육불화텅스텐은 무엇을 위해 사용되나요?

2023-09-04

육불화텅스텐은 무엇을 위해 사용되나요?

육불화텅스텐 무색의 유독성 부식성 가스로 밀도가 약 13g/L로 공기 밀도의 약 11배이며 밀도가 가장 높은 가스 중 하나입니다. 반도체 산업에서 텅스텐 육불화물은 주로 텅스텐 금속을 증착하기 위한 화학 기상 증착(CVD) 공정에 사용됩니다. 증착된 텅스텐막은 스루홀과 콘택트홀의 상호 연결 라인으로 사용될 수 있으며, 낮은 저항과 높은 융점의 특성을 가지고 있습니다. 육불화텅스텐은 화학적 에칭, 플라즈마 에칭 및 기타 공정에도 사용됩니다.

가장 밀도가 높은 무독성 가스는 무엇입니까?

가장 밀도가 높은 무독성 가스는 밀도가 1.7845g/L인 아르곤(Ar)입니다. 아르곤은 무색, 무취의 불활성 기체로 다른 물질과 쉽게 반응하지 않습니다. 아르곤 가스는 주로 가스 보호, 금속 용접, 금속 절단, 레이저 및 기타 분야에 사용됩니다.

텅스텐이 티타늄보다 강한가요?

텅스텐과 티타늄은 모두 녹는점과 강도가 높은 금속 원소입니다. 텅스텐의 융점은 3422°C이고 강도는 500MPa이며, 티타늄의 융점은 1668°C이며 강도는 434MPa입니다. 따라서 텅스텐은 티타늄보다 강합니다.

육불화텅스텐은 얼마나 독성이 있나요?

육불화텅스텐 흡입하면 인체에 심각한 손상을 일으킬 수 있는 독성이 강한 가스입니다. 육불화텅스텐의 LD50은 5.6mg/kg입니다. 즉, 체중 1kg당 육불화텅스텐 5.6mg을 흡입하면 사망률이 50%가 됩니다. 육불화텅스텐은 호흡기관을 자극하여 기침, 가슴 답답함, 호흡곤란 등의 증상을 유발할 수 있습니다. 심한 경우에는 폐부종, 호흡 부전, 심지어 사망에 이를 수도 있습니다.

텅스텐이 녹슬까요?

텅스텐은 녹슬지 않습니다. 텅스텐은 공기 중의 산소와 쉽게 반응하지 않는 불활성 금속입니다. 따라서 텅스텐은 상온에서 녹슬지 않습니다.

산이 텅스텐을 부식시킬 수 있나요?

산은 텅스텐을 부식시킬 수 있지만 그 속도는 느립니다. 진한 황산, 진한 염산 등의 강산은 텅스텐을 부식시킬 수 있지만 시간이 오래 걸립니다. 묽은 황산, 묽은 염산과 같은 약산은 텅스텐에 약한 부식 효과를 나타냅니다.