir, kêmtir bikêrhatî, an bi tevahî ne-fonksîyonel. Gaseous nepakî mîna oksîjen an şilbûnê dikare bibe sedema çêbûna qatên oksîdê yên nexwestî, guheztina stûrahiya fîlimê an taybetmendiyên navberê yên ku ji bo xebata cîhazê krîtîk in. Bi giştî kalîteya gazê rasterast tê wergerandin kalîteya hilberê û pêbawerî.

Wekî din, ya pîşesaziya elektronîk û semiconductor bi pêvajoyên hilberîna pir tevlihev û biha têne diyar kirin. Yekane semiconductor santrala çêkirinê ("fab") dikare bi mîlyaran dolar lêçûn ji bo çêkirin û çekirinê. Ew gazên bikaranîn ji gelek ji van gavên pêvajoyê yên biha re yekpare ne. Ger a gaza taybet bi an vegirtî ye nepakî, ew ne tenê bandorê li waferên ku niha têne hilberandin dike; ew di heman demê de dikare alavên pêvajoyek biha bixwe jî qirêj bike. Ev dikare bibe sedema dirêjkirina dema paşîn û ji nû ve qalkirinê, lêçûn zêde bike û nexşeyên hilberînê têk bibe - ji bo kesek mîna Mark Shen, ku xwe dispêre radestkirina biwext da ku daxwazên xerîdarên xwe bicîh bîne, xalek êşek mezin. Ji ber vê yekê, misogerkirina paqijiya gazên taybetî yên elektronîkî bi riya hişk analîzkirina nepakiyê ji bo tevahiya zincîra peydakirinê stratejiyek kêmkirina xetereya krîtîk e. Balkêş li ser gazên paqijiya bilind bêhêvî ye ji ber ku kêşe pir zêde ne.

Di Analîzkirina Nepaqijiyên Metal ên Di Gazên Taybet de Em Bi Çi Zehmetiyên Sereke re rû bi rû dimînin?

Analîz kirin nepakiyên metalîk li gazên taybet, bi taybetî yên ku di nav de têne bikar anîn semiconductor pîşesazî, komek bêhempa ya dijwariyan pêşkêşî dike. Zehmetiya seretayî ji tansiyonên pir kêm ên ku di wan de ne derdikeve nepakî dibe ku pirsgirêk be - pir caran di rêza perçe-per-mîlyar (ppb) an tewra perçe-per-trilyon (ppt) de. Tesbîtkirin û bi rêkûpêk jimartina mîqdarên hûrdemî yên weha ne tenê amûrên analîtîk ên pir hesas hewce dike. ICP-MS lê di heman demê de hawîrdorên an_alîtîk ên bêkêmasî û protokolên hilgirtina nimûneyên berbiçav jî ji bo ku ji danasîna derveyî dûr nekevin. gemarkirî.

Pirsgirêkek girîng danasîna nimûneyê ye. Gelek gazên taybet tê bikaranîn li elektronîk pir reaktîf, koroz, an jî piroforîk in (di hewayê de xwebexş dişewitin). Bi ewlehî û bi bandor veguheztina van gazên nav amûreke analîtîk wek an ICP-MS bêyî guhertin nimûneya gazê an jî pîskirina amûrê pêdivî bi navbeynkariya pispor û prosedurên hilgirtinê heye. Mînak rasterast derzîlêdana a gaza korozive wek klorîdê hîdrojenê (HCl) nav standardek ICP-MS sîstem dikare bi giranî zirarê bide wê. Ji ber vê yekê, rêbazên nerasterast, yên wekî girtina mêtinger (ji bo girtina gazê di nav şilekek de şûştin nepakî) an xefika kryojenîk, bi gelemperî têne xebitandin. Lêbelê, van rêbazan dikarin çavkaniyên xwe yên potansiyel destnîşan bikin gemarkirî an windabûna analîtê heke bi rengek bêkêmasî neyê kirin. Hilbijartina ji gaza hilgirê ji bo dilopkirinê, ger hewce be, divê bêkêmasî jî be paqijiyê.

Pirsgirêkek din "bandora matrixê" ye. Mezin xaz xwe (mînak, argon, nîtrojen, hîdrojen) dikare di tespîtkirina de asteng bike şopên nepakî. Ji bo nimûne, di ICP-MS, plazma ji girseyê pêk tê xaz dikare îyonên polîatomî biafirîne ku xwediyê heman rêjeya girse-bar-barkirinê ye wekî hin armanc nepakiyên metalîk, dibe sedema erênîyên derewîn an hejmartina nerast. Divê analyst teknîkên mîna hucreyên pevçûn / reaksiyonê di nav de bikar bînin ICP-MS an spectrometry girseyî ya bi rezîliya bilind ji bo derbaskirina van midaxeleyên spektral. Wekî din, standardên kalibrasyonê yên ji bo pîvandinê têne bikar anîn nepakiyên metal pêdivî ye ku pir rast û peydakirî be, û divê tevahiya pêvajoya analîtîk were pejirandin da ku pêbaweriya analîzkirina nepakiyê results. Em, wekî dabînker, di heman demê de ji yekitiya xwe ditirsin sîlinderên gazê û potansiyela wan a beşdariyê nepakiyên metalîk bi demê re, ku hewceyê kontrolkirina kalîteyê ya domdar hewce dike.

Ma Bikaranîna Amûrek Veguheztina Gazê Dikare Rastiya Pîvana Nepakiyên Şopê zêde bike?

Erê, bikaranîna amûrekê pevguhertina gazê bi rastî dikare di zêdekirina rastbûna xwe de rolek girîng bilîze pîvana nepakîyên şopê, bi taybetî dema ku bi dijwariyê re mijûl dibin xaz matrices an dema ku armanc ji bo ultra-kêm sînorên tespîtê. YEK amûra pevguhertina gazê, carinan wekî pergala jêbirina matrixê tê binav kirin, bi bingehîn bi hilbijartî rakirina girseyê dixebite xaz (pêkhateya sereke ya nimûneya gazê) dema ku konsantre dike şopên nepakî ji berjewendiyê. Vê gavê pêş-konsantrekirinê dikare bi rengek berbiçav hesasiya teknîkên analîtîk ên paşîn ên mîna ICP-MS an kromatografê gazê sîstemên.

Prensîba li pişt gelek alavên pevguhertina gazê membranek nîv-permeable an mekanîzmayek bijartî ya adsorption/desorption vedihewîne. Mînakî, parzûnek palladyûm dikare were bikar anîn da ku bi bijartî hîdrojenê ji a tevliheviya gazê, destûrê dide yên din nepakîyên di gazan de bên konsantrekirin û derbas kirin a detektor. Bi heman rengî, materyalên adsorbent ên taybetî dikarin hin tiştan bixin nepakî ji diherike xaz herik, ku wê hingê dikare bi germî di hejmûnek piçûktir a paqij de were hilweşandin gaza hilgirê ji bo analîzê. Bi kêmkirina mîqdara mezin xaz gihîştina detektor, van amûran midaxeleyên matrixê kêm dikin, dengê paşîn kêm dikin, û bi bandor rêjeya sînyala-dengê ji bo armancê zêde dikin. şopên nepakî. Ev dikare bibe sedema kêmbûnê sînorê tespîtê.

Feydeyên ji bikaranîna amûrekê pevguhertina gazê bi taybetî di dema analîzê de diyar dibin nepakiyên di elektronîk de gazên ku zehmet e ku rasterast werin xebitandin an ku di amûrên analîtîk de dibe sedema destwerdana girîng. Mînakî, dema ku hûn hewl didin ku şopa oksîjenê an şilbûnê di nav pir reaktîf de bipîvin gaza taybet, a amûra pevguhertina gazê bi potansiyel dikare van ji hev veqetîne nepakî nav a bengtir gaza hilgirê çawa argon an helium berî ku ew bigihîjin detektor. Ev ne tenê rastbûnê çêtir dike lê di heman demê de dikare hêmanên analîtîk ên hesas jî biparêze. Wek çêkerê 99,999% Paqijiya 50L Cylinder Xenon Gaz, em nirxa teknîkên weha pêşkeftî di verastkirina awarte de fam dikin paqijiyê yên kêm û gazên taybet. Ev teknolojî alîkariya krîtîk dike paqijkirina gazê û qonaxên verastkirinê.

Girêdana Krîtîk: Di Gazên ku rasterast di hilberîna nîvconductor de têne bikar anîn de analîza nepaqijiyê.

Ew gazên ku rasterast di çêkirina nîvconductor de têne bikar anîn jiyana pêvajoya çêkirinê ne. Di nav van de ne tenê gazên mezin wek nîtrojen û argon, lê di heman demê de komek berfireh jî gazên taybetî yên elektronîkî wekî gazên epîtaksial (mînak, silan, germane ji bo mezinbûna qatên krîstal), etching gazên (mînak, NF3, SF₆, Cl2 ji bo nimûne), gazên implantasyona ion (mînak, arsîn, fosfîn, boron trifluoride ji bo dopingê), û gazên depokirinê. Ji bo her yek ji van gazên pêwîst, ast û cureyê meqbûl nepakî bi tundî têne diyar kirin ji ber ku her devjêberek rasterast dikare bibe kêmasiyên li ser semiconductor wafer. Ev dike analîzkirina nepakiyê ji bo van gazên pêvajoyê pêngavek kontrolkirina kalîteyê ya bêkêmasî krîtîk.

Rakirina qatek silicon dîoksîtê ya zirav, îzolatorek hevpar a di transîstoran de, binihêrin. Ger oksîjenê gaz tê bikaranîn ji bo vê pêvajoyê hîdrokarbon heye nepakî, karbon dikare di tebeqeya oksîtê de were bicîh kirin, taybetmendiyên wê yên îzolekirinê xirab dike û dibe sedema têkçûna cîhazê. Bi heman awayî, heke etching xaz neçaverêk dihewîne nepakî, dibe ku ew rêjeya etch an hilbijartî biguhezîne, ku bibe sedema taybetmendiyên pir mezin, pir piçûk, an bi rengek xelet. Heta an nepakî di an gaza bêhêz çawa Pîleya gaza Argon ku ji bo rijandinê tê bikar anîn, dikare li ser rûyê waferê were veguheztin, ku bandorê li kalîteya fîlimê bike. Bandora an nepakî bi gelemperî pêvajoyê-taybet e, tê wateya an nepakî di yek gavê de tehemûl kirin dibe ku krîtîk be contaminant li yekî din.

Ev girêdana krîtîk nêzîkatiyek berfireh hewce dike analîzkirina nepakiyê. Ew ne tenê li ser kontrolkirina hilbera dawîn e; ew çavdêriya maddeyên xav, çemên di pêvajoyê de, û dawîn pêk tîne xaz qonaxên paqijkirinê. Bo taybetiya semiconductor gazên, taybetiyên ji bo nepakîyên di semiconductor de serîlêdan bi gelemperî zehf teng in, sînorên tespîtkirina analîtîk dikişînin. Em bi xerîdarên xwe re ji nêz ve dixebitin nîvconductor û elektronîk qada ku taybetmendiya wan fêm bikin nepakî hesasiyetên ji bo cuda gaz û têkelên gazê. Ev nêzîkatiya hevkariyê alîkar dike ku pê ewle bibe gazên taybetî yên paqijiyê em bi domdarî daxwazên daxwazên pêvajoyên hilberîna wan ên pêşkeftî peyda dikin. Pirsgirêk di tespîtkirina a cûrbecûr nepakî di astên ku her ku diçe kêm dibin.

Beyond the Lab: Pratîkên çêtirîn ên ji bo Birêvebirina gazên nîvconductor-paqijiya Bilind ji bo Pêşîlêgirtina Tevrûbûnê.

Temînkirina paqijiya gazên taybetî yên elektronîkî dema ku bi dawî nabe xaz ji navenda hilberîna me derdikeve. Parastina wê paqijiyê hemû rê ji bo xala bikaranîna di a semiconductor fab ji bo hilanîn, hilanîn û belavkirinê baldariyek berbiçav hewce dike. Heta herî bilind gaza paqijiyê heke bi rêkûpêk neyê rêvebirin dikare bibe qirêj. Li Huazhong Gas, em ne tenê li ser hilberînê disekinin gazên paqijiya bilind lê di heman demê de xerîdarên me li ser pratîkên çêtirîn jî şîret dikin da ku pêşî li jêrzemînê bigirin gemarkirî.

Pratîkên çêtirîn ên sereke hene:

• Hilbijartina pêkhatî: Hemî pêkhateyên di pergala radestkirina gazê de - di nav de sîlinderên gazê, regulator, valves, lûle, û pêlav - divê ji materyalên guncav (mînak, pola zengarnegir a elektropolkirî) bêne çêkirin û bi taybetî ji bo paqijkirin û pejirandin paqijiya ultra-bilind (UHP) xizmeta. Bikaranîna materyalên nerast dikare bibe sedema derketina gazê nepakî an a nepaqijiya metalîk rijandin nav herikîna gazê.
• Yekbûna pergalê: Pergala radestkirina gazê pêdivî ye ku rijandin be. Tewra lehiyên piçûk jî dikarin destûrê bidin atmosferê contaminants wek oksîjen, şil û particulate mesele bikeve sîstemê, tawîz dide paqijiya gazê. Kontrolkirina rêkûpêk a leaksiyonê pêdivî ye.
• Rêbazên Paqijkirinê: Her gava ku têkiliyek çêdibe an silindirek tê guheztin prosedurên paqijkirinê yên rast krîtîk in. Ev tê de rijandina xetên bi a gaza bêhêz a paqijiya bilind (çawa argon an nîtrojen) ji bo rakirina hewaya asêkirî an nepakî. Paqijkirina kêm çavkaniyek hevpar e gemarkirî. Em bi gelemperî panelên paqijkirina otomatîkî pêşniyar dikin ku hevgirtinê misoger bikin.
• Amûrên Veqetandî: Bikaranîna rêzik û xetên taybetî ji bo taybetî gazên an malbatên ji gazên dikare rê li ber vegirtinê bigire. Ev bi taybetî girîng e dema ku di navbera guheztina an gaza bêhêz û reaktîf an gaza korozive.
• Rakirina silindir: Sîlinderên gazê divê bi baldarî were girtin da ku zirarê nebîne. Pêdivî ye ku ew li deverên destnîşankirî, baş-hewakirî werin hilanîn, û rêveberiya envanterê ya "yekemîn, yekem-derve" were pratîk kirin. Bikaranîna rewa û oksîjenê veqetandî Analîzatorên li xalên krîtîk jî dikarin ji bo şopandina her ketina van hevpar bibin alîkar nepakî.

Ji bo xerîdarên mîna Mark Shen, yên ku gazên ji bo ji nû ve firotinê an jî ji bo karanîna di hilberînê de peyda dikin, têgihîştina van pratîkên hilgirtinê ji bo domandina domdar girîng e. kalîteya hilberê ew soz didin muwekîlên xwe. Ew berpirsiyariyek hevpar e. Em xwe misoger dikin Silindirê hîdrojenê Mînakî, hilber ji bo pêşîlêgirtinê têne dagirtin û parastin nepakî têketinê, lê pergala bikarhênerê dawîn rolek wekhev girîng dilîze. Têkoşîna li dijî nepakî ji hilberînê heya serîlêdanê hewldanek domdar e.

Nêrîn li Topa Krîstal: Em dikarin çi nûbûnên Pêşerojê Di Tespîtkirina Nepakiyê de ji bo Gazên Pola Elektronîkî de Hêviya Bikin?

Lêgerîna her bilindtir paqijiyê li gazên pola elektronîkî û bêtir hestiyar tespîtkirina nepakiyê Rêbaz rêwîtiyek domdar e, ku ji hêla leza bêdawî ya nûbûnê ve tê rêve kirin semiconductor ava. Gava ku taybetmendiyên amûrê di qada jêr-10 nanometre de bêtir piçûk dibin û materyal û mîmariyên nû derdikevin holê (mîna transîstorên 3D NAND û Gate-All-Around), bandora hê kêmtir şopên nepakî dê bêtir diyar bibe. Ev ê di herduyan de pêşveçûnên bêtir hewce bike paqijkirina gazê teknolojî û analîzkirina nepakiyê şiyanên.

Em dikarin çend trendan pêşbînî bikin:

• Sînorên Tespîtkirina Jêrîn: Teknîkên analîtîk ên wekî ICP-MS, Gas Chromatography- Mass Spectrometry (GC-MS), û Cavity Ring-Down Spectroscopy (CRDS) dê pêşveçûna xwe bidomînin û bişopînin. sînorên tespîtê ji bo berfirehtir rêza nepakîyan heya astên ppt-hejmar an jî di nav qada ppq-ê de. Ev ê hewceyê nûbûnên di çavkaniyên ion, analîzkerên girseyî, û detektor teknolocî.
• Çavdêriya Di cih û wextê rast: Ji bo pergalên analîtîk ên ku dikarin çavdêriyê bikin daxwazek mezin heye paqijiya gazê di demek rast de, rasterast li cîhê karanîna di hundurê de semiconductor fab. Ev dihêle ku tavilê her yekê were dîtin gemarkirî bûyer an jî diherikin nepakî astên, çalakkirina bileztir a rastkirinê û kêmkirina windabûna hilberê. Sensorên piçûkkirî û algorîtmayên kemometrîk ên pêşkeftî dê li vir rolek sereke bilîzin.
• Analîza Tevliheviyên Gazê yên Kompleks: Dahatû semiconductor dibe ku pêvajo tevlihevtir be tevliheviyên gazê bi gelek pêkhateyên reaktîf. Analîz kirin nepakî di matricên weha dijwar de dê stratejiyên analîtîk ên nû û amûrên şirovekirina daneyê yên sofîstîke hewce bike. Qabiliyeta pîvandinê an nepakî di yek pêkhateyê de bêyî destwerdana yên din dê girîng be.
• Li ser nepakiyên "Killer" bisekinin: Lêkolîn dê berdewam bike da ku diyar bike nepakîyên di semiconductor de pêvajoyek ku bandorek nehevseng mezin li ser performansa an hilberîna cîhazê heye, tewra di astên pir kêm de. Rêbazên analîtîk dê li hemberî van "kujeran" bêtir bibin hedef. nepakî.
• Daneyên analîz û AI: Rêjeyên mezin ên daneyên ku ji hêla pêşkeftî ve têne hilberandin analîzkirina nepakiyê Pergal dê bi karanîna AI û fêrbûna makîneyê were bikar anîn da ku meylên nas bikin, potansiyel pêşbîn bikin gemarkirî pirsgirêkên, û optimize paqijkirina gazê pêvajoyên. Ev dikare di kontrolkirina kalîteya proaktîf de ji çareserkirina pirsgirêka reaktîf re bibe alîkar.

Li Huazhong Gas, em pêbend in ku li pêşiya van geşedanan bimînin. Em bi domdarî di lêkolîn û pêşkeftinê de veberhênan dikin, bi hevkarên pîşesaziyê û saziyên akademîk re hevkariyê dikin da ku zanistê pêş bixin gaza paqijiya bilind hilberîn û analîzkirina nepakiyê. Ji bo xerîdarên me, tevî yên wekî Mark Shen-hişmendiya kalîteyê, ev tê wateya peydakirina pêbawer gazên taybetî yên elektronîkî ku hewcedariyên pêşkeftî yên axê peyda dike pîşesaziya elektronîk û semiconductor. Rêzeya me ya Helium, ku bi bêserûberî û karanîna xwe di sepanên pispor de tê zanîn, di heman demê de ji van lêkolînên analîtîk ên pêşkeftî jî sûd werdigire da ku hindiktirîn misoger bike. nepakî astên.

Rêbazên sereke yên ku ji bîr nekin:

• Gazên taybetî yên elektronîkî bingehîn in çêkirina nîvconductor, û wan paqijiyê ne muzakere ye.
• Hetta şopên nepakî, ku bi ppb an ppt tê pîvandin, dikare bibe sedema kêmasiyên girîng û windakirina hilberînê semiconductor cîhazên.
• Hevre nepakîyên di gazan de gazên din hene (wek O2, H2O), nepakiyên metalîk, û particulate mesele.
• ICP-MS teknolojiyek bingehîn e ji bo tespîtkirina a cûrbecûr nepakî, bi taybetî nepakiyên metalîk, di astên ultra-nizm de.
• Maintaining paqijiya gazê pêdivî ye ku bi hûrgulî û yekparebûna pergalê ji ya cylinder gazê ji bo pêşîlêgirtina xala karanîna gemarkirî.
• Pêşeroj dê hîn kêmtir bibînin sînorên tespîtê, çavdêriya rast-ê, û AI-rêvebirin analîzkirina nepakiyê bo pola elektronîk gazên.
• Kontrolkirina her potansiyelê nepakî ji bo misogerkirina wê girîng e kalîteya hilberê û pêbaweriya modern elektronîk.