Huazhong газы өнеркәсіптік және өнеркәсіптік ғылымды игеруге арнады Газ мамандығы Өндіріс. Қазіргі жоғары технологиялық әлемде, әсіресе аясында жартылай өткізгіш Өнеркәсіп, сұраныс Ультра жоғары тазалық газдар тек артықшылық емес; Бұл абсолютті қажеттілік. Бұл мақала сыни әлемге әкеледі Желілік талдау -ға Электрондық мамандық газдар. Неге ең кішкентайын зерттейміз қоспасы үлкен салдары болуы мүмкін, біз мұны қалай анықтаймыз Кір маталар, және бұл бизнес үшін нені білдіреді. Түсінетін Газ қоспалары және олардың әдістері тазалық және анықтау, мысалы ICP-MS, қазіргі заманғы сенімділік пен жұмысты қамтамасыз етудің кілті электроника. Бұл бөлік сіздің уақытыңызды қажет етеді, өйткені ол зауыттық инсайдерлердің қатаң сақтау туралы перспективасын ұсынады Электрондық мамандандырылған газдардың тазалығы, бұрыштың тірегі жартылай өткізгіш жіне электроника секторлар.

Электрондық мамандық газдар дегеніміз не және олардың тазалығы жартылай өткізгіш өндірісінде олардың тазалығы өте маңызды?

Электрондық мамандық газдар, көбінесе деп аталады Электрондық газдар немесе Жартылай өткізгіш газдар, бірегей санат болып табылады Жоғары тазалық газдары жіне Газ қоспалары Электрондық компоненттерді өндіруге қатысатын күрделі процестер үшін арнайы жасалған. Оларды сандық дәуірдің көрінбейтін сәулетшілері деп санаңыз. Осы Жартылай өткізгіште қолданылатын газдар ПАЛАЛАРДЫ ПАЛАЛЫҚ ТАЗАЛАУ ҮШІН СЛАНЕ (SIKH₄), Silane (SIH₄) сияқты түрлі ауқым, мысалы, камераны тазарту үшін, аргон (AR) инертті қалқан ретінде және әртүрлі Допинг газдары электр қасиеттерін өзгерту үшін фосфин (PH₃) немесе Arsine (Ash₃) сияқты жартылай өткізгіш Материалдар. Мерзімі «Электронды мамандық«Өзі олардың жеке қосымшасы мен олардың құрамындағы төтенше дәлдікті көрсетеді. Бұл сіздің күнделікті емес Өнеркәсіптік газдар; Олардың техникалық сипаттамалары әлдеқайда қатал.

Олардың ең маңызды маңыздылығы бізіз әсіресе, шамадан тыс болуы мүмкін емес Жартылай өткізгіш өндірісі. Заманауи интеграцияланған тізбектер (ICS) Айтританттар мен өткізгіш жолдармен ерекшеленеді, олар керемет кішкентай, көбінесе нанометрлерде (метрдің миллиардтаған бөлігі) өлшенеді. Бұл микроскопиялық масштабта, тіпті бірыңғай емес атом-ан қоспасы- Үлкен ағындағы тас сияқты, ең кішкентай ағын сияқты, электрлік ағынды бұзады немесе құрылымдық ақауларды тудырады. Бұл ақаулы чипке және салада, ал бірде-бір вафлиде миллиондаған чиптер, қаржы және беделді шығындар кең таралған ластану орасан жасай алады. Сондықтан, Электрондық мамандандырылған газдардың тазалығы бұл бүкіл негізделетін тірек Электроника және жартылай өткізгіш Өнеркәсіп тұр. Іркім қоспасы Құрылғының өнімділігі, өнімділігі және сенімділігі, қатаңдық жасауға болады Газды тазалық бақылау маңызды.

Huazhong газында біз өз клиенттеріміздің Жартылай өткізгіш өнеркәсіп Бізге «бес тоғызға» (99,999%) немесе «алты тоғыз» (99,9999%) (99,9999%) (99,9999%) (99.9999%) (99,9999%) түседі. Бұл кез-келген қоспасы Миллионға (PPM) немесе бір миллиардқа (PPB) немесе тіпті бөліктерден төмен концентрациялар болуы керек. Осындай қол жеткізу және тексеру Жоғары тазалық деңгейлер күрделі талап етеді тазалық Техника және, өте маңызды, жетілдірілген Желілік талдау Әдістері. Күтпеген жер қоспасы сонымен қатар мәселелерді де көрсете алады Газ баллондары немесе жеткізілім тізбегі, сапалы тексерудің дәйекті тексеруі өте маңызды. Біз өзімізді қамтамасыз етеміз Азот цилиндрі Мысалы, ұсыныстар, осы талап етілетін стандарттарға сәйкес келіңіз, өйткені азот - бұл көптеген жартылай өткізгіштерді дайындау қадамдары.

Тіпті микроскопиялық микроскопиялық микроскопиялық қоспалар қалай жартылай өткізгіш өндірістік желілерден тұрады?

Кейде бір нәрсені қалай аз елестету қиын, а Білікті қоспалық Бір миллиардқа (PPB) немесе бір триллионға (PPT) немесе тіпті бөліктермен өлшенеді, мұндай маңызды мәселелерді тудыруы мүмкін. Бірақ әлемде жартылай өткізгіш Өндіріс, бұл микроскопиялық ластау ірі зұлымдар. Кәдімгі жартылай өткізгішті жасау процесін қарастырайық: ол Doosens, кейде жүздеген, кейде жүздеген, кейде дақылдар (жұқа қабықшаларды салу), иілу (кетіру (материалды шығару) және ион имплантациясы (белгілі бір атомдарды салу). Әр қадам дәл бақыланатын химиялық ортаға, көбінесе құрылған немесе сақталған Электрондық мамандық газдар. Егер а пайдаланылатын газ Осы қадамдардың бірінде қажет емес қоспасы, бұл қоспасы Нәзік қабаттарға енгізуге болады жартылай өткізгіш құрылғы.

Мысалы, Металл қоспалар Натрий, темір немесе мыс сияқты, тіпті ультра төмен концентрацияда да, кремнийдің электрлік қасиеттерін түбегейлі өзгертуі мүмкін. Олар қажетсіз өткізгіш жолдарды құруға, қысқа тұйықталуға әкелуі немесе электрондардың ағынына кедергі келтіретін, құрылғыны баяулататын немесе оны толығымен сәтсіздікке ұшыратуы мүмкін. В қоспасы Сондай-ақ, технологиялық қадамға арналған химиялық реакцияларға кедергі келтіруі мүмкін. Мысалы, а ластау Газ іше отырып, вафлидегі нақты үлгілерді бұзуға немесе артық алуды тудыруы мүмкін. Әсер тек жеке чиптерде емес; анықталмаған қоспасы Мәселе әскерлердің барлық партияларына әкеліп соқтырады, нәтижесінде сапалы материалдарды тұрақты қамтамасыз етуді қамтамасыз етуі керек, Марк Шен сияқты, өндіріс кешігулері, өндіріс кешігулері және бас ауруы. Бұл сенімді болу үшін маңызды қажеттіліктерді көрсетеді Кірімдерді өлшеу.

Қиындық - кез келген үшін «қолайлы» деңгей қоспасы Шамамен ұстайды жартылай өткізгіш Құрылғының мүмкіндіктері кішірейеді. Қандайша қабылданды қоспасы Деңгей деңгейі апатты болуы мүмкін ластану бүгін. Бұл миниатюризацияға арналған бұл шектеулі диск газ өндірушілері мен аналитикалық зертханаларға үлкен қысым жасайды Анықтау шегі Мүмкіндіктер. Тіпті бөлшектеп Қосп, кішкентай шаң дақтары жалаңаш көзге көрінбейді, фотолитография қадамдарында жарық пен вафли бетіне физикалық ақаулар жасауы мүмкін. Сондықтан, барлық әлеуетті бақылау қоспасы - Газ тәріздес, металл, немесе бөлшектеп - өте маңызды. Та Кірдің диапазоны бұл мәселелердің пайда болуына әкелуі мүмкін, бұл жан-жақты баса назар аудара алады Газды талдау.

Ең көп кездесетін қиындықтар? Электроникаға арналған газдардағы қоспаларды анықтау.

Біз сөйлескен кезде Газдардағы қоспалар мақсатына арналған Электроника және жартылай өткізгіш Сектор, біз әр түрлі кейіпкерлерге қарап, әрқайсысы айтарлықтай зиян келтіруі мүмкін. Осы Доңғалақтар анықталады Базалық, металл және бөлшектер формаларына кеңірек болуы мүмкін. Бұл жалпы проблемалар - бұл тиімді алғашқы қадам Желілік талдау және бақылау. Нақты қоспалар қатысады Газдың өзіне, оның өндіріс әдісіне, сақтауға және өңдеуге байланысты өзгеруі мүмкін.

Газасты кірлер Негізгі газдар негізгі болып табылады Газ мамандығы. Мысалы, Жоғары тазалық Азот, жалпы газ тәрізді кірлер болуы мүмкін (O o o o o o o o o o o o o₂), ылғал (грок), көмірқышқыл газы (CO), көміртегі тотығы (CO), көмірсутектер (CHₓ). Оттегі мен ылғал, әсіресе проблемалы, өйткені олар өте реактивті және қажетсіз тотығуға әкелуі мүмкін жартылай өткізгіш Материалдар немесе технологиялық жабдық. Тіпті инертті газ сияқты аргон, бұларды бақылау деңгейлерінде болуы мүмкін. Компания ретінде біз талдау туралы өтініштерді жиі көреміз қоспалардың кең ассортименті, соның ішінде осы реактивті түрлер. Мысалы, біздің мүмкіндіктерімізге өндірілетін кешен кіреді Сөмір Әр компонентті, оның ішінде ықтимал газ тәріздейтін өнімдер кірлер, бұл өте маңызды.

Металл қоспалар тағы бір маңызды мәселе. Бұл натрий (NA), калий (К), кальций (ф.), кальций (Fe), мыс (КО), мыс (NI), никель (Ni), хром (CR), алюминий (алюминий) сияқты металдар атомдары. Олар шикізаттан, өндірістік жабдықтардан (құбырлар мен реакторлар сияқты), немесе тіпті Газ баллондары егер дұрыс емделмеген болса, өздері. Жоғарыда айтылғандай, мыналар Металл қоспалар электрлік жұмысына қатты әсер етуі мүмкін жартылай өткізгіш құрылғылар. PPB немесе PPT деңгейлерінде оларды анықтау индуктивті байланысқан плазмалық массалық спектрометрия сияқты жоғары сезімтал аналитикалық әдістерді қажет етеді (ICP-MS). Біз де қарастыруымыз керек бөлшектеп Мәселе. Бұл ең кішкентай қатты немесе сұйық бөлшектер Газ ағыны. Олар вафлиге физикалық ақауларды, жабдыққа арналған саңылауларды жауып тастай алады немесе басқалармен таныстыруға болады ластау. Фильтрация бөлшектерді алып тастаудың кілті болып табылады, бірақ олардың деңгейлерін бақылау да жан-жақты емес Газ сапасы Бағдарлама. Кей-бір Электрондық мамандық газдар сондай-ақ Коррозиялық газдар немесе улы газдар, бұл олардың өңделуі мен талдауларына күрделіліктің басқа қабатын қосады қоспасы Профиль бұл қауіпті ушықтырмайды.

ICP-MS: жартылай өткізгіш газдардағы металл қоспаларды анықтауға арналған алтын стандарт?

Бұл туралы қашан Металл қоспаларды талдау -да Ультра жоғары тазалық газдары, Индуктивті байланысқан плазмалық массалық спектрометрия немесе ICP-MS, жетекші технология ретінде кеңінен қарастырылады. Бұл кең ассортиментін анықтай және мөлшерлендіретін қуатты аналитикалық әдіс Элементтік қоспалар, көбінесе таңқаларлық төмен деңгейге дейін - кейбір элементтерге бір-бір триллион (PPT) немесе бір-біріне бір-біріне (PPQ) (PPQ) -ға бөлінеді. Бұл сезімталдық дәл осылай ICP-MS үшін өте маңызды болды жартылай өткізгіш Өнеркәсіп, онда, біз талқылағандай, тіпті минуттық іздер Металл қоспалар зиянды болуы мүмкін Өнімнің сапасы.

Қалай істейді ICP-MS Сиқырлы жұмыс? Қарапайым түрде, Газ үлгісі (немесе газдан алынған шешім) өте ыстық плазмаға енгізіледі, әдетте аргон. 6000-нан 10 000 ° C-қа дейінгі температураға жететін бұл плазма, газ молекулаларын сындырып, бар, соның ішінде кез-келген Металл қоспалар. Содан кейін бұл иондар плазмадан алынады және масс-спектрометрге бағыттайды. Масс-спектрометр иондарды массадан зарядтауға байланысты бөліп, өте дәл сүзгі сияқты әрекет етеді. А детектор Содан кейін әрбір нақты массаның иондарын есептейді, бұл бізге қандай элементтер бар екенін және қандай мөлшерде болатындығын анықтауға мүмкіндік береді. Қабілеті ICP-MS Кең спектрді іздеу Мамандық газдардағы металл қоспалары бір уақытта оны тиімді етеді.

Сол екі арада ICP-MS өте күшті, бұл оның қиындықтарынсыз, әсіресе қарым-қатынас жасаған кезде Жартылай өткізгіште қолданылатын газдар дайындау. Бір жалпы тәсіл - тұзаққа түсу кірлер газдың үлкен көлемінен коллекция ортасына немесе сұйықтыққа түседі, ол содан кейін талданады ICP-MS. Алайда, тікелей Газды тікелей айдау ішіне ICP-MS Сондай-ақ, жүйе белгілі бір қосымшалар үшін жиі кездеседі, дегенмен арнайы интерфейстерді қажет етеді. Әдістің таңдауы нақтыға байланысты Газ қоспалары қызығушылық, матрицалық газ және қажет Анықтау шегі. Huazhong газында біз заманауи аналитикалық жабдықтарға, соның ішінде аналитикалық жабдықтарға көп қаражат саламыз ICP-MS мүмкіндіктер, өйткені біз сенімді қамтамасыз етуді білеміз Желілік талдау Деректер біздің клиенттеріміздің біздің клиенттерімізге деген сеніміміз үшін негіз болып табылады Жоғары тазалық газдар. Дәлдік ICP-MS Мұның болуына көмектеседі Газдардың тазалығы қатаң талаптарға жауап береді Электрондық сынып Материалдар.

Неліктен ағынды газдың тазалығы электроника және жартылай өткізгіштік салалар үшін келісілмейді?

Бұзылу қажеттілігі Газды тазалық ішінде Электроника және жартылай өткізгіштер жай ғана артықшылық емес; Бұл заманауи құрылғыларды өндірудің физикасы мен экономикасы басқаратын негізгі талап. Қалай жартылай өткізгіш Құрылғының мүмкіндіктері нанометр шкаласына, олардың кез-келген түріне сезімталдығына байланысты ластану Скироккеттер. В қоспасы Бұл үлкенірек болуы мүмкін, үлкен құрылғылар енді жиектерді кесу кезінде апатты істен шығуы мүмкін. Бұл кірістілікке тікелей әсер етеді - вафли үшін жақсы чиптер пайызы - және кірістіліктің аз мөлшері де миллиондаған долларға жоғалған кірістерге аудара алады жартылай өткізгіш Өндіруші.

Заманауи микропроцессордың немесе жад чипінің күрделі архитектурасы туралы ойланыңыз. Онда құрамында миллиардтаған транзисторлар, олардың әрқайсысы миниатюралық техниканың таңғажайыптары бар. Бұл транзисторлардың өнімділігі электрлік қасиеттерге байланысты жартылай өткізгіш қолданылатын материалдар, олар өз кезегінде, жоғары сезімтал кірлер. Мысалы, белгілі Металл қоспалар Кремний жолағында қалаусыз энергия деңгейлерін енгізе алады, ағып кету тогының ағып кетуіне немесе тасымалдаушының қысқаруына әкеледі. Бұл баяу, аз тиімді немесе толығымен функционалды емес құрылғыларды білдіреді. Газасты кірлер Оттегі немесе ылғал сияқты, құрылғы жұмыс істеуі үшін, пленка қалыңдығы немесе интерфейсінің қасиеттерін өзгертетін оксид қабаттарының пайда болуына әкелуі мүмкін. Жалпы Газ сапасы тікелей аударады Өнімнің сапасы және сенімділік.

Сонымен қатар, Электроника және жартылай өткізгіштер өте күрделі және қымбат өндірістік процестермен сипатталады. Жалғыз жартылай өткізгіш ПАСҚУ ӨСІМІ («FAB») салуға және жабдықтауға миллиардтаған доллар шығын әкелуі мүмкін. Та пайдаланылған газдар осы қымбат процестерді өңдеудің көпшілігіне арналған. Егер а Газ мамандығы ластанған қоспасы, бұл қазір өңделіп жатқан вафлидерге әсер етпейді; Сондай-ақ, ол қымбат технологиялық жабдықтарды ластайды. Бұл тазарту және реквалификациялау үшін ұзартылуы мүмкін, әрі қарай шығындар, ал өндіріс кестесін одан әрі қосу және өндіріс кестесін бұзу - Марк Шен сияқты ауыр ауырсыну нүктесі, ол Марк Шен сияқты үлкен ауырсыну нүктесі, ол өзінің клиенттерінің талаптарын қанағаттандыруға тырысады. Сондықтан, оны қамтамасыз ету Электрондық мамандандырылған газдардың тазалығы қатаң түрде Желілік талдау бүкіл жеткізілім тізбегіне арналған тәуекелдерді азайту стратегиясы. Фокус Жоғары тазалық газдары Себебі, үлестер өте жоғары болғандықтан, артық.

Арнайы газдардағы металл қоспаларды талдауда қандай негізгі міндеттер тұр?

Талдау Металл қоспалар -да Арнайы газдар, әсіресе, оларда қолданылатындар жартылай өткізгіш Өнеркәсіп, бірегей міндеттер жиынтығын ұсынады. Бастапқы қиындық өте төмен концентрациядан туындайды кірлер проблемалық болуы мүмкін - көбінесе миллиардтаған бөліктерде (PPB) немесе тіпті триллион (PPT) ауқымында. Мұндай минуттық соманы анықтау және дәл анықтау тек сезімтал аналитикалық аспаптарға ғана қажет емес ICP-MS Сонымен қатар, сыртқы орталармен таныспау үшін, сонымен қатар, бір-ақ, анализикалық орталар мен егжей-тегжейлі үлгілерді өңдеудің мұқият өңдеу протоколдары ластану.

Бір маңызды міндет - бұл үлгі енгізу. Көптеген Мамандық газдары пайдаланылды -да электроника жоғары реактивті, коррозиялық немесе тіпті пирофорикалық (ауада өздігінен жанбайды). Оларды қауіпсіз және тиімді түрде беру газдар аналитикалық құралға ICP-MS өзгерместен Газ үлгісі немесе құралды ластау мамандандырылған интерфейстер мен өңдеу процедураларын қажет етеді. Мысалы, тікелей инъекция Коррозиялық газ Стурденген хлориді (HCL) стандартқа ұқсас ICP-MS Жүйе оны қатты зақымдауы мүмкін. Сондықтан, жанама әдістер, мысалы, императорды ұстап алу (газды сұйықтық арқылы алу үшін алу) кірлернемесе криогендік тоқырау, жиі жұмыс істейді. Алайда, бұл әдістер өздерінің ықтимал көздерін енгізе алады ластану немесе егер толық орындалмаса, аналит алыңыз. Таңдау Тасымалдаушы газ Қажет болса, сұйылту үшін де мінсіз болуы керек бізіз.

Тағы бір қиындық - «матрицалық әсер». Жаппай газ өзі (мысалы, аргон, азот, сутек) анықтауға кедергі келтіруі мүмкін Кір маталар. Мысалы, ICP-MS, плазмасы жаппай газ Массалық қатынасы бар полиатомиялық иондар жасай алады Металл қоспалар, жалған позитивтерге немесе дәл емес сандыққа әкеледі. Сарапшылар соқтығысу / реакция жасушалары сияқты әдістерді қолдануы керек ICP-MS немесе осы спектрлік кедергілерді жеңу үшін жоғары ажыратымдылықтағы масс-спектрометрия. Сонымен қатар, сандық бағалау үшін қолданылатын калибрлеу стандарттары Металл қоспалар өте дәл және трассасы болуы керек, ал сенімділікті қамтамасыз ету үшін барлық аналитикалық процесс расталуы керек Желілік талдау Нәтижелер. Біз, жеткізуші ретінде, сонымен қатар тұтастығыңыз туралы алаңдаймыз Газ баллондары және олардың үлес қосу мүмкіндігі Металл қоспалар уақыт өте келе сапаны бақылауды қажет етеді.

Газ алмасу құрылғысын қолдануға болады, бұл қоспаларды өлшеу дәлдігін арттыра ма?

Иә, Газ алмасу құрылғысын пайдалану дәлдікті жақсартуда маңызды рөл атқара алады Кірімдерді өлшеу, әсіресе қиын жағдайға тап болған кезде газ матрицалар немесе ультра төмен болу кезінде Анықтау шегі. А Газ алмасу құрылғысыкейде матрицалық жою жүйесі деп аталады, негізінен жаппай алып тастау арқылы жұмыс істейді газ (негізгі компоненті Газ үлгісі) шоғырланған кезде Кір маталар қызығушылық. Бұл концентрацияға дейінгі қадам кейінгі аналитикалық әдістердің сезімталдығын күрт жетілдіре алады ICP-MS немесе Газды хроматограф Жүйелер.

Көптеген принцип Газ алмасу құрылғылары жартылай өткізгіш мембрананы немесе селективті адсорбция / десорбция механизмін қамтиды. Мысалы, палладий мембранасын сутекті а-дан алу үшін қолдануға болады Газ қоспасы, басқаларға мүмкіндік береді Газдардағы қоспалар шоғырланған және а-ға өту детектор. Сол сияқты, белгілі бір адсорбентке арналған материалдар белгілі кірлер ағып кетуден газ содан кейін оны термиялық түрде таза, ал аздап тазартады Тасымалдаушы газ талдау үшін. Жаппай мөлшерін азайту арқылы газ жету детектор, бұл құрылғылар матрицалық кедергілерді азайтады, фондық шуды төмендетеді және нысанаға қатысты сигналға байланысты сигналға тиімін арттырады Кір маталар. Бұл төменге әкелуі мүмкін Анықтау шегі.

Пайдасы Газ алмасу құрылғысын пайдалану талдау кезінде әсіресе айқын көрінеді Электрондық қоспалар Тікелей немесе осы аналитикалық құралдарға айтарлықтай араласуға қиын болатын газдар. Мысалы, оттегі немесе ылғалды жоғары реактивті түрде өлшеу кезінде Газ мамандығы, а Газ алмасу құрылғысы ықтимал оларды бөлек бөлуі мүмкін кірлер неғұрлым қауіпсіз Тасымалдаушы газ сияқты аргон немесе олардың жетпес бұрын гелий детектор. Бұл дәлдікті жақсартып қана қоймай, сезімтал аналитикалық компоненттерді де қорғай алмайды. Өндіруші ретінде 99,999% Тазалық 50л Цилиндр Ксенон газы, біз ерекше әдістердің маңызын түсінеміз, ерекше әдістерді түсінеміз бізіз сирек және Арнайы газдар. Бұл технология сыни Газды тазарту және тексеру кезеңдері.

Сындарлы буын: жартылай өткізгіш өндірісінде қолданылатын газдардағы қоспалық талдау.

Та тікелей жартылай өткізгіш өндірісінде қолданылатын газдар өндірістің тіршілік үйі. Оларға жай ғана емес Үлкен газдар азот және аргонсонымен қатар кең массив Электрондық мамандық газдар сияқты Эпитаксилі газдар (мысалы, кристалды қабаттарды өсіру үшін), газдар (мысалы,, nf₃, sf₆, cl₂ patterning), Ион имплантациясы газдары (мысалы, допингке арналған арсине, фосфон, бор трифториді) және тұндыру газдары. Олардың әрқайсысы үшін газдар қажет, қолайлы деңгей және түрі қоспасы дұрысты анықталады, өйткені кез-келген ауытқу тікелей ақауларға тікелей аудара алады жартылай өткізгіш вафли. Бұл жасайды Желілік талдау Бұл үшін технологиялық газдар сапаны бақылаудың өте маңызды қадамы.

Транзисторлардағы жұқа кремний диоксиді қабатының тұндыруын қарастырыңыз. Егер оттегі болса газ қолданылады Бұл процесте көмірсутек бар кірлер, Көміртекті оксид қабатына енгізуге, оқшаулағыш қасиеттерді қорлайтын және құрылғының істен шығуына әкелуі мүмкін. Сол сияқты, егер мүмкін болса газ Құрамында күтпеген жағдай бар қоспасы, бұл тым үлкен, тым үлкен, тым кішкентай немесе дұрыс емес пішінді мүмкіндіктерге әкелуі мүмкін. Тіпті қоспасы ішінде инертті газ сияқты Аргон газ цилиндрі Шұшпара үшін пайдаланылатын пленка сапасына әсер ететін вафли бетіне берілуі мүмкін. Әсері қоспасы жиі өңделеді, мағынасы қоспасы бір сатыда төзімді болуы мүмкін ластау басқасында.

Бұл сыни байланыс жан-жақты көзқарасты қажет етеді Желілік талдау. Бұл түпкілікті өнімді тексеру туралы ғана емес; Оған шикізат, процессте ағындар және финал мониторингі кіреді газ тазарту кезеңдері. -Ға Жартылай өткізгіш мамандығы газдар, техникалық сипаттамалары Жартылай өткізгіштегі қоспалар Өтініштер көбінесе аналитикалық анықтау шекараларын итереді. Біз өз клиенттерімізбен тығыз жұмыс жасаймыз Жартылай өткізгіш және электроника олардың нақты түсінікті түсіну үшін өріс қоспасы Әр түрлі сезімталдық Газдар мен газ қоспалары. Бұл бірлескен тәсілдің болуына көмектеседі Тазалық мамандық газдары Біз олардың алдыңғы қатарлы өндірістік процестерінің талаптарын дәйекті түрде жеткіземіз. Қиындық а қоспалардың кең ассортименті әрқашан төмендеу деңгейінде.

Зертханадан тыс: ластанудың алдын алу үшін жоғары сапалы өткізгіш газдарды өңдеудің озық тәжірибелері.

Қамтамасыз ету Электрондық мамандандырылған газдардың тазалығы қашан аяқталмайды газ Біздің өндірістік қондырғымызды қалдырады. Мұны ұстау бізіз a пайдалану нүктесіне дейін жартылай өткізгіш FAB өңдеу, сақтау және таратуға мұқият назар аударуды қажет етеді. Тіпті ең жоғары Тазартқыш газ дұрыс басқарылмаса, ластануы мүмкін. Huazhong газында біз тек өндіруге көңіл бөліп қана қоймаймыз Жоғары тазалық газдары Сонымен қатар, біздің клиенттерге төмен ағынның алдын алу үшін озық тәжірибелер туралы кеңес беріңіз ластану.

Ең жақсы тәжірибеге мыналар кіреді:

• Компонентті таңдау: Газ жеткізу жүйесіндегі барлық компоненттер - соның ішінде Газ баллондары, реттегіштер, клапандар, клапандар, түтіктер және арматура тиісті материалдардан (мысалы, тот баспайтын болаттан) жасалуы керек және арнайы тазартылып, сертификатталуы керек Ультра жоғары тазалық (UHP) қызметі. Қате материалдарды қолдану ошуға әкелуі мүмкін кірлер немесе а Металл қоспасы Іске шайм Газ ағыны.
• Жүйелік тұтастық: Газ жеткізу жүйесі таралуы керек. Тіпті кішкентай ағып кету атмосфераға мүмкіндік береді ластау оттегі, ылғал сияқты және бөлшектеп Жүйеге кіру, ымыраға келу Газды тазалық. Тұрақты ағып кетуді тексеру өте маңызды.
• Тазарту процедуралары: Тиісті тазарту процедуралары қосылым жасалған сайын немесе цилиндр өзгерген сайын өте маңызды. Бұл сызықтарды а-мен жууды қамтиды Жоғары тазалық инертті газ ((сияқты аргон немесе азот) кез-келген ұсталған ауаны алып тастау үшін кірлер. Тазартудың жеткіліксіздігі - бұл жалпы көзі ластану. Біз жүйелілікті қамтамасыз ету үшін біз көбінесе автоматтандырылған тазарту панельдерін ұсынамыз.
• Арнайы жабдықтар: Белгіленген реттегіштер мен нақты үшін сызықтарды пайдалану газдар немесе отбасылар газдар ластанудың алдын алады. Бұл, әсіресе, ол арасында ауысу кезінде өте маңызды инертті газ және реактивті немесе Коррозиялық газ.
• Цилиндрмен өңдеу: Газ баллондары зақымданбау үшін күтім жасау керек. Оларды белгіленген, жақсы желдетілетін аудандарда сақтау керек, және «бірінші, бірінші» түгендеуді басқаруды қолдану керек. Пайдалану Арнайы ылғал және оттегі Сындарлы нүктелер бойынша анализаторлар осы ортақанның кез-келген түрін бақылауға көмектеседі кірлер.

Марк Шен сияқты клиенттер үшін, қайта сатуға немесе өңдеуге арналған газдарды сатып алатын немесе өндірісте қолдануға болатын, оларды ұстау үшін осы әрекеттерді түсіну өте маңызды Өнімнің сапасы Олар өз клиенттеріне уәде береді. Бұл ортақ жауапкершілік. Біз өзімізді қамтамасыз етеміз Сутегі цилиндрі Мысалы, өнімдер толтырылады және алдын-алу үшін сақталады қоспасы Аспан, бірақ соңғы пайдаланушының жүйесі бірдей маңызды рөл атқарады. Күрес қоспасы бұл өндірістің үздіксіз күш-жігері.

Хрустальь добына қарау: электронды газ газдарын қоспаны анықтауға біз қандай болашақ инновацияларымызды күтуге болады?

Әрқашан жоғарыға ұмтылу бізіз -да Электрондық сынып газдары және сезімтал Кірісті анықтау Әдістер - бұл инновацияның маңызды қарқынымен басқарылатын үздіксіз сапар жартылай өткізгіш Өнеркәсіп. Құрылғының мүмкіндіктері одан әрі ішкі 10 нанометр саласына және жаңа материалдар мен сәулет түрлерге кішірейеді (3D Nand және Gate-Gate транзисторлары сияқты), тіпті фейттердің әсері Кір маталар одан да айқын болады. Бұл екеуінде де алға ұмтылуды қажет етеді Газды тазарту Технологиялар және Желілік талдау Мүмкіндіктер.

Біз бірнеше тенденцияларды күтеміз:

• Төмен анықтау шегі: Аналитикалық әдістер сияқты ICP-MS, Газ хроматография-масс-спектрометрия (GC-MS), қуыспен сақиналық-контроскопия (CRDS) дамуды жалғастырады, итеруді жалғастырады Анықтау шегі кеңірек Кірдің диапазоны бір таңбалы PPT деңгейлеріне немесе тіпті PPQ доменіне дейін. Бұл ион көздеріндегі, жаппай анализаторлардағы инновацияларды қажет етеді және детектор Технология.
• Ситуациялық және нақты уақыттағы мониторинг: Монитор жасай алатын аналитикалық жүйелерге өсіп келе жатқан сұраныс бар Газды тазалық нақты уақытта, тікелей пайдалану нүктесінде жартылай өткізгіш фаб. Бұл кез-келген нәрсені тез арада анықтауға мүмкіндік береді ластану оқиғалар немесе драйвтар қоспасы Тез түзету әрекетін қосу және өнімнің жоғалуын азайту деңгейлері. Мұнда миниатюриялық сенсорлар мен жетілдірілген химеталық алгоритмдер негізгі рөл атқарады.
• Күрделі газ қоспаларын талдау: Келешек жартылай өткізгіш Процестер көп күрделі болуы мүмкін Газ қоспалары бірнеше реактивті компоненттермен. Талдау кірлер Мұндай қиын матрицаларда жаңа аналитикалық стратегиялар мен деректерді түсіндірудің күрделі құралдары қажет болады. Өлшеу мүмкіндігі қоспасы Бір компонентте басқалар кедергісіз өте маңызды болады.
• «Киллер» қоспаларына назар аударыңыз: Зерттеулер нақты анықтауды жалғастырады Жартылай өткізгіштегі қоспалар Құрылғының жұмысына немесе кірістілігіне, тіпті өте төмен деңгейде де, пропорционалды емес өңдеуде өңдеу. Аналитикалық әдістер бұл «өлтірушіге» бағытталған болады кірлер.
• Деректер аналитикасы және AI: Кеңейтілген нәтиже алған мәліметтердің көп мөлшері Желілік талдау Жүйелер AI көмегімен және трендтерді анықтауға, болжамды анықтауға мүмкіндік беретін болады ластану Мәселелер және оңтайландыру Газды тазарту процестер. Бұл реактивті мәселені шешуге емес, алдын-ала бақылауға көмектеседі.

Huazhong газында біз осы оқиғалардың алдыңғы қатарында тұруға міндеттіміз. Біз ғылыми зерттеулер мен әзірлемелерге үнемі қаражат саламыз, өнеркәсіптік серіктестермен және академиялық институттармен бірлесе отырып, ғылымды алға жылжу үшін жұмыс жасаймыз Жоғары тазалық газы өндіріс және Желілік талдау. Біздің клиенттеріміз үшін, соның ішінде Марк Шэн ретінде саналы түрде саналы түрде саналы түрде саналы түрде жеткізу, бұл сенімді жеткізуді білдіреді Электрондық мамандық газдар бұл дамып келе жатқан қажеттіліктерге сәйкес келеді Электроника және жартылай өткізгіштер. Біздің ассортимент Гелий, оның инерттілігі мен мамандандырылған қосымшаларда қолданылғаны белгілі, сонымен қатар, осы алдыңғы қатарлы аналитикалық тексеруден бастап, минималды қамтамасыз ету үшін пайдасы бар қоспасы деңгейлері.

Есте сақтау үшін негізгі жолдар:

• Электрондық мамандық газдар негізі болып табылады Жартылай өткізгіш өндірісі, және олардың бізіз келісілмейді.
• Тіпті Кір маталар, PPB немесе PPT-де өлшенген, айтарлықтай ақаулар мен кірістіліктің жоғалуына әкелуі мүмкін жартылай өткізгіш құрылғылар.
• Ортақ Газдардағы қоспалар Басқа газдарды қосыңыз (мысалы, O₂, H₂o), Металл қоспалар, және бөлшектеп Мәселе.
• ICP-MS A анықтау үшін негізделетін технология қоспалардың кең ассортименті, әсіресе Металл қоспалар, ультра төмен деңгейлерде.
• Сақтау Газды тазалық мұқият өңдеуді және жүйелік тұтастықты талап етеді Газ цилиндрі алдын алу үшін пайдалану нүктесіне дейін ластану.
• Болашақ тіпті төменірек болады Анықтау шегі, нақты уақыттағы мониторинг және AI-GRATIN Желілік талдау -ға Электрондық сынып газдар.
• Әр потенциалды бақылау қоспасы қамтамасыз ету үшін өте маңызды Өнімнің сапасы және қазіргі заманғы сенімділік электроника.