Ekwentị dị n'akpa gị, kọmputa dị na desktọpụ gị, usoro ndị dị elu n'ime ụgbọ ala gị-ọ dịghị nke ọ bụla n'ime ya ga-ekwe omume ma ọ bụrụ na ọ bụrụ na ọ naghị arụ ọrụ nkịtị, nke a na-adịghị ahụ anya nke gas pụrụ iche. Dị ka onye nwe ụlọ nrụpụta gas na-emepụta ihe, mụ, Allen, ahụla n'onwe m ka ihe ndị a dị oke mkpa si etolite n'ụzọ nke teknụzụ ọgbara ọhụrụ. Maka ndị isi azụmaahịa dị ka Mark Shen, onye na-agagharị n'usoro ọkọnọ dị mgbagwoju anya zuru ụwa ọnụ, ịghọta gas ndị a bụ isi ihe na-emepe ohere ọhụrụ. Edemede a bụ ntụzịaka gị zuru oke maka otu n'ime ndị egwuregwu kachasị mkpa na mpaghara a: Nitrogen Trifluoride (NF₃). Anyị ga-ewepụ nke a dị ike gas, nyochaa ọrụ ya dị mkpa na usoro mmepụta semiconductor, ma kọwaa ihe kpatara ịdịmma ya na ọkọnọ ya ji dị oke egwu maka mmadụ niile n'ichepụta ngwá electronic ụlọ ọrụ.

Kedu ihe bụ Nitrogen Trifluoride (NF₃) gas?

Na ilele mbụ, Nitrogen Trifluoride, nke a na-ezokarị aka site na usoro kemịkal ya NF ₃, nwere ike ịdị ka ụlọ ọrụ mmepụta ihe ọzọ gas. Ọ bụ ihe na-enweghị ụcha, nke anaghị ere ọkụ, na-esikwa obere ísì ụtọ ngwakọta. Otú ọ dị, na ụwa nke elu n'ichepụta, ihe a gas bụ ngwá ọrụ dị elu. Ọ bụ ihe synthetically emepụtara ngwakọta mere nke otu nitrogen atọm na atọ fluorine atọm. Igodo nke ike ya dị na nhazi a. N'ime ụlọ okpomọkụ, NF ₃ dịtụ kwụsiri ike na inert, na-eme ka ọ dị mma ibufe na njikwa ma e jiri ya tụnyere gas ndị na-agbanwe agbanwe.

Ime anwansi na-eme mgbe etinyere ike. N'okpuru ọnọdụ ike dị elu n'ime a semiconductor ngwá ọrụ mmepụta ihe, dị ka a plasma ụlọ, na NF ₃ ụmụ irighiri ihe ire ere. Ha na-agbaji ma na-ahapụ nke ukwuu mmeghachi omume fluorine radicals. Chee ya ka ọ dị ka mgbawa a na-achịkwa n'ihe ọ̀tụ̀tụ̀ dị ntakịrị. Ndị a n'efu fluorine atọm na-arụ ọrụ nke ukwuu n'ịmeghachi omume na iwepụ ihe ndị a na-achọghị, karịsịa silicon na ogige ya. Ikike a kwụsiri ike mgbe ịchọrọ ya na nke ukwuu mmeghachi omume mgbe ị chọrọ ọ na-eme Nitrogen Trifluoride gas ihe bara uru akpan akpan ke kpọmkwem ụwa nke mgbawa n'ichepụta.

Nke a pụrụ iche dual ọdịdị mere NF ₃ aghọwo isi nkuku nke oge a mmepụta nke semiconductor. Nkwụsi ike ya na-eme ka nchekwa na ntụkwasị obi dị na ụdọ ọkọnọ, ebe mmeghachi omume ya na-enye ọrụ nhicha na etching dị elu nke ndị na-emepụta chọrọ. Ka anyị na-enyocha omimi, ị ga-ahụ ka nke a si ada ụda dị mfe gas na-enyere aka ịmepụta ngwaọrụ ndị kachasị mgbagwoju anya na Ụwa.

Kedu ihe kpatara gas pụrụ iche ji dị mkpa maka ụlọ ọrụ Semiconductor?

Iji ghọta mkpa nke NF ₃, anyị kwesịrị ibu ụzọ ghọta ọrụ sara mbara nke ahụ gas dị mkpa maka n'ime ụlọ ọrụ semiconductor. Imepụta ihe sekit agbakwunyere ọ dị ka iwu ụlọ elu n'elu kwaaji nke nha nke thumbnail gị. Ọ bụ usoro ịgbakwụnye na iwepụ ọtụtụ ihe dị iche iche na-adịchaghị mkpa na a silicon wafer. Nzọụkwụ ọ bụla, site na ịmepụta iferi wafer ruo mgbawa ikpeazụ, na-adabere na ikuku na-achịkwa nke ọma nke ọpụrụiche gas eletrik.

Gas ndị a na-arụ ọtụtụ ọrụ dị egwu. Ụfọdụ, dị ka argon na helium, na-eji dị ka inert ebu gas iji mepụta kwụsiri ike na gburugburu ebe obibi na-adịghị emeghachi omume na itughari ọzọ gas arụ ọrụ. A na-eji ndị ọzọ eme ihe ntinye ego, ebe a gas a na-eji nkwụnye ego ihe nkiri dị mkpa nke ihe n'elu wafer. Dịka ọmụmaatụ, na Chemical Uzuoku Ntinye ego (CVD), gas na-emeghachi omume iji mepụta ihe nkiri siri ike nke na-aghọ akụkụ nke sekit nke mgbawa. Mgbe ahụ, e nwere etching gas, dị ka NF ₃, nke a na-eji akọwa kpọmkwem ụkpụrụ na ọkwa ndị a, na-emepụta ụzọ mgbagwoju anya maka ọkụ eletrik.

Na-enweghị mgbe niile, ultra-elu-ọcha inye ndị a dị iche iche gas, dum usoro mmepụta ihe ga-egweri ka ọ kwụsị. Ọbụna a minuscule adịghị ọcha na a gas nwere ike ibibi otu wafer dum, na-efu otu ụlọ ọrụ ọtụtụ nde dollar. Nke a kpatara ya ndị na-emepụta semiconductor na-enwe mmetụta nke ukwuu maka ịdị mma na ntụkwasị obi nke ndị na-eweta gas ha. Ịdị ọcha nke gas ozugbo sụgharịa àgwà na mmepụta mmepụta nke ikpeazụ ngwaahịa.

Kedu ka esi eji NF₃ gas na usoro nrụpụta Semiconductor?

Nitrogen Trifluoride nwere ngwa abụọ bụ isi, dị oke egwu na usoro mmepụta semiconductor: plasma etching na ihicha ụlọ. Ha abụọ dị mkpa maka ịmepụta microchips dị elu, site na nhazi ruo NAND flash ebe nchekwa.

Nke mbụ, ka anyị kwuo banyere etching. Mgbe oyi akwa nke ihe dị ka silicon dioxide na-edebe na a wafer, a na-atụnye ụkpụrụ na ya site na iji ọkụ. Nke ihe ozo usoro wee wepụ ihe ahụ site na ebe ndị na-enweghị nchebe. NF ₃ a na-ewebata n'ime ụlọ ma na-enye ike ịmepụta a plasma- igwe ojii nke ebubo ion ahụ na reactive fluorine radicals. Ndị a radicals kpomkwem bombu na wafer elu, na-emeghachi omume na silicon na ịtụgharị ya ka ọ bụrụ a gas ngwakọta (silicon tetrafluoride) nke enwere ike ịpụ n'ime ụlọ ahụ ngwa ngwa. Izi ezi nke usoro a bụ ihe na-emetụ n'ahụ, na-enye ndị injinia ohere ịmepụta atụmatụ ndị dị ọtụtụ puku ugboro karịa ntutu mmadụ.

Nke abụọ, na nke a na-ahụkarị, iji nitrogen trifluoride bụ dị ka a ihicha gas. N'oge Mkpokọta uzuoku kemịkalụ (CVD) usoro, ebe mkpa fim na-okokpon na wafer, Ihe a na-achọghị na-ewulikwa elu n'ime mgbidi nke ụlọ nhazi. Nke a foduru, na-emekarị nke silicon ma ọ bụ silicon nitride, ga-ewepụ kpamkpam n'etiti nhazi nke ọ bụla wafer ma ọ bụ ogbe nke wafers. Ma ọ bụghị ya, ihe ọkụkụ a nwere ike ịla n'iyi ma daa na nke ọzọ wafer, na-akpata ntụpọ. Ebe a, NF ₃ a na-agbanye n'ime ụlọ efu na a plasma na-agbanye ọkụ. Ndị dị ike fluorine radicals na-ehichapụ mgbidi ụlọ ahụ dị ọcha, na-agbanwe ihe siri ike foduru n'ime a gas site na ngwaahịa nke a na-ewepụ ngwa ngwa. Nke a ihicha okirikiri bụ dị oke egwu maka idowe ịdị ọcha nke ebe a na-emepụta ihe na ime ka ọ dị elu mmepụta mmepụta.

Kedu ihe na-eme NF₃ ka ọ bụrụ gas na-ehicha ihe dị elu ma e jiri ya tụnyere ndị ọzọ?

Ruo ọtụtụ afọ, na ụlọ ọrụ semiconductor dabere na perfluorocarbons (PFCs) dị ka carbon tetrafluoride (CF₄) na hexafaluoroethane (C₂F₆) maka ihicha na etching. Ọ bụ ezie na ọ dị irè, ogige ndị a nwere nnukwu ihe ndọghachi azụ: ha bụ ikuku ikuku griin na-enwe oke ogologo oge ndụ ikuku. Dịka ọmụmaatụ, C₂F₆ nwere a nnukwu okpomọkụ zuru ụwa ọnụ nwere ike (GWP) ma nwee ike ịnọgide na ikuku ruo afọ 10,000. Ka iwu gburugburu ebe obibi siri ike, ụlọ ọrụ ahụ chọrọ ngwọta ka mma.

Nke a bụ ebe NF ₃ pụtara dị ka onye mmeri doro anya. Mgbe Nitrogen Trifluoride bụkwa a ike griin haus gas, ọ nwere ogologo ndụ ikuku dị mkpụmkpụ karịa (ihe dị ka afọ 500). Nke kachasị mkpa, ọ na-arụ ọrụ nke ọma na usoro nhicha. N'ime plasma ụlọ, a ukwuu elu pasent NF ₃ ụmụ irighiri ihe na-agbaji ka ha hapụ ihe ha na-eme fluorine tụnyere PFCs. Nke a pụtara obere emeghachighị omume gas na-agwụ ike site na ụlọ. Oge a semiconductor fabs tinyekwa sistemu ihe mgbochi (scrubbers) nke na-emebi ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ ihe niile emeghachighị omume NF ₃ na-emerụ ahụ site na ngwaahịa gas tupu ahapụ ha.

Nchikota nke elu arụmọrụ na ọzọ irè abatement pụtara na n'ezie ikuku ikuku griin haus site na iji NF ₃ dị nnọọ ala karịa nke sitere na gas PFC ochie. Ịrụ ọrụ dị elu bụ isi ihe kpatara nkuchi ya zuru ebe niile.

Kedu ka e si emepụta Nitrogen Trifluoride dị ọcha?

Dị ka a emeputa, m nwere ike ịgwa gị na-emepụta NF ₃ bụ mgbagwoju anya na nke ukwuu na-achịkwa usoro mmepụta. Ebumnuche bụ imepụta ngwaahịa ikpeazụ nke dị oke ọcha-mgbe 99.999% dị ọcha ma ọ bụ karịa-n'ihi na ọbụlagodi ntakịrị. adịghị ọcha nwere ike bụrụ ọdachi maka mmepụta semiconductor. Usoro a chọrọ ọkachamara n'ijikwa kemịkalụ na-emeghachi omume nke ukwuu, ọkachasị fluorine.

Nke NF₃ mmepụta na-agụnyekarị imeghachi omume amonia (a ngwakọta nwere nitrogen) ma ọ bụ ammonium fluoride ngwakọta na elemental fluorine gas na reactor na oke okpomọkụ. Mmeghachi omume a na-emepụta ngwakọta nke gas, gụnyere NF ₃, ihe ndị a na-emeghị eme, na ngwaahịa dị iche iche. Ezigbo ihe ịma aka, yana ebe nka nke onye na-ebubata ya na-egosi n'ezie, dị na ime ka ọ dị ọcha ogbo na-esochi.

The raw gas ngwakọta na-aga site na ọtụtụ ime ka ọ dị ọcha nzọụkwụ iji wepụ ogige ọ bụla na-achọghị. Nke a na-agụnyekarị usoro ịhịa aka n'ahụ. adsorption, na usoro distillation cryogenic. Nke usoro distillation, akpan akpan, na-eji oke ala okpomọkụ kewaa dị iche iche gas na-adabere na ha esi isi, kewapụ ndị NF ₃ site na adịghị ọcha ọ bụla fọdụrụ. A na-eji ngwa nyocha dị elu na-enyocha usoro ọ bụla iji hụ na ngwaahịa ikpeazụ na-ezute nkọwa siri ike nke semiconductor ụlọ ọrụ. Nkwenye a maka njikwa mma bụ ihe na-ekewa onye na-ebubata ntụkwasị obi na ndị ọzọ.

Kedu ihe nchekwa na njikwa maka NF₃ gas?

Nchekwa bụ ihe kacha mkpa na ụlọ ọrụ mmepụta ihe gas azụmahịa. Mgbe NF ₃ anaghị ere ọkụ ma dịtụ kwụsie ike na ụlọ okpomọkụ, ọ bụ ihe na-eme ka ọ dị ike na-ekpo ọkụ, karịsịa na okpomọkụ dị elu. Nke a pụtara na ọ nwere ike meghachi omume n'ike site na ihe ndị na-ere ọkụ ma chọọ ijikwa nke ọma. Isi ihe ize ndụ bụ nsi ya; iku ume gas nwere ike imerụ ahụ, yabụ ikuku ikuku kwesịrị ekwesị na akụrụngwa nchedo onwe onye dị mkpa na nke ọ bụla saịtị nrụpụta.

Agbụ ọkọnọ niile, site na ụlọ ọrụ anyị ruo na nke ndị ahịa semiconductor fab, wuru gburugburu nchekwa. NF ₃ a na-ebufe ya na cylinders ígwè a haziri nke ọma n'okpuru nnukwu nrụgide. Ndị a cylinders na-enweta ule siri ike na asambodo iji hụ na ha nwere ike ịnwe ihe ndị ahụ n'enweghị nsogbu gas. Dịka onye na-ebubata ihe, anyị na-enye ndị ahịa anyị akwụkwọ nchekwa data nchekwa zuru ezu (SDS) na ọzụzụ maka nchekwa, njikọ na usoro njikwa kwesịrị ekwesị. Nke a gụnyere ntuziaka na eruba ọnụego usoro njikwa na nchọta ntapu.

Maka ndị nwe ụlọ ahịa dị ka Mark, onye isi ihe na-eche ya bụ ụdọ ọkọnọ dị nro na nke a pụrụ ịdabere na ya, imekọ ihe na onye na-ebubata ihe nwere ndekọ nchekwa egosiri dị oke mkpa. Nkwurịta okwu na-adịghị mma ma ọ bụ enweghị ụkpụrụ nchekwa doro anya sitere n'aka onye na-ebubata ya bụ nnukwu ọkọlọtọ uhie. Anyị ji onwe anyị nganga na ịnye ọ bụghị naanị ngwaahịa, mana ọrụ zuru oke nke gụnyere nkwado ngwa agha na nka nchekwa, na-ahụ na gas bịarutere ma na-edozi ya n'enweghị nsogbu ọ bụla n'ụzọ ọ bụla.

Nitrogen Trifluoride ọ bụ gas Greenhouse? Ịghọta Mmetụta Gburugburu Ebe Obibi.

Ọ dị oké mkpa ka ọ pụta ìhè banyere akụkụ gburugburu ebe obibi nke NF ₃. Ee, Nitrogen Trifluoride bụ ike ikuku griin haus. Otu Intergovernmental Panel on Climate Change (IPCC) agbakọwo na o nwere ike ikpo ọkụ zuru ụwa ọnụ (GWP) ọtụtụ puku ugboro karịa carbon. dioxide ihe karịrị otu narị afọ. Nke a bụ eziokwu na ụlọ ọrụ ahụ na-eji ihe akpọrọ ihe.

Agbanyeghị, akụkọ ahụ akwụsịghị ebe ahụ. Nke mmetụta na gburugburu ebe obibi adabere ọ bụghị naanị na gas nwere ike, kama na ole n'ime ya a na-ahapụ n'ezie na ikuku. Dị ka e kwuru na mbụ, NF ₃ na-arụ ọrụ nke ọma. Na a ọgbara ọhụrụ semiconductor akụrụngwa, ọnụ ọgụgụ ka ukwuu nke gas eji na-eri ma ọ bụ mebie n'oge usoro mmepụta ihe. Nke plasma na-agbaji ya, na ihe ọ bụla emeghachighị omume gas A na-eziga nke ike gwụ na sistemu mbelata. Usoro ndị a na-arụ ọrụ nke ukwuu, na-ebibi ihe karịrị 99% nke ndị fọdụrụ NF ₃.

Mgbanwe ụlọ ọrụ ahụ site na PFC gaa na NF ₃, jikọtara ya na ojiji a na-ejikarị teknụzụ na-ebelata ihe, emela ka mbelata ụgbụ ahụ n'ezie ikuku ikuku griin haus kwa unit nke mmepụta. Dịịrị ya ndị na-emepụta semiconductor na ndị na-eweta gas na-arụkọ ọrụ ọnụ iji hụ na e wedatala ihe ọkụkụ. Nke a na-agụnye ịkwalite usoro nhicha ahụ iji jiri obere ego mee ihe gas ọ dị mkpa na idobe sistemu mbelata maka arụmọrụ kacha elu. Yabụ, mgbe NF ₃ bụ ike ikuku griin haus n'ime ụlọ nyocha, akara ukwu gburugburu ebe obibi ya n'ezie mmepụta semiconductor ejiri nlezianya jikwaa ma dị ala karịa ndị ọzọ ọ nọchiri anya ya.

Kedu ihe bụ ọrụ nke Ọgbọ Gas Na Saịtị maka nnukwu Semiconductor Fabs?

Ọnụ ọgụgụ nke oge a mmepụta semiconductor na-akpali akpali. Ụlọ ọrụ kachasị ukwuu, nke a maara dị ka mega-fabs, na-eri oke gas. Maka ụfọdụ gas, dị ka nitrogen, ọ na-arụ ọrụ nke ọma iji mepụta ha ozugbo n'ụlọ ọrụ kama ibugharị ọtụtụ puku cylinders. A maara nke a dị ka n'ebe ahụ ọgbọ. N'ihi na a ukwuu pụrụ iche na reactive gas dị ka NF ₃, ụdị dịtụ iche na-apụta: n'ebe ahụ ọcha na nyocha.

Mgbe juru NF₃ mmepụta na fab bụ ihe a na-adịghị ahụkebe n'ihi mgbagwoju anya ya, ndị ọrụ buru ibu na-enwekarị ọkaibe n'ebe ahụ gas management usoro. A nnukwu ọkọnọ nke NF ₃ A na-enyefe ya na fab, mgbe ahụ usoro a na-arụ ọrụ ikpeazụ ime ka ọ dị ọcha na-aga n'ihu àgwà analysis ozugbo tupu gas na-abanye n'ichepụta ngwá ọrụ dị oke ọnụ. Nke a na-enye oke njikwa mma kacha mma, na-ahụ na ejidere mmetọ ọ bụla nwere ike site na ahịrị ọkọnọ. Ụzọ a na-ejikọta uru akụ na ụba nke ịzụrụ nnukwu ego na nkwenye dị mma nke n'ebe ahụ njikwa.

Ịghọta ụdị ọkọnọ ndị a na-agbanwe agbanwe dị mkpa. Dị ka onye na-ebubata ihe, anyị agbasawanyela ọrụ anyị karịa imeju cylinders. Anyị na-arụ ọrụ ugbu a ndị na-emepụta semiconductor zuru ụwa ọnụ iji chepụta na mejuputa usoro nnyefe gas na njikwa zuru oke. Nke a nwere ike ịgụnye raara onwe ya nye mmepụta akara ikike maka onye isi ahịa, ngwa ngwa pụrụ iche, ma ọ bụ ijikọ ha n'ebe ahụ usoro. Ọ bụ maka ịnye eriri ọkọnọ na-agbanwe agbanwe na ntụkwasị obi nke na-egbo mkpa ndị na-achọsi ike Nrụpụta nke narị afọ nke 21. Nke a bụ akụkụ dị mkpa nke atụmatụ anyị, ọkachasị mgbe ị na-ejere ndị ahịa ozi n'ụzọ dị ịrịba ama ike mmepụta.

Kedu ka NF₃ ịdị ọcha si emetụta mmepụta na nrụpụta Chip?

N'ime semiconductor ụwa, "mkpụrụ" bụ ihe niile. Ọ bụ pasent nke ezigbo ibe ibe na-arụ ọrụ emepụtara site na otu silicon wafer. Mkpụrụ dị elu pụtara nnukwu uru; obere mkpụrụ nwere ike imebi ego. Ịdị ọcha nke gas usoro, karịsịa a reactive gas dị ka NF ₃, nwere mmetụta kpọmkwem na nke dị egwu mmepụta mmepụta.

Cheedị echiche otu adịghị ọcha dị ka ntakịrị urughuru mmiri (H₂O) ma ọ bụ ihe ọzọ gas ngwakọta agwakọta na NF ₃. N'oge usoro etch nwere mmetụta, nke ahụ adịghị ọcha nwere ike igbochi mmeghachi omume kemịkalụ, na-ebute ntụpọ microscopic na sekit nke mgbawa. Ọ nwere ike igbochi ya ihe ozo, ịhapụ ihe n'ebe ọ na-ekwesịghị ịdị, ma ọ bụ na-eme ka ọ dị elu, wepụ ihe dị ukwuu. Kedu ụzọ ọ bụla, ihe si na ya pụta sekit agbakwunyere ga-ada ikpeazụ ule. Mgbe ị na-eme nde transistor n'otu mgbawa, ọbụlagodi otu "nkwarụ egbu egbu" kpatara site na adịghị ọcha nwere ike ime ka mgbawa ahụ dum ghara ịba uru.

Nke a bụ ihe mere anyị ji etinye nnukwu ego na njikwa mma. Site n'inye asambodo, ultra-elu-ọcha NF ₃, anyị na-enye ndị ahịa anyị obi ike na gas agaghị abụ isi iyi nke ntụpọ. Na-achịkwa itinye uche nke ọ bụla akụrụngwa gbadara akụkụ-kwa-ijeri larịị ana achi achi na usoro mmepụta ihe kwụsiri ike na ikwugharị. Usoro kwụsiri ike na-eduga na amụma na elu mmepụta mmepụta, nke bụ ihe mgbaru ọsọ kasịnụ maka onye ọ bụla semiconductor emeputa. Ọrụ anyị dị ka onye na-eweta Gases Ọpụrụiche Dị Ọcha bụ ikpochapụ mgbanwe dị iche iche ma nye ngwaahịa nke àgwà na-adịghị mma.

Kedu ihe ị ga-achọ na onye na-eweta Nitrogen Trifluoride?

Maka onye na-ahụ maka ịzụ ahịa dị ka Mark, ịhọrọ onye na-ebubata ihe kwesịrị ekwesị maka ihe dị mkpa dị ka NF ₃ na-aga n'ebe dị anya karịa naanị atụnyere ọnụ ahịa. Ihe ize ndụ dị na mmekọrịta ọjọọ - igbu oge mbupu, okwu ndị dị mma, nkwurịta okwu na-adịghị mma - dị nnọọ elu. Dabere na ahụmịhe m, ebe a bụ isi ihe ị ga-atụle:

Nke mbụ, ịdị mma na asambodo nwere ike ịnwapụta. Onye na-ebubata ntụkwasị obi ga-enye Asambodo Analysis (CoA) na mbupu ọ bụla, na-akọwa ọkwa ịdị ọcha yana depụta adịghị ọcha ọ bụla achọpụtara. Ha kwesịrị ịkwado ụkpụrụ mba ụwa dịka ISO 9001. Jụọ maka ikike nyocha ha. Ha nwere akụrụngwa iji chọpụta adịghị ọcha na ọkwa achọrọ semiconductor ngwa?

Nke abụọ, ntụkwasị obi yinye ọkọnọ na nghọta. Onye na-ebubata ya nwere ike igosipụta netwọk ngwa ngwa siri ike iji gbochie igbu oge? Ha nwere ejighi oru ike mmepụta iji hụ na a na-ebubata ya? Nkwurịta okwu bụ isi ebe a. Onye na-eweta gị kwesịrị ịdị na-arụsi ọrụ ike, na-enye mmelite na mbupu yana ịdị njikere ịza ajụjụ. Nke a na-ekwu kpọmkwem ihe mgbu nke nkwurịta okwu na-adịghị mma.

N'ikpeazụ, chọọ nka nka. Ezigbo onye na-eweta ngwaahịa abụghị naanị ire ngwaahịa; ha na-enye ngwọta. Ha kwesịrị ịghọta ngwa gị ma nwee ike ịnye nkwado teknụzụ. Ha kwesịrị ịma gbasara nchekwa, njikwa na ọbụna ụkpụrụ gburugburu ebe obibi gbara ya gburugburu ngwa gas. Onye na-ebubata ihe nke nwere ike ime dị ka onye mmekọ maara ihe bara uru karịa onye na-ere ahịa. Ọkachamara a bụ ntọala nke mmekọrịta dị ogologo, nke bara uru. Anyị na-agba mbọ ịbụ onye mmekọ ahụ maka ndị ahịa anyị niile, na-enye ọ bụghị naanị gas ma udo nke obi na-abịa na ya.

Isi ihe eji eme ihe

• Ngwa dị mkpa: Nitrogen Trifluoride (NF₃) bụ ọkachamara dị egwu gas A na-eji plasma etching na ihicha ụlọ n'ime usoro mmepụta semiconductor.
• Arụmọrụ kachasị elu: NF ₃ na-arụ ọrụ nke ọma ma nwee mmetụta dị ala dị ala na gburugburu ebe obibi karịa gas PFC ochie nke ọ nọchiri, ekele maka ọnụ ahịa ojiji dị elu na usoro nkwụsị ọgbara ọhụrụ.
• Ịdị ọcha bụ uru: The ultra-elu ịdị ọcha nke NF ₃ bụ nke na-abụghị negotiable. Ọbụna ihe adịghị ọcha nwere ike ịkpata ntụpọ na a silicon wafer, na-ebelata nke ukwuu mmepụta mmepụta na uru nke mgbawa n'ichepụta.
• Nchekwa na njikwa bụ igodo: Mgbe kwụsiri ike, NF ₃ bụ ihe na-egbu egbu na oxidizing gas nke na-achọ njikwa pụrụ iche, cylinders gbaara agbazi, na nghọta miri emi nke ụkpụrụ nchekwa.
• Nhọrọ ndị na-eweta ngwaahịa dị mkpa: Mgbe ị na-ahọrọ otu NF ₃ soplaya, na-ebute ụzọ verifiable mma, ọkọnọ agbụ ntụkwasị obi ntụkwasị obi, transperent nkwurịta okwu, na miri oru nka n'elu price naanị.