Site na mmepe ngwa ngwa nke ụlọ ọrụ semiconductor zuru ụwa ọnụ, usoro nrụpụta mgbawa abanyela nke ọma na oge nanometer. N'ime usoro nrụpụta nke ọma nke ọma, ngbanwe gburugburu ebe obibi ma ọ bụ adịghị ọcha nke ihe ọ bụla nwere ike bute mkpochapụ nke wafer dum. Ya mere, gas pụrụ iche eletrọnịkị na ikuku ụlọ ọrụ dị elu na-arụ ọrụ na-enweghị atụ. N'ime ha, nnukwu ịdị ọcha mmiri mmiri argon abụrụla igodo dị mkpa dị mkpa na arụ ọrụ kwa ụbọchị nke semiconductor fabs n'ihi kemịkalụ kemịkalụ ya kacha mma yana ezigbo anụ ahụ.

Edemede a ga-enyocha nke ọma isi ngwa nke argon mmiri mmiri na usoro nrụpụta mgbawa wee nye ntuziaka nzụta ọkachamara maka otu ndị na-ebunye ụlọ ọrụ.

Ngwa isi: Gịnị kpatara na Liquid Argon enweghị ikewapụ na nrụpụta Semiconductor?

Na Front-End-of-Line (FEOL) usoro nrụpụta semiconductor, a na-etinye argon mmiri mmiri maka semiconductor na usoro ndị a bụ isi nke na-ekpebi mkpụrụ ngwaahịa:

• Ntụnye uzuoku anụ ahụ (PVD) / Ịgbasa: Ultra-dị ọcha argon gas, nke kpụrụ site na gasification nke mmiri mmiri argon, bụ kasị isi na-arụ ọrụ gas na PVD sputtering usoro. N'ime ụlọ na-ekpo ọkụ, ọkụ eletrik na-eme ka ion argon mee ngwa ngwa ka ọ na-atụba ihe ndị a na-achọsi ike, na-eme ka atom ndị a na-achọsi ike ịkwatu ma tinyekwa ya n'elu wafer iji mepụta ihe nkiri ígwè. Ịdị ọcha dị elu bụ ihe dị mkpa iji hụ na njupụta na ọkụ eletrik nke ihe nkiri ahụ.
• 
  

• Ebe nchekwa inert enweghịkwa oke: N'oge usoro ịdọrọ silicon monocrystalline (dị ka usoro Czochralski) na usoro mgbakasị okpomọkụ, silicon na-emeghachi ngwa ngwa na ikuku oxygen na oke okpomọkụ. Ya mere, argon gas ga-anọgide na-ewebata iji dochie ikuku, na-enye a kpam kpam inert gburugburu ebe obibi dịpụrụ adịpụ na oxygen na mmiri, si otú na-ahụ na zuru okè uto nke silicon crystal lattice.
• 
  
• Cryogenics na teknụzụ nhicha Wafer: N'ime usoro dị elu dị ka oke ultraviolet (EUV) lithography, a na-etinye njirimara okpomọkụ dị ala nke argon mmiri (ebe esi mmiri -186 Celsius C) mgbe ụfọdụ na sistemụ jụrụ oyi nke ngwa ngwa. N'otu oge ahụ, a na-ejikwa nkà na ụzụ argon aerosol maka nhicha anụ ahụ nanometer na-ehicha n'elu wafer, nke nwere ike wepụ ihe dị ntakịrị na-adịghị emebi emebi.
• 
  

Ogo na-ekpebi Mpụta: Ụkpụrụ siri ike nke Argon Liquid Liquid Dị Ọcha

Ihe ụlọ ọrụ semiconductor chọrọ maka akụrụngwa akụrụngwa dị oke egwu. Nkịtị ụlọ ọrụ-ọkwa mmiri mmiri argon na-emekarị naanị kwesịrị iru a ịdị ọcha nke 99.9% ma ọ bụ 99.99%, ma nke a bụ anya na-egbo mkpa nke mgbawa n'ichepụta. Maka ruru eru elu ịdị ọcha mmiri mmiri argon, A na-achọkarị ịdị ọcha nke ntọala iji ruo 99.999% (5N), na n'ọnụ ọnụ dị elu, ọ kwesịrị iru 99.9999% (6N) ma ọ bụ karịa.

Ihe ka mkpa bụ njikwa adịghị ọcha. Ọdịnaya nke oxygen, nitrogen, mmiri mmiri, mkpokọta hydrocarbons (THC), na trace metal ion ga-enwerịrị nke ọma ịchịkwa na ọkwa ppb (akụkụ kwa ijeri) ma ọ bụ ọbụna ppt (akụkụ kwa puku ijeri). Ọbụna ma ọ bụrụ na otu nkeji nke adịghị ọcha na-agwakọta n'ime pipeline gas, ọ ga-etolite micro-defects n'elu wafer n'elu, na-eme ka mgbawa obere sekit ma ọ bụ ntanye nke ugbu a, na-eweda ọnụego mkpụrụ na-ebute nnukwu mfu akụ na ụba.

Ntuziaka Ịzụta: Otu esi enyocha ma họrọ onye na-ebubata Argon Liquid Liquid?

N'iburu n'uche ọrụ dị mkpa nke gas dị ọcha na-arụ ọrụ nke ahịrị mmepụta, ịchọta na ichekwa onye na-eweta argon mmiri mmiri tozuru oke na nke nwere ike bụ ọrụ bụ isi maka ndị otu ịzụ ahịa na ndị na-enye ihe. Mgbe ị na-enyocha ndị nwere ike ibubata, a na-atụ aro ka etinye uche na akụkụ atọ ndị a:

Njikwa ogo siri ike na ike nnwale: Ndị na-ebubata ihe dị mma ga-enwerịrị akụrụngwa nyocha ihe nyocha dị elu dị ka Gas Chromatographs (GC) na Mass Spectrometers (MS). Ha ga-enwe ike ịnye COA zuru ezu (Akwụkwọ nyocha) maka ogbe ọ bụla iji hụ na ịdị ọcha zuru oke n'etiti nnyefe.

Nkwụsi ike na nnyefe nke siri ike: Fabs na-arụkarị ọrụ 24/7/365, na ọnụ ahịa nke obere oge dị oke elu. Ya mere, ndị na-ebubata ihe ga-enwerịrị nnukwu ikike nchekwa mmiri mmiri mpaghara, ụgbọ mmiri nke ụgbọ mmiri cryogenic, yana atụmatụ nchekwa zuru oke maka mmesi obi ike na-ebubata ihe mberede.

Akpa dị elu yana teknụzụ mgbochi “mmetọ nke abụọ”: N'agbanyeghị otú ịdị ọcha gas si dị elu, ọ baghị uru ma ọ bụrụ na e merụrụ ya n'oge njem. Ihe a na-elekwasị anya kwesịrị ịdị na tankị nchekwa nke ndị na-ebubata ya na teknụzụ ọgwụgwọ mgbidi dị n'ime (dị ka ma ọ bụrụla ọgwụgwọ Electropolishing / EP), yana Standard Operating Procedures (SOP) maka valvụ na pipeline na-ehichapụ n'oge ndochi na ịnyefe ọkwa, na-ahụ na enwere ike ịnyefe ịdị ọcha dị elu ozugbo site na osisi ahụ gaa na njedebe nke onye ahịa.

Mmechi

N'okpuru ọganihu na-aga n'ihu nke Iwu Moore, nnukwu argon mmiri dị ọcha abụghị naanị ihe eji eri nri, kamakwa "onye na-adịghị ahụ anya" maka usoro semiconductor dị elu. Na-enyocha sayensị na nke siri ike ma na-ahọpụta a mmiri mmiri argon soplaya na ike zuru ezu iji hụ na elu-edu na kwụsiri ike ọkọnọ nke mmiri mmiri argon maka semiconductor bụ isi nkuku maka ọ bụla semiconductor n'ichepụta ụlọ ọrụ iji melite usoro mkpụrụ na imeri na zuru ụwa ọnụ ahịa asọmpi.