Huazhong ಗ್ಯಾಸ್ ಕೈಗಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ಕಲೆ ಮತ್ತು ವಿಜ್ಞಾನವನ್ನು ಮಾಸ್ಟರಿಂಗ್ ಮಾಡಲು ನಮ್ಮನ್ನು ಅರ್ಪಿಸಿಕೊಂಡಿದೆ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲ ಉತ್ಪಾದನೆ. ಇಂದಿನ ಹೈಟೆಕ್ ಜಗತ್ತಿನಲ್ಲಿ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಒಳಗೆ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮ, ಬೇಡಿಕೆ ಅತಿ ಹೆಚ್ಚು ಶುದ್ಧತೆ ಅನಿಲಗಳು ಕೇವಲ ಆದ್ಯತೆಯಲ್ಲ; ಇದು ಸಂಪೂರ್ಣ ಅವಶ್ಯಕತೆಯಾಗಿದೆ. ಈ ಲೇಖನವು ವಿಮರ್ಶಾತ್ಮಕ ಜಗತ್ತಿನಲ್ಲಿ ಪರಿಶೀಲಿಸುತ್ತದೆ ಅಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ಫಾರ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು. ಚಿಕ್ಕದಾದರೂ ಏಕೆ ಎಂದು ನಾವು ಅನ್ವೇಷಿಸುತ್ತೇವೆ ಅಶುದ್ಧತೆ ಅಗಾಧವಾದ ಪರಿಣಾಮಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು, ನಾವು ಈ ಅಸ್ಪಷ್ಟತೆಯನ್ನು ಹೇಗೆ ಕಂಡುಹಿಡಿಯುತ್ತೇವೆ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಿ, ಮತ್ತು ವ್ಯವಹಾರಗಳಿಗೆ ಇದರ ಅರ್ಥವೇನು. ತಿಳುವಳಿಕೆ ಅನಿಲ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಮತ್ತು ಅವರ ವಿಧಾನಗಳು ಶುದ್ಧೀಕರಣ ಮತ್ತು ಪತ್ತೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ICP-MS, ಆಧುನಿಕತೆಯ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಪ್ರಮುಖವಾಗಿದೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್. ಈ ತುಣುಕು ನಿಮ್ಮ ಸಮಯಕ್ಕೆ ಯೋಗ್ಯವಾಗಿದೆ ಏಕೆಂದರೆ ಇದು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ಕಾರ್ಖಾನೆಯ ಒಳಗಿನವರ ದೃಷ್ಟಿಕೋನವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳ ಶುದ್ಧತೆ, ಒಂದು ಮೂಲಾಧಾರ ಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ವಲಯಗಳು.

ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು ನಿಖರವಾಗಿ ಯಾವುವು ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಅವುಗಳ ಶುದ್ಧತೆ ಏಕೆ ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ?

ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು, ಎಂದು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಉಲ್ಲೇಖಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲಗಳು ಅಥವಾ ಅರೆವಾಹಕ ಅನಿಲಗಳು, ಒಂದು ವಿಶಿಷ್ಟ ವರ್ಗವಾಗಿದೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲಗಳು ಮತ್ತು ಅನಿಲ ಮಿಶ್ರಣಗಳು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಘಟಕಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ತೊಡಗಿರುವ ಸಂಕೀರ್ಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಅವರನ್ನು ಡಿಜಿಟಲ್ ಯುಗದ ಅದೃಶ್ಯ ವಾಸ್ತುಶಿಲ್ಪಿಗಳು ಎಂದು ಪರಿಗಣಿಸಿ. ಇವುಗಳು ಅರೆವಾಹಕದಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಅನಿಲಗಳು ತಯಾರಿಕೆಯು ವೈವಿಧ್ಯಮಯ ಶ್ರೇಣಿಯನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪದರಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲು ಸಿಲೇನ್ (SiH₄), ಚೇಂಬರ್ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (NF₃), ಆರ್ಗಾನ್ (Ar) ಜಡ ಗುರಾಣಿಯಾಗಿ, ಮತ್ತು ವಿವಿಧ ಡೋಪಿಂಗ್ ಅನಿಲಗಳು ವಿದ್ಯುತ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಲು ಫಾಸ್ಫೈನ್ (PH₃) ಅಥವಾ ಆರ್ಸೈನ್ (AsH₃) ನಂತಹ ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು. ಪದ "ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷತೆ"ಅವರ ಅನುಗುಣವಾದ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಮತ್ತು ಅವುಗಳ ಸಂಯೋಜನೆಯಲ್ಲಿ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ತೀವ್ರ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಸ್ವತಃ ಎತ್ತಿ ತೋರಿಸುತ್ತದೆ. ಇವುಗಳು ನಿಮ್ಮ ದೈನಂದಿನವಲ್ಲ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಅನಿಲಗಳು; ಅವುಗಳ ವಿಶೇಷಣಗಳು ಹೆಚ್ಚು ಕಠಿಣವಾಗಿವೆ.

ಅವರ ಪ್ರಮುಖ ಪ್ರಾಮುಖ್ಯತೆ ಶುದ್ಧತೆ ಅತಿಯಾಗಿ ಹೇಳಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ರಲ್ಲಿ ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆ. ಆಧುನಿಕ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳು (IC ಗಳು) ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ವಾಹಕ ಮಾರ್ಗಗಳನ್ನು ವಿಸ್ಮಯಕಾರಿಯಾಗಿ ಚಿಕ್ಕದಾಗಿರುತ್ತವೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್‌ಗಳಲ್ಲಿ (ಮೀಟರ್‌ನ ಶತಕೋಟಿ) ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಮಾಪಕದಲ್ಲಿ, ಒಂದು ಅನಗತ್ಯ ಪರಮಾಣು ಕೂಡ - an ಅಶುದ್ಧತೆ- ಒಂದು ಸಣ್ಣ ಸ್ಟ್ರೀಮ್ನಲ್ಲಿ ಬಂಡೆಯಂತೆ ವರ್ತಿಸಬಹುದು, ಉದ್ದೇಶಿತ ವಿದ್ಯುತ್ ಹರಿವನ್ನು ಅಡ್ಡಿಪಡಿಸಬಹುದು ಅಥವಾ ರಚನಾತ್ಮಕ ದೋಷಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು. ಇದು ದೋಷಪೂರಿತ ಚಿಪ್‌ಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು ಮತ್ತು ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಲಕ್ಷಾಂತರ ಚಿಪ್‌ಗಳನ್ನು ಒಂದೇ ವೇಫರ್‌ನಲ್ಲಿ ಉತ್ಪಾದಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಆರ್ಥಿಕ ಮತ್ತು ಖ್ಯಾತಿಯ ಹಾನಿ ಮಾಲಿನ್ಯ ಅಪಾರವಾಗಿರಬಹುದು. ಆದ್ದರಿಂದ, ದಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳ ಶುದ್ಧತೆ ಒಂದು ಅಡಿಪಾಯ ಸ್ತಂಭವಾಗಿದ್ದು, ಅದರ ಮೇಲೆ ಸಂಪೂರ್ಣ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮ ನಿಂತಿದೆ. ಯಾವುದೇ ಅಶುದ್ಧತೆ ಸಾಧನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ, ಇಳುವರಿ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ರಾಜಿ ಮಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು, ಕಠಿಣಗೊಳಿಸಬಹುದು ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆ ನಿಯಂತ್ರಣ ಅಗತ್ಯ.

Huazhong ಗ್ಯಾಸ್‌ನಲ್ಲಿ, ನಮ್ಮ ಗ್ರಾಹಕರು ಎಂಬುದನ್ನು ನಾವು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಂಡಿದ್ದೇವೆ ಅರೆವಾಹಕ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳು "ಫೈವ್ ನೈನ್" (99.999%) ಅಥವಾ "ಸಿಕ್ಸ್ ನೈನ್" (99.9999%) ಶುದ್ಧತೆಯ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಪೂರೈಸುವ ಅಥವಾ ಮೀರುವ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ನಮ್ಮ ಮೇಲೆ ಅವಲಂಬಿತವಾಗಿದೆ. ಇದರರ್ಥ ಯಾವುದೇ ಅಶುದ್ಧತೆ ಪಾರ್ಟ್ಸ್ ಪರ್ ಮಿಲಿಯನ್ (ಪಿಪಿಎಂ) ಅಥವಾ ಪಾರ್ಟ್ಸ್ ಪರ್ ಬಿಲಿಯನ್ (ಪಿಪಿಬಿ) ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಸಾಂದ್ರತೆಗಳಲ್ಲಿ ಇರಬೇಕು. ಅಂತಹದನ್ನು ಸಾಧಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಪರಿಶೀಲಿಸುವುದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ ಮಟ್ಟಗಳು ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಅಗತ್ಯವಿದೆ ಶುದ್ಧೀಕರಣ ತಂತ್ರಗಳು ಮತ್ತು, ಮುಖ್ಯವಾಗಿ, ಮುಂದುವರಿದ ಅಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ವಿಧಾನಗಳು. ಅನಿರೀಕ್ಷಿತ ಉಪಸ್ಥಿತಿ ಅಶುದ್ಧತೆ ಜೊತೆಗೆ ಸಮಸ್ಯೆಗಳನ್ನು ಸೂಚಿಸಬಹುದು ಅನಿಲ ಸಿಲಿಂಡರ್ಗಳು ಅಥವಾ ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿ, ಸ್ಥಿರ ಗುಣಮಟ್ಟದ ತಪಾಸಣೆಗಳನ್ನು ಪ್ರಮುಖವಾಗಿಸುತ್ತದೆ. ನಾವು ನಮ್ಮ ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತೇವೆ ಸಾರಜನಕ ಸಿಲಿಂಡರ್ ಕೊಡುಗೆಗಳು, ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಈ ನಿಖರವಾದ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತವೆ, ಏಕೆಂದರೆ ಅನೇಕ ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ಸಾರಜನಕವು ವರ್ಕ್‌ಹಾರ್ಸ್ ಅನಿಲವಾಗಿದೆ.

ಮೈಕ್ರೋಸ್ಕೋಪಿಕ್ ಟ್ರೇಸ್ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ರೊಡಕ್ಷನ್ ಲೈನ್‌ಗಳನ್ನು ಹಳಿತಪ್ಪಿಸುವುದು ಹೇಗೆ?

ಇದು ಎಷ್ಟು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದೆ ಎಂಬುದನ್ನು ಊಹಿಸಲು ಕೆಲವೊಮ್ಮೆ ಕಷ್ಟವಾಗುತ್ತದೆ, ಎ ಅಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಿ ಪ್ರತಿ ಶತಕೋಟಿಗೆ ಭಾಗಗಳಲ್ಲಿ (ppb) ಅಥವಾ ಟ್ರಿಲಿಯನ್‌ಗೆ ಭಾಗಗಳಲ್ಲಿ (ppt) ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ, ಅಂತಹ ಗಮನಾರ್ಹ ಸಮಸ್ಯೆಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು. ಆದರೆ ಜಗತ್ತಿನಲ್ಲಿ ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆ, ಈ ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು ಪ್ರಮುಖ ಖಳನಾಯಕರಾಗಿದ್ದಾರೆ. ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸೋಣ: ಇದು ಡಜನ್, ಕೆಲವೊಮ್ಮೆ ನೂರಾರು, ಠೇವಣಿ (ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ಹಾಕುವುದು), ಎಚ್ಚಣೆ (ವಸ್ತುವನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುವುದು) ಮತ್ತು ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಕೆ (ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪರಮಾಣುಗಳನ್ನು ಸೇರಿಸುವುದು) ನಂತಹ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಹಂತಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ. ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಹಂತವು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿತ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪರಿಸರದ ಮೇಲೆ ಅವಲಂಬಿತವಾಗಿದೆ, ಇದನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ರಚಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಅಥವಾ ನಿರ್ವಹಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು. ಒಂದು ವೇಳೆ ಎ ಬಳಸಿದ ಅನಿಲ ಈ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದರಲ್ಲಿ ಅನಗತ್ಯವನ್ನು ಒಯ್ಯುತ್ತದೆ ಅಶುದ್ಧತೆ, ಅದು ಅಶುದ್ಧತೆ ನ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಪದರಗಳಲ್ಲಿ ಸೇರಿಸಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನ.

ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಸೋಡಿಯಂ, ಕಬ್ಬಿಣ, ಅಥವಾ ತಾಮ್ರದಂತಹ, ಅತಿ ಕಡಿಮೆ ಸಾಂದ್ರತೆಗಳಲ್ಲಿಯೂ ಸಹ, ಸಿಲಿಕಾನ್ನ ವಿದ್ಯುತ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ತೀವ್ರವಾಗಿ ಬದಲಾಯಿಸಬಹುದು. ಅವರು ಅನಗತ್ಯ ವಾಹಕ ಮಾರ್ಗಗಳನ್ನು ರಚಿಸಬಹುದು, ಶಾರ್ಟ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು ಅಥವಾ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳ ಹರಿವನ್ನು ತಡೆಯುವ "ಬಲೆಗಳು" ಆಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಬಹುದು, ಸಾಧನವನ್ನು ನಿಧಾನಗೊಳಿಸಬಹುದು ಅಥವಾ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ವಿಫಲಗೊಳ್ಳಬಹುದು. ಎ ಅಶುದ್ಧತೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಹಂತದಲ್ಲಿ ಉದ್ದೇಶಿಸಲಾದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಹ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪ ಮಾಡಬಹುದು. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಎ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕ ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲದಲ್ಲಿ ಕಡಿಮೆ-ಕೆತ್ತನೆ ಅಥವಾ ಅತಿ-ಕೆಚ್ಚುವಿಕೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ವೇಫರ್‌ನಲ್ಲಿ ನಿಖರವಾದ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ಹಾಳುಮಾಡುತ್ತದೆ. ಪರಿಣಾಮವು ಕೇವಲ ವೈಯಕ್ತಿಕ ಚಿಪ್‌ಗಳ ಮೇಲೆ ಅಲ್ಲ; ಒಂದು ಪತ್ತೆಯಾಗಿಲ್ಲ ಅಶುದ್ಧತೆ ಸಮಸ್ಯೆಯು ವೇಫರ್‌ಗಳ ಸಂಪೂರ್ಣ ಬ್ಯಾಚ್‌ಗಳನ್ನು ಸ್ಕ್ರ್ಯಾಪ್ ಮಾಡಲು ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಮಿಲಿಯನ್‌ಗಟ್ಟಲೆ ಡಾಲರ್ ನಷ್ಟಗಳು, ಉತ್ಪಾದನೆ ವಿಳಂಬಗಳು ಮತ್ತು ಮಾರ್ಕ್ ಶೆನ್‌ನಂತಹ ಖರೀದಿ ಅಧಿಕಾರಿಗಳಿಗೆ ತಲೆನೋವು ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ, ಅವರು ಗುಣಮಟ್ಟದ ವಸ್ತುಗಳ ಸ್ಥಿರ ಪೂರೈಕೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಬೇಕು. ಇದು ದೃಢತೆಯ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅಗತ್ಯವನ್ನು ಎತ್ತಿ ತೋರಿಸುತ್ತದೆ ಕಲ್ಮಶಗಳ ಮಾಪನವನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಿ.

ಸವಾಲು ಎಂದರೆ ಯಾವುದೇ "ಸ್ವೀಕಾರಾರ್ಹ" ಮಟ್ಟ ಅಶುದ್ಧತೆ ಎಂದು ಕುಗ್ಗುತ್ತಲೇ ಇರುತ್ತದೆ ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನದ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು ಚಿಕ್ಕದಾಗುತ್ತವೆ. ಯಾವುದನ್ನು ಸ್ವೀಕಾರಾರ್ಹವೆಂದು ಪರಿಗಣಿಸಲಾಗಿದೆ ಅಶುದ್ಧತೆ ಒಂದು ದಶಕದ ಹಿಂದಿನ ಮಟ್ಟವು ದುರಂತವಾಗಬಹುದು ಮಾಲಿನ್ಯ ಇಂದು. ಮಿನಿಯೇಟರೈಸೇಶನ್‌ಗಾಗಿ ಈ ಪಟ್ಟುಬಿಡದ ಡ್ರೈವ್ ಸುಧಾರಿಸಲು ಅನಿಲ ತಯಾರಕರು ಮತ್ತು ವಿಶ್ಲೇಷಣಾತ್ಮಕ ಪ್ರಯೋಗಾಲಯಗಳ ಮೇಲೆ ಅಗಾಧವಾದ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಹಾಕುತ್ತದೆ. ಪತ್ತೆ ಮಿತಿ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳು. ಸಹ ಕಣಗಳು ಕಲ್ಮಶಗಳು, ಬರಿಗಣ್ಣಿಗೆ ಕಾಣದ ಸಣ್ಣ ಧೂಳಿನ ಚುಕ್ಕೆಗಳು, ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ಬೆಳಕನ್ನು ನಿರ್ಬಂಧಿಸಬಹುದು ಅಥವಾ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಭೌತಿಕ ದೋಷಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು. ಆದ್ದರಿಂದ, ಪ್ರತಿ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವುದು ಅಶುದ್ಧತೆ - ಅನಿಲ, ಲೋಹೀಯ, ಅಥವಾ ಕಣಗಳು - ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. ದಿ ಕಲ್ಮಶಗಳ ಶ್ರೇಣಿ ಇದು ಸಮಸ್ಯೆಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ಇದು ವ್ಯಾಪಕವಾದ ಅಗತ್ಯವನ್ನು ಒತ್ತಿಹೇಳುತ್ತದೆ ಅನಿಲ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ.

ಅತ್ಯಂತ ಸಾಮಾನ್ಯವಾದ ಟ್ರಬಲ್ಮೇಕರ್ಗಳು ಯಾವುವು? ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ಗಾಗಿ ಅನಿಲಗಳಲ್ಲಿನ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಗುರುತಿಸುವುದು.

ನಾವು ಮಾತನಾಡುವಾಗ ಅನಿಲಗಳಲ್ಲಿನ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಗಾಗಿ ಉದ್ದೇಶಿಸಲಾಗಿದೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವಲಯದಲ್ಲಿ, ನಾವು ವೈವಿಧ್ಯಮಯ ಪಾತ್ರಗಳನ್ನು ನೋಡುತ್ತಿದ್ದೇವೆ, ಪ್ರತಿಯೊಂದೂ ಗಮನಾರ್ಹ ಹಾನಿಯನ್ನುಂಟುಮಾಡುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಇವುಗಳು ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಕಂಡುಹಿಡಿಯಬೇಕು ವಿಶಾಲವಾಗಿ ಅನಿಲ, ಲೋಹೀಯ ಮತ್ತು ಕಣಗಳ ರೂಪಗಳಾಗಿ ವರ್ಗೀಕರಿಸಬಹುದು. ಈ ಸಾಮಾನ್ಯ ತೊಂದರೆ ಕೊಡುವವರನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾದ ಮೊದಲ ಹಂತವಾಗಿದೆ ಅಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಣ. ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಇರುತ್ತವೆ ಅನಿಲ ಸ್ವತಃ, ಅದರ ಉತ್ಪಾದನಾ ವಿಧಾನ, ಸಂಗ್ರಹಣೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿ ಬದಲಾಗಬಹುದು.

ಅನಿಲರೂಪದ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಮುಖ್ಯವಾದ ಇತರ ಅನಿಲಗಳು ವಿಶೇಷ ಅನಿಲ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಇನ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ ಸಾರಜನಕ, ಸಾಮಾನ್ಯ ಅನಿಲ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಆಮ್ಲಜನಕ (O₂), ತೇವಾಂಶ (H₂O), ಕಾರ್ಬನ್ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್ (CO₂), ಕಾರ್ಬನ್ ಮಾನಾಕ್ಸೈಡ್ (CO), ಮತ್ತು ಹೈಡ್ರೋಕಾರ್ಬನ್ಗಳು (CHₓ) ಒಳಗೊಂಡಿರಬಹುದು. ಆಮ್ಲಜನಕ ಮತ್ತು ತೇವಾಂಶವು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸಮಸ್ಯಾತ್ಮಕವಾಗಿದೆ ಏಕೆಂದರೆ ಅವುಗಳು ಹೆಚ್ಚು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕವಾಗಿರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಅನಪೇಕ್ಷಿತ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳು ಅಥವಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಉಪಕರಣಗಳು. ಒಂದು ನಲ್ಲಿ ಸಹ ಜಡ ಅನಿಲ ಇಷ್ಟ ಆರ್ಗಾನ್, ಇವುಗಳು ಜಾಡಿನ ಮಟ್ಟದಲ್ಲಿರಬಹುದು. ಕಂಪನಿಯಾಗಿ, ನಾವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಒಂದು ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಗಾಗಿ ವಿನಂತಿಗಳನ್ನು ನೋಡುತ್ತೇವೆ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಕಲ್ಮಶಗಳು, ಈ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಜಾತಿಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ನಮ್ಮ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳಲ್ಲಿ ಸಂಕೀರ್ಣವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುವುದು ಸೇರಿದೆ ಗ್ಯಾಸ್ಮಿಕ್ಸ್ಚರ್ ಸಂಭಾವ್ಯ ಅನಿಲ ಸೇರಿದಂತೆ ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಘಟಕವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು ಕಲ್ಮಶಗಳು, ಅತ್ಯುನ್ನತವಾಗಿದೆ.

ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಮತ್ತೊಂದು ಪ್ರಮುಖ ಕಾಳಜಿ. ಇವು ಸೋಡಿಯಂ (Na), ಪೊಟ್ಯಾಸಿಯಮ್ (K), ಕ್ಯಾಲ್ಸಿಯಂ (Ca), ಕಬ್ಬಿಣ (Fe), ತಾಮ್ರ (Cu), ನಿಕಲ್ (Ni), ಕ್ರೋಮಿಯಂ (Cr), ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ (Al) ನಂತಹ ಲೋಹಗಳ ಪರಮಾಣುಗಳಾಗಿವೆ. ಅವು ಕಚ್ಚಾ ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು, ಉತ್ಪಾದನಾ ಉಪಕರಣಗಳಿಂದ (ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ರಿಯಾಕ್ಟರ್‌ಗಳಂತಹವು) ಅಥವಾ ಸಹ ಹುಟ್ಟಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು ಅನಿಲ ಸಿಲಿಂಡರ್ಗಳು ಸರಿಯಾಗಿ ಚಿಕಿತ್ಸೆ ನೀಡದಿದ್ದರೆ ತಾವೇ. ಹೇಳಿದಂತೆ, ಇವು ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳು ನ ವಿದ್ಯುತ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ತೀವ್ರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಬಹುದು ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳು. ppb ಅಥವಾ ppt ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ಇವುಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ಇಂಡಕ್ಟಿವ್ಲಿ ಕಪಲ್ಡ್ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಮಾಸ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರೋಮೆಟ್ರಿಯಂತಹ ಹೆಚ್ಚು ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾದ ವಿಶ್ಲೇಷಣಾತ್ಮಕ ತಂತ್ರಗಳ ಅಗತ್ಯವಿದೆ (ICP-MS) ನಾವು ಕೂಡ ಪರಿಗಣಿಸಬೇಕಾಗಿದೆ ಕಣಗಳು ವಿಷಯ. ಇವುಗಳಲ್ಲಿ ಅಮಾನತುಗೊಂಡಿರುವ ಸಣ್ಣ ಘನ ಅಥವಾ ದ್ರವ ಕಣಗಳಾಗಿವೆ ಅನಿಲ ಹರಿವು. ಅವರು ಬಿಲ್ಲೆಗಳ ಮೇಲೆ ಭೌತಿಕ ದೋಷಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು, ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ನಳಿಕೆಗಳನ್ನು ನಿರ್ಬಂಧಿಸಬಹುದು ಅಥವಾ ಇತರವನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಬಹುದು ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು. ಕಣಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಶೋಧನೆಯು ಪ್ರಮುಖವಾಗಿದೆ, ಆದರೆ ಅವುಗಳ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡುವುದು ಸಹ ಸಮಗ್ರತೆಯ ಭಾಗವಾಗಿದೆ ಅನಿಲ ಗುಣಮಟ್ಟ ಕಾರ್ಯಕ್ರಮ. ಕೆಲವು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು ಕೂಡ ಇವೆ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳು ಅಥವಾ ವಿಷಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳು, ಇದು ಅವರ ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಗೆ ಸಂಕೀರ್ಣತೆಯ ಮತ್ತೊಂದು ಪದರವನ್ನು ಸೇರಿಸುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ ಅಶುದ್ಧತೆ ಪ್ರೊಫೈಲ್ ಈ ಅಪಾಯಗಳನ್ನು ಉಲ್ಬಣಗೊಳಿಸುವುದಿಲ್ಲ.

ICP-MS: ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಅನಿಲಗಳಲ್ಲಿನ ಲೋಹೀಯ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ಚಿನ್ನದ ಮಾನದಂಡ?

ಇದು ಬಂದಾಗ ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ಒಳಗೆ ಅತಿ ಹೆಚ್ಚು ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲಗಳು, ಇಂಡಕ್ಟಿವ್ಲಿ ಕಪಲ್ಡ್ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಮಾಸ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರೋಮೆಟ್ರಿ, ಅಥವಾ ICP-MS, ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಪ್ರಮುಖ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವೆಂದು ಪರಿಗಣಿಸಲಾಗಿದೆ. ಇದು ಪ್ರಬಲವಾದ ವಿಶ್ಲೇಷಣಾತ್ಮಕ ತಂತ್ರವಾಗಿದ್ದು ಅದು ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಬಹುದು ಮತ್ತು ಪ್ರಮಾಣೀಕರಿಸಬಹುದು ಧಾತುರೂಪದ ಕಲ್ಮಶಗಳು, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಆಶ್ಚರ್ಯಕರವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಟ್ಟಕ್ಕೆ - ಕೆಲವು ಅಂಶಗಳಿಗೆ ಭಾಗಗಳು-ಪ್ರತಿ ಟ್ರಿಲಿಯನ್ (ppt) ಅಥವಾ ಭಾಗಗಳು-ಪ್ರತಿ ಕ್ವಾಡ್ರಿಲಿಯನ್ (ppq) ಎಂದು ಯೋಚಿಸಿ. ಈ ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆಯು ನಿಖರವಾಗಿ ಏಕೆ ICP-MS ಗೆ ತುಂಬಾ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮ, ಅಲ್ಲಿ, ನಾವು ಚರ್ಚಿಸಿದಂತೆ, ಸಹ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಕುರುಹುಗಳು ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಗೆ ಹಾನಿಕರವಾಗಬಹುದು ಉತ್ಪನ್ನ ಗುಣಮಟ್ಟ.

ಹೇಗೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ICP-MS ಅದರ ಮ್ಯಾಜಿಕ್ ಕೆಲಸ ಮಾಡುವುದೇ? ಸರಳ ಪದಗಳಲ್ಲಿ, ದಿ ಮಾದರಿ ಅನಿಲ (ಅಥವಾ ಅನಿಲದಿಂದ ಪಡೆದ ದ್ರಾವಣ) ಅತ್ಯಂತ ಬಿಸಿಯಾದ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದಲ್ಲಿ ಪರಿಚಯಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ, ಇದನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಆರ್ಗಾನ್. ಈ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ, 6,000 ರಿಂದ 10,000 ° C ತಾಪಮಾನವನ್ನು ತಲುಪುತ್ತದೆ, ಅನಿಲ ಅಣುಗಳನ್ನು ಒಡೆಯಲು ಮತ್ತು ಯಾವುದೇ ಪರಮಾಣುಗಳನ್ನು ಅಯಾನೀಕರಿಸಲು ಸಾಕಷ್ಟು ಶಕ್ತಿಯುತವಾಗಿದೆ. ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳು. ಈ ಅಯಾನುಗಳನ್ನು ನಂತರ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದಿಂದ ಹೊರತೆಗೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಮಾಸ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರೋಮೀಟರ್‌ಗೆ ಮಾರ್ಗದರ್ಶನ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಮಾಸ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರೋಮೀಟರ್ ಬಹಳ ನಿಖರವಾದ ಫಿಲ್ಟರ್‌ನಂತೆ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ಅಯಾನುಗಳನ್ನು ಅವುಗಳ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ-ಚಾರ್ಜ್ ಅನುಪಾತದ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ಪ್ರತ್ಯೇಕಿಸುತ್ತದೆ. ಎ ಪತ್ತೆಕಾರಕ ನಂತರ ಪ್ರತಿ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿಗೆ ಅಯಾನುಗಳನ್ನು ಎಣಿಕೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಯಾವ ಅಂಶಗಳು ಇರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಯಾವ ಪ್ರಮಾಣದಲ್ಲಿವೆ ಎಂಬುದನ್ನು ಗುರುತಿಸಲು ನಮಗೆ ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ. ನ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ ICP-MS ವಿಶಾಲ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯನ್ನು ಸ್ಕ್ಯಾನ್ ಮಾಡಲು ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳಲ್ಲಿ ಲೋಹೀಯ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಏಕಕಾಲದಲ್ಲಿ ಅದನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಹಾಗೆಯೇ ICP-MS ವಿಸ್ಮಯಕಾರಿಯಾಗಿ ಶಕ್ತಿಯುತವಾಗಿದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ವ್ಯವಹರಿಸುವಾಗ ಅದರ ಸವಾಲುಗಳಿಲ್ಲದೆ ಅಲ್ಲ ಅರೆವಾಹಕದಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಅನಿಲಗಳು ತಯಾರಿಕೆ. ಒಂದು ಸಾಮಾನ್ಯ ವಿಧಾನವೆಂದರೆ ಬಲೆಗೆ ಬೀಳುವುದು ಕಲ್ಮಶಗಳು ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಅನಿಲದಿಂದ ಸಂಗ್ರಹ ಮಾಧ್ಯಮಕ್ಕೆ ಅಥವಾ ದ್ರವಕ್ಕೆ, ನಂತರ ಅದನ್ನು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ICP-MS. ಆದಾಗ್ಯೂ, ನೇರ ನೇರ ಅನಿಲ ಇಂಜೆಕ್ಷನ್ ಒಳಗೆ ICP-MS ವಿಶೇಷವಾದ ಇಂಟರ್‌ಫೇಸ್‌ಗಳ ಅಗತ್ಯವಿದ್ದರೂ, ಕೆಲವು ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಿಗೆ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಹೆಚ್ಚು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗುತ್ತಿದೆ. ವಿಧಾನದ ಆಯ್ಕೆಯು ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆಯನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆ ಅನಿಲ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಆಸಕ್ತಿ, ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್ ಅನಿಲ, ಮತ್ತು ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಪತ್ತೆ ಮಿತಿ. ಹುವಾಝೋಂಗ್ ಗ್ಯಾಸ್‌ನಲ್ಲಿ, ನಾವು ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ವಿಶ್ಲೇಷಣಾತ್ಮಕ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚು ಹೂಡಿಕೆ ಮಾಡುತ್ತೇವೆ. ICP-MS ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳು, ಏಕೆಂದರೆ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಒದಗಿಸುವುದು ನಮಗೆ ತಿಳಿದಿದೆ ಅಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ನಮ್ಮ ಗ್ರಾಹಕರು ನಮ್ಮ ಮೇಲೆ ಇಟ್ಟಿರುವ ನಂಬಿಕೆಗೆ ಡೇಟಾ ಮೂಲಭೂತವಾಗಿದೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲಗಳು. ನ ನಿಖರತೆ ICP-MS ಎಂಬುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಅನಿಲಗಳ ಶುದ್ಧತೆ ಕಠಿಣ ಬೇಡಿಕೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ದರ್ಜೆಯ ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು.

ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಇಂಡಸ್ಟ್ರಿಗಳಿಗೆ ಅನಿಯಮಿತ ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆ ಏಕೆ ನೆಗೋಶಬಲ್ ಅಲ್ಲ?

ಅಚಲವಾದ ಅಗತ್ಯ ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆ ರಲ್ಲಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮಗಳು ಕೇವಲ ಆದ್ಯತೆ ಅಲ್ಲ; ಇದು ಆಧುನಿಕ ಸಾಧನ ತಯಾರಿಕೆಯ ಭೌತಶಾಸ್ತ್ರ ಮತ್ತು ಅರ್ಥಶಾಸ್ತ್ರದಿಂದ ನಡೆಸಲ್ಪಡುವ ಮೂಲಭೂತ ಅವಶ್ಯಕತೆಯಾಗಿದೆ. ಅಂತೆ ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನದ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್ ಸ್ಕೇಲ್‌ಗೆ ಕುಗ್ಗುತ್ತವೆ, ಯಾವುದೇ ರೂಪಕ್ಕೆ ಅವುಗಳ ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆ ಮಾಲಿನ್ಯ ಗಗನಕುಸುಮಗಳು. ಎ ಅಶುದ್ಧತೆ ಹಳೆಯದಾದ, ದೊಡ್ಡ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಅತ್ಯಲ್ಪವಾಗಿರಬಹುದು, ಈಗ ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಚಿಪ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ದುರಂತ ವೈಫಲ್ಯಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು. ಇದು ಇಳುವರಿಯನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ - ಪ್ರತಿ ವೇಫರ್‌ಗೆ ಉತ್ತಮ ಚಿಪ್‌ಗಳ ಶೇಕಡಾವಾರು - ಮತ್ತು ಇಳುವರಿಯಲ್ಲಿನ ಸಣ್ಣ ಕುಸಿತವು ಲಕ್ಷಾಂತರ ಡಾಲರ್‌ಗಳ ಆದಾಯವನ್ನು ಕಳೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಕ.

ಆಧುನಿಕ ಮೈಕ್ರೊಪ್ರೊಸೆಸರ್ ಅಥವಾ ಮೆಮೊರಿ ಚಿಪ್ನ ಸಂಕೀರ್ಣ ವಾಸ್ತುಶಿಲ್ಪದ ಬಗ್ಗೆ ಯೋಚಿಸಿ. ಇದು ಶತಕೋಟಿ ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ, ಪ್ರತಿಯೊಂದೂ ಮಿನಿಯೇಚರ್ ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್‌ನ ಅದ್ಭುತವಾಗಿದೆ. ಈ ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್‌ಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯು ನಿಖರವಾದ ವಿದ್ಯುತ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆ ಅರೆವಾಹಕ ಬಳಸಿದ ವಸ್ತುಗಳು, ಪ್ರತಿಯಾಗಿ, ಹೆಚ್ಚು ಒಳಗಾಗುತ್ತವೆ ಕಲ್ಮಶಗಳು. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ನಿಶ್ಚಿತ ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬ್ಯಾಂಡ್ ಅಂತರದೊಳಗೆ ಅನಗತ್ಯ ಶಕ್ತಿಯ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಬಹುದು, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿದ ಸೋರಿಕೆ ಪ್ರಸ್ತುತ ಅಥವಾ ಕಡಿಮೆ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಚಲನಶೀಲತೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಇದರರ್ಥ ನಿಧಾನ, ಕಡಿಮೆ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಅಥವಾ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸದ ಸಾಧನಗಳು. ಅನಿಲರೂಪದ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಆಮ್ಲಜನಕ ಅಥವಾ ತೇವಾಂಶವು ಅನಪೇಕ್ಷಿತ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಪದರಗಳ ರಚನೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪವನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಬಹುದು ಅಥವಾ ಸಾಧನದ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗೆ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಬಹುದು. ಒಟ್ಟಾರೆ ಅನಿಲ ಗುಣಮಟ್ಟ ನೇರವಾಗಿ ಅನುವಾದಿಸುತ್ತದೆ ಉತ್ಪನ್ನ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ.

ಇದಲ್ಲದೆ, ದಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮಗಳು ಹೆಚ್ಚು ಸಂಕೀರ್ಣ ಮತ್ತು ದುಬಾರಿ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಂದ ನಿರೂಪಿಸಲಾಗಿದೆ. ಒಂದೇ ಅರೆವಾಹಕ ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್ ಪ್ಲಾಂಟ್ ("ಫ್ಯಾಬ್") ನಿರ್ಮಿಸಲು ಮತ್ತು ಸಜ್ಜುಗೊಳಿಸಲು ಶತಕೋಟಿ ಡಾಲರ್‌ಗಳನ್ನು ವೆಚ್ಚ ಮಾಡಬಹುದು. ದಿ ಬಳಸಿದ ಅನಿಲಗಳು ಈ ಅನೇಕ ದುಬಾರಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಹಂತಗಳಿಗೆ ಅವಿಭಾಜ್ಯವಾಗಿದೆ. ಒಂದು ವೇಳೆ ಎ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲ ಒಂದು ಜೊತೆ ಕಲುಷಿತಗೊಂಡಿದೆ ಅಶುದ್ಧತೆ, ಇದು ಪ್ರಸ್ತುತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೊಳಿಸುತ್ತಿರುವ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವುದಿಲ್ಲ; ಇದು ದುಬಾರಿ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಾಧನವನ್ನು ಕಲುಷಿತಗೊಳಿಸಬಹುದು. ಇದು ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಅರ್ಹತೆಗಾಗಿ ವಿಸ್ತೃತ ಡೌನ್‌ಟೈಮ್‌ಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ವೆಚ್ಚಗಳಿಗೆ ಮತ್ತಷ್ಟು ಸೇರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ವೇಳಾಪಟ್ಟಿಯನ್ನು ಅಡ್ಡಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ - ಮಾರ್ಕ್ ಶೆನ್ ಅವರಂತಹವರಿಗೆ ಪ್ರಮುಖ ನೋವು ಬಿಂದುವಾಗಿದೆ, ಅವರು ತಮ್ಮ ಗ್ರಾಹಕರ ಬೇಡಿಕೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಸಮಯೋಚಿತ ವಿತರಣೆಯನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿದ್ದಾರೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳ ಶುದ್ಧತೆ ಕಠಿಣ ಮೂಲಕ ಅಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ಸಂಪೂರ್ಣ ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿಗೆ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅಪಾಯ ತಗ್ಗಿಸುವ ತಂತ್ರವಾಗಿದೆ. ಗಮನ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲಗಳು ಹಕ್ಕನ್ನು ನಂಬಲಾಗದಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚು ಏಕೆಂದರೆ ಪಟ್ಟುಬಿಡದ ಆಗಿದೆ.

ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳಲ್ಲಿನ ಲೋಹೀಯ ಕಲ್ಮಶಗಳ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಯಲ್ಲಿ ನಾವು ಯಾವ ಪ್ರಮುಖ ಸವಾಲುಗಳನ್ನು ಎದುರಿಸುತ್ತೇವೆ?

ವಿಶ್ಲೇಷಿಸಲಾಗುತ್ತಿದೆ ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಒಳಗೆ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಇದರಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗಿದೆ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮವು ಒಂದು ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ ಸವಾಲುಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಪ್ರಾಥಮಿಕ ತೊಂದರೆಯು ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಸಾಂದ್ರತೆಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಸಮಸ್ಯಾತ್ಮಕವಾಗಿರಬಹುದು - ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಭಾಗಗಳು-ಪ್ರತಿ-ಬಿಲಿಯನ್ (ppb) ಅಥವಾ ಭಾಗಗಳು-ಪ್ರತಿ-ಟ್ರಿಲಿಯನ್ (ppt) ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ. ಅಂತಹ ನಿಮಿಷದ ಮೊತ್ತವನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ಮತ್ತು ನಿಖರವಾಗಿ ಪ್ರಮಾಣೀಕರಿಸಲು ಹೆಚ್ಚು ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾದ ವಿಶ್ಲೇಷಣಾತ್ಮಕ ಸಾಧನಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ ICP-MS ಆದರೆ ಅಸಾಧಾರಣವಾಗಿ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವ an_alytical ಪರಿಸರಗಳು ಮತ್ತು ಬಾಹ್ಯವನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸುವುದನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ನಿಖರವಾದ ಮಾದರಿ ನಿರ್ವಹಣೆ ಪ್ರೋಟೋಕಾಲ್ಗಳು ಮಾಲಿನ್ಯ.

ಒಂದು ಪ್ರಮುಖ ಸವಾಲು ಮಾದರಿ ಪರಿಚಯವಾಗಿದೆ. ಅನೇಕ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಒಳಗೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಹೆಚ್ಚು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ, ನಾಶಕಾರಿ, ಅಥವಾ ಪೈರೋಫೊರಿಕ್ (ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿ ಸ್ವಯಂಪ್ರೇರಿತವಾಗಿ ಬೆಂಕಿಹೊತ್ತಿಸುವಿಕೆ). ಇವುಗಳನ್ನು ಸುರಕ್ಷಿತವಾಗಿ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ವರ್ಗಾಯಿಸುವುದು ಅನಿಲಗಳು ಒಂದು ರೀತಿಯ ವಿಶ್ಲೇಷಣಾತ್ಮಕ ಸಾಧನವಾಗಿ ICP-MS ಬದಲಾಯಿಸದೆ ಮಾದರಿ ಅನಿಲ ಅಥವಾ ಉಪಕರಣವನ್ನು ಕಲುಷಿತಗೊಳಿಸುವುದಕ್ಕೆ ವಿಶೇಷವಾದ ಇಂಟರ್‌ಫೇಸ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆಯ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನಗಳ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ನೇರವಾಗಿ ಇಂಜೆಕ್ಷನ್ ಎ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಕ್ಲೋರೈಡ್ (HCl) ನಂತೆ ಪ್ರಮಾಣಿತವಾಗಿ ICP-MS ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಅದನ್ನು ತೀವ್ರವಾಗಿ ಹಾನಿಗೊಳಿಸಬಹುದು. ಆದ್ದರಿಂದ, ಇಂಪಿಂಗರ್ ಟ್ರ್ಯಾಪಿಂಗ್‌ನಂತಹ ಪರೋಕ್ಷ ವಿಧಾನಗಳು (ವಶಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ದ್ರವದ ಮೂಲಕ ಅನಿಲವನ್ನು ಬಬ್ಲಿಂಗ್ ಮಾಡುವುದು ಕಲ್ಮಶಗಳು) ಅಥವಾ ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ಟ್ರ್ಯಾಪಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಬಳಸಿಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಈ ವಿಧಾನಗಳು ತಮ್ಮದೇ ಆದ ಸಂಭಾವ್ಯ ಮೂಲಗಳನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಬಹುದು ಮಾಲಿನ್ಯ ಅಥವಾ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸದಿದ್ದಲ್ಲಿ ನಷ್ಟವನ್ನು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸಿ. ನ ಆಯ್ಕೆ ವಾಹಕ ಅನಿಲ ದುರ್ಬಲಗೊಳಿಸುವಿಕೆಗಾಗಿ, ಅಗತ್ಯವಿದ್ದರೆ, ನಿಷ್ಪಾಪವಾಗಿರಬೇಕು ಶುದ್ಧತೆ.

ಮತ್ತೊಂದು ಸವಾಲು "ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್ ಪರಿಣಾಮ." ಬೃಹತ್ ಅನಿಲ ಸ್ವತಃ (ಉದಾ., ಆರ್ಗಾನ್, ಸಾರಜನಕ, ಹೈಡ್ರೋಜನ್) ಪತ್ತೆಗೆ ಅಡ್ಡಿಪಡಿಸಬಹುದು ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಿ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಇನ್ ICP-MS, ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಬೃಹತ್ ಪ್ರಮಾಣದಲ್ಲಿ ರೂಪುಗೊಂಡಿತು ಅನಿಲ ಕೆಲವು ಗುರಿಯಂತೆಯೇ ಅದೇ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ-ಚಾರ್ಜ್ ಅನುಪಾತವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪಾಲಿಟಾಮಿಕ್ ಅಯಾನುಗಳನ್ನು ರಚಿಸಬಹುದು ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳು, ತಪ್ಪು ಧನಾತ್ಮಕ ಅಥವಾ ನಿಖರವಾದ ಪ್ರಮಾಣೀಕರಣಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ವಿಶ್ಲೇಷಕರು ಘರ್ಷಣೆ/ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಕೋಶಗಳಂತಹ ತಂತ್ರಗಳನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು ICP-MS ಅಥವಾ ಈ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರಲ್ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪಗಳನ್ನು ಜಯಿಸಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಮಾಸ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರೋಮೆಟ್ರಿ. ಇದಲ್ಲದೆ, ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯದ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಪ್ರಮಾಣೀಕರಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಅತ್ಯಂತ ನಿಖರ ಮತ್ತು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಬಹುದಾದಂತಿರಬೇಕು, ಮತ್ತು ಸಂಪೂರ್ಣ ವಿಶ್ಲೇಷಣಾತ್ಮಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಮೌಲ್ಯೀಕರಿಸಬೇಕು ಅಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ಫಲಿತಾಂಶಗಳು. ನಾವು, ಪೂರೈಕೆದಾರರಾಗಿ, ಸಮಗ್ರತೆಯ ಬಗ್ಗೆ ಚಿಂತಿಸುತ್ತೇವೆ ಅನಿಲ ಸಿಲಿಂಡರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಕೊಡುಗೆ ನೀಡುವ ಅವರ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಕಾಲಾನಂತರದಲ್ಲಿ, ಇದು ನಡೆಯುತ್ತಿರುವ ಗುಣಮಟ್ಟದ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ.

ಗ್ಯಾಸ್ ಎಕ್ಸ್‌ಚೇಂಜ್ ಸಾಧನವನ್ನು ಬಳಸುವುದರಿಂದ ಜಾಡಿನ ಕಲ್ಮಶಗಳ ಮಾಪನದ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಬಹುದೇ?

ಹೌದು, ಅನಿಲ ವಿನಿಮಯ ಸಾಧನವನ್ನು ಬಳಸುವುದು ನ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವಲ್ಲಿ ನಿಜಕ್ಕೂ ಮಹತ್ವದ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸಬಹುದು ಕಲ್ಮಶಗಳ ಮಾಪನವನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಿ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸವಾಲಿನ ಜೊತೆ ವ್ಯವಹರಿಸುವಾಗ ಅನಿಲ ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್ ಅಥವಾ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಲೋಗಾಗಿ ಗುರಿಯಿಟ್ಟುಕೊಂಡಾಗ ಪತ್ತೆ ಮಿತಿಗಳು. ಎ ಅನಿಲ ವಿನಿಮಯ ಸಾಧನ, ಕೆಲವೊಮ್ಮೆ ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್ ಎಲಿಮಿನೇಷನ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಎಂದು ಉಲ್ಲೇಖಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಮೂಲಭೂತವಾಗಿ ಆಯ್ದ ಬೃಹತ್ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುವ ಮೂಲಕ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ ಅನಿಲ (ನ ಮುಖ್ಯ ಅಂಶ ಮಾದರಿ ಅನಿಲ) ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುವಾಗ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಿ ಆಸಕ್ತಿಯ. ಈ ಪೂರ್ವ ಏಕಾಗ್ರತೆಯ ಹಂತವು ನಂತರದ ವಿಶ್ಲೇಷಣಾತ್ಮಕ ತಂತ್ರಗಳ ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆಯನ್ನು ನಾಟಕೀಯವಾಗಿ ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ ICP-MS ಅಥವಾ ಗ್ಯಾಸ್ ಕ್ರೊಮ್ಯಾಟೋಗ್ರಾಫ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು.

ಹಲವರ ಹಿಂದಿನ ತತ್ವ ಅನಿಲ ವಿನಿಮಯ ಸಾಧನಗಳು ಅರೆ-ಪ್ರವೇಶಸಾಧ್ಯ ಮೆಂಬರೇನ್ ಅಥವಾ ಆಯ್ದ ಹೊರಹೀರುವಿಕೆ/ನಿರ್ಜಲೀಕರಣ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, a ನಿಂದ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಅನ್ನು ಆಯ್ದವಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಪಲ್ಲಾಡಿಯಮ್ ಮೆಂಬರೇನ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು ಅನಿಲ ಮಿಶ್ರಣ, ಇತರ ಅವಕಾಶ ಅನಿಲಗಳಲ್ಲಿನ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸಲು ಮತ್ತು a ಗೆ ರವಾನಿಸಲು ಪತ್ತೆಕಾರಕ. ಅಂತೆಯೇ, ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಆಡ್ಸರ್ಬೆಂಟ್ ವಸ್ತುಗಳು ಕೆಲವು ಬಲೆಗೆ ಬೀಳಬಹುದು ಕಲ್ಮಶಗಳು ಹರಿಯುವಿಕೆಯಿಂದ ಅನಿಲ ಸ್ಟ್ರೀಮ್, ನಂತರ ಒಂದು ಕ್ಲೀನ್ ಒಂದು ಸಣ್ಣ ಪರಿಮಾಣದಲ್ಲಿ ಉಷ್ಣವಾಗಿ ನಿರ್ಜಲೀಕರಣ ಮಾಡಬಹುದು ವಾಹಕ ಅನಿಲ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಗಾಗಿ. ಬೃಹತ್ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ ಅನಿಲ ತಲುಪುತ್ತಿದೆ ಪತ್ತೆಕಾರಕ, ಈ ಸಾಧನಗಳು ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಹಿನ್ನೆಲೆ ಶಬ್ದವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಗುರಿಗೆ ಸಿಗ್ನಲ್-ಟು-ಶಬ್ದ ಅನುಪಾತವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಿ. ಇದು ಕಡಿಮೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು ಪತ್ತೆ ಮಿತಿ.

ನ ಪ್ರಯೋಜನಗಳು ಅನಿಲ ವಿನಿಮಯ ಸಾಧನವನ್ನು ಬಳಸುವುದು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸುವಾಗ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸ್ಪಷ್ಟವಾಗುತ್ತದೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ನಲ್ಲಿನ ಕಲ್ಮಶಗಳು ನೇರವಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಕಷ್ಟಕರವಾದ ಅಥವಾ ವಿಶ್ಲೇಷಣಾತ್ಮಕ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಗಮನಾರ್ಹ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುವ ಅನಿಲಗಳು. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಜಾಡಿನ ಆಮ್ಲಜನಕ ಅಥವಾ ತೇವಾಂಶವನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಅಳೆಯಲು ಪ್ರಯತ್ನಿಸುವಾಗ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲ, ಎ ಅನಿಲ ವಿನಿಮಯ ಸಾಧನ ಇವುಗಳನ್ನು ಸಮರ್ಥವಾಗಿ ಪ್ರತ್ಯೇಕಿಸಬಹುದು ಕಲ್ಮಶಗಳು ಹೆಚ್ಚು ಸೌಮ್ಯವಾಗಿ ವಾಹಕ ಅನಿಲ ಇಷ್ಟ ಆರ್ಗಾನ್ ಅಥವಾ ಅವರು ತಲುಪುವ ಮೊದಲು ಹೀಲಿಯಂ ಪತ್ತೆಕಾರಕ. ಇದು ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವುದಲ್ಲದೆ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ವಿಶ್ಲೇಷಣಾತ್ಮಕ ಘಟಕಗಳನ್ನು ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ. ತಯಾರಕರಾಗಿ 99.999% ಶುದ್ಧತೆ 50L ಸಿಲಿಂಡರ್ ಕ್ಸೆನಾನ್ ಗ್ಯಾಸ್, ಅಸಾಧಾರಣವನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸುವಲ್ಲಿ ಅಂತಹ ಸುಧಾರಿತ ತಂತ್ರಗಳ ಮೌಲ್ಯವನ್ನು ನಾವು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುತ್ತೇವೆ ಶುದ್ಧತೆ ಅಪರೂಪದ ಮತ್ತು ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು. ಈ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ವಿಮರ್ಶಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಅನಿಲ ಶುದ್ಧೀಕರಣ ಮತ್ತು ಪರಿಶೀಲನೆ ಹಂತಗಳು.

ಕ್ರಿಟಿಕಲ್ ಲಿಂಕ್: ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ನೇರವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಅನಿಲಗಳಲ್ಲಿನ ಅಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ.

ದಿ ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ನೇರವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಅನಿಲಗಳು ತಯಾರಿಕೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಜೀವಾಳವಾಗಿದೆ. ಇವು ಕೇವಲ ಒಳಗೊಂಡಿಲ್ಲ ಬೃಹತ್ ಅನಿಲಗಳು ಸಾರಜನಕ ಮತ್ತು ಹಾಗೆ ಆರ್ಗಾನ್, ಆದರೆ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಅನಿಲಗಳು (ಉದಾ., ಸಿಲೇನ್, ಸ್ಫಟಿಕ ಪದರಗಳನ್ನು ಬೆಳೆಯಲು ಜರ್ಮನಿ) ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲಗಳು (ಉದಾ., ವಿನ್ಯಾಸಕ್ಕಾಗಿ NF₃, SF₆, Cl₂), ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಕೆ ಅನಿಲಗಳು (ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಆರ್ಸೈನ್, ಫಾಸ್ಫೈನ್, ಡೋಪಿಂಗ್‌ಗಾಗಿ ಬೋರಾನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್), ಮತ್ತು ಶೇಖರಣಾ ಅನಿಲಗಳು. ಇವುಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರತಿಯೊಂದಕ್ಕೂ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಅನಿಲಗಳು, ಸ್ವೀಕಾರಾರ್ಹ ಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಪ್ರಕಾರ ಅಶುದ್ಧತೆ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ವ್ಯಾಖ್ಯಾನಿಸಲಾಗಿದೆ ಏಕೆಂದರೆ ಯಾವುದೇ ವಿಚಲನವು ನೇರವಾಗಿ ದೋಷಗಳಾಗಿ ಭಾಷಾಂತರಿಸಬಹುದು ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್. ಇದು ಮಾಡುತ್ತದೆ ಅಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ಇವುಗಳಿಗೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಅನಿಲಗಳು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಗುಣಮಟ್ಟದ ನಿಯಂತ್ರಣ ಹಂತ.

ತೆಳುವಾದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್ ಪದರದ ಶೇಖರಣೆಯನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸಿ, ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯ ಅವಾಹಕ. ಆಮ್ಲಜನಕ ಇದ್ದರೆ ಅನಿಲವನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಹೈಡ್ರೋಕಾರ್ಬನ್ ಅನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ ಕಲ್ಮಶಗಳು, ಕಾರ್ಬನ್ ಅನ್ನು ಆಕ್ಸೈಡ್ ಪದರಕ್ಕೆ ಸೇರಿಸಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು, ಅದರ ನಿರೋಧಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಕೆಡಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಾಧನದ ವೈಫಲ್ಯಕ್ಕೆ ಸಂಭಾವ್ಯವಾಗಿ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಅಂತೆಯೇ, ಒಂದು ಎಚ್ಚಣೆ ವೇಳೆ ಅನಿಲ ಅನಿರೀಕ್ಷಿತತೆಯನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ ಅಶುದ್ಧತೆ, ಇದು ಎಚ್ಚಣೆ ದರ ಅಥವಾ ಆಯ್ಕೆಯನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಬಹುದು, ಇದು ತುಂಬಾ ದೊಡ್ಡದಾದ, ತುಂಬಾ ಚಿಕ್ಕದಾಗಿರುವ ಅಥವಾ ತಪ್ಪಾದ ಆಕಾರದ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಸಹ ಒಂದು ಅಶುದ್ಧತೆ ಒಂದು ರಲ್ಲಿ ಜಡ ಅನಿಲ ಇಷ್ಟ ಆರ್ಗಾನ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಸಿಲಿಂಡರ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ಗಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಬಹುದು, ಇದು ಚಿತ್ರದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಒಂದು ಪರಿಣಾಮ ಅಶುದ್ಧತೆ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ-ನಿರ್ದಿಷ್ಟ, ಅಂದರೆ a ಅಶುದ್ಧತೆ ಒಂದು ಹಂತದಲ್ಲಿ ಸಹಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಬಹುದು ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕ ಇನ್ನೊಂದರಲ್ಲಿ.

ಈ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಲಿಂಕ್‌ಗೆ ಸಮಗ್ರವಾದ ವಿಧಾನದ ಅಗತ್ಯವಿದೆ ಅಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ. ಇದು ಅಂತಿಮ ಉತ್ಪನ್ನವನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸುವ ಬಗ್ಗೆ ಮಾತ್ರವಲ್ಲ; ಇದು ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳು, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿನ ಸ್ಟ್ರೀಮ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಅಂತಿಮ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಯನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ ಅನಿಲ ಶುದ್ಧೀಕರಣ ಹಂತಗಳು. ಫಾರ್ ಅರೆವಾಹಕ ವಿಶೇಷತೆ ಅನಿಲಗಳು, ವಿಶೇಷಣಗಳು ಅರೆವಾಹಕದಲ್ಲಿನ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಅತ್ಯಂತ ಬಿಗಿಯಾಗಿರುತ್ತದೆ, ವಿಶ್ಲೇಷಣಾತ್ಮಕ ಪತ್ತೆಯ ಗಡಿಗಳನ್ನು ತಳ್ಳುತ್ತದೆ. ನಾವು ನಮ್ಮ ಗ್ರಾಹಕರೊಂದಿಗೆ ನಿಕಟವಾಗಿ ಕೆಲಸ ಮಾಡುತ್ತೇವೆ ಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಅವರ ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆಯನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ಕ್ಷೇತ್ರ ಅಶುದ್ಧತೆ ವಿವಿಧ ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆಗಳು ಅನಿಲಗಳು ಮತ್ತು ಅನಿಲ ಮಿಶ್ರಣಗಳು. ಈ ಸಹಕಾರಿ ವಿಧಾನವು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಶುದ್ಧತೆ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು ನಾವು ಅವರ ಸುಧಾರಿತ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ಬೇಡಿಕೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಸ್ಥಿರವಾಗಿ ಪೂರೈಸುತ್ತೇವೆ. ಎ ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುವಲ್ಲಿ ಸವಾಲು ಅಡಗಿದೆ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಕಲ್ಮಶಗಳು ನಿರಂತರವಾಗಿ ಕಡಿಮೆಯಾಗುತ್ತಿರುವ ಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ.

ಪ್ರಯೋಗಾಲಯದ ಆಚೆಗೆ: ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಹೈ-ಪ್ಯೂರಿಟಿ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಗ್ಯಾಸ್‌ಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಉತ್ತಮ ಅಭ್ಯಾಸಗಳು.

ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳ ಶುದ್ಧತೆ ಯಾವಾಗ ಕೊನೆಗೊಳ್ಳುವುದಿಲ್ಲ ಅನಿಲ ನಮ್ಮ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸೌಲಭ್ಯವನ್ನು ಬಿಡುತ್ತದೆ. ಅದನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು ಶುದ್ಧತೆ a ನಲ್ಲಿ ಬಳಕೆಯ ಹಂತಕ್ಕೆ ಎಲ್ಲಾ ರೀತಿಯಲ್ಲಿ ಅರೆವಾಹಕ fab ನಿರ್ವಹಣೆ, ಸಂಗ್ರಹಣೆ ಮತ್ತು ವಿತರಣೆಗೆ ನಿಖರವಾದ ಗಮನದ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಅತ್ಯುನ್ನತ ಕೂಡ ಶುದ್ಧತೆ ಅನಿಲ ಸರಿಯಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸದಿದ್ದರೆ ಕಲುಷಿತವಾಗಬಹುದು. Huazhong ಗ್ಯಾಸ್‌ನಲ್ಲಿ, ನಾವು ಉತ್ಪಾದನೆಯತ್ತ ಮಾತ್ರ ಗಮನಹರಿಸುವುದಿಲ್ಲ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲಗಳು ಆದರೆ ಡೌನ್‌ಸ್ಟ್ರೀಮ್ ಅನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಉತ್ತಮ ಅಭ್ಯಾಸಗಳ ಬಗ್ಗೆ ನಮ್ಮ ಗ್ರಾಹಕರಿಗೆ ಸಲಹೆ ನೀಡುತ್ತೇವೆ ಮಾಲಿನ್ಯ.

ಪ್ರಮುಖ ಉತ್ತಮ ಅಭ್ಯಾಸಗಳು ಸೇರಿವೆ:

• ಘಟಕ ಆಯ್ಕೆ: ಅನಿಲ ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿನ ಎಲ್ಲಾ ಘಟಕಗಳು - ಸೇರಿದಂತೆ ಅನಿಲ ಸಿಲಿಂಡರ್ಗಳು, ನಿಯಂತ್ರಕಗಳು, ಕವಾಟಗಳು, ಕೊಳವೆಗಳು ಮತ್ತು ಫಿಟ್ಟಿಂಗ್‌ಗಳು - ಸೂಕ್ತವಾದ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಬೇಕು (ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪಾಲಿಶ್ಡ್ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್) ಮತ್ತು ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಬೇಕು ಮತ್ತು ಪ್ರಮಾಣೀಕರಿಸಬೇಕು ಅತಿ ಹೆಚ್ಚು ಶುದ್ಧತೆ (UHP) ಸೇವೆ. ಅಸಮರ್ಪಕ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಬಳಸುವುದು ಅನಿಲವನ್ನು ಹೊರಹಾಕಲು ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು ಕಲ್ಮಶಗಳು ಅಥವಾ ಎ ಲೋಹದ ಅಶುದ್ಧತೆ ಒಳಗೆ ಸೋರಿಕೆಯಾಗುತ್ತಿದೆ ಅನಿಲ ಹರಿವು.
• ಸಿಸ್ಟಮ್ ಸಮಗ್ರತೆ: ಅನಿಲ ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಸೋರಿಕೆ-ಬಿಗಿಯಾಗಿರಬೇಕು. ಸಣ್ಣ ಸೋರಿಕೆಗಳು ಸಹ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಅನುಮತಿಸಬಹುದು ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು ಆಮ್ಲಜನಕ, ತೇವಾಂಶ ಮತ್ತು ಕಣಗಳು ವ್ಯವಸ್ಥೆಗೆ ಪ್ರವೇಶಿಸಲು ವಿಷಯ, ರಾಜಿ ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆ. ನಿಯಮಿತ ಸೋರಿಕೆ ತಪಾಸಣೆ ಅಗತ್ಯ.
• ಶುದ್ಧೀಕರಣ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನಗಳು: ಪ್ರತಿ ಬಾರಿ ಸಂಪರ್ಕವನ್ನು ಮಾಡಿದಾಗ ಅಥವಾ ಸಿಲಿಂಡರ್ ಅನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಿದಾಗ ಸರಿಯಾದ ಶುದ್ಧೀಕರಣ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನಗಳು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿವೆ. ಇದು a ನೊಂದಿಗೆ ಸಾಲುಗಳನ್ನು ಫ್ಲಶ್ ಮಾಡುವುದನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಜಡ ಅನಿಲ (ಇಷ್ಟ ಆರ್ಗಾನ್ ಅಥವಾ ಸಾರಜನಕ) ಯಾವುದೇ ಸಿಕ್ಕಿಬಿದ್ದ ಗಾಳಿಯನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಅಥವಾ ಕಲ್ಮಶಗಳು. ಸಾಕಷ್ಟು ಶುದ್ಧೀಕರಣವು ಸಾಮಾನ್ಯ ಮೂಲವಾಗಿದೆ ಮಾಲಿನ್ಯ. ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ನಾವು ಆಗಾಗ್ಗೆ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಶುದ್ಧೀಕರಣ ಫಲಕಗಳನ್ನು ಶಿಫಾರಸು ಮಾಡುತ್ತೇವೆ.
• ಮೀಸಲಾದ ಸಲಕರಣೆ: ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ನಿಯಂತ್ರಕಗಳು ಮತ್ತು ಸಾಲುಗಳನ್ನು ಬಳಸುವುದು ಅನಿಲಗಳು ಅಥವಾ ಕುಟುಂಬಗಳು ಅನಿಲಗಳು ಅಡ್ಡ-ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಡೆಯಬಹುದು. ನಡುವೆ ಬದಲಾಯಿಸುವಾಗ ಇದು ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ ಜಡ ಅನಿಲ ಮತ್ತು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಅಥವಾ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲ.
• ಸಿಲಿಂಡರ್ ನಿರ್ವಹಣೆ: ಗ್ಯಾಸ್ ಸಿಲಿಂಡರ್ಗಳು ಹಾನಿಯಾಗದಂತೆ ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ನಿರ್ವಹಿಸಬೇಕು. ಅವುಗಳನ್ನು ಗೊತ್ತುಪಡಿಸಿದ, ಚೆನ್ನಾಗಿ ಗಾಳಿ ಇರುವ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿ ಸಂಗ್ರಹಿಸಬೇಕು ಮತ್ತು "ಮೊದಲ-ಇನ್, ಮೊದಲ-ಔಟ್" ದಾಸ್ತಾನು ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ಅಭ್ಯಾಸ ಮಾಡಬೇಕು. ಬಳಸುತ್ತಿದೆ ಮೀಸಲಾದ ತೇವಾಂಶ ಮತ್ತು ಆಮ್ಲಜನಕ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಬಿಂದುಗಳಲ್ಲಿನ ವಿಶ್ಲೇಷಕರು ಈ ಸಾಮಾನ್ಯವಾದ ಯಾವುದೇ ಪ್ರವೇಶವನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಲು ಸಹ ಸಹಾಯ ಮಾಡಬಹುದು ಕಲ್ಮಶಗಳು.

ಮರುಮಾರಾಟಕ್ಕಾಗಿ ಅಥವಾ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಕೆಗಾಗಿ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಸಂಗ್ರಹಿಸುತ್ತಿರುವ ಮಾರ್ಕ್ ಶೆನ್‌ನಂತಹ ಗ್ರಾಹಕರಿಗೆ, ಈ ನಿರ್ವಹಣೆಯ ಅಭ್ಯಾಸಗಳನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ ಉತ್ಪನ್ನ ಗುಣಮಟ್ಟ ಅವರು ತಮ್ಮ ಗ್ರಾಹಕರಿಗೆ ಭರವಸೆ ನೀಡುತ್ತಾರೆ. ಇದು ಹಂಚಿಕೆಯ ಜವಾಬ್ದಾರಿಯಾಗಿದೆ. ನಾವು ನಮ್ಮ ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತೇವೆ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಸಿಲಿಂಡರ್ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು, ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ತಡೆಗಟ್ಟಲು ತುಂಬಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಅಶುದ್ಧತೆ ಪ್ರವೇಶ, ಆದರೆ ಅಂತಿಮ ಬಳಕೆದಾರರ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಅಷ್ಟೇ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ವಿರುದ್ಧ ಹೋರಾಟ ಅಶುದ್ಧತೆ ಉತ್ಪಾದನೆಯಿಂದ ಅನ್ವಯದವರೆಗೆ ನಿರಂತರ ಪ್ರಯತ್ನವಾಗಿದೆ.

ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಬಾಲ್ ಅನ್ನು ನೋಡುವುದು: ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ದರ್ಜೆಯ ಅನಿಲಗಳಿಗೆ ಅಶುದ್ಧತೆಯ ಪತ್ತೆಯಲ್ಲಿ ನಾವು ಯಾವ ಭವಿಷ್ಯದ ಆವಿಷ್ಕಾರಗಳನ್ನು ನಿರೀಕ್ಷಿಸಬಹುದು?

ಸದಾ ಎತ್ತರದ ಅನ್ವೇಷಣೆ ಶುದ್ಧತೆ ಒಳಗೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ದರ್ಜೆಯ ಅನಿಲಗಳು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಅಶುದ್ಧತೆ ಪತ್ತೆ ವಿಧಾನಗಳು ನಿರಂತರ ಪ್ರಯಾಣವಾಗಿದೆ, ಇದು ನವೀನತೆಯ ಪಟ್ಟುಹಿಡಿದ ವೇಗದಿಂದ ನಡೆಸಲ್ಪಡುತ್ತದೆ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮ. ಸಾಧನದ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು ಉಪ-10 ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್ ಕ್ಷೇತ್ರಕ್ಕೆ ಮತ್ತಷ್ಟು ಕುಗ್ಗಿದಂತೆ ಮತ್ತು ಹೊಸ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ವಾಸ್ತುಶಿಲ್ಪಗಳು ಹೊರಹೊಮ್ಮುತ್ತವೆ (3D NAND ಮತ್ತು ಗೇಟ್-ಆಲ್-ಅರೌಂಡ್ ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್‌ಗಳಂತಹವು), ಇನ್ನೂ ಮಸುಕಾದ ಪರಿಣಾಮ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಿ ಹೆಚ್ಚು ಸ್ಪಷ್ಟವಾಗುತ್ತದೆ. ಇದು ಎರಡರಲ್ಲೂ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಗತಿಯನ್ನು ಬಯಸುತ್ತದೆ ಅನಿಲ ಶುದ್ಧೀಕರಣ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳು ಮತ್ತು ಅಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳು.

ನಾವು ಹಲವಾರು ಪ್ರವೃತ್ತಿಗಳನ್ನು ನಿರೀಕ್ಷಿಸಬಹುದು:

• ಕಡಿಮೆ ಪತ್ತೆ ಮಿತಿಗಳು: ಹಾಗೆ ವಿಶ್ಲೇಷಣಾತ್ಮಕ ತಂತ್ರಗಳು ICP-MS, ಗ್ಯಾಸ್ ಕ್ರೊಮ್ಯಾಟೋಗ್ರಫಿ-ಮಾಸ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರೋಮೆಟ್ರಿ (GC-MS), ಮತ್ತು ಕ್ಯಾವಿಟಿ ರಿಂಗ್-ಡೌನ್ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರೋಸ್ಕೋಪಿ (CRDS) ವಿಕಸನಗೊಳ್ಳುವುದನ್ನು ಮುಂದುವರಿಸುತ್ತದೆ, ತಳ್ಳುತ್ತದೆ ಪತ್ತೆ ಮಿತಿಗಳು ವಿಶಾಲಕ್ಕಾಗಿ ಕಲ್ಮಶಗಳ ಶ್ರೇಣಿ ಏಕ-ಅಂಕಿಯ ppt ಮಟ್ಟಗಳಿಗೆ ಅಥವಾ ppq ಡೊಮೇನ್‌ಗೆ ಸಹ. ಇದಕ್ಕೆ ಅಯಾನು ಮೂಲಗಳು, ಸಮೂಹ ವಿಶ್ಲೇಷಕಗಳು, ಮತ್ತು ಪತ್ತೆಕಾರಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ.
• ಇನ್-ಸಿಟು ಮತ್ತು ರಿಯಲ್-ಟೈಮ್ ಮಾನಿಟರಿಂಗ್: ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡುವ ವಿಶ್ಲೇಷಣಾತ್ಮಕ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚುತ್ತಿರುವ ಬೇಡಿಕೆಯಿದೆ ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆ ನೈಜ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ನೇರವಾಗಿ ಒಳಗೆ ಬಳಕೆಯ ಹಂತದಲ್ಲಿ ಅರೆವಾಹಕ ಫ್ಯಾಬ್ ಇದು ಯಾವುದನ್ನಾದರೂ ತಕ್ಷಣವೇ ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ ಮಾಲಿನ್ಯ ಘಟನೆಗಳು ಅಥವಾ ಡ್ರಿಫ್ಟ್‌ಗಳು ಅಶುದ್ಧತೆ ಮಟ್ಟಗಳು, ವೇಗವಾಗಿ ಸರಿಪಡಿಸುವ ಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನ ನಷ್ಟವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಮಿನಿಯೇಚರೈಸ್ಡ್ ಸೆನ್ಸರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಸುಧಾರಿತ ಕೆಮಿಮೆಟ್ರಿಕ್ ಅಲ್ಗಾರಿದಮ್‌ಗಳು ಇಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರವಹಿಸುತ್ತವೆ.
• ಸಂಕೀರ್ಣ ಅನಿಲ ಮಿಶ್ರಣಗಳ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ: ಭವಿಷ್ಯ ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಹೆಚ್ಚು ಸಂಕೀರ್ಣತೆಯನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರಬಹುದು ಅನಿಲ ಮಿಶ್ರಣಗಳು ಬಹು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಘಟಕಗಳೊಂದಿಗೆ. ವಿಶ್ಲೇಷಿಸಲಾಗುತ್ತಿದೆ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಅಂತಹ ಸವಾಲಿನ ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಹೊಸ ವಿಶ್ಲೇಷಣಾತ್ಮಕ ತಂತ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಡೇಟಾ ವ್ಯಾಖ್ಯಾನ ಸಾಧನಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಅಳೆಯುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ ಎ ಅಶುದ್ಧತೆ ಇತರರಿಂದ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪವಿಲ್ಲದೆ ಒಂದು ಘಟಕದಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿರುತ್ತದೆ.
• "ಕಿಲ್ಲರ್" ಕಲ್ಮಶಗಳ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸಿ: ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಗುರುತಿಸಲು ಸಂಶೋಧನೆ ಮುಂದುವರಿಯುತ್ತದೆ ಅರೆವಾಹಕದಲ್ಲಿನ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ ಸಾಧನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಅಥವಾ ಇಳುವರಿ ಮೇಲೆ ಅಸಮಾನವಾಗಿ ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಸಂಸ್ಕರಣೆ. ವಿಶ್ಲೇಷಣಾತ್ಮಕ ವಿಧಾನಗಳು ಈ "ಕೊಲೆಗಾರ" ಕಡೆಗೆ ಹೆಚ್ಚು ಗುರಿಯಾಗುತ್ತವೆ ಕಲ್ಮಶಗಳು.
• ಡೇಟಾ ಅನಾಲಿಟಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು AI: ಸುಧಾರಿತ ಮೂಲಕ ರಚಿಸಲಾದ ಅಪಾರ ಪ್ರಮಾಣದ ಡೇಟಾ ಅಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ಪ್ರವೃತ್ತಿಗಳನ್ನು ಗುರುತಿಸಲು, ಸಂಭಾವ್ಯತೆಯನ್ನು ಊಹಿಸಲು AI ಮತ್ತು ಯಂತ್ರ ಕಲಿಕೆಯನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ಹತೋಟಿಗೆ ತರಲಾಗುತ್ತದೆ ಮಾಲಿನ್ಯ ಸಮಸ್ಯೆಗಳು, ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸು ಅನಿಲ ಶುದ್ಧೀಕರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು. ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಸಮಸ್ಯೆ-ಪರಿಹರಿಸುವ ಬದಲು ಪೂರ್ವಭಾವಿ ಗುಣಮಟ್ಟದ ನಿಯಂತ್ರಣದಲ್ಲಿ ಇದು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

Huazhong ಗ್ಯಾಸ್‌ನಲ್ಲಿ, ಈ ಬೆಳವಣಿಗೆಗಳಲ್ಲಿ ಮುಂಚೂಣಿಯಲ್ಲಿರಲು ನಾವು ಬದ್ಧರಾಗಿದ್ದೇವೆ. ನಾವು ನಿರಂತರವಾಗಿ ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯಲ್ಲಿ ಹೂಡಿಕೆ ಮಾಡುತ್ತೇವೆ, ವಿಜ್ಞಾನವನ್ನು ಮುನ್ನಡೆಸಲು ಉದ್ಯಮ ಪಾಲುದಾರರು ಮತ್ತು ಶೈಕ್ಷಣಿಕ ಸಂಸ್ಥೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಹಯೋಗ ಮಾಡುತ್ತೇವೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಅಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ. ಮಾರ್ಕ್ ಶೆನ್‌ನಂತಹ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಪ್ರಜ್ಞೆಯನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ ನಮ್ಮ ಗ್ರಾಹಕರಿಗೆ, ಇದರರ್ಥ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಪೂರೈಕೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು ಇದು ವಿಕಸನಗೊಳ್ಳುತ್ತಿರುವ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮಗಳು. ನಮ್ಮ ವ್ಯಾಪ್ತಿ ಹೀಲಿಯಂ, ಅದರ ಜಡತ್ವ ಮತ್ತು ವಿಶೇಷ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಕೆಗೆ ಹೆಸರುವಾಸಿಯಾಗಿದೆ, ಕನಿಷ್ಠವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಈ ಸುಧಾರಿತ ವಿಶ್ಲೇಷಣಾತ್ಮಕ ಪರಿಶೀಲನೆಯಿಂದ ಸಹ ಪ್ರಯೋಜನ ಪಡೆಯುತ್ತದೆ ಅಶುದ್ಧತೆ ಮಟ್ಟಗಳು.

ನೆನಪಿಡುವ ಪ್ರಮುಖ ಟೇಕ್‌ಅವೇಗಳು:

• ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು ಗೆ ಮೂಲಭೂತವಾಗಿವೆ ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆ, ಮತ್ತು ಅವರ ಶುದ್ಧತೆ ಮಾತುಕತೆಗೆ ಸಾಧ್ಯವಿಲ್ಲ.
• ಸಹ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಿ, ppb ಅಥವಾ ppt ನಲ್ಲಿ ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ, ಗಮನಾರ್ಹ ದೋಷಗಳು ಮತ್ತು ಇಳುವರಿ ನಷ್ಟವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳು.
• ಸಾಮಾನ್ಯ ಅನಿಲಗಳಲ್ಲಿನ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಇತರ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಸೇರಿಸಿ (O₂, H₂O ನಂತಹ), ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳು, ಮತ್ತು ಕಣಗಳು ವಿಷಯ.
• ICP-MS a ಅನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ಮೂಲಾಧಾರ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವಾಗಿದೆ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಕಲ್ಮಶಗಳು, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳು, ಅತಿ ಕಡಿಮೆ ಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ.
• ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆ ನಿಂದ ನಿಖರವಾದ ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ಸಿಸ್ಟಮ್ ಸಮಗ್ರತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿದೆ ಗ್ಯಾಸ್ ಸಿಲಿಂಡರ್ ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಬಳಕೆಯ ಹಂತಕ್ಕೆ ಮಾಲಿನ್ಯ.
• ಭವಿಷ್ಯವು ಇನ್ನೂ ಕೆಳಮಟ್ಟಕ್ಕಿಳಿಯುತ್ತದೆ ಪತ್ತೆ ಮಿತಿಗಳು, ನೈಜ-ಸಮಯದ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮತ್ತು AI- ಚಾಲಿತ ಅಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ಫಾರ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ದರ್ಜೆಯ ಅನಿಲಗಳು.
• ಪ್ರತಿ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವುದು ಅಶುದ್ಧತೆ ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಅತ್ಯಗತ್ಯ ಉತ್ಪನ್ನ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಆಧುನಿಕತೆಯ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್.