Сіздің қалтаңыздағы смартфон, сіздің үстеліңіздегі компьютер, сіздің көлігіңіздегі кеңейтілген жүйелер, оның ешқайсысы жоқ, оның ешқайсысы, ешқандай, ешқандай көрінбейтін, көптеген газдардағы көрінбейді. Өнеркәсіптік газ фабрикасының иесі ретінде I, Аллен, мен осы сыни материалдардың заманауи технологиялардың негізін қалағанын көрді. Күрделі әлемдік жеткізілім тізбегін шарлаған Марк Шен сияқты бизнес көшбасшылары үшін, бұл газдарды түсіну жаңа мүмкіндіктердің құлпын ашудың кілті болып табылады. Бұл мақала сіздің осы саладағы маңызды ойыншылардың біріне арналған жан-жақты нұсқаулық. Азот трифториді (NF₃). Біз бұл күшті демистендіреміз газ, оның маңызды рөлін зерттеңіз Жартылай өткізгішті өндіріс процесі, және оның сапасы мен жеткізілімі бүкіл үшін өте маңызды екенін түсіндіріңіз Электроника өндірісі Өнеркәсіп.

Азотты трифториді (NF₃) газ дегеніміз не?

Бір қарағанда, Азот трифториді, көбінесе оның химиялық формуласымен аталады Nf₃, бұл басқа өнеркәсіптік сияқты көрінуі мүмкін газ. Бұл түссіз, жанғыш емес және сәл иісі бар жабдықты қосықтыру. Алайда, әлемде Жетілдірілген өндіріс, бұл газ жоғары өнімді құрал. Бұл синтетикалық түрде өндірілген жабдықты қосықтыру бір азот атомынан және үшеуінен жасалған фтор атомдар. Бұл құрылымның кілті осы құрылымда жатыр. Бөлме температурасында, Nf₃ салыстырмалы түрде тұрақты және инертті, оны көп құбылмалы газдармен салыстырғанда тасымалдауға және өңдеуге мүмкіндік береді.

Сиқырлық энергия қолданылған кезде болады. Ішіндегі жоғары энергия жағдайында жартылай өткізгіш өндірістік құрал, мысалы, а пламеня камера, Nf₃ молекулалар ыдырату. Олар бөлініп, өте жоғары шығады реезерлер фтор Радикалдар. Мұны микроскопиялық масштабтағы бақыланатын жарылыс сияқты ойлаңыз. Бұл тегін фтор Атомдар қажетсіз материалдарды, әсіресе қажет емес материалдарды қабылдап, алып тастауда керемет тиімді кремний және оның қосылыстары. Бұл сізге қажет болған кезде және өте жоғары болған кезде тұрақты болуы мүмкін реезерлер Сіз қалаған кезде Азот трифторидті газ дәл әлемдегі баға жетпес актив Чип өндірісі.

Бұл бірегей қос табиғат Nf₃ заманауи негізге айналды Жартылай өткізгіштер. Оның тұрақтылығы жеткізілім тізбегіндегі қауіпсіздік пен сенімділікті қамтамасыз етеді, ал оның реактивтілігі өнімділігі жоғары тазалауды және өндірушілердің қажеттіліктерін қамтамасыз етеді. Біз тереңірек алғанымыздай, бұл қарапайым дыбыс қалай екенін көресіз газ Жердегі ең күрделі құрылғыларды құруға мүмкіндік береді.

Неліктен арнайы газдар жартылай өткізгіш өнеркәсіп үшін қажет?

Маңыздылығын түсіну Nf₃, біз алдымен бұл рөлді бағалауымыз керек газдар өте маңызды үшін Жартылай өткізгіш өнеркәсіп. Өндіріс Интегралды тізбек Тобалдың мөлшері кенепке ғимарат салу сияқты. Бұл әртүрлі материалдардың ондаған ультра жұқа қабаттарын қосу және жою процесі кремний вафли. Әр қадам, жалаңаш жасаудан вафли Қорытынды чипке мамандықтың мұқият бақыланатын атмосферасына сүйенеді Электрондық газдар.

Бұл газдар бірнеше сыни функцияларды орындайды. Кейбіреулері сияқты аргон жіне гелий, инертті тасымалдаушы газдар ретінде тұрақты, реактивті емес ортада және реактивті газдарды сұйылту үшін қолданылады. Басқалары қолданылады тұндыру, мұндағы а газ үйренеді салым салу Жіңішке материалдар вафли. Мысалы, химиялық жағдайда Бу Тұндыру (CVD), газдар чиптің схемасының құрамына кіретін қатты қабықшаны қалыптастыру үшін реакция жасайды. Содан кейін газдар, мысалы, газдар бар Nf₃, ол осы қабаттардағы үлгілерді дәл оюлау үшін, электр қуатын ағып кету үшін күрделі жолдарды жасайды.

Тұрақты, ультрадыбысызЖоғары тазалық Осы газдарды жеткізу, бүкіл газдар Өндіріс процесі тоқтап қалады. Тіпті минускула қоспасы -де газ Миллиондаған доллар тұратын вафлидің барлық партиясын құрастыруы мүмкін. Сондықтан Жартылай өткізгіш өндірушілер газ жеткізушілерінің сапасы мен сенімділігіне өте сезімтал. Тазалығы газ тікелей сапасына тікелей аударылады және Өндіріс өнімі соңғы өнімнің.

NF₃ газы жартылай өткізгіш өндіріс процестерінде қалай қолданылады?

Азот трифториді екі негізгі, сыни қосымшалар бар Жартылай өткізгішті өндіретін процестер: Плазма және камералық тазалау. Екеуі де жоғары сапалы микрочиптерді, процессорлардан жасау үшін қажет NAND FLASH жады.

Алдымен, ішу туралы сөйлесейік. Материал қабатынан кейін кремний диоксай а-ға орналастырылған вафли, Үлгі оған жарықпен болжалды. Та ит Содан кейін процесс, содан кейін материалды қорғалмаған аймақтардан алып тастайды. Nf₃ камераға енгізіліп, а құруға қуат беріледі пламеня- Бұлт айып тағылған ион Бөлшектер мен реактивті фтор Радикалдар. Бұл радикалдар дәл бомбаланады вафли беті, реакция кремний және оны а газасты жабдықты қосықтыру (кремний палатадан оңай айдауға болатын тетрафлауорид). Бұл процесстің дәлдігі - ақыл-ой-бұрау, инженерлермен бірге адам шаштарынан гөрі жұқа болып жатқан оюлармен қамтамасыз етуге мүмкіндік береді.

Екінші және көп кездеседі, азот трифторидін қолдану сияқты газды тазалау. Кезінде Химиялық будың тұнбасы (CVD) Өңдеу, онда жұқа қабықшалар өсіріледі вафли, қажетсіз материалдар технологиялық камераның ішкі қабырғаларында да құрылады. Осы қалау, көбінесе жасалған кремний немесе кремний нитридін әрқайсысының әрқайсысында толығымен алып тастау керек вафли немесе вафлидің партиясы. Егер жоқ болса, бұл жинақ келесіде құлап, қондыра алады вафли, ақаулық тудырады. Мұнда, Nf₃ бос камераға және а пламеня тұтанған. Қуатты фтор Радикалдар қатты қабырғаларды тазартып, қатты тұтқынды тазартады қалау а газасты жанама өнім оңай алынып тасталады. Бұл тазарту циклы сақтау үшін сыни Өндіріс ортасының тазалығы және жоғары қамтамасыз ету Өндіріс өнімі.

NF₃-ді басқа тазалағыш газды баламамен салыстырады

Көптеген жылдар бойы Жартылай өткізгіш өнеркәсіп Perfluorocarbons (PFCS) көміртек тетрафториді сияқты (CF₄) және Гексафлуороетан (C₂f₆) тазалау және игеру үшін. Тиімді болғанымен, бұл қосылыстар үлкен жетіспеушілікпен келді: олар өте ұзақ атмосфералық өмір сүретін өте күшті парниктік газдар. Мысалы, C₂f₆ бар Жаһандық жаһандық жылыту мүмкіндігі (GWP) және атмосферада 10 000 жыл сақталуы мүмкін. Экологиялық ережелер күшейген сайын, саланы жақсырақ шешім қабылдауға қажет болды.

Бұл қайда Nf₃ нақты жеңімпаз ретінде пайда болды. Сол екі арада Азот трифториді сондай-ақ а Парниктік газ, оның атмосфералық өмірі әлдеқайда қысқа (шамамен 500 жыл). Ең бастысы, тазарту процесінде ол әлдеқайда тиімді. Ішінде пламеня камера, әлдеқайда жоғары пайыз Nf₃ Молекулалар реактивті реактивті фтор PFC-мен салыстырғанда. Бұл аз дегенді білдіреді Білмеген газ камерадан таусылған. Қазіргі уақыттағы Жартылай өткізгіш табалар Сондай-ақ, барлық дерлік жойылатын абаттандыру жүйелерін (скрабберлер) орнатыңыз Білмеген Nf₃ және зиянды жанама өнім босатылғанға дейін газдар.

Жоғары тиімділік пен тиімдіректің үйлесімі нақты дегенді білдіреді Парниктік газдар шығарындылары пайдаланудан Nf₃ ескі PFC газдарынан едәуір төмен. Бұл жоғары көрсеткіш оның кеңінен қабылданған басты себебі болып табылады.

Жоғары тазалық азот трифториді қалай шығарылды?

Өндіруші ретінде мен сізге бұл өндіріс туралы айта аламын Nf₃ күрделі және жоғары басқарылады Өндірістік процесс. Мақсат - өте таза, көбінесе 99,999% тазалығы немесе одан жоғары, өйткені тіпті аз, өйткені қоспасы апатты болуы мүмкін Жартылай өткізгіш өндірісі. Процесс жоғары реактивті химикаттармен, әсіресе реактивті химикаттармен сараптама талап етеді фтор.

Та NF₃ өндірісі әдетте реакцияны қамтиды аммиак (а жабдықты қосықтыру құрамында азот бар) немесе аммоний фторет Элементпен қосылыс фтор газ реактордағы газ Жоғары температура. Бұл реакция газдардың қоспасын, соның ішінде Nf₃, біліктілігі жоқ материалдар және әртүрлі жанама өнімдер. Нағыз міндет және Жеткізушінің сараптамасы шынымен көрсететін жерде тазалық келесі кезең.

Шикі газасты қоспасы бірнеше арқылы өтеді тазалық Қажетсіз қосылыстарды кетіруге арналған қадамдар. Бұл көбінесе бірқатар скрепциядан тұрады, адсорбция, және криогенді дистилляция процестері. Та Айырбастау процесі, атап айтқанда, әр түрлі газдарды олардың қайнау нүктелеріне сүйене отырып бөлу үшін өте төмен температураны қолданады Nf₃ кез келген қалған қоспалардан. Әр қадам түпкілікті өнімнің қатаң сипаттамаларына сәйкес келетіндігін қамтамасыз ету үшін озық аналитикалық жабдықпен бақыланады жартылай өткізгіш Өнеркәсіп. Бұл сапаны бақылауға деген ұмтылыс - бұл сенімді жеткізушіні демалыстан ажыратады.

NF₃ газы үшін қауіпсіздік пен қауіпсіздік мәселелері қандай?

Қауіпсіздік - бұл өндірістегі басты басымдық газ Бизнес. Сол екі арада Nf₃ Жанғыш емес және салыстырмалы түрде бөлме температурасында тұрақты, бұл күшті тотықтырғыш зат, әсіресе жоғары температурада. Бұл дегеніміз, бұл жанғыш материалдармен қатты әсер ете алады және мұқият өңдеуді қажет етеді. Негізгі тәуекел - бұл оның уыттылығы; ингаляция газ зиянды болуы мүмкін, сондықтан кез-келген уақытта дұрыс желдету және жеке қорғаныс құралдары қажет Өндірістік сайт.

Бүкіл жеткізілім тізбегі, біздің фабрикадан тапсырыс берушіге дейін жартылай өткізгіш FAB, қауіпсіздік бойынша салынған. Nf₃ арнайы жасалған болат цилиндрлерде жоғары қысыммен тасымалданады. Бұл цилиндрлер сонымен қатар қатаң сынақ және сертификаттаудан өтеді газ. Жеткізуші ретінде біз қауіпсіздік туралы толық ақпарат парақтарын (SDS) ұсынамыз және клиенттерімізге дұрыс сақтау, байланыс және өңдеу процедуралары бойынша тренингтер ұсынамыз. Бұған нұсқаулар кіреді Ағымдық мөлшерлеме Бақылау және ағып кетуді анықтау жүйелері.

Бизнес иелері үшін өздерінің басты алаңы - бұл өзекті, оның негізгі алаңдаушылық және сенімді қамтамасыз ету тізбегі, қауіпсіздікті дәлелденген жеткізушімен серіктестік өте маңызды. Жеткізушіден тиімсіз байланыс немесе қауіпсіздіктің нақты хаттамаларының болмауы - бұл негізгі қызыл жалау. Біз жай ғана өніммен ғана емес, сонымен қатар логистикалық қолдау мен қауіпсіздік сараптамасын қамтитын толық қызмет көрсетуді мақтан тұтамыз газ келіп, әр қадам сайын қауіпсіз өңделеді.

Азот трифториді парниктік газды? Қоршаған ортаға әсерді түсіну.

Экологиялық аспектілері туралы айқын болу өте маңызды Nf₃. Иә, Азот трифториді күшті Парниктік газ. Климаттың өзгеруі туралы үкіметаралық комиссия (IPCC) оның жаһандық жылыту потенциалы (GWP) мыңдаған рет көміртектен көп диоксай 100 жылдық кезеңнен асады. Бұл саланың өте маңызды факт.

Алайда, әңгіме сонда аяқталмайды. Та қоршаған ортаға әсер ету Газдың әлеуетіне ғана емес, оның ішінде оның қанша бөлігі атмосфераға шығарылғанына байланысты. Жоғарыда айтылғандай, Nf₃ өте тиімді. Қазіргі уақытта жартылай өткізгіш қондырғы, басым көпшілігі пайдаланылатын газ өндіріс процесінде тұтынылады немесе жойылады. Та пламеня оны бұзады, және кез-келген Білмеген газ Бұл таусылған, ал анықталған жүйеге жіберіледі. Бұл жүйелер өте тиімді, көбінесе қалғандардың 99% -дан астамын жояды Nf₃.

Өнеркәсіптің PFC-тен ауысымы Nf₃, абаттандыру технологиясын кеңінен қолданған кезде, нақты азайтуға әкелді Парниктік газдар шығарындылары өндіріс бірлігіне. Жауапты Жартылай өткізгіш өндірушілер және газ жеткізушілері шығарындылардың азаюын қамтамасыз ету үшін бірге жұмыс істейді. Бұл тазарту процесін оңтайландыруды қамтиды, ең аз мөлшерін пайдалану газ Шың өнімділігі үшін абаттандыру жүйесін қажет етеді. Сонымен, ал Nf₃ күшті Парниктік газ Зертханалық жағдайда оның нақты әлемдік экологиялық ізі Жартылай өткізгіш өндірісі оны ауыстырған баламалардан гөрі мұқият басқарылады және айтарлықтай төмен.

Үлкен жартылай өткізгіш табаларға арналған газ өндірудің рөлі қандай?

Қазіргі ауқымы Жартылай өткізгіш өндірісі тыныс алу. Мега-фабтар деп аталатын ең үлкен нысандар, көп мөлшерде газдар көп мөлшерде тұрады. Кейбір газдар үшін азот сияқты, оларды тауарларды тауарлармен емес, оларды мыңдаған цилиндрлермен бірге өндіру тиімді. Бұл белгілі сол жерде ұрпақ. Жоғары мамандандырылған және реактивті үшін газ сияқты Nf₃, сәл өзгеше үлгі пайда болады: сол жерде Тазарту және талдау.

Толығымен NF₃ өндірісі FAB-де оның күрделілігіне байланысты сирек кездеседі, ауқымды пайдаланушылар жиі күрделі болады сол жерде Газды басқару жүйелері. Жаппай жеткізу Nf₃ фабқа жеткізіледі, содан кейін бұл жүйе соңғы кезеңді жүзеге асырады тазалық және үздіксіз сапалы талдау газ Қымбат өндірістік құралдарға кіреді. Бұл сапаны бақылаудың түпкілікті қабатын ұсынады, жеткізілім желілерінің кез-келген ықтимал ластануын қамтамасыз етеді. Бұл тәсіл жаппай сатып алудың экономикалық пайдасын біріктіреді сол жерде Басқару.

Осы эволюциялық жабдықтау модельдерін түсіну маңызды. Жеткізуші ретінде біз өз қызметтерімізді тек цилиндрлер толтырған кезде кеңейттік. Біз қазір жұмыс істеп жатырмыз Жаһандық жартылай өткізгіш өндірушілер Газды кешенді жеткізу және басқару шешімдерін жобалау және енгізу. Бұл бағышталған болуы мүмкін өндіріс желісі Негізгі тапсырыс беруші, мамандандырылған логистика немесе олардың интеграциясы үшін сыйымдылық сол жерде Жүйелер. Бұл талап етілетін қажеттіліктерге жауап беретін икемді және сенімді жеткізілім тізбегін ұсыну туралы ХХ ғасыр өндірісі. Бұл біздің стратегиямыздың негізгі бөлігі, әсіресе клиенттерге айтарлықтай берілсе Өндірістік қуаттар.

NF₃ тазалығы чип өндірісінде өндіріс шығымдылығына қалай әсер етеді?

Ішінде жартылай өткізгіш Әлем, «кірістілік» - бәрі. Бұл жақсы, жұмыс чиптерінің бір бөлігі кремний вафли. Жоғары кірістілік деген жоғары рентабельділік; Төмен өнімділік қаржылық жағынан жойылуы мүмкін. Технологиялық газдардың тазалығы, әсіресе реактивті газ сияқты Nf₃, тікелей және драмалық әсерге ие Өндіріс өнімі.

Елестетіп көріңіз қоспасы ылғалдың ұсақ бөлшектері сияқты (H₂o) немесе басқа газасты жабдықты қосықтыру араласады Nf₃. Сезімтал этчинг процесінде қоспасы Химиялық реакцияға кедергі келтіруі мүмкін, чиптің схемасында микроскопиялық ақау пайда болады. Ол бұғаттауы мүмкін ит, материалдан ол болмауы керек немесе тым көп материалды кетіруге әкелуі мүмкін. Нәтижесінде, нәтиже Интегралды тізбек соңғы сынақтан өтпейді. Сіз бір чипке миллиондаған транзисторлар жасаған кезде, тіпті бір «өлтіруші ақау» қоспасы бүкіл чипті пайдасыз ете алады.

Сондықтан біз сапаны бақылауға өте қатты қаражат саламыз. Сертификатталған, Ultra-Жоғары тазалық Nf₃, біз өз клиенттерімізге сенімділік береді газ ақаулардың көзі болмайды. Концентрацияны басқару әр компоненттің миллиардқа дейінгі бөліктеріне дейін Өндіріс процесі тұрақты және қайталанады. Тұрақты процесс болжамды және жоғарыға әкеледі Өндіріс өнімі, қайсысы үшін түпкі мақсат жартылай өткізгіш Өндіруші. Біздің жеткізуші ретіндегі рөліміз Жоғары тазалық Мамандық газдары айнымалыларды жою және ымырасыз сапа өнімін қамтамасыз ету.

Азот Трифуоридті жеткізушімен не іздеу керек?

Сатып алу бойынша маман үшін, белгі сияқты, дұрыс жеткізушіні маңызды материал үшін таңдау Nf₃ Бағаларды салыстыра отырып, одан да көп. Жаман серіктестік-жөнелтудің кешігу қаупі, сапа мәселелері, нашар қарым-қатынас, нашар қарым-қатынас - бұл өте жоғары. Менің тәжірибемге сүйене отырып, міне, негізгі факторлар:

Біріншіден, тексерілетін сапа және сертификаттар. Сенімді жеткізуші әр жеткізіліммен (COA) сертификат береді, әр жеткізіліммен, тазалық деңгейлері туралы егжей-тегжейлі және анықталған қоспаларды тізімдейді. Олар ISO 9001 сияқты халықаралық стандарттарға сәйкес келуі керек. Олардың аналитикалық қабілеттері туралы сұраңыз. Оларға қажетті деңгейлерде қоспаларды анықтауға арналған жабдық бар ма? жартылай өткізгіш Өтініштер?

Екіншіден, жеткізілім тізбегінің сенімділігі мен ашықтығы. Жеткізуші кідірістердің алдын алу үшін сенімді логистикалық желіні көрсете ала ма? Олар артық ма? Өндірістік қуаттар тұрақты жабдықтауды қамтамасыз ету үшін? Бұл жерде байланыс шешуші болып табылады. Жеткізуші проактивті, жеткізілім туралы жаңартуларды ұсынып, сұрақтарға жауап беру үшін қол жетімді болуы керек. Бұл тиімсіз қарым-қатынастың ауырсыну нүктесін тікелей шешеді.

Соңында техникалық сараптама іздеңіз. Жақсы жеткізуші тек өнімді сатпайды; Олар шешім ұсынады. Олар сіздің өтініштеріңізді түсініп, техникалық қолдау ұсына алуы керек. Олар қауіпсіздік, өңдеу және тіпті қоршаған орта ережелері туралы білуі керек Газды қосымшалар. Білімді серіктес ретінде әрекет ете алатын жеткізуші тек сатушыдан гөрі шексіз құнды. Бұл сараптама ұзақ мерзімді, тиімді қарым-қатынастың негізі болып табылады. Біз тек біздің барлық клиенттеріміз үшін серіктес болуға тырысамыз, бұл жай ғана емес газ Бірақ онымен бірге жан тыныштығы.

Негізгі жолдар

• Негізгі құрал: Азот трифториді (NF₃) маңызды мамандық газ плазмалық иілу және камералық тазарту үшін қолданылады Жартылай өткізгішті өндіріс процесі.
• Жоғары көрсеткіштер: Nf₃ Тиімділігі жоғары және қоршаған ортаға тиімділігі төмен, ол ең жоғары пфк газдарына қарағанда, оны кәдеге жаратудың жоғары қарқыны мен заманауи абаттандыру жүйелерінің арқасында.
• Тазалық - бұл рентабельділік: Ультра жоғары тазалық Nf₃ келісілмейді. Тіпті кір қоспалар а-да ақаулар тудыруы мүмкін кремний вафли, күрт төмендетеді Өндіріс өнімі және пайдалылығы Чип өндірісі.
• Қауіпсіздік және өңдеудің кілті: Тұрақты кезде Nf₃ улы және тотықтырғыш газ Бұл мамандандырылған өңдеуді, сертификатталған цилиндрлерді және қауіпсіздік протоколдарын терең түсінуді талап етеді.
• Жеткізушілерді таңдау өте маңызды: Таңдау кезінде Nf₃ Жеткізуші, тексерілетін сапа, жеткізілім тізбегінің сенімділігі, мөлдір қарым-қатынасы және бағасы бойынша терең техникалық сараптама.