ನಿಮ್ಮ ಜೇಬಿನಲ್ಲಿರುವ ಸ್ಮಾರ್ಟ್‌ಫೋನ್, ನಿಮ್ಮ ಮೇಜಿನ ಮೇಲಿರುವ ಕಂಪ್ಯೂಟರ್, ನಿಮ್ಮ ಕಾರಿನಲ್ಲಿರುವ ಸುಧಾರಿತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು - ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳ ಮೂಕ, ಅದೃಶ್ಯ ಕೆಲಸವಿಲ್ಲದೆ ಯಾವುದೂ ಸಾಧ್ಯವಿಲ್ಲ. ಕೈಗಾರಿಕಾ ಅನಿಲ ಕಾರ್ಖಾನೆಯ ಮಾಲೀಕರಾಗಿ, ನಾನು, ಅಲೆನ್, ಈ ನಿರ್ಣಾಯಕ ವಸ್ತುಗಳು ಆಧುನಿಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ತಳಹದಿಯನ್ನು ಹೇಗೆ ರೂಪಿಸುತ್ತವೆ ಎಂಬುದನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ನೋಡಿದ್ದೇವೆ. ಸಂಕೀರ್ಣ ಜಾಗತಿಕ ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿಯನ್ನು ನ್ಯಾವಿಗೇಟ್ ಮಾಡುವ ಮಾರ್ಕ್ ಶೆನ್‌ನಂತಹ ವ್ಯಾಪಾರ ನಾಯಕರಿಗೆ, ಈ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಹೊಸ ಅವಕಾಶಗಳನ್ನು ಅನ್‌ಲಾಕ್ ಮಾಡಲು ಪ್ರಮುಖವಾಗಿದೆ. ಈ ಲೇಖನವು ಈ ಕ್ಷೇತ್ರದ ಪ್ರಮುಖ ಆಟಗಾರರಲ್ಲಿ ಒಬ್ಬರಿಗೆ ನಿಮ್ಮ ಸಮಗ್ರ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿಯಾಗಿದೆ: ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (NF₃). ನಾವು ಈ ಶಕ್ತಿಯುತತೆಯನ್ನು ನಿರ್ಲಕ್ಷಿಸುತ್ತೇವೆ ಅನಿಲ, ಅದರ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರವನ್ನು ಅನ್ವೇಷಿಸಿ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ, ಮತ್ತು ಅದರ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಪೂರೈಕೆಯು ಸಂಪೂರ್ಣಕ್ಕೆ ಏಕೆ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ ಎಂಬುದನ್ನು ವಿವರಿಸಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ತಯಾರಿಕೆ ಉದ್ಯಮ.

ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (NF₃) ಗ್ಯಾಸ್ ನಿಖರವಾಗಿ ಏನು?

ಮೊದಲ ನೋಟದಲ್ಲಿ, ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಅದರ ರಾಸಾಯನಿಕ ಸೂತ್ರದಿಂದ ಉಲ್ಲೇಖಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ NF₃, ಮತ್ತೊಂದು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಎಂದು ತೋರುತ್ತದೆ ಅನಿಲ. ಇದು ಬಣ್ಣರಹಿತ, ದಹಿಸಲಾಗದ ಮತ್ತು ಸ್ವಲ್ಪ ಮಸುಕಾದ ವಾಸನೆ ಸಂಯುಕ್ತ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಜಗತ್ತಿನಲ್ಲಿ ಸುಧಾರಿತ ಉತ್ಪಾದನೆ, ಇದು ಅನಿಲ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಸಾಧನವಾಗಿದೆ. ಇದು ಕೃತಕವಾಗಿ ತಯಾರಿಸಿದ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ ಸಂಯುಕ್ತ ಒಂದು ಸಾರಜನಕ ಪರಮಾಣು ಮತ್ತು ಮೂರು ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಪರಮಾಣುಗಳು. ಅದರ ಶಕ್ತಿಯ ಕೀಲಿಯು ಈ ರಚನೆಯಲ್ಲಿದೆ. ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶದಲ್ಲಿ, NF₃ ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಸ್ಥಿರವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಜಡ, ಹೆಚ್ಚು ಬಾಷ್ಪಶೀಲ ಅನಿಲಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಸಾಗಿಸಲು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಸುರಕ್ಷಿತವಾಗಿದೆ.

ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಅನ್ವಯಿಸಿದಾಗ ಮ್ಯಾಜಿಕ್ ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ. ಒಳಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ a ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಧನ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ a ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಚೇಂಬರ್, ದಿ NF₃ ಅಣುಗಳು ಕೊಳೆಯುತ್ತವೆ. ಅವು ಒಡೆಯುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡುತ್ತವೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಮೂಲಭೂತವಾದಿಗಳು. ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕದಲ್ಲಿ ನಿಯಂತ್ರಿತ ಸ್ಫೋಟದಂತೆ ಯೋಚಿಸಿ. ಇವು ಉಚಿತ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಪರಮಾಣುಗಳು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಅನಗತ್ಯ ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸಲು ಮತ್ತು ತೆಗೆದುಹಾಕುವಲ್ಲಿ ನಂಬಲಾಗದಷ್ಟು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮತ್ತು ಅದರ ಸಂಯುಕ್ತಗಳು. ನಿಮಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವಾಗ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುವ ಈ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ನೀವು ಬಯಸಿದಾಗ ಅದು ಮಾಡುತ್ತದೆ ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ಅನಿಲ ನಿಖರವಾದ ಜಗತ್ತಿನಲ್ಲಿ ಅಮೂಲ್ಯವಾದ ಆಸ್ತಿ ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆ.

ಈ ವಿಶಿಷ್ಟ ದ್ವಂದ್ವ ಸ್ವಭಾವ ಏಕೆ NF₃ ಆಧುನಿಕತೆಯ ಮೂಲಾಧಾರವಾಗಿ ಮಾರ್ಪಟ್ಟಿದೆ ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆ. ಇದರ ಸ್ಥಿರತೆಯು ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿಯಲ್ಲಿ ಸುರಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಅದರ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕತೆಯು ತಯಾರಕರಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಹೆಚ್ಚಿನ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ನಾವು ಆಳವಾಗಿ ಅಧ್ಯಯನ ಮಾಡುವಾಗ, ಇದು ಹೇಗೆ ಸರಳವಾಗಿದೆ ಎಂಬುದನ್ನು ನೀವು ನೋಡುತ್ತೀರಿ ಅನಿಲ ಭೂಮಿಯ ಮೇಲಿನ ಅತ್ಯಂತ ಸಂಕೀರ್ಣ ಸಾಧನಗಳ ರಚನೆಯನ್ನು ಶಕ್ತಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮಕ್ಕೆ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು ಏಕೆ ಅತ್ಯಗತ್ಯ?

ಪ್ರಾಮುಖ್ಯತೆಯನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು NF₃, ನಾವು ಮೊದಲು ವಿಶಾಲವಾದ ಪಾತ್ರವನ್ನು ಪ್ರಶಂಸಿಸಬೇಕಾಗಿದೆ ಅನಿಲಗಳು ಅತ್ಯಗತ್ಯ ಫಾರ್ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮ. ಉತ್ಪಾದನೆ ಎ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ನಿಮ್ಮ ಥಂಬ್‌ನೇಲ್‌ನ ಗಾತ್ರದ ಕ್ಯಾನ್ವಾಸ್‌ನಲ್ಲಿ ಗಗನಚುಂಬಿ ಕಟ್ಟಡವನ್ನು ನಿರ್ಮಿಸಿದಂತೆ. ಇದು ವಿವಿಧ ವಸ್ತುಗಳ ಹತ್ತಾರು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ತೆಳುವಾದ ಪದರಗಳನ್ನು a ಗೆ ಸೇರಿಸುವ ಮತ್ತು ತೆಗೆದುಹಾಕುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಾಗಿದೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್. ಪ್ರತಿ ಹೆಜ್ಜೆ, ಬೇರ್ ಅನ್ನು ರಚಿಸುವುದರಿಂದ ವೇಫರ್ ಅಂತಿಮ ಚಿಪ್‌ಗೆ, ವಿಶೇಷತೆಯ ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ನಿಯಂತ್ರಿತ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿದೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲಗಳು.

ಈ ಅನಿಲಗಳು ಹಲವಾರು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಕಾರ್ಯಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ. ಕೆಲವು, ಹಾಗೆ ಆರ್ಗಾನ್ ಮತ್ತು ಹೀಲಿಯಂ, ಸ್ಥಿರವಾದ, ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕವಲ್ಲದ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸಲು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ದುರ್ಬಲಗೊಳಿಸಲು ಜಡ ವಾಹಕ ಅನಿಲಗಳಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇತರವುಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ನಿಕ್ಷೇಪ, ಅಲ್ಲಿ ಎ ಅನಿಲ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಠೇವಣಿ ವಸ್ತುವಿನ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ವೇಫರ್. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ರಾಸಾಯನಿಕದಲ್ಲಿ ಆವಿ ಠೇವಣಿ (CVD), ಅನಿಲಗಳು ಘನ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸುತ್ತವೆ, ಅದು ಚಿಪ್ನ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ರಿಯ ಭಾಗವಾಗುತ್ತದೆ. ನಂತರ ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲಗಳು ಇವೆ, ಹಾಗೆ NF₃, ಈ ಪದರಗಳಲ್ಲಿ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ಕೆತ್ತಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ವಿದ್ಯುತ್ ಹರಿಯಲು ಸಂಕೀರ್ಣವಾದ ಮಾರ್ಗಗಳನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸುತ್ತದೆ.

ನಿರಂತರ, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ ಈ ವಿವಿಧ ಅನಿಲಗಳ ಪೂರೈಕೆ, ಸಂಪೂರ್ಣ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಲುಗಡೆಗೆ ರುಬ್ಬುತ್ತಿದ್ದರು. ಒಂದು ಮೈನಸ್ಕೂಲ್ ಕೂಡ ಅಶುದ್ಧತೆ ಒಂದು ರಲ್ಲಿ ಅನಿಲ ಇಡೀ ಬ್ಯಾಚ್ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಹಾಳುಮಾಡಬಹುದು, ಕಂಪನಿಗೆ ಮಿಲಿಯನ್ ಡಾಲರ್‌ಗಳಷ್ಟು ವೆಚ್ಚವಾಗುತ್ತದೆ. ಇದಕ್ಕಾಗಿಯೇ ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಕರು ತಮ್ಮ ಅನಿಲ ಪೂರೈಕೆದಾರರ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಗೆ ನಂಬಲಾಗದಷ್ಟು ಸಂವೇದನಾಶೀಲರಾಗಿದ್ದಾರೆ. ನ ಶುದ್ಧತೆ ಅನಿಲ ನೇರವಾಗಿ ಗುಣಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ಅನುವಾದಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ಇಳುವರಿ ಅಂತಿಮ ಉತ್ಪನ್ನದ.

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ NF₃ ಅನಿಲವನ್ನು ಹೇಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ?

ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ಎರಡು ಪ್ರಾಥಮಿಕ, ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅನ್ವಯಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು: ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಚೇಂಬರ್ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್. ಪ್ರೊಸೆಸರ್‌ಗಳಿಂದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೈಕ್ರೋಚಿಪ್‌ಗಳನ್ನು ರಚಿಸಲು ಎರಡೂ ಅತ್ಯಗತ್ಯ NAND ಫ್ಲಾಶ್ ಮೆಮೊರಿ.

ಮೊದಲಿಗೆ, ಎಚ್ಚಣೆ ಬಗ್ಗೆ ಮಾತನಾಡೋಣ. ನಂತಹ ವಸ್ತುಗಳ ಪದರದ ನಂತರ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್ a ನಲ್ಲಿ ಠೇವಣಿ ಇಡಲಾಗಿದೆ ವೇಫರ್, ಬೆಳಕನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಅದರ ಮೇಲೆ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಯೋಜಿಸಲಾಗಿದೆ. ದಿ ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ನಂತರ ಅಸುರಕ್ಷಿತ ಪ್ರದೇಶಗಳಿಂದ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ. NF₃ ಒಂದು ಕೋಣೆಗೆ ಪರಿಚಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಎ ರಚಿಸಲು ಶಕ್ತಿ ತುಂಬುತ್ತದೆ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ- ಚಾರ್ಜ್ಡ್ ಮೋಡ ಅಯಾನು ಕಣಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಮೂಲಭೂತವಾದಿಗಳು. ಈ ಮೂಲಭೂತವಾದಿಗಳು ನಿಖರವಾಗಿ ಬಾಂಬ್ ಸ್ಫೋಟಿಸುತ್ತಾರೆ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈ, ಇದರೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸುತ್ತದೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮತ್ತು ಅದನ್ನು a ಆಗಿ ಪರಿವರ್ತಿಸುವುದು ಅನಿಲರೂಪದ ಸಂಯುಕ್ತ (ಸಿಲಿಕಾನ್ ಟೆಟ್ರಾಫ್ಲೋರೈಡ್) ಚೇಂಬರ್‌ನಿಂದ ಸುಲಭವಾಗಿ ಪಂಪ್ ಮಾಡಬಹುದು. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಖರತೆಯು ಮನಸ್ಸಿಗೆ ಮುದನೀಡುತ್ತದೆ, ಇಂಜಿನಿಯರ್‌ಗಳು ಮಾನವನ ಕೂದಲುಗಿಂತ ಸಾವಿರಾರು ಪಟ್ಟು ತೆಳ್ಳಗಿನ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳನ್ನು ಕೆತ್ತಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ.

ಎರಡನೆಯದು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ಸಾಮಾನ್ಯ, ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ಬಳಕೆ a ನಂತೆ ಆಗಿದೆ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವ ಅನಿಲ. ಸಮಯದಲ್ಲಿ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (CVD) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ, ಅಲ್ಲಿ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳನ್ನು ಬೆಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ ವೇಫರ್, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಚೇಂಬರ್‌ನ ಒಳಗಿನ ಗೋಡೆಗಳ ಮೇಲೆ ಅನಗತ್ಯ ವಸ್ತು ಕೂಡ ನಿರ್ಮಾಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಶೇಷ, ಆಗಾಗ್ಗೆ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಅಥವಾ ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್, ಪ್ರತಿಯೊಂದನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸುವ ನಡುವೆ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕಬೇಕು ವೇಫರ್ ಅಥವಾ ಬಿಲ್ಲೆಗಳ ಬ್ಯಾಚ್. ಇಲ್ಲದಿದ್ದರೆ, ಈ ನಿರ್ಮಾಣವು ಫ್ಲೇಕ್ ಆಫ್ ಆಗಬಹುದು ಮತ್ತು ಮುಂದಿನದಕ್ಕೆ ಇಳಿಯಬಹುದು ವೇಫರ್, ದೋಷವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ. ಇಲ್ಲಿ, NF₃ ಖಾಲಿ ಕೋಣೆಗೆ ಪಂಪ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು a ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಹೊತ್ತಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಶಕ್ತಿಶಾಲಿ ಫ್ಲೋರಿನ್ ರಾಡಿಕಲ್ಗಳು ಚೇಂಬರ್ ಗೋಡೆಗಳನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಿ, ಘನವನ್ನು ಪರಿವರ್ತಿಸುತ್ತವೆ ಶೇಷ ಒಂದು ಒಳಗೆ ಅನಿಲರೂಪದ ಉಪಉತ್ಪನ್ನ ಅದು ಸುಲಭವಾಗಿ ತೆಗೆಯಲ್ಪಡುತ್ತದೆ. ಈ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಚಕ್ರ ನಿರ್ವಹಿಸಲು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪರಿಸರದ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನದನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುವುದು ಉತ್ಪಾದನಾ ಇಳುವರಿ.

ಪರ್ಯಾಯಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ NF₃ ಉತ್ತಮವಾದ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಅನಿಲವನ್ನು ಯಾವುದು ಮಾಡುತ್ತದೆ?

ಹಲವು ವರ್ಷಗಳಿಂದ, ದಿ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮ ಕಾರ್ಬನ್ ಟೆಟ್ರಾಫ್ಲೋರೈಡ್ (CF₄) ನಂತಹ ಪರ್ಫ್ಲೋರೋಕಾರ್ಬನ್‌ಗಳನ್ನು (PFCs) ಅವಲಂಬಿಸಿದೆ ಮತ್ತು ಹೆಕ್ಸಾಫ್ಲೋರೋಥೇನ್ (C₂F₆) ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆಗಾಗಿ. ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿದ್ದರೂ, ಈ ಸಂಯುಕ್ತಗಳು ಒಂದು ಪ್ರಮುಖ ನ್ಯೂನತೆಯೊಂದಿಗೆ ಬಂದವು: ಅವು ದೀರ್ಘವಾದ ವಾತಾವರಣದ ಜೀವಿತಾವಧಿಯೊಂದಿಗೆ ಅತ್ಯಂತ ಪ್ರಬಲವಾದ ಹಸಿರುಮನೆ ಅನಿಲಗಳಾಗಿವೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, C₂F₆ ಹೊಂದಿದೆ a ಹೆಚ್ಚಿನ ಜಾಗತಿಕ ತಾಪಮಾನ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ (GWP) ಮತ್ತು 10,000 ವರ್ಷಗಳವರೆಗೆ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ಉಳಿಯಬಹುದು. ಪರಿಸರ ನಿಯಮಗಳು ಬಿಗಿಯಾದ ಕಾರಣ, ಉದ್ಯಮಕ್ಕೆ ಉತ್ತಮ ಪರಿಹಾರದ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.

ಇದು ಎಲ್ಲಿದೆ NF₃ ಸ್ಪಷ್ಟ ವಿಜೇತರಾಗಿ ಹೊರಹೊಮ್ಮಿದರು. ಹಾಗೆಯೇ ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ಕೂಡ ಎ ಪ್ರಬಲ ಹಸಿರುಮನೆ ಅನಿಲ, ಇದು ಹೆಚ್ಚು ಕಡಿಮೆ ವಾತಾವರಣದ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ (ಸುಮಾರು 500 ವರ್ಷಗಳು). ಹೆಚ್ಚು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ, ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಇದು ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಒಳಗೆ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಚೇಂಬರ್, ಹೆಚ್ಚು ಶೇಕಡಾವಾರು NF₃ ಅಣುಗಳು ತಮ್ಮ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕತೆಯನ್ನು ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡಲು ಒಡೆಯುತ್ತವೆ ಫ್ಲೋರಿನ್ PFC ಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ. ಇದರರ್ಥ ಕಡಿಮೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸದ ಅನಿಲ ಕೋಣೆಯಿಂದ ದಣಿದಿದೆ. ಆಧುನಿಕ ಅರೆವಾಹಕ ಫ್ಯಾಬ್ಸ್ ಕಡಿಮೆಗೊಳಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು (ಸ್ಕ್ರಬ್ಬರ್‌ಗಳು) ಸ್ಥಾಪಿಸಿ ಅದು ಬಹುತೇಕ ಎಲ್ಲವನ್ನು ನಾಶಪಡಿಸುತ್ತದೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸದ NF₃ ಮತ್ತು ಹಾನಿಕಾರಕ ಉಪಉತ್ಪನ್ನ ಅನಿಲಗಳು ಬಿಡುಗಡೆಯಾಗುವ ಮೊದಲು.

ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ತಗ್ಗಿಸುವಿಕೆಯ ಸಂಯೋಜನೆಯು ನಿಜವಾದ ಅರ್ಥವಾಗಿದೆ ಹಸಿರುಮನೆ ಅನಿಲ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆ ಬಳಸುವುದರಿಂದ NF₃ ಹಳೆಯ PFC ಅನಿಲಗಳಿಗಿಂತ ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ. ಈ ಉನ್ನತ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯು ಅದರ ವ್ಯಾಪಕ ಅಳವಡಿಕೆಗೆ ಪ್ರಮುಖ ಕಾರಣವಾಗಿದೆ.

ಹೈ-ಪ್ಯೂರಿಟಿ ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ಅನ್ನು ಹೇಗೆ ಉತ್ಪಾದಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ?

ತಯಾರಕರಾಗಿ, ನಾನು ಅದನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುವುದನ್ನು ಹೇಳಬಲ್ಲೆ NF₃ ಸಂಕೀರ್ಣ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ನಿಯಂತ್ರಿತವಾಗಿದೆ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ. ವಿಸ್ಮಯಕಾರಿಯಾಗಿ ಶುದ್ಧವಾಗಿರುವ ಅಂತಿಮ ಉತ್ಪನ್ನವನ್ನು ರಚಿಸುವುದು ಗುರಿಯಾಗಿದೆ-ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 99.999% ಶುದ್ಧತೆ ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನದು-ಏಕೆಂದರೆ ಸಣ್ಣದಾದರೂ ಸಹ ಅಶುದ್ಧತೆ ಗೆ ದುರಂತವಾಗಬಹುದು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆ. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಹೆಚ್ಚು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ರಾಸಾಯನಿಕಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವಲ್ಲಿ ಪರಿಣತಿಯ ಅಗತ್ಯವಿದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಫ್ಲೋರಿನ್.

ದಿ NF₃ ಉತ್ಪಾದನೆ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸುವುದನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ ಅಮೋನಿಯ (ಎ ಸಂಯುಕ್ತ ಸಾರಜನಕವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ) ಅಥವಾ ಅಮೋನಿಯಂ ಫ್ಲೋರೈಡ್ ಧಾತುರೂಪದೊಂದಿಗೆ ಸಂಯುಕ್ತ ಫ್ಲೋರಿನ್ ನಲ್ಲಿ ರಿಯಾಕ್ಟರ್‌ನಲ್ಲಿ ಅನಿಲ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ. ಈ ಕ್ರಿಯೆಯು ಸೇರಿದಂತೆ ಅನಿಲಗಳ ಮಿಶ್ರಣವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ NF₃, ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸದ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ವಿವಿಧ ಉಪಉತ್ಪನ್ನಗಳು. ನಿಜವಾದ ಸವಾಲು, ಮತ್ತು ಸರಬರಾಜುದಾರರ ಪರಿಣತಿಯು ನಿಜವಾಗಿಯೂ ಎಲ್ಲಿ ತೋರಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಶುದ್ಧೀಕರಣ ಮುಂದಿನ ಹಂತ.

ಕಚ್ಚಾ ಅನಿಲರೂಪದ ಮಿಶ್ರಣವು ಹಲವಾರು ಮೂಲಕ ಹೋಗುತ್ತದೆ ಶುದ್ಧೀಕರಣ ಯಾವುದೇ ಅನಗತ್ಯ ಸಂಯುಕ್ತಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಕ್ರಮಗಳು. ಇದು ಆಗಾಗ್ಗೆ ಸ್ಕ್ರಬ್ಬಿಂಗ್ ಸರಣಿಯನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ, ಹೊರಹೀರುವಿಕೆ, ಮತ್ತು ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ಬಟ್ಟಿ ಇಳಿಸುವಿಕೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು. ದಿ ಶುದ್ಧೀಕರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ, ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ, ವಿಭಿನ್ನ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಅವುಗಳ ಕುದಿಯುವ ಬಿಂದುಗಳ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ಪ್ರತ್ಯೇಕಿಸಲು ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ NF₃ ಯಾವುದೇ ಉಳಿದ ಕಲ್ಮಶಗಳಿಂದ. ಅಂತಿಮ ಉತ್ಪನ್ನವು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ವಿಶೇಷಣಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಪ್ರತಿ ಹಂತವನ್ನು ಸುಧಾರಿತ ವಿಶ್ಲೇಷಣಾತ್ಮಕ ಸಾಧನಗಳೊಂದಿಗೆ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮ. ಗುಣಮಟ್ಟದ ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕೆ ಈ ಬದ್ಧತೆಯು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಪೂರೈಕೆದಾರರನ್ನು ಉಳಿದವರಿಂದ ಪ್ರತ್ಯೇಕಿಸುತ್ತದೆ.

NF₃ ಗ್ಯಾಸ್‌ಗಾಗಿ ಸುರಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆಯ ಪರಿಗಣನೆಗಳು ಯಾವುವು?

ಕೈಗಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಸುರಕ್ಷತೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಆದ್ಯತೆ ನೀಡಲಾಗಿದೆ ಅನಿಲ ವ್ಯಾಪಾರ. ಹಾಗೆಯೇ NF₃ ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶದಲ್ಲಿ ದಹಿಸಲಾಗದ ಮತ್ತು ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ಪ್ರಬಲವಾದ ಆಕ್ಸಿಡೈಸಿಂಗ್ ಏಜೆಂಟ್, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ. ಇದರರ್ಥ ಇದು ಸುಡುವ ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ಹಿಂಸಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ನಿರ್ವಹಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಅಪಾಯವೆಂದರೆ ಅದರ ವಿಷತ್ವ; ಉಸಿರಾಡುವುದು ಅನಿಲ ಹಾನಿಕಾರಕವಾಗಬಹುದು, ಆದ್ದರಿಂದ ಸರಿಯಾದ ವಾತಾಯನ ಮತ್ತು ವೈಯಕ್ತಿಕ ರಕ್ಷಣಾ ಸಾಧನಗಳು ಯಾವುದೇ ಸಂದರ್ಭದಲ್ಲಿ ಅತ್ಯಗತ್ಯ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸೈಟ್.

ನಮ್ಮ ಕಾರ್ಖಾನೆಯಿಂದ ಗ್ರಾಹಕರಿಗೆ ಸಂಪೂರ್ಣ ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿ ಅರೆವಾಹಕ ಫ್ಯಾಬ್, ಸುರಕ್ಷತೆಯ ಸುತ್ತಲೂ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿದೆ. NF₃ ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡದಲ್ಲಿ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಿದ ಉಕ್ಕಿನ ಸಿಲಿಂಡರ್ಗಳಲ್ಲಿ ಸಾಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಸಿಲಿಂಡರ್‌ಗಳು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಪರೀಕ್ಷೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಮಾಣೀಕರಣಕ್ಕೆ ಒಳಗಾಗುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಅವುಗಳು ಸುರಕ್ಷಿತವಾಗಿ ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಅನಿಲ. ಪೂರೈಕೆದಾರರಾಗಿ, ನಾವು ವಿವರವಾದ ಸುರಕ್ಷತಾ ಡೇಟಾ ಶೀಟ್‌ಗಳನ್ನು (SDS) ಮತ್ತು ನಮ್ಮ ಗ್ರಾಹಕರಿಗೆ ಸರಿಯಾದ ಸಂಗ್ರಹಣೆ, ಸಂಪರ್ಕ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನಗಳ ಕುರಿತು ತರಬೇತಿಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತೇವೆ. ಇದು ಮಾರ್ಗಸೂಚಿಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ಸೋರಿಕೆ ಪತ್ತೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು.

ಮಾರ್ಕ್ ನಂತಹ ವ್ಯಾಪಾರ ಮಾಲೀಕರಿಗೆ, ಅವರ ಮುಖ್ಯ ಕಾಳಜಿಯು ಸುಗಮ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿಯಾಗಿದೆ, ಸಾಬೀತಾದ ಸುರಕ್ಷತಾ ದಾಖಲೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪೂರೈಕೆದಾರರೊಂದಿಗೆ ಪಾಲುದಾರಿಕೆಯು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. ಅಸಮರ್ಥ ಸಂವಹನ ಅಥವಾ ಪೂರೈಕೆದಾರರಿಂದ ಸ್ಪಷ್ಟ ಸುರಕ್ಷತಾ ಪ್ರೋಟೋಕಾಲ್‌ಗಳ ಕೊರತೆಯು ಪ್ರಮುಖ ಕೆಂಪು ಧ್ವಜವಾಗಿದೆ. ನಾವು ಕೇವಲ ಉತ್ಪನ್ನವನ್ನು ಒದಗಿಸುವಲ್ಲಿ ಹೆಮ್ಮೆಪಡುತ್ತೇವೆ, ಆದರೆ ಲಾಜಿಸ್ಟಿಕಲ್ ಬೆಂಬಲ ಮತ್ತು ಸುರಕ್ಷತೆ ಪರಿಣತಿಯನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ಸಂಪೂರ್ಣ ಸೇವೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತೇವೆ ಅನಿಲ ತಲುಪುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪ್ರತಿ ಹಂತದಲ್ಲೂ ಸುರಕ್ಷಿತವಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ಹಸಿರುಮನೆ ಅನಿಲವೇ? ಪರಿಸರದ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು.

ಪರಿಸರದ ಅಂಶಗಳ ಬಗ್ಗೆ ಪಾರದರ್ಶಕವಾಗಿರುವುದು ಬಹಳ ಮುಖ್ಯ NF₃. ಹೌದು, ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ಒಂದು ಪ್ರಬಲವಾಗಿದೆ ಹಸಿರುಮನೆ ಅನಿಲ. ಇಂಟರ್‌ಗವರ್ನಮೆಂಟಲ್ ಪ್ಯಾನೆಲ್ ಆನ್ ಕ್ಲೈಮೇಟ್ ಚೇಂಜ್ (IPCC) ಇದು ಇಂಗಾಲಕ್ಕಿಂತ ಸಾವಿರಾರು ಪಟ್ಟು ಹೆಚ್ಚಿನ ಜಾಗತಿಕ ತಾಪಮಾನದ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು (GWP) ಹೊಂದಿದೆ ಎಂದು ಲೆಕ್ಕಾಚಾರ ಮಾಡಿದೆ. ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್ 100 ವರ್ಷಗಳ ಅವಧಿಯಲ್ಲಿ. ಇದು ಉದ್ಯಮವು ತುಂಬಾ ಗಂಭೀರವಾಗಿ ಪರಿಗಣಿಸುವ ಸತ್ಯ.

ಆದಾಗ್ಯೂ, ಕಥೆ ಅಲ್ಲಿಗೆ ಮುಗಿಯುವುದಿಲ್ಲ. ದಿ ಪರಿಸರದ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಇದು ಕೇವಲ ಅನಿಲದ ಸಾಮರ್ಥ್ಯದ ಮೇಲೆ ಅವಲಂಬಿತವಾಗಿರುವುದಿಲ್ಲ, ಆದರೆ ಅದರಲ್ಲಿ ಎಷ್ಟು ನಿಜವಾಗಿ ವಾತಾವರಣಕ್ಕೆ ಬಿಡುಗಡೆಯಾಗುತ್ತದೆ ಎಂಬುದರ ಮೇಲೆ ಅವಲಂಬಿತವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಮೊದಲೇ ಹೇಳಿದಂತೆ, NF₃ ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿದೆ. ಆಧುನಿಕದಲ್ಲಿ ಅರೆವಾಹಕ ಸೌಲಭ್ಯ, ಬಹುಪಾಲು ಬಳಸಿದ ಅನಿಲ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಸೇವಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಅಥವಾ ನಾಶವಾಗುತ್ತದೆ. ದಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಅದನ್ನು ಒಡೆಯುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಯಾವುದೇ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸದ ಅನಿಲ ದಣಿದಿದ್ದನ್ನು ಕಡಿಮೆಗೊಳಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗೆ ಕಳುಹಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಅತ್ಯಂತ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿದ್ದು, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಉಳಿದವುಗಳಲ್ಲಿ 99% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ನಾಶವಾಗುತ್ತವೆ NF₃.

PFC ಗಳಿಂದ ಉದ್ಯಮದ ಬದಲಾವಣೆ NF₃, ತಗ್ಗಿಸುವಿಕೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ವ್ಯಾಪಕ ಬಳಕೆಯೊಂದಿಗೆ ಸೇರಿ, ವಾಸ್ತವವಾಗಿ ನಿವ್ವಳ ಕಡಿತಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಿದೆ ಹಸಿರುಮನೆ ಅನಿಲ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಘಟಕಕ್ಕೆ. ಜವಾಬ್ದಾರಿಯುತ ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಕರು ಮತ್ತು ಅನಿಲ ಪೂರೈಕೆದಾರರು ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆಗೊಳಿಸುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಒಟ್ಟಾಗಿ ಕೆಲಸ ಮಾಡುತ್ತಾರೆ. ಇದು ಕನಿಷ್ಟ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಬಳಸಲು ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಉತ್ತಮಗೊಳಿಸುವುದನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ ಅನಿಲ ಅಗತ್ಯ ಮತ್ತು ಗರಿಷ್ಠ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಗಾಗಿ ತಗ್ಗಿಸುವಿಕೆಯ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು. ಆದ್ದರಿಂದ, ಆದರೆ NF₃ ಒಂದು ಪ್ರಬಲವಾಗಿದೆ ಹಸಿರುಮನೆ ಅನಿಲ ಲ್ಯಾಬ್ ಸೆಟ್ಟಿಂಗ್‌ನಲ್ಲಿ, ಅದರ ನೈಜ-ಪ್ರಪಂಚದ ಪರಿಸರದ ಹೆಜ್ಜೆಗುರುತು ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆ ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ನಿರ್ವಹಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅದನ್ನು ಬದಲಿಸಿದ ಪರ್ಯಾಯಗಳಿಗಿಂತ ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ.

ದೊಡ್ಡ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಫ್ಯಾಬ್‌ಗಳಿಗಾಗಿ ಆನ್-ಸೈಟ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಪಾತ್ರವೇನು?

ಆಧುನಿಕತೆಯ ಪ್ರಮಾಣ ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆ ಉಸಿರುಕಟ್ಟುವಂತಿದೆ. ಮೆಗಾ-ಫ್ಯಾಬ್ಸ್ ಎಂದು ಕರೆಯಲ್ಪಡುವ ಅತಿದೊಡ್ಡ ಸೌಲಭ್ಯಗಳು ಅಗಾಧ ಪ್ರಮಾಣದ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ. ಸಾರಜನಕದಂತಹ ಕೆಲವು ಅನಿಲಗಳಿಗೆ, ಸಾವಿರಾರು ಸಿಲಿಂಡರ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಟ್ರಕ್ಕಿಂಗ್ ಮಾಡುವ ಬದಲು ನೇರವಾಗಿ ಸೌಲಭ್ಯದಲ್ಲಿ ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಇದು ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿದೆ. ಇದನ್ನು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ ಆನ್-ಸೈಟ್ ಪೀಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚು ವಿಶೇಷವಾದ ಮತ್ತು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕತೆಗಾಗಿ ಅನಿಲ ಇಷ್ಟ NF₃, ಸ್ವಲ್ಪ ವಿಭಿನ್ನ ಮಾದರಿಯು ಹೊರಹೊಮ್ಮುತ್ತಿದೆ: ಆನ್-ಸೈಟ್ ಶುದ್ಧೀಕರಣ ಮತ್ತು ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ.

ತುಂಬಿರುವಾಗ NF₃ ಉತ್ಪಾದನೆ ಅಟ್ ಎ ಫ್ಯಾಬ್ ಅದರ ಸಂಕೀರ್ಣತೆಯಿಂದಾಗಿ ಅಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿದೆ, ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಬಳಕೆದಾರರು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಅತ್ಯಾಧುನಿಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತಾರೆ ಆನ್-ಸೈಟ್ ಅನಿಲ ನಿರ್ವಹಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು. ಒಂದು ಬೃಹತ್ ಪೂರೈಕೆ NF₃ ಫ್ಯಾಬ್‌ಗೆ ತಲುಪಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಂತರ ಈ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಅಂತಿಮ ಹಂತವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ ಶುದ್ಧೀಕರಣ ಮತ್ತು ಮೊದಲು ನಿರಂತರ ಗುಣಮಟ್ಟದ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ಅನಿಲ ದುಬಾರಿ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಪ್ರವೇಶಿಸುತ್ತದೆ. ಇದು ಗುಣಮಟ್ಟದ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಅಂತಿಮ ಪದರವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ಸರಬರಾಜು ಮಾರ್ಗಗಳಿಂದ ಯಾವುದೇ ಸಂಭಾವ್ಯ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಹಿಡಿಯುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ವಿಧಾನವು ಬೃಹತ್ ಖರೀದಿಯ ಆರ್ಥಿಕ ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ಗುಣಮಟ್ಟದ ಭರವಸೆಯೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆ ಆನ್-ಸೈಟ್ ನಿರ್ವಹಣೆ.

ಈ ವಿಕಸನಗೊಳ್ಳುತ್ತಿರುವ ಪೂರೈಕೆ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ. ಪೂರೈಕೆದಾರರಾಗಿ, ನಾವು ಸಿಲಿಂಡರ್‌ಗಳನ್ನು ತುಂಬುವುದನ್ನು ಮೀರಿ ನಮ್ಮ ಸೇವೆಗಳನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸಿದ್ದೇವೆ. ನಾವು ಈಗ ಕೆಲಸ ಮಾಡುತ್ತೇವೆ ಜಾಗತಿಕ ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಕರು ಸಮಗ್ರ ಅನಿಲ ವಿತರಣೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣಾ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲು ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಗತಗೊಳಿಸಲು. ಇದು ಮೀಸಲನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರಬಹುದು ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಲು ಪ್ರಮುಖ ಗ್ರಾಹಕರ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ, ವಿಶೇಷ ಲಾಜಿಸ್ಟಿಕ್ಸ್ ಅಥವಾ ಅವರ ಜೊತೆ ಏಕೀಕರಣ ಆನ್-ಸೈಟ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು. ಇದು ಬೇಡಿಕೆಯ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿಯನ್ನು ಒದಗಿಸುವ ಬಗ್ಗೆ 21 ನೇ ಶತಮಾನದ ಉತ್ಪಾದನೆ. ಇದು ನಮ್ಮ ಕಾರ್ಯತಂತ್ರದ ಪ್ರಮುಖ ಭಾಗವಾಗಿದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಗ್ರಾಹಕರಿಗೆ ಮಹತ್ವದ ಸೇವೆ ಸಲ್ಲಿಸುವಾಗ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳು.

ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ NF₃ ಶುದ್ಧತೆಯು ಉತ್ಪಾದನಾ ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಹೇಗೆ ಪ್ರಭಾವಿಸುತ್ತದೆ?

ರಲ್ಲಿ ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಪಂಚ, "ಇಳುವರಿ" ಎಲ್ಲವೂ. ಇದು ಏಕದಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಉತ್ತಮ, ಕೆಲಸ ಮಾಡುವ ಚಿಪ್‌ಗಳ ಶೇಕಡಾವಾರು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್. ಹೆಚ್ಚಿನ ಇಳುವರಿ ಎಂದರೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಲಾಭದಾಯಕತೆ; ಕಡಿಮೆ ಇಳುವರಿ ಆರ್ಥಿಕವಾಗಿ ವಿನಾಶಕಾರಿಯಾಗಬಹುದು. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅನಿಲಗಳ ಶುದ್ಧತೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಅನಿಲ ಇಷ್ಟ NF₃, ನೇರ ಮತ್ತು ನಾಟಕೀಯ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಉತ್ಪಾದನಾ ಇಳುವರಿ.

ಒಂದು ಊಹಿಸಿ ಅಶುದ್ಧತೆ ತೇವಾಂಶದ ಒಂದು ಸಣ್ಣ ಕಣದಂತೆ (H₂O) ಅಥವಾ ಇನ್ನೊಂದು ಅನಿಲರೂಪದ ಸಂಯುಕ್ತ ನೊಂದಿಗೆ ಬೆರೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ NF₃. ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಅದು ಅಶುದ್ಧತೆ ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆಗೆ ಅಡ್ಡಿಪಡಿಸಬಹುದು, ಚಿಪ್ನ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ರಿಯಲ್ಲಿ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ದೋಷವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು. ಇದು ನಿರ್ಬಂಧಿಸಬಹುದು ಎಚ್ಚಣೆ, ವಸ್ತುವನ್ನು ಇರಬಾರದ ಸ್ಥಳದಲ್ಲಿ ಬಿಡುವುದು, ಅಥವಾ ಅತಿಯಾದ ಕೆತ್ತನೆಯನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುವುದು, ಹೆಚ್ಚಿನ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುವುದು. ಯಾವುದೇ ರೀತಿಯಲ್ಲಿ, ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಅದರ ಅಂತಿಮ ಪರೀಕ್ಷೆಯಲ್ಲಿ ವಿಫಲರಾಗುತ್ತಾರೆ. ನೀವು ಒಂದೇ ಚಿಪ್‌ನಲ್ಲಿ ಲಕ್ಷಾಂತರ ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸುವಾಗ, ಒಂದು "ಕೊಲೆಗಾರ ದೋಷ" ಕೂಡ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ ಅಶುದ್ಧತೆ ಸಂಪೂರ್ಣ ಚಿಪ್ ಅನ್ನು ಅನುಪಯುಕ್ತಗೊಳಿಸಬಹುದು.

ಇದಕ್ಕಾಗಿಯೇ ನಾವು ಗುಣಮಟ್ಟದ ನಿಯಂತ್ರಣದಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚು ಹೂಡಿಕೆ ಮಾಡುತ್ತೇವೆ. ಪ್ರಮಾಣೀಕೃತ, ಅಲ್ಟ್ರಾ- ಒದಗಿಸುವ ಮೂಲಕಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ NF₃, ನಾವು ನಮ್ಮ ಗ್ರಾಹಕರಿಗೆ ವಿಶ್ವಾಸವನ್ನು ನೀಡುತ್ತೇವೆ ಅನಿಲ ದೋಷಗಳ ಮೂಲವಾಗುವುದಿಲ್ಲ. ಏಕಾಗ್ರತೆಯನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವುದು ಪ್ರತಿ ಶತಕೋಟಿಯ ಭಾಗಗಳವರೆಗಿನ ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಘಟಕವು ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಸ್ಥಿರ ಮತ್ತು ಪುನರಾವರ್ತಿತವಾಗಿದೆ. ಸ್ಥಿರವಾದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಊಹಿಸಬಹುದಾದ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನದಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ ಉತ್ಪಾದನಾ ಇಳುವರಿ, ಇದು ಪ್ರತಿಯೊಂದಕ್ಕೂ ಅಂತಿಮ ಗುರಿಯಾಗಿದೆ ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಕ. ಪೂರೈಕೆದಾರರಾಗಿ ನಮ್ಮ ಪಾತ್ರ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು ಅಸ್ಥಿರಗಳನ್ನು ತೊಡೆದುಹಾಕಲು ಮತ್ತು ರಾಜಿಯಾಗದ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಉತ್ಪನ್ನವನ್ನು ಒದಗಿಸುವುದು.

ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ಪೂರೈಕೆದಾರರಲ್ಲಿ ನೀವು ಏನು ನೋಡಬೇಕು?

ಮಾರ್ಕ್‌ನಂತಹ ಸಂಗ್ರಹಣೆ ಅಧಿಕಾರಿಗೆ, ಅಂತಹ ನಿರ್ಣಾಯಕ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಸರಿಯಾದ ಪೂರೈಕೆದಾರರನ್ನು ಆರಿಸುವುದು NF₃ ಬೆಲೆಗಳನ್ನು ಹೋಲಿಸುವುದನ್ನು ಮೀರಿದೆ. ಕೆಟ್ಟ ಪಾಲುದಾರಿಕೆಯ ಅಪಾಯಗಳು - ಸಾಗಣೆ ವಿಳಂಬಗಳು, ಗುಣಮಟ್ಟದ ಸಮಸ್ಯೆಗಳು, ಕಳಪೆ ಸಂವಹನ - ಸರಳವಾಗಿ ತುಂಬಾ ಹೆಚ್ಚು. ನನ್ನ ಅನುಭವದ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ, ಪರಿಗಣಿಸಬೇಕಾದ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶಗಳು ಇಲ್ಲಿವೆ:

ಮೊದಲನೆಯದಾಗಿ, ಪರಿಶೀಲಿಸಬಹುದಾದ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಪ್ರಮಾಣೀಕರಣಗಳು. ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಪೂರೈಕೆದಾರರು ಪ್ರತಿ ಸಾಗಣೆಯೊಂದಿಗೆ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಯ ಪ್ರಮಾಣಪತ್ರವನ್ನು (CoA) ಒದಗಿಸುತ್ತಾರೆ, ಶುದ್ಧತೆಯ ಮಟ್ಟವನ್ನು ವಿವರಿಸುತ್ತಾರೆ ಮತ್ತು ಯಾವುದೇ ಪತ್ತೆಯಾದ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಪಟ್ಟಿ ಮಾಡುತ್ತಾರೆ. ಅವರು ISO 9001 ನಂತಹ ಅಂತರರಾಷ್ಟ್ರೀಯ ಮಾನದಂಡಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿರಬೇಕು. ಅವರ ವಿಶ್ಲೇಷಣಾತ್ಮಕ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳ ಬಗ್ಗೆ ಕೇಳಿ. ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ಅವರು ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದಾರೆಯೇ? ಅರೆವಾಹಕ ಅರ್ಜಿಗಳು?

ಎರಡನೆಯದಾಗಿ, ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿಯ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ ಮತ್ತು ಪಾರದರ್ಶಕತೆ. ವಿಳಂಬವನ್ನು ತಡೆಯಲು ಪೂರೈಕೆದಾರರು ದೃಢವಾದ ಲಾಜಿಸ್ಟಿಕ್ಸ್ ನೆಟ್ವರ್ಕ್ ಅನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸಬಹುದೇ? ಅವರು ಅನಗತ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದಾರೆಯೇ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳು ಸ್ಥಿರ ಪೂರೈಕೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು? ಇಲ್ಲಿ ಸಂವಹನವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ. ನಿಮ್ಮ ಪೂರೈಕೆದಾರರು ಪೂರ್ವಭಾವಿಯಾಗಿರಬೇಕು, ಸಾಗಣೆಗಳ ಕುರಿತು ನವೀಕರಣಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಬೇಕು ಮತ್ತು ಪ್ರಶ್ನೆಗಳಿಗೆ ಉತ್ತರಿಸಲು ಸುಲಭವಾಗಿ ಲಭ್ಯವಿರಬೇಕು. ಇದು ಅಸಮರ್ಥ ಸಂವಹನದ ನೋವಿನ ಬಿಂದುವನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ತಿಳಿಸುತ್ತದೆ.

ಅಂತಿಮವಾಗಿ, ತಾಂತ್ರಿಕ ಪರಿಣತಿಯನ್ನು ನೋಡಿ. ಉತ್ತಮ ಪೂರೈಕೆದಾರರು ಕೇವಲ ಉತ್ಪನ್ನವನ್ನು ಮಾರಾಟ ಮಾಡುವುದಿಲ್ಲ; ಅವರು ಪರಿಹಾರವನ್ನು ನೀಡುತ್ತಾರೆ. ಅವರು ನಿಮ್ಮ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳಬೇಕು ಮತ್ತು ತಾಂತ್ರಿಕ ಬೆಂಬಲವನ್ನು ನೀಡಲು ಸಾಧ್ಯವಾಗುತ್ತದೆ. ಅವರು ಸುರಕ್ಷತೆ, ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ಸುತ್ತಮುತ್ತಲಿನ ಪರಿಸರ ನಿಯಮಗಳ ಬಗ್ಗೆ ತಿಳಿದಿರಬೇಕು ಅನಿಲ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳು. ಕೇವಲ ಮಾರಾಟಗಾರನಿಗಿಂತ ಜ್ಞಾನದ ಪಾಲುದಾರನಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಬಲ್ಲ ಪೂರೈಕೆದಾರನು ಅನಂತವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚು ಮೌಲ್ಯಯುತನಾಗಿರುತ್ತಾನೆ. ಈ ಪರಿಣತಿಯು ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ, ಲಾಭದಾಯಕ ಸಂಬಂಧದ ಅಡಿಪಾಯವಾಗಿದೆ. ನಾವು ನಮ್ಮ ಎಲ್ಲಾ ಗ್ರಾಹಕರಿಗೆ ಆ ಪಾಲುದಾರರಾಗಲು ಪ್ರಯತ್ನಿಸುತ್ತೇವೆ, ಕೇವಲ ಒದಗಿಸುವುದಿಲ್ಲ ಅನಿಲ ಆದರೆ ಮನಸ್ಸಿಗೆ ನೆಮ್ಮದಿ ಸಿಗುತ್ತದೆ.

ಪ್ರಮುಖ ಟೇಕ್ಅವೇಗಳು

• ಅಗತ್ಯ ಸಾಧನ: ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (NF₃) ವಿಮರ್ಶಾತ್ಮಕ ವಿಶೇಷತೆಯಾಗಿದೆ ಅನಿಲ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಚೇಂಬರ್ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್ಗಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ.
• ಉತ್ಕೃಷ್ಟ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ: NF₃ ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಹಳೆಯ PFC ಅನಿಲಗಳಿಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಪರಿಸರ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಳಕೆಯ ದರಗಳು ಮತ್ತು ಆಧುನಿಕ ಕಡಿತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ ಧನ್ಯವಾದಗಳು.
• ಶುದ್ಧತೆ ಲಾಭದಾಯಕತೆ: ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ NF₃ ಮಾತುಕತೆಗೆ ಸಾಧ್ಯವಿಲ್ಲ. ಜಾಡಿನ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಸಹ ದೋಷಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು a ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್, ತೀವ್ರವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಉತ್ಪಾದನಾ ಇಳುವರಿ ಮತ್ತು ಲಾಭದಾಯಕತೆ ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆ.
• ಸುರಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆ ಮುಖ್ಯ: ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುವಾಗ, NF₃ ವಿಷಕಾರಿ ಮತ್ತು ಆಕ್ಸಿಡೈಸಿಂಗ್ ಆಗಿದೆ ಅನಿಲ ಅದಕ್ಕೆ ವಿಶೇಷ ನಿರ್ವಹಣೆ, ಪ್ರಮಾಣೀಕೃತ ಸಿಲಿಂಡರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಸುರಕ್ಷತಾ ಪ್ರೋಟೋಕಾಲ್‌ಗಳ ಆಳವಾದ ತಿಳುವಳಿಕೆ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ.
• ಪೂರೈಕೆದಾರರ ಆಯ್ಕೆಯು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ: ಒಂದು ಆಯ್ಕೆಮಾಡುವಾಗ NF₃ ಪೂರೈಕೆದಾರ, ಪರಿಶೀಲಿಸಬಹುದಾದ ಗುಣಮಟ್ಟ, ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿಯ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ, ಪಾರದರ್ಶಕ ಸಂವಹನ ಮತ್ತು ಆಳವಾದ ತಾಂತ್ರಿಕ ಪರಿಣತಿಯನ್ನು ಬೆಲೆಗೆ ಆದ್ಯತೆ ನೀಡಿ.