Çipên piçûk ên kompîturê yên ku têlefona we, laptopa we, tewra gerîdeya we jî hêz dikin, bifikirin. Van amûrên pir tevlihev bi rastiyek zehf têne çêkirin, û di dilê çêkirina wan de hêzek bêdeng lê bingehîn heye: gazên taybet. Ev gotar rola girîng vedikole ku van gazên paqijiya ultra-bilind di nîvconductor û elektronîk pîşesazî, rave dike ka çima kalîteya wan serekî ye û ew çawa çalak dikin fabrîkî teknolojiya ku em her roj xwe dispêrin. Bi vî rengî bifikirin: ev gaz malzemeyên veşartî ne ku nûjen dikin elektronîk derîmkan. Têgihîştina girîngiya wan ji bo têgihîştina paşeroja teknolojiyê girîng e.

Di nav hûrguliyan de vedigerin: Rola girîng a gazan

Werin em her yek ji van pirsan bi berfirehî lêkolîn bikin.

1. Çi Gazê Dike "Gazê Nîvconductor" an "Gazê Taybetiya Elektronîkî"?

Ne hemî xaz wekhev tê afirandin, nemaze dema ku ew tê ser pêvajoya nazik ya çêkirina nîvconductor. Gazên semiconductor, bi navê gazên taybetî yên elektronîkî, xwedan astên awarte yên bilind in paqijiyê. Ev tê vê wateyê ku ew hema hema bi tevahî ji armancê pêk tên xaz, bi mîqdarên hindik ên maddeyên din, ku pir caran bi beşên per milyar (ppb) têne pîvandin. Unlike gazên mezin di pîşesaziyên din de têne bikar anîn, ev gazên taybet ji bo taybetmendiyên xwe yên kîmyewî yên taybetî û kapasîteya wan a pêkanîna fonksiyonên rast di nav de têne çêkirin fabrîkî yên tevlihev amûrên elektronîk. Eva gaz têne bikaranîn ne tenê wekî madeyên xav, lê wekî beşdarên çalak ên kompleksê reaksiyonên kîmyewî ku avakirin alavên nîvconductor.

Taybetmendiya diyarker a gaza taybetî ya elektronîkî tê kontrolkirin gazên pêvajoya paqijiyê. Eva gaz û têkelên gazê gelek caran reaktîf in an bêhêz, bi baldarî ji bo kapasîteya xwe bijartin etch, dope, an qatên taybetî li ser a biafirînin silicon wafer. Ji bo nimûne, hinek gazên ji bo depokirina fîlimên zirav têne bikar anîn (deposition), dema ku yên din di nav de têne bikar anîn etchpêvajoyek ji bo rakirina materyalên nedilxwaz. Ew hişk pêdiviyên ji pîşesaziya elektronîk xwestin dabînkirina paqijiya bilind da ku pêbawerî û performansa dawîn misoger bike amûrên elektronîk. Hûn dikarin rêza gazên me bikolin da ku cihêrengiya berdest fam bikin.

2. Çima Paqijiya Ultra-High Ji bo Gazên Di Çêkirina Semiconductor de Pir Krîtîk e?

Bifikirin ku hûn hewl bidin ku ezmanek bi kerpîçên lerzok ava bikin - ew ê bi hêsanî nexebite. Bi heman awayî, ya fabrîkî ji semiconductor chips daxwazên paqijiya ultra-bilind. Tewra mîqdarên şopê jî nepakî di gazên bikaranîn dikare encamên felaketî hebe. Eva nepakî hêmanên wek oksîjen û şil, dikare destwerdana nazik bike reaksiyonên kîmyewî dema hilberîna semiconductor, dibe sedema kêmasiyan û di dawiyê de, têkçûna ya alavên nîvconductor.

Ew asta paqijiyê pêwîst ji bo gazên di çêkirina nîvconductor de e di nav cîhanê de herî tund. Em li ser dipeyivin paqijiya ultra-bilind, ku tewra perçeyên her mîlyar gemarî dikarin zirardar bin. Mînakî, hebûna nexwestî ions dikare taybetiyên elektrîkê yên biguhezîne silicon, pêşkêşkirina wafer bikarnayê. Ji ber vê yekê hûrgulî kontrolkirina kalîteyê û pêşketî paqijkirin teknîk ji bo her kesî bi tevahî pêdivî ye şandevan ji gazên nîvconductor. Bifikirin ku ew mîna pijandina kekekê - tewra piçek hindik malzemeyek xelet jî dikare hemî tiştî xera bike.

3. Kîjan Gaz Hespên Kar ên Pîşesaziya Nîvconductor in?

Dema ku gelek gazên taybet rolek dileyzin, hin di nav de hespên xebatê yên domdar in pîşesaziya semiconductor. Nîtrojen bi berfirehî wekî an bêhêz xaz ji bo afirandina atmosferek kontrolkirî, pêşîgirtina nexwestî reaksiyonên kîmyewî. Argon, din bêhêz gaza nadir, di heman demê de ji bo afirandina van hawîrdorên kontrolkirî, nemaze di sputtering û yên din de, pir girîng e deposition pêvajoyên. Hîdrojen di kêmkirinê de rolek girîng dilîze oxide qat û wek hilgirê xaz.

Ji bilî van, oksîjan di pêvajoyên oksîdasyonê de ji bo afirandina silicon tê bikar anîn dîoksît, materyalek însulasyonê ya girîng. Karbondîoksît sepanan di hinekan de dibîne etchpêvajoyên kirinê. Helium, din gaza nadir, ji bo tesbîtkirina leaksiyonê û wekî sarkerek krîogenîk tê bikar anîn. Fêmkirina taybetmendiyên taybetî yên her yekê xaz ji bo xweşbînkirina qonaxên cihêreng girîng e çêkirina nîvconductor. Mîna ku ji bo karên cûda amûrên cûda hewce ne, cûda gazên ji bo gavên cihêreng ên di çêkirina çîpê de hewce ne. Hûn dikarin di derbarê kalîteya meya bilind de bêtir fêr bibin Pîleya nîtrojenê vebijarkên.

4. Hîdrojen Bi taybetî di Hilberîna Semiconductor û Elektronîkî de çawa tê bikar anîn?

Hîdrojen pirreng e xaz bi gelek sepanên krîtîk di nav de semiconductor û hilberîna elektronîk. Yek ji karanîna wê ya bingehîn di kêmkirina metalê de ye oxides. Di hin qonaxan de çêkirina nîvconductor, nexwestî oxide qat dikarin li ser çêbibin silicon wafer. Paqijiya bilind hîdrojen wekî agentek kêmker tevdigere, bi reaksiyonê re dike oxide ji bo jêbirin û paqij hiştin silicon rû.

Wekî din, hîdrojen pir caran wekî hilgirê tê bikar anîn xaz di cûrbecûr de deposition pêvajoyên. Ew ji veguhestina reaktîfên din re dibe alîkar gazên bo wafer rûerdê bi rengek kontrolkirî, mezinbûna fîlimê ya yekgirtî misoger dike. Zêdebûna baldariya li ser domdariyê di heman demê de eleqedar dike hîdrojena kesk ji bo van sepanan. Kontrola rast ku ji hêla ve hatî pêşkêş kirin hîdrojen di afirandina strukturên tevlihev ên mîkroçîpê de wê amûrek bêhempa dike. Em pêbawer pêşkêş dikin Silindirê hîdrojenê çareseriyên ji bo hewcedariyên we.

5. Di Pîşesaziya Semiconductor de Nîtrojen Di Paqijkirina Kalîteyê de Çi Role Dileyze?

Nîtrojen berbelav û bingehîn e xaz di pîşesaziya semiconductor, di serî de ji ber wê bêhêz awa. Rola wê ya sereke ew e ku atmosferek ji hêmanên reaktîf ên mîna wan biafirîne û biparêze oksîjan û şil, ku dikare hestiyar qirêj bike materyalên nîvconductor û mudaxele bikin reaksiyonên kîmyewî. Ji bo pêvajoya hilberînê wekî kefenek parastinê bifikirin.

Li seranserê qonaxên cûda yên çêkirina nîvconductor, ji mezinbûna krîstal heta wafer hilberandin û komkirin, nîtrojen ji bo paqijkirina amûran, afirandina jîngehên paqijî, û pêşîlêgirtina oksîdasyonê tê bikar anîn. Ev ji bo kêmkirina kêmasiyan dibe alîkar û qalîteya bilind û pêbaweriya dawîn peyda dike alavên nîvconductor. Pêşkêşkirina domdar û pêbawer a paqijiya bilind nîtrojen ji ber vê yekê girîng e çêkerên nîvconductor. Cûreyên me bigerin Nîtrojen vebijarkên dabînkirinê da ku piştrast bikin ku hilberîna we bi rêkûpêk dimeşe.

6. Çima Argon Pir caran Di Pêvajoyên Semiconductor de Wekî Gazek Bêhêz tê Bijartin?

Mîna nîtrojen, argon esilzade ye xaz û ji ber vê yekê kîmyewî bêhêz, ew ji bo afirandina atmosferên kontrolkirî di hundurê de vebijarkek hêja dike pêvajoyên semiconductor. Demek nîtrojen bi berfirehî tê bikaranîn, argon di serîlêdanên taybetî de hin avantajên peyda dike. Giraniya wê ya atomî bilindtir li gorî nîtrojen di pêşîlêgirtina belavbûna nexwestî de wê bi bandortir dike nepakî atomên.

Argon bi gelemperî di sputtering de tê bikaranîn, a deposition teknîka ku tê de maddeyek hedef tê bombebaran kirin ions, dibe sedem ku atom werin avêtin û wekî fîlimek zirav li ser wafer. Bêhêziya wê nahêle ku ew bi materyalê armanc an fîlima razandî re reaksiyonê bike. Argon di plazmayê de jî tê bikaranîn etchpêvajoyên kirinê. Çawa nîtrojen, dabînkirina domdar a paqijiya bilind argon ji bo parastina yekparçeyiyê girîng e pêvajoya çêkirinê. Baweriya me bifikirin Pîleya gaza Argon vebijarkên ji bo saziya xwe.

7. Li derveyî Bingehîn: Çi Gazên Taybet ên Elektronîkî Pêwîst in?

Demek hîdrojen, nîtrojen, û argon bingehîn in, rêzek din gazên taybetî yên elektronîkî ji bo serîlêdanên taybetî yên di nav de girîng in çêkirina nîvconductor. Fosfîn kilît e dopant çavkaniya ji bo danasîna fosforê di nav de silicon, veguherîna wê ya elektrîkê biguherînin. Bi heman awayî, arsine (arsenîk tê de heye) û diborane (dihewîne boron) wek tê bikaranîn dopants.

Helium, ronahiyek gaza nadir, ji bo tespîtkirina lehiyê di pergalên valahiyê de û ji ber xala xweya kelandî ya kêm wekî hêmanek sarkirinê tê bikar anîn. Florîn- dihewîne gazên, wek hexafluoride sulfur, di plazmayê de têne bikaranîn etchji ber kapasîteya wan a hilbijartî rakirina materyalan. Kombînasyona taybetî ya gaz û têkelên gazê tê bikaranîn bi rastbûnê ve girêdayî ye pêvajoyên semiconductor tevlî. Em pirfireh pêşkêş dikin range gazên ji bo peydakirina hewcedariyên cûrbecûr yên hilberînê.

8. Kîjan Tedbîrên Zehf Paqijiya Bilind a Gazên Semiconductor Temîn dikin?

Parastina paqijiya ultra bilind ji gazên nîvconductor nêzîkatiyek pir-qatî bi zehf hewce dike hişk tedbîrên di her qonaxê de, ji hilberînê heta radestkirinê. Paqijkirin pêvajoyên teknîkên pêşkeftî yên mîna distilasyon, adsorpasyon, û veqetandina membranê vedihewîne da ku hêj mîqdarên şopê jî jêbirin. nepakî. Sofîstîke analyzers ji bo şopandina domdar têne bikar anîn paqijiya gazê.

Gûndirs ji bo hilanîn û veguheztina van tê bikar anîn gazên ji bo pêşîlêgirtina pîsbûnê di bin paqijkirin û ceribandinek hişk de bin. Şandevans di vê pîşesaziyê de divê bi ya herî bilind ve girêdayî bin kontrolkirina kalîteyê standardan û bi gelemperî sertîfîkayan digirin ku kapasîteya wan a bicîhanîna van hewcedariyên daxwazker destnîşan dikin. Tevahiya zincîra peydakirinê ji bo kêmkirina xetera danasîna yekê hatî çêkirin nepakî nav van materyalên krîtîk. Kargeha me bi 7 xetên hilberînê standardên herî bilind ên paqijiyê misoger dike.

9. Nepaqitiya di gazên nîvconductor de çawa bandorê li Hilbera Elektronîkî ya Dawî dike?

Bandora hêjmarên hindik jî nepakî li gazên nîvconductor dikare girîng be, ku di dawiya dawî de bibe sedema kêmasiyan û kêmkirina performansê amûrên elektronîk. Conteminants dikarin nazik têk bibin reaksiyonên kîmyewî dema deposition û etching, dibe sedema tebeqeyên neyeksanî an jî xêzkirina nedilxwaz. Nepaqijiyê atom jî dikarin di nav de bêne hev kirin silicon lat, taybetmendiyên wê yên elektrîkê diguhezîne û dibe sedema têkçûna cîhazê.

Di dawiyê de, nepakî dikare hilberîna fonksiyonê kêm bike alavên nîvconductor, lêçûnên hilberînê zêde bikin, û pêbaweriya dawîn tawîz bidin elektronîk. Ji ber vê yekê ye pîşesaziya semiconductor giraniyeke wisa xurt dide ser paqijiya gazê û ji nêz ve bi hev re dixebite şandevanKî dikare garantiya pêwîst bike paqijiya ultra-bilind. Bifikirin ku yek perçeyek tozê ku çerxeyek mîkroskopî xera dike - ew pîvana dijwariyê ye.

10. Li Pêşî Digerin: Pêşerojên Pêşerojê Di Gazan de ji bo Semiconductor û Elektronîkî çi ne?

Ew pîşesaziya semiconductor bi berdewamî pêş dikeve, û daxwazên li ser gazên nîvconductor bi wê re diguherin. Trend di nav xwe de daxwazek zêde ya hêj bilindtir e gazên paqijiyê ji ber ku mezinahiyên taybetmendiyê yên li ser çîpê piçûk dibin. Di heman demê de baldarîyek mezin li ser pêşxistina nû heye gazên taybet û gaz û têkel bi taybetmendiyên pêşkeftî yên ji bo teknîkên hilberîna pêşkeftî.

Berdewamî ajokarek din a sereke ye, ku bi zêdebûna berjewendiyê re hîdrojena kesk û yên din jîngehê dostane gazên. Pêşketina pêşketî analyzer teknolojiya ji bo tespîtkirina astên hê kêmtir ji nepakî jî wê girîng be. Pêşeroja elektronîk bi pêşkeftinên di hilberandin û hilberandina van bingehîn de bi awayekî veqetandî ve girêdayî ye gazên.

Rêbazên sereke: Girîngiya gazên nîvconductor

• Gazên taybet bi paqijiya ultra-bilind ji bo bingehîn in çêkirina nîvconductor û elektronîk.
• Tewra mîqdarên şopê jî nepakî dikare bi giranî bandorek li ser kalîte û pêbaweriyê bike amûrên elektronîk.
• Nîtrojen û argon ji bo afirandinê girîng in bêhêz atmosferên, dema hîdrojen ji bo kêmkirin û sepanên hilgirê girîng e.
• Rêzikek din gazên taybetî yên elektronîkî, wek fosfîn û helium, ji bo pêvajoyên taybetî têne bikaranîn.
• Ji bo misogerkirina tedbîrên hişk têne girtin paqijiya bilind ji van gazên li seranserê zincîra peydakirinê.
• Pêşeroja ya pîşesaziya elektronîk bi berdewamiya nûjeniyê ve girêdayî ye gaza nîvconductor teknolocî.

Ji bo pêbawer dabînkirina paqijiya bilind gazên pîşesaziyê, di nav de nîtrojen, argon, û hîdrojen, paqij bûn li Huazhong Gas. Her weha hûn dikarin ji bo pêşniyarên me bigerin Germahiya nizm sîlîndera gazê îzolekirî û qada me ya Pîleya gaza Argon.