Anyị anọwo na-arụ ụlọ ọrụ mmepụta ihe na China bụ ọkachamara n'ịmepụta gas ụlọ ọrụ. Site n'echiche m, ahụla m mgbanwe dị egwu nke teknụzụ, ihe niile na-akwado ya site na ihe ọtụtụ mmadụ na-ahụghị: gas dị ọcha dị oke elu. Obere microchips dị na ekwentị gị, kọmpụta na ụgbọ ala gị bụ ihe ịtụnanya nke injinia ọgbara ọhụrụ, mana okike ha agaghị ekwe omume ma ọ bụrụ na enweghị ezigbo ikuku gasị ndị a pụrụ iche.

Ị ghọtara mkpa ịdị mma dị na eriri ọkọnọ a pụrụ ịdabere na ya, mana ị nwere ike ịnọ na-eche ihe kpatara ya Ụkpụrụ maka gas semiconductor dị elu nke ukwuu. Kedu ihe kpatara mbupu nke Argon kwesịrị ịdị ọcha 99.9999%? Ntuziaka a ga-eweghachite ákwà mgbochi na ụwa nke mmepụta semiconductor. Anyị ga-enyocha ụdị gas ndị a na-eji, ihe ha na-eme, yana ihe kpatara ịdị ọcha ha ji bụrụ otu ihe kacha mkpa. Na njedebe, ị ga-enwe nghọta karịa nke ngwaahịa ndị ị na-ebute ma bụrụkwa nke ọma iji gwa ndị ahịa gị uru ha bara.

Kedu ihe kpatara Gases Ọpụrụiche ji dị oke egwu maka nrụpụta Semiconductor?

Weregodị ya na ị na-ewu ụlọ elu bụ́ ebe otu ájá na-edochaghị anya nwere ike ime ka ụlọ ahụ dum daa. Nke ahụ bụ ọkwa ziri ezi achọrọ na mmepụta semiconductor ụlọ ọrụ. "Ihe mgbochi ụlọ" nke ụlọ ọrụ a abụghị brik na ngwa agha, kama atom, na "ngwaọrụ" na-abụkarị ikuku pụrụ iche. Ihe niile imepụta ihe nke an sekit agbakwunyere na-eme n'ọ̀tụ̀tụ̀ dị n'ile anya, bụ́ ebe a na-edowe ihe ndị dị n'ígwé, nke na-abụkarị nanị atom ole na ole buru ibu, na-edobere ma ọ bụ wepụ ya n'ebe dịpụrụ adịpụ silicon wafer.

Ndị a usoro semiconductor na-enwe mmetụta nke ukwuu. Ihe ọ bụla ma ọ bụ kemịkalụ na-achọghị adịghị ọcha nwere ike imebi ihe owuwu dị nro nke microchip, na-eme ka ọ ghara ịba uru. Nke a bụ ebe A na-eji gas eme ihe. Ha na-emepụta gburugburu ebe dị ọcha, na-enye akụrụngwa maka ọkwa ọhụrụ, ma na-eme dị ka "scalpels" kemịkal nke na-akpụ ụzọ mgbagwoju anya maka ọkụ eletrik. Nke usoro mmepụta semiconductor bụ mgbagwoju anya egwu nke mmeghachi omume kemịkal, na gas bụ ndị na-agba egwú ndu. Ọ bụrụ na enweghị ikuku gas ndị a na-enweta mgbe niile, ntụkwasị obi na nke pụrụiche, ngwa eletrọnịkị ọgbara ọhụrụ agaghị adị.

Nke gas eji eme ihe na semiconductor abụghị ọkọlọtọ ụlọ ọrụ mmepụta ihe. A na-arụ ọrụ ha iji nweta ọkwa ịdị ọcha nke siri ike nghọta, a na-atụkarị ya na akụkụ kwa ijeri ma ọ bụ ọbụna akụkụ kwa puku ijeri. Nke a bụ n'ihi na arụmọrụ nke ngwaọrụ semiconductor a na-ejikọta ya kpọmkwem na izu okè nke usoro atọm ha. Igwe ikuku oxygen ma ọ bụ uzuoku mmiri na-arụ ọrụ n'ime ihe kwesịrị ịbụ inert gas nwere ike ime ka oxidation, na-agbanwe eletriki Njirimara nke sekit ma na-eduga na ntụpọ. Nke a mere na ọpụrụiche gas ụlọ ọrụ dị oke mkpa maka ụwa teknụzụ.

Kedu ihe bụ isi ngalaba nke Gases ejiri na nrụpụta Semiconductor?

Mgbe anyị na-ekwu banyere gas na mmepụta nke semiconductor, ha na-adaba n'ụdị isi ole na ole dabere na ọrụ ha. Ịghọta otu ndị a na-enyere aka dokwuo anya ọrụ nke ọ bụla gas na-egwuri egwu na mgbagwoju anya usoro mmepụta. Ọ bụghị naanị otu gas ma ọ bụ abụọ; nke oge a semiconductor fab chọrọ ihe karịrị 30 dị iche iche gas na ngwakọta na-arụ ọrụ.

Nke mbụ bụ ndị nnukwu gas. Ndị a bụ ịnyịnya na-arụ ọrụ, nke a na-eji n'ọtụtụ buru ibu na ụlọ ọrụ ahụ. Chee echiche banyere ha dị ka ntọala ntọala nke fab. Ndị kacha ewu ewu bụ:

• Nitrogen (N₂): A na-eji ya maka nhicha ụlọ na akụrụngwa iji wepụ ihe ndị na-emerụ emerụ na ịmepụta gburugburu ebe obibi na-adịghị.
• Oxygen (O₂): A na-eji ya na-eto akwa silicon dioxide (SiO₂), nke na-arụ ọrụ dị ka ihe mkpuchi.
• Hydrogen (H₂): Eji maka ihicha elu na kpọmkwem ntinye ego usoro.
• Argon (Ar): A gas inert eji mee ka ebe kwụsiri ike maka usoro dị ka sputtering.

Ndị na-esote bụ ọpụrụiche gas, makwaara dị ka eletrọnịkị pụrụ iche gas. Ndị a bụ ndị a kapịrị ọnụ, ọtụtụ mgbe mmeghachi omume ma ọ bụ dị ize ndụ, gas na-arụ ọrụ dị oke mkpa nke etching na ntinye. A na-eji ha dị obere mana ha nwere ọnụ ahịa dị elu nke ukwuu ma na-achọ nlekọta nke ukwuu. Enwere ike kewaa ndị a n'ìgwè dị ka:

• Gases nkwụnye ego: Gases ndị a, dị ka Silane (SiH₄), bụ isi iyi nke ihe eji ewu n'ígwé nke mgbawa. Ha decompose na nkwụnye ego a ihe nkiri dị mkpa nke ihe n'elu silicon wafer.
• Gases ndị na-emepụta ihe: Ndị a bụ gas na-emeghachi omume eji wepu ihe eji eme ihe. Ọmụmatụ gụnyere ogige fluorine dị ka Carbon Tetrafluoride (CF₄) na hydrogen chloride (HCl). A na-eji ha eme ihe usoro etching iji kụọ ụkpụrụ sekit.
• Gases na-akpata: A na-eji gas ndị a eme ihe iji "dope". silicon, nke pụtara na-ama ụma webata otu adịghị ọcha (a dopant) ịgbanwe ya eletriki Njirimara. Nke a bụ ihe dị mkpa maka ịmepụta transistors. A na-ahụkarị gas na-egbu egbu gụnyere Arsine (AsH₃) na phosphine (PH₃).

Kedu ka Nitrogen Gas si arụ ọrụ dị ka onye na-arụ ọrụ na Semiconductor Fabs?

Ọ bụrụ na ị ga-agafe na a mmepụta nke semiconductor ihe owuwu, nke kachasị ebe niile gas ị ga-ezute bụ Nitrogen. Ọ bụ ezie na ọ bụghị mgbe niile na-ekere òkè na isi mmeghachi omume kemịkal nke na-ewu mgbawa ahụ, ọrụ ya dị oke mkpa maka ịmepụta ọnọdụ maka mmeghachi omume ndị ahụ na-aga nke ọma. A na-eji nitrogen eme ihe isi maka inertness ya; ọ naghị emeghachi omume ngwa ngwa na ihe ndị ọzọ, na-eme ka ọ bụrụ "filler" zuru oke. gas.

The isi ojiji maka Nitrogen na-asachapụ na ịmepụta ikuku inert. Tupu mmetụta ọ bụla usoro semiconductor nwere ike ịmalite, ụlọ ahụ ga-abụ nke zuru oke nke ihe ndị na-emerụ emerụ dị ka oxygen, vapor water, na uzuzu. Ịdị ọcha dị elu Nitrogen a na-agbanye n'ime ụlọ ahụ ka ọ wepụ ihe ndị a na-achọghị. Nke a na-egbochi oxidation mberede ma ọ bụ mmeghachi omume ndị ọzọ nke ga-emebi wafer. A na-etinye otu ụkpụrụ a n'ọrụ na pọọdụ ụgbọ njem (nke a maara dị ka FOUPs) na-ebu silicon wafer n'etiti dị iche iche nkebi nke usoro mmepụta ihe.

Ọzọkwa, Nitrogen na-ekere oke mkpa na fotolithography, usoro nke ibipụta imewe sekit na wafer. N'ime ultraviolet miri emi nke oge a (DUV) lithography, oghere n'etiti oghere na wafer juputara na ultra-ọcha Nitrogen (ma ọ bụ Argon) iji mee ka ìhè nke dị mkpụmkpụ na-agafe na-enweghị ike ịbanye na ikuku. Ọ bụrụ na enweghị gburugburu ebe obibi a, usoro a agaghị ekwe omume. Na ahụmahụ m na-enye ndị na-emepụta ihe, ọchịchọ nke na-aga n'ihu, nnukwu olu, na ịdị ọcha dị elu Nitrogen ọkọnọ bụ enweghị mkparita uka.

Kedu ọrụ Argon na-arụ n'ịmepụta gburugburu ebe obibi zuru oke?

Dị ka nitrogen, Argon bụ onye a ma ama gas, nke pụtara na ọ bụ chemically inert. Agbanyeghị, A na-eji argon eme ihe maka ngwa kpọmkwem ebe arọ atọm ya dị arọ na-enye uru. Otu n'ime ihe kachasị mkpa n'ime ngwa ndị a bụ ntinye sputter, ma ọ bụ sputtering. Nke a bụ uzuoku anụ ahụ usoro ntinye ego na-eji dina ala mkpa metal film, nke na-etolite wiring nke sekit agbakwunyere.

Na sputtering, a na-etinye voltaji dị elu na oghere oghere jupụtara Argon gas. Nke a na-emepụta plasma nke ụgwọ dị mma Argon ions. A na-eme ngwa ngwa ion ndị a wee kụrie n'ime "ezubere iche" nke metal anyị chọrọ itinye (dị ka ọla kọpa ma ọ bụ aluminom). Ike nke nkukota ahụ na-akụtu atọm metal n'ebe a chọrọ, nke ga-efefe n'ọnụ ụlọ ma yikwasị uwe ahụ. silicon wafer n'ụdị oyi akwa dị mkpa. Argon zuru oke maka nke a n'ihi na ọ dị arọ nke ukwuu iji kpochapụ atom ndị a na-eche n'ihu mana kemịkalụ zuru oke nke na ọ gaghị emeghachi omume na ihe nkiri metal ọ na-enyere aka ịmepụta. Ọ na-enye ihe zuru oke gburugburu ebe obibi maka sputter ntinye nke ọla.

Ọzọ igodo eji Argon ọ dị na plasma ọbara. Na nke a usoro etching, Argon na-ejikọta ya na a mmeghachi omume ọzọ gas. Nke Argon na-enyere aka mee ka plasma kwụsie ike ma na-atụ bọmbụ n'elu anụ ahụ, na-enyere aka na etch kemịkalụ ma na-emepụta ihe ndị ahụ ziri ezi, kwụ ọtọ. A pụrụ ịdabere na ọkọnọ nke Argon gas cylinders dị oké mkpa maka ụlọ ọrụ ọ bụla na-arụ ọrụ nchara ma ọ bụ etching dị elu.

Ị nwere ike Kọwaa ka esi eji hydrogen mee nkwụnye ego na nhicha?

Ọ bụ ezie na Nitrogen na argon bara uru maka enweghị mmeghachi omume, Hydrogen a na-eji ya kpọrọ ihe nke ukwuu mmeghachi omume, ma n'ụzọ dị nnọọ ọcha na njikwa. A na-eji hydrogen eme ihe ukwuu na mmepụta semiconductor maka ihicha elu na na a kpọmkwem ụdị ntinye ego A na-akpọ uto epitaxial. Obere nha atọm ya na-enye ya ohere ịbanye ma meghachi omume n'ụzọ gas ndị ọzọ na-enweghị ike.

Tupu oyi akwa ọhụrụ nwere ike toro na a wafer, elu ga-adị ọcha nke ọma, ruo n'ọkwa atọm. Hydrogen gas A na-eji usoro okpomọkụ dị elu nke a na-akpọ "hydrogen bake" wepụ oxide ọ bụla (ihe dị gịrịgịrị, oyi akwa silicon dioxide) nke malitere na silicon elu. Nke hydrogen na-emeghachi omume na ikuku oxygen, na-akpụ mmiri vapor (H₂O) nke a na-esi n'ime ụlọ ahụ pụta, na-ahapụ ihe dị ọcha. silicon elu dị njikere maka nzọụkwụ ọzọ.

Hydrogen bụkwa isi ihe n'ime epitaxial uto (ma ọ bụ "epi"), usoro nke na-eto otu kristal oyi akwa nke silicon n'elu silicon wafer. Igwe oyi akwa ọhụrụ a nwere usoro kristal zuru oke yana njikwa ya nke ọma dopant ọkwa. Hydrogen na-eme dị ka onye na-ebu gas maka silicon isi iyi gas (dị ka silane ma ọ bụ trichlorosilane). Ọ na-ahụkwa na gburugburu ebe ntolite dị ọcha site n'iwepụ atom oxygen ọ bụla kpafuru akpafu. Ogo nke oyi akwa epitaxial a bụ ihe dị mkpa maka ịrụ ọrụ nke ndị na-emepụta ihe dị elu, na-eme ka ịdị ọcha nke Hydrogen cylinder ọkọnọ dị oke egwu.

Kedu ihe bụ Etchant Gases na kedu ka ha si akpụ okirikiri microscopic?

Ọ bụrụ na nkwụnye ego bụ maka iwulite ọkwa, etching bụ maka ịhọpụta ha nke ọma iji mepụta usoro sekit. Chee ya dị ka ihe ọkpụkpụ a na-ahụ anya. Mgbe akọwachara ụkpụrụ site na iji fotolithography, wdg A na-eji gas na-enye kemịkalụ pụtara iwepu ihe sitere na mpaghara enweghị nchekwa nke wafer. Nke a bụ otu n'ime usoro dị mgbagwoju anya na nke siri ike mgbawa n'ichepụta.

Nke gas na-eji na etching Usoro a na-abụkarị fluorine, chlorine, ma ọ bụ ogige ndị dabeere na bromine. Nhọrọ nke gas dabere na ihe a na-akpụzi.

• Gases sitere na fluorine (dịka ọmụmaatụ, CF₄, SF₆, NF₃) dị mma maka etching silicon na silicon dioxide.
• Gas sitere na chlorine (dịka ọmụmaatụ, Cl₂, BCl₃, HCl) na-ejikarị eme ihe maka etching ọla dị ka aluminom.

Ndị a gas na-emeghachi omume A na-etinye ya n'ime ụlọ plasma. Plasma na-agbaji ahụ gas molekul iche iche n'ime ukwuu mmeghachi omume ions na radicals. Ndị a radicals wee meghachi omume na elu nke wafer, na-eme ihe ọhụrụ na-agbanwe agbanwe nke nwere ike ịpụpụ ngwa ngwa, si otú a "etching" ihe. Nkenkenke achọrọ dị ukwuu; ihe mgbaru ọsọ bụ ihe ozo kwụ ọtọ gbadaa (anisotropically) na-enweghị imebi oyi akwa a haziri ahazi. Oge a semiconductor fabs jiri mgbagwoju anya ngwakọta gas ma jiri nlezianya na-achịkwa ọnọdụ plasma iji nweta nke a.

Kedu ihe bụ Kemịkalụ Vapor Deposition (CVD) na kedu gas na-etinye aka na ya?

Kemịkalụ Vapor Deposition (CVD) bụ isi nkuku usoro ntinye ego n'ime mmepụta semiconductor. Ọ bụ ụzọ bụ isi eji mepụta ihe nkiri dị iche iche na-ekpo ọkụ na ndị na-eduzi mkpa nke mejupụtara a ngwaọrụ semiconductor. Isi echiche bụ ịgba a gas (ma ọ bụ ngwakọta nke gas) n'elu ọkụ wafer. Okpomọkụ na-akpata gas imeghachi omume ma ọ bụ mebie n'elu wafer, na-ahapụ ihe nkiri siri ike nke ihe a chọrọ.

Nke ọ bụla n'ime mmeghachi omume ndị a chọrọ ọnọdụ kwụsiri ike na nke ukwuu elu-ọcha gas. Dịka ọmụmaatụ, mgbe ị na-etinye akwa polysilicon na-eji Silane, oxygen ọ bụla adịghị ọcha n'ime gas iyi ga-eme ka silicon dioxide guzobe kama, na-emebi ihe ndị na-eduzi oyi akwa ahụ. Nke a bụ ya mere anyị, dị ka onye na-ebubata ihe, na-elekwasị anya nke ukwuu na ime ka ọ dị ọcha na nyocha nke ndị a ntinye gas. The dum n'ọbá akwụkwọ nke Nnukwu Gasị Ọpụrụiche Ọpụrụiche anyị na-enye na-haziri maka izute ndị a stringent chọrọ.

Kedu ihe kpatara Ultra-High Purity ji bụrụ ihe kacha mkpa maka gas Semiconductor?

Enweghị m ike ịkatọ nke a: na ụlọ ọrụ semiconductor, ịdị ọcha bụ ihe niile. Usoro ahụ elu-ọcha apụtaghị 99% ma ọ bụ ọbụna 99.9%. Maka semiconductor gas, anyị na-ekwu maka ya ultra-elu ịdị ọcha (UHP), nke na-abụkarị 99.999% (a na-akpọkarị "ise nine") ma ọ bụ karịa. Maka ụfọdụ nkatọ usoro gas, ihe a chọrọ nwere ike ịbụ 99.9999% ("isii nine") ma ọ bụ karịa. Ihe kpatara ya dị mfe: mmetọ na-egbu ọrụ.

A na-atụ ihe ndị dị na microchip ọgbara ọhụrụ na nanometers (ijeri atọ nke otu mita). N'ọ̀tụ̀tụ̀ a, otu mkpụrụ irighiri ihe si mba ọzọ ma ọ bụ molekul achọghị dị ka nkume nkume dị n'etiti nnukwu okporo ụzọ. A adịghị ọcha nwere ike:

• Ngwongwo Eletriki ọzọ: Ion sodium kpafuru akpafu nwere ike ịgbanwe voltaji ọnụ ụzọ transistor, mee ka ọ gbanye ma ọ bụ gbanyụọ n'oge na-ezighi ezi.
• Mepụta emezighị emezi: Mkpụrụ ndụ oxygen nwere ike ịkpaghasị lattice kristal zuru oke n'oge uto epitaxial, na-emepụta "dislocation" nke na-egbochi eruba eletrọn.
• Ihe kpatara okirikiri mkpụmkpụ: Uruuru ọla nwere ike mechie ahịrị abụọ dị n'akụkụ, na-eke mkpụmkpụ nwụrụ anwụ.
• Belata Mpụta: Ka ihe ndị na-emerụ emerụ na-adị, ka ọnụ ọgụgụ nke ibe ndị nwere nkwarụ na-abawanye na nke ọ bụla wafer, nke na-emetụta uru uru ozugbo.

Nke a bụ ya mere, dị ka onye nrụpụta, nnukwu ego anyị na-etinye bụ na nchacha na akụrụngwa nyocha. Nke ọ bụla ogbe nke gas kwesịrị nwalere iji hụ na ọ dabara nkọwapụta akụkụ-kwa-ijeri (ppb) ma ọ bụ akụkụ-kwa-trillion (ppt) nke ndị ahịa anyị chọrọ. Nke ina maka elu dị ọcha gas bụ ihe na-akpali dum ọpụrụiche gas ahịa maka ngwá electronic.

Kedu otu anyị si agba mbọ hụ na ọ dị mma na nke a pụrụ ịdabere na ya nke gas dị ọcha?

Maka onye na-ahụ maka ịzụ ahịa dịka Mark, nke a bụ ajụjụ kacha mkpa. A oké price bụ ihe efu ma ọ bụrụ na gas àgwà na-ekwekọghị ekwekọ ma ọ bụ mbupu abịaghị n'oge. Anụla m akụkọ egwu: ndị na-eweta ngwaahịa na-enye asambodo nyocha aghụghọ, ma ọ bụ mbupu nke ọpụrụiche gas a na-edobe ya na kọstọm ruo izu, na-eme ka eriri mmepụta kwụsị. Ịkwado isi ihe mgbu ndị a bụ isi nke nkà ihe ọmụma azụmahịa anyị.

Ịhụ na ịdịmma na-amalite na ime ka ọ dị ọcha usoro. Anyị na-eji usoro dị elu dị ka cryogenic distillation na ihe mgbasa ozi pụrụ iche iji wepụ adịghị ọcha. Mana usoro a anaghị akwụsị ebe ahụ. Nzọụkwụ kachasị mkpa bụ nkwenye. Anyị na-eji ngwa nyocha ọgbara ọhụrụ dị ka Gas Chromatograph-Mass Spectrometers (GC-MS) iji nwalee otu cylinder ọ bụla tupu ebupu ya. Anyị na-enye ndị ahịa anyị nkọwa zuru oke na ezigbo Asambodo nyocha (COA) maka batch ọ bụla, na-ekwe nkwa na gas dị ọcha.

A ntụkwasị obi ọkọnọ yinye bụ ọkara nke ọzọ nke nha anya. Nke a gụnyere:

• Nkwadebe Silinder siri ike: Silinda maka ultra-elu dị ọcha gas na-enweta usoro nhicha na ngafe pụrụ iche iji hụ na akpa ahụ n'onwe ya adịghị emerụ ahụ gas.
• Ngwa ngwa ọgụgụ isi: Anyị na ndị mmekọ logistics nwere ahụmahụ na-arụkọ ọrụ bụ ndị ghọtara ụkpụrụ maka mbupu oke nrụgide na mgbe ụfọdụ ihe dị ize ndụ na mba ụwa. Anyị na-enye akwụkwọ niile dị mkpa iji hụ na mkpochapụ kọstọm dị larịị.
• Kpochapụ nzikọrịta ozi: A zụrụ ndị otu ahịa na nkwado anyị ka ha na-enye mmelite oge niile. Ị ga-amata ọkwa nke iwu gị mgbe niile, site na mmepụta ruo na nnyefe ikpeazụ. Anyị na-aghọta na a amụma ọkọnọ nke elu dị ọcha gas dị mkpa maka ndị ahịa anyị ijikwa usoro mmepụta nke ha. Anyị na-enye ọbụna dị iche iche ngwakọta gas nhọrọ iji gboo mkpa usoro a kapịrị ọnụ.

Kedu ihe ga-eme n'ọdịnihu maka gas na ụlọ ọrụ Semiconductor?

Nke ụlọ ọrụ semiconductor anaghị ada ada. Dị ka Iwu Moore buru n'amụma, ndị na-emepụta chipmakers na-agbasi mbọ ike ka ha mepụta obere, ngwa ngwa na ngwaọrụ dị ike karị. Ihe ọhụrụ a na-adịghị akwụsị akwụsị na-emetụta ya ozugbo gas na ngwakọta eji n'ichepụta ha. Ka anyị na-aga na ọgbọ ọzọ nke semiconductor teknụzụ, yana nha njirimara na-agbada na naanị nanometer ole na ole, ihe achọrọ maka ịdị ọcha gas ga-adịwanye njọ.

Anyị na-ahụ ihe na-emekarị n'ebe ihe ọhụrụ gafere silicon, dị ka gallium nitride (GaN) na silicon carbide (SiC), nke chọrọ ọhụrụ na dị iche iche usoro gas maka etching na ntinye. Enwekwara mmegharị ahụ gaa n'ụlọ ọrụ 3D dị mgbagwoju anya, dị ka FinFET na transistors Gate-All-Around (GAA), nke na-achọ ọbụna nkenke nke ọma na ntinye ego na ihe ozo nzọụkwụ. Nke a pụtara na ọpụrụiche gas ụlọ ọrụ ga-mgbe niile ọhụrụ imepe ọhụrụ ụmụ irighiri ihe na nweta ọbụna elu etoju nke ime ka ọ dị ọcha.

Site n'echiche m dị ka onye na-ebubata ihe, ọdịnihu bụ maka mmekọrịta. Ọ bụ agaghịkwa ezu naanị ire a cylinder nke gas. Anyị ga-arụkọ ọrụ ọnụ na ndị ahịa anyị na n'ichepụta ngwá electronic ngalaba ịghọta ụzọ teknụzụ ha ga-eme n'ọdịnihu. Nke a na-enye anyị ohere ịtụ anya mkpa maka ọhụrụ elu-ọcha gas ma tinye ego na mmepụta na ike nyocha iji nye ha. Ndị dike na-adịghị ahụ anya nke semiconductor ụwa—gasị ahụ—ga-anọgide na-adị n’ihu n’ọganihu nkà na ụzụ.

Isi ihe eji eme ihe

Ka ị na-ebute gas ụlọ ọrụ maka ahịa semiconductor na-achọsi ike, ebe a bụ ihe kachasị mkpa icheta:

• Ịdị ọcha bụ ihe kacha mkpa: Otu ihe kacha dị mkpa bụ ultra-elu ịdị ọcha. Ihe mmetọ, ọbụlagodi n'ogo akụkụ-kwa-ijeri, nwere ike ibute ọdịda akụrụngwa na-akpata ọdachi ma belata mmepụta mmepụta.
• Gases nwere ọrụ pụrụ iche: Gases anaghị agbanwe agbanwe. Ha bụ ngwá ọrụ pụrụ iche nke a na-eji maka usoro dị iche iche dị ka ịmepụta ikuku inert (Nitrogen, Argon), ụlọ n'ígwé (ntinye gas dị ka Silane), na sekit ihe osise (gas ndị ọzọ dị ka CF ₄).
• Chain ọkọnọ dị mkpa: Onye na-ebubata ihe a pụrụ ịdabere na ya na-eme ihe karịrị naanị ire ngwaahịa. Ha na-ahụ maka ịdị mma site na nnwale siri ike, na-enye asambodo izizi, jikwaa ngwa ọgụ dị mgbagwoju anya, ma na-edobe nzikọrịta ozi doro anya iji gbochie igbu oge mmepụta dị oke ọnụ.
• Ihe ọmụma nka na ụzụ na-agbakwunye uru: Nghọta ihe kpatara ya ụfọdụ gas eji na ihe kpatara ya ịdị ọcha ya dị oke mkpa na-enye gị ohere ịbụ onye mmekọ na-arụ ọrụ nke ọma na ndị ahịa nke gị, na-akwado ịdị mma na iwulite ntụkwasị obi ogologo oge.
• Ụlọ ọrụ ahụ na-agbanwe: Nkwanye maka ibe ndị dị obere ma dị ike pụtara ọchịchọ maka ọhụrụ, ọbụna dị ọcha ọpụrụiche gas ga na-aga n'ihu na-eto eto. Iso onye na-ebubata ihe na-atụ anya imekọrịta ihe bụ isi ihe na-aga n'ihu.