Ժամանակակից տեխնոլոգիաների աշխարհում, ի կիսահաղորդիչ թագավոր է. Այս փոքրիկ, բարդ չիպերն ապահովում են ամեն ինչ՝ սկսած մեր սմարթֆոններից մինչև մեր մեքենաները և տվյալների կենտրոնները, որտեղ աշխատում են ինտերնետը: Բայց ի՞նչ ուժ ունի այս չիպերի ստեղծումը: Պատասխանը, զարմանալիորեն, հետևյալն է գազ. Ոչ միայն ցանկացած գազ, բայց բարձր մաքրության գազեր աներևակայելի մաքրություն. Որպես Ալեն՝ յոթ արտադրական գծերով գործարանի սեփականատեր, որը մասնագիտացած է արդյունաբերական գազերի մեջ, ես անձամբ տեսել եմ, թե ինչպես է մաքրության պահանջարկը կտրուկ աճել: Այս հոդվածը բիզնեսի առաջնորդների համար է, ինչպիսին Մարկ Շենն է, ովքեր առաջատար դիրքերում են գազ մատակարարման շղթա. Դուք հասկանում եք որակն ու գինը, բայց այս շուկայում իսկապես առաջատար լինելու համար դուք պետք է հասկանաք ինչու. Մենք կապականացնենք բարդ աշխարհը կիսահաղորդիչների արտադրություն, պարզ բառերով բացատրելով, թե ինչու է միայնակ մոլորված մասնիկ ա գազ հոսքը գործարանի վրա կարող է միլիոններ արժենալ։ Սա ձեր ուղեցույցն է խոսելու լեզվով կիսահաղորդչային արդյունաբերություն և դառնալով անփոխարինելի գործընկեր:

Ի՞նչ դեր է խաղում գազը կիսահաղորդչային չիպի ստեղծման գործում:

Իր հիմքում, կիսահաղորդիչների արտադրություն բարակ սկավառակի վրա միկրոսկոպիկ, բազմաշերտ էլեկտրական սխեմաների կառուցման գործընթաց է սիլիցիում, հայտնի է որպես ա վաֆլի. Պատկերացրեք՝ փորձում եք փոստային նամականիշի չափ երկնաքեր կառուցել՝ միլիարդավոր սենյակներով և միջանցքներով: Դա այն մասշտաբի մասին է, որի մասին մենք խոսում ենք: Դրան հասնելու համար դուք չեք կարող օգտագործել ֆիզիկական գործիքներ: Փոխարենը՝ ամբողջ արտադրական գործընթաց հիմնված է մի շարք ճշգրիտ քիմիական ռեակցիաների վրա, և այդ ռեակցիաների առաջնային միջոցն է գազ.

Գազերը գործում են որպես անտեսանելի ձեռքեր, որոնք կառուցում են այս շղթաները: Նրանք կատարում են մի քանի կարևոր աշխատանք: Ոմանք, ինչպես ազոտ, ստեղծել կատարյալ մաքուր և կայուն միջավայր՝ կանխելով անցանկալի ռեակցիաները։ Մյուսները, որոնք հայտնի են որպես պրոցեսի գազեր, իրական շինարարական բլոկներն են կամ փորագրման գործիքները: Օրինակ, կոնկրետ գազի տեսակ կարող է օգտագործվել հաղորդիչ նյութի մանրադիտակային շերտը տեղադրելու համար, իսկ մյուսը գազ օգտագործվում է ճշգրիտ փորագրել հեռացնել նյութը՝ միացման ուղի ձևավորելու համար: Յուրաքանչյուր քայլ՝ սկսած մաքրումից վաֆլի վերջնական տրանզիստորների կառուցումը ներառում է կոնկրետ գազ կամ գազերի խառնուրդ։ -ի ճշգրտությունը գազի հոսքը և դրա քիմիական բաղադրությունը ուղղակիորեն թելադրում է հաջողության հասնել չիպերի արտադրություն գործընթաց։

Ինչու՞ է մաքրությունը այդքան կարևոր կիսահաղորդչային արտադրության մեջ:

Մեր առօրյա կյանքում մի քիչ փոշի կամ օդի աղտոտվածությունը մեծ բան չէ: Բայց ներսում ա կիսահաղորդիչ կեղծիքների գործարան, կամ «ֆաբ», դա աղետ է: Ա-ի վրա կառուցվող բաղադրիչները սիլիցիում վաֆլի հաճախ չափվում են նանոմետրերով, դա մետրի միլիարդերորդականն է: Որպեսզի պատկերացնենք, որ մարդու մեկ մազի լայնությունը մոտ 75000 նանոմետր է: Մի փոքրիկ փոշի մասնիկ Դուք նույնիսկ չեք կարող տեսնել, թե ինչ հսկա քար է աշխարհում կիսահաղորդիչ հորինվածք.

Ահա թե ինչու մաքրություն գազերի միակ կարևոր հատկանիշն է օգտագործվում է կիսահաղորդիչների մեջ արտադրություն։ Ցանկացած անցանկալի մոլեկուլ՝ լինի դա թափառող ջրի մոլեկուլ, փոքր մետաղ մասնիկ, կամ այլ գազ մոլեկուլ — համարվում է ան անմաքրություն. Սա աղտոտվածություն կարող է ամբողջությամբ խաթարել նուրբը քիմիական ռեակցիա վրա տեղի ունեցող վաֆլի-ի մակերեսը։ Մի սինգլ անմաքրություն կարող է արգելափակել շղթայի ձևավորումը, առաջացնել կարճ միացում կամ փոխել կիսահաղորդչի էլեկտրական հատկությունները նյութական. Քանի որ միայնակ վաֆլի կարող է պարունակել հարյուրավոր կամ հազարավոր անհատական չիպսեր, մեկ աննշան սխալը կարող է հանգեցնել հսկայական ֆինանսական կորստի: Ամբողջ գործընթացը պահանջում է մաքրության ամենաբարձր մակարդակը ընդհանրապես աշխատել:

Ինչպե՞ս են գազերի կեղտերը խաթարում կիսահաղորդչային արտադրությունը:

Երբ ան անմաքրություն առկա է գործընթացում գազ, դա կարող է առաջացնել «մարդասպան արատ»: Սա պարզապես փոքր թերություն չէ. դա ա արատ որը ներկայացնում է ամբողջ միկրոչիպը այդ հատվածի վրա վաֆլի անօգուտ. Եկեք նայենք, թե ինչպես է դա տեղի ունենում: ընթացքում ավանդադրում փուլ, որտեղ բարակ թաղանթներ են կառուցվում շերտ առ շերտ, անցանկալի մասնիկ կարող է վայրէջք կատարել մակերեսի վրա: Երբ հաջորդ շերտը դրվում է վերևում, այն ստեղծում է միկրոսկոպիկ բախում կամ դատարկություն: Այս թերությունը կարող է կոտրել էլեկտրական միացումը կամ ստեղծել չնախատեսված մեկը՝ արդյունավետորեն ոչնչացնելով կառուցվող տրանզիստորը:

Սրա հետևանքները կործանարար են ֆաբրիկատների համար: Հաջողության առաջնային չափանիշը ա կիսահաղորդիչ fab-ը «բերքատվությունն» է՝ մեկից արտադրված աշխատանքային չիպերի տոկոսը վաֆլի. Նույնիսկ մի փոքր անկում բերքատվությունը95%-ից մինչև 90%, կարող է ներկայացնել միլիոնավոր դոլարների կորցրած եկամուտ: Գազային կեղտեր կրճատման ուղղակի պատճառ են բերքատվությունը. Ահա թե ինչու կիսահաղորդիչների արտադրողներ տարված են գազի մաքրությունը. Նրանք պետք է վստահ լինեն, որ գազ նրանց բազմամիլիարդանոց գործիքների մուտքը բացարձակապես զերծ է որևէ բանից աղտոտող որը կարող է հունից հանել կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացը. Սա մանրադիտակային ճշգրտության խաղ է, որտեղ սխալի համար զրոյական տեղ կա:

Որո՞նք են այն հիմնական գազերը, որոնք օգտագործվում են կիսահաղորդչային արտադրության մեջ:

Օգտագործվող գազերի շրջանակը կիսահաղորդչային արդյունաբերություն հսկայական է, բայց դրանք հիմնականում բաժանվում են երկու կատեգորիայի՝ զանգվածային գազեր և հատուկ գազեր:

• Զանգվածային գազեր. Դրանք օգտագործվում են հսկայական քանակությամբ և կազմում են արտադրական միջավայրի հիմքը:

  • Ազոտ (N2): Սա աշխատանքային ձի է: Գերբարձր մաքրություն Ազոտ օգտագործվում է արտադրական գործիքների ներսում իներտ «մթնոլորտ» ստեղծելու համար։ Սա մաքրում է թթվածինը, խոնավությունը և այլ մասնիկները՝ կանխելով անցանկալի օքսիդացումը կամ աղտոտվածություն -ի վաֆլի.
  • Ջրածին (H2): Հաճախ օգտագործվում է այլ գազերի հետ համատեղ, ջրածինը որոշիչ է որոշակիորեն ավանդադրում գործընթացներ և բարձր հատուկ քիմիական միջավայրեր ստեղծելու համար, որոնք անհրաժեշտ են տրանզիստորային կառույցներ կառուցելու համար:
  • Արգոն (Ar): Որպես իներտ գազԱրգոնն օգտագործվում է մի գործընթացում, որը կոչվում է թրթռում, որտեղ այն օգտագործվում է թիրախային նյութը ռմբակոծելու համար՝ թակելով ատոմները, որոնք այնուհետև կուտակվում են վաֆլի. Այն նաև օգտագործվում է ստեղծելու համար պլազմա շատերի մեջ փորագրել գործընթացները։

• Մասնագիտացված գազեր. Սրանք բարդ, հաճախ վտանգավոր և բարձր նախագծված գազեր են, որոնք օգտագործվում են գործընթացի որոշակի քայլերի համար: Դրանք «ակտիվ» բաղադրիչներն են։

  • Էտչանտներ: Գազեր, ինչպիսիք են քլորը (Cl2) և ջրածնի բրոմիդը (HBr), օգտագործվում են ճշգրիտ փորագրելու կամ փորագրել նախշերը շերտերի մեջ վաֆլի.
  • Դոպանտներ: Գազեր, ինչպիսիք են արսինը (AsH3) և ֆոսֆինը (PH3) օգտագործվում են դիտավորյալ հատուկ անմաքրություն մեջ սիլիցիում փոխել իր էլեկտրական հատկությունները, ինչով էլ կառավարվում են տրանզիստորները։
  • Նստվածքային գազեր. Սիլանը (SiH4) դասական օրինակ է, որն օգտագործվում է որպես աղբյուր սիլիցիում բարակ թաղանթներ դնել:

Մարկի պես գնումների աշխատակցի համար կարևոր է իմանալ, որ թեև այս բոլոր գազերը տարբեր են, նրանք ունեն մեկ ընդհանուր պահանջ. մաքրություն.

Կարո՞ղ եք պարզ տերմիններով բացատրել ավանդադրումը և փորագրումը:

Կիսահաղորդիչների արտադրություն ներառում է հարյուրավոր քայլեր, բայց դրանցից շատերը երկու հիմնարար գործընթացների տատանումներ են. ավանդադրում և փորագրել. Դրանց պարզ բառերով հասկանալը առանցքային է դերը հասկանալու համար գազ.

1. Ավանդում. Շերտերի կառուցում
Մտածեք ավանդադրում ինչպես մոլեկուլներով ներկելը: Նպատակը նյութի վրա չափազանց բարակ, կատարյալ միատեսակ շերտ ավելացնելն է սիլիկոնային վաֆլի.

• Գործընթացը: Գործընթաց գազ (ինչպես սիլանը) խառնվում է ա կրող գազ (նման ազոտ կամ ջրածինը) Սա գազ խառնուրդն այնուհետև ներմուծվում է խցիկ, որը պարունակում է վաֆլի. Ա քիմիական ռեակցիա հրահրվում է, հաճախ ջերմության կամ ա պլազմա, առաջացնելով մոլեկուլների «նստվածք» դուրս գալ գազ և ձևավորել ամուր բարակ թաղանթ վրա վաֆլի-ի մակերեսը։
• Ինչու է կարևոր մաքրությունը. Եթե կա աղտոտիչ մասնիկ -ում գազ հոսք, դա նման է փոշու մի կետի, որը մտնում է ձեր լակի ներկի մեջ: Այն կներդրվի նոր շերտում՝ ստեղծելով կառուցվածք արատ. Եթե կա անցանկալի գազ մոլեկուլ, այն կարող է սխալ արձագանքել՝ փոխելով շերտի քիմիական կազմը և էլեկտրական հատկությունները:

2. Փորագրություն. սխեմաների փորագրում
Շերտը կառուցելուց հետո դուք պետք է դրա մեջ փորագրեք շղթայի օրինակը: Էջ նյութի ընտրովի հեռացման գործընթացն է:

• Գործընթացը: Այն վաֆլի պատված է լուսազգայուն նյութով, որը կոչվում է ֆոտոռեզիստ: Դրա վրա նախագծված է օրինակ (ինչպես տրաֆարետ): Այնուհետև բացված տարածքները կարծրացվում են: Այն վաֆլի Այնուհետև տեղադրվում է փորագրիչով լցված խցիկում գազ (ինչպես ֆտորի վրա հիմնված միացություն): Սա գազ էներգիա է ստանում ա պլազմա վիճակը՝ դարձնելով այն խիստ ռեակտիվ: Այն պլազմա ռմբակոծում է վաֆլի, քիմիապես ուտում է նյութը միայն տրաֆարետով չպաշտպանված տարածքներում։
• Ինչու է կարևոր մաքրությունը. Կեղտաջրերը գազերում փորագրման համար օգտագործվող կարող է փոխել ռեակցիայի արագությունը: Սա կարող է հանգեցնել սխեմաների չափազանց լայն, չափազանց նեղ կամ ընդհանրապես չփորագրվելու: Մետաղ մասնիկ անմաքրություն կարող է նույնիսկ արգելափակել փորագրել գործընթացը մեկ փոքրիկ տեղում՝ թողնելով անցանկալի նյութի «պոստ», որը կարճացնում է միացումը:

Ինչպե՞ս է չափվում և պահպանվում գերբարձր գազի մաքրությունը:

-ում գլոբալ կիսահաղորդչային արդյունաբերություն, մաքրության ստանդարտ չափումները, ինչպիսիք են «տոկոսը», անօգուտ են: Մենք գործ ունենք աղտոտվածություն մի մասշտաբով, որը դժվար է հասկանալ: Մաքրությունը չափվում է մասեր տրիլիոնի համար (ppt): Սա նշանակում է յուրաքանչյուրի համար տրլն գազ մոլեկուլներ, կարող է լինել միայն մեկ կամ երկու անմաքրության մոլեկուլ:

Այս մակարդակին հասնելու և ստուգելու համար գազի մաքրությունը, բարդ համակարգ գազի մաքրում և վերլուծություն է պահանջվում:

Մեր գործարանում մենք պարզապես չենք արտադրում գազ; մենք ապրում և շնչում ենք որակի հսկողություն. Այն գազամատակարարում շղթա համար ա կիսահաղորդիչ fab-ը ներառում է մասնագիտացված մաքրող սարքեր, որոնք տեղադրված են հենց օգտագործման վայրում: Ավելին, առաջադեմ գազի վերլուծություն համար օգտագործվում են գործիքներ իրական ժամանակի մոնիտորինգ. Տեխնիկաներ, ինչպիսիք են մթնոլորտային ճնշման իոնացման զանգված սպեկտրոմետրիան (APIMS) կարող է կատարել անմաքրության հայտնաբերում մաս-տրիլիոն մակարդակի վրա՝ ապահովելով uhp գազ (գերբարձր մաքրություն) գործընթացի գործիք մտնելը կատարյալ է:

Ի՞նչն է դարձնում բարձր մաքրության գազի մատակարարին հուսալի:

Մարկի պես գնումների ղեկավարի համար, ով զգացել է առաքման ուշացումների և կեղծ վկայականների ցավը, հուսալիությունն ամեն ինչ է: -ի աշխարհում բարձր մաքրության կիսահաղորդիչ գազեր, հուսալիությունը հիմնված է երեք սյուների վրա՝ արտադրության հետևողականություն, որակի ապահովում և լոգիստիկ փորձաքննություն:

1. Արտադրության հետևողականություն. Հուսալի մատակարարը պետք է ունենա հզոր և ավելորդ արտադրական հնարավորություններ: Մեր գործարանի յոթ հոսքագծերը, օրինակ, ապահովում են, որ մենք կարող ենք բավարարել բարձր պահանջարկը և որ մեկ գծի խնդիրը չի դադարեցնում մեր ամբողջ արդյունքը: Սա նվազագույնի է հասցնում մատակարարման խափանումների ռիսկը, որը կարող է փակել մի քանի միլիարդ դոլար կիսահաղորդիչ ֆաբ.
2. Ստուգելի որակի ապահովում. Բավական չէ պնդել, որ ունեք բարձր մաքրության գազ. Դուք պետք է կարողանաք դա ապացուցել: Սա նշանակում է ներդրումներ կատարել ժամանակակից վերլուծական սարքավորումների համար անմաքրության հայտնաբերում. Դա նաև նշանակում է տրամադրել թափանցիկ, հետագծելի վերլուծության վկայականներ (CoA) յուրաքանչյուր առաքման հետ: Վկայագրերի խարդախության դեմ պայքարը վերաբերում է վստահության և ստուգվող տվյալների վրա հիմնված երկարաժամկետ հարաբերություններ կառուցելուն:
3. Լոգիստիկ փորձաքննություն. Ստանալով ա քայքայիչ գազ կամ կրիոգեն հեղուկը Չինաստանից ԱՄՆ պարզ չէ։ Այն պահանջում է մասնագիտացված կոնտեյներներ, բեռնափոխադրման միջազգային կանոնակարգերի իմացություն և մանրակրկիտ պլանավորում՝ ուշացումներից խուսափելու համար: Հուսալի մատակարարը հասկանում է, որ սա պարզապես տուփի առաքում չէ. այն կառավարում է գլոբալ մի կարևոր հատված կիսահաղորդիչ մատակարարման շղթա.

Ո՞րն է տարբերությունը զանգվածային գազի և հատուկ գազի միջև:

Հասկանալով տարբերությունը սորուն գազ և մասնագիտացված գազ առանցքային է բոլոր նրանց համար, ովքեր ներգրավված են աղբյուրի մատակարարման մեջ կիսահաղորդչային արդյունաբերություն. Մինչդեռ երկուսն էլ պահանջում են ծայրահեղություն մաքրություն, դրանց մասշտաբները, մշակումը և կիրառումը շատ տարբեր են։

Զանգվածային գազեր, նման Զանգվածային բարձր մաքրության մասնագիտացված գազեր, անդրադարձ գազեր, ինչպիսիք են ազոտը, թթվածին, արգոն և ջրածինը. Նրանք ֆաբ-ի միջավայրի հիմքն են: «Սորուն» տերմինը վերաբերում է օգտագործվող զանգվածային քանակություններին: Այս գազերը հաճախ արտադրվում են տեղում կամ մոտակայքում և մատակարարվում հատուկ խողովակաշարերի միջոցով անմիջապես գործարանի ներքին բաշխման համակարգ: Այստեղ հիմնական մարտահրավերները պահպանումն է մաքրություն հսկայական բաշխիչ ցանցերի միջոցով և ապահովելով անխափան, մեծ ծավալով մատակարարում:

Մասնագիտացված գազ (կամ էլեկտրոնային գազ) վերաբերում է հաճախ էկզոտիկ, ռեակտիվ կամ վտանգավոր գազերի լայն կատեգորիայի, որոնք օգտագործվում են ավելի փոքր քանակությամբ գործընթացի որոշակի փուլերի համար, ինչպիսիք են փորագրումը և ավանդադրում. Օրինակները ներառում են սիլանը, ամոնիակը, բորի տրիքլորիդը և ազոտի տրիֆտորիդը: Դրանք առաքվում են առանձին բարձր ճնշման բալոններով: հետ մարտահրավերները մասնագիտացված գազ բեռնաթափման ժամանակ չափազանց անվտանգ են, ապահովում են գազային խառնուրդների խառնուրդի կատարյալ հետևողականությունը և կանխում բալոնի ներսում ցանկացած քիմիական ռեակցիա, որը կարող է վտանգել գազի որակը.

Ինչպե՞ս է զարգանում բարձր մաքրության կիսահաղորդչային գազի պահանջարկը:

Այն կիսահաղորդչային արդյունաբերություն երբեք չի կանգնում տեղում: Մուրի օրենքը, այն դիտարկումը, որ տրանզիստորների թիվը չիպի վրա կրկնապատկվում է մոտավորապես երկու տարին մեկ, շարունակում է մղել ֆիզիկայի սահմանները: Երբ տրանզիստորները փոքրանում են, դրանք դառնում են էքսպոնենցիալ ավելի զգայուն աղտոտվածություն. Ա մասնիկների չափը որը հինգ տարի առաջ ընդունելի էր, դա «մարդասպան է արատ«Այսօր.

Փոքր և ավելի հզոր չիպերի համար այս անխնա մղումը նշանակում է նույնիսկ ավելի բարձր մակարդակների պահանջարկ գազի մաքրությունը աճում է. Մենք տեղափոխվում ենք մի աշխարհից, որտեղ մասերը մեկ միլիարդը ոսկու ստանդարտն էր դեպի աշխարհ, որտեղ մասերը մեկ տրիլիոնը մուտքի նվազագույն պահանջն է: առաջադեմ կիսահաղորդիչ հանգույցներ. Ավելին, նոր նյութերը և չիպերի ճարտարապետությունը, ինչպիսիք են 3D NAND-ը և Gate-All-Around (GAA) տրանզիստորները, պահանջում են մի ամբողջ նոր պորտֆել: հաջորդ սերնդի գազ խառնուրդներ և պրեկուրսորներ. Ինչպես գազ արտադրողներմենք գտնվում ենք նորարարությունների մշտական մրցավազքի մեջ՝ մշակելով մաքրման նոր տեխնոլոգիաներ և վերլուծական մեթոդներ՝ համընթաց քայլելու համար։ գլոբալ կիսահաղորդչային արդյունաբերություն.

Որպես գնորդ, ինչ որակի հավաստագրեր պետք է փնտրեմ:

Մատակարարների աշխարհում նավարկելը կարող է դժվար լինել, հատկապես, երբ գործ ունենք տեխնիկական ապրանքների հետ: Հավաստագրերը ապահովում են մատակարարի կարողությունների և որակի նկատմամբ հավատարմության կարևոր, երրորդ կողմի վավերացում: Աղբյուր ստանալու ժամանակ բարձր մաքրության գազեր համար կիսահաղորդչային արդյունաբերություն, ահա մի քանի բան, որ պետք է փնտրել.

• ISO 9001: Սա հիմնարար հավաստագիր է որակի կառավարման համակարգերի համար: Այն ցույց է տալիս, որ մատակարարն ունի արտադրության, ստուգման և առաքման հստակ սահմանված և կրկնվող գործընթացներ:
• ISO/IEC 17025: Սա կրիտիկական է: Դա փորձարկման և չափաբերման լաբորատորիաների իրավասության չափանիշ է: Այս հավաստագրով մատակարարն ապացուցել է, որ իրենց ներքին լաբորատորիան, որը ստեղծում է ձեր վերլուծության վկայականը, ճշգրիտ և հուսալի է:
• Հետագծելի վերլուծություն. Միշտ պահանջեք վերլուծության վկայական (CoA) յուրաքանչյուր բալոնի կամ խմբաքանակի համար: Այս վկայագիրը պետք է մանրամասնի կրիտիկական ճշգրիտ մակարդակը կեղտերը գազի մեջ, չափվում է հատուկ վերլուծական մեթոդներով, ինչպիսիք են գազային քրոմատոգրաֆիա կամ զանգվածային սպեկտրոմետրիա։

Որպես Մարկի պես վճռական առաջնորդ, ձեր լավագույն գործիքը զննող հարցեր տալն է: Պարզապես մի հարցրեք «Սա է գազ մաքուր? Հարցրեք «Ինչպե՞ս եք ապացուցում, որ այն մաքուր է: Ցույց տվեք ձեր լաբորատորիայի սերտիֆիկատը: Բացատրեք ձեր գործընթացը՝ ապահովելու շատ-շատ հետևողականություն»: Իսկապես փորձագետ և վստահելի գործընկերը կողջունի այս հարցերը և կունենա վստահ, թափանցիկ պատասխաններ:

Հիմնական Takeaways

• Գազը գործիք է. Մեջ կիսահաղորդիչների արտադրություն, գազերը պարզապես նյութեր չեն. դրանք ճշգրիտ գործիքներ են, որոնք օգտագործվում են ա-ի վրա միկրոսկոպիկ սխեմաներ կառուցելու և քանդակելու համար սիլիկոնային վաֆլի.
• Մաքրությունն ամեն ինչ է. -ի մասշտաբը չիպերի արտադրություն այնքան փոքր է, որ մեկ անցանկալի է մասնիկ կամ անմաքրություն մոլեկուլը կարող է ոչնչացնել չիպը՝ դարձնելով գերբարձր մաքրություն անսակարկելի պահանջ:
• Եկամտաբերությունը նպատակն է. -ի առաջնային ազդեցությունը գազի աղտոտում արտադրության կրճատումն է բերքատվությունը, որն ուղղակիորեն թարգմանվում է որպես միլիոնավոր դոլարների կորցրած եկամուտ կիսահաղորդչային ֆաբրիկաներ.
• Երկու հիմնական գործընթաց. Չիպ պատրաստելու քայլերի մեծ մասը ներառում է կամ ավանդադրում (շենքերի շերտեր) կամ փորագրել (փորագրման նախշեր), որոնք երկուսն էլ լիովին կախված են մաքուր գազերի ճշգրիտ քիմիական ռեակցիաներից։
• Հուսալիությունը կարևոր է. Վստահելի մատակարար է կիսահաղորդչային գազ շուկան պետք է դրսևորի արտադրության հետևողականություն, որակի ստուգելի երաշխիք սերտիֆիկացված լաբորատորիաների և փորձագիտական լոգիստիկայի կառավարման միջոցով:
• Ապագան ավելի մաքուր է. Քանի որ կիսահաղորդիչներն ավելի առաջադեմ են դառնում, նույնիսկ ավելի բարձր մակարդակների պահանջարկը գազի մաքրությունը (մինչև մաս-տրիլիոն) միայն կշարունակի աճել: