ʻO nā mea kūʻai kūikawā no nā semiconductors
ʻO kaʻoihana Semachunductor, e like me ka hoʻopiʻiʻana i ka hoʻomohala hanaʻano o ka wā ho'āla, e pili ana i nā mea kiʻekiʻe kiʻekiʻe a he kiʻekiʻe i kona kaʻina hana hana. ʻO nā pahuhopu kūikawā no nā semiconductors e pili ana i nā mea pāʻani e pāʻani ai i kahi hana koʻikoʻi, clap ka hanaʻana, etching, a me nā hana'ē aʻe. Pono kēia mau pahuhopu e hoʻokō pono i nā koi no ka hoʻomaʻemaʻe,ʻo ka paʻa, a me ka pale pololei ma luna o nā kaʻina hana. E hoʻolaunaʻia kēiaʻatikala i kekahi mau mea kūikawā maʻamau i hoʻohanaʻia ma nā semiconductors a kūkā i kā lākou mau kuleana i ka hana semiconguctor.
- Hydrogen (H₂)
Hydrogen ua hoʻohana nuiʻia ma ka hana semicondur I CVD,ʻo Hydrogen e hui pinepineʻia me nā kiʻi'ē aʻe e ulu ai nā kiʻiʻoniʻoni, e like me nā kiʻiʻoniʻoni. Hana pūʻo Hydrogen i kahi mea hōʻemi i ka neʻeʻana i nā kaʻina hana me ke kaʻina hana a me nā kaʻina hana oxide. Hoʻopiliʻia, hoʻohanaʻia ka hydrogen i ka hoʻomaʻemaʻe a me ka mālamaʻana i nā mea semiconnductor e wehe pono ai i nā mea nui a hoʻomaikaʻi i ka maikaʻi o nā pahu.
- Nitron (n₂)
Nitrogen, kahi pahu hauoli, ua hoʻohana nuiʻia e hāʻawi i kahiʻenehana oxygen-free ma ka hana semiconductor e hana ai. Hoʻohana pinepineʻia ia i nā hana hoʻomaʻemaʻe, nā kaʻina hana hoʻomaha, a me he mea lā e like me ka nui o nā lewa. Ma ke kau inoa Vapor a me nā kaʻina hana e hoʻohālikelikeʻia, e hui pinepineʻiaʻo Nitrogen me nāʻano'ē aʻe e hoʻokūkū i nā kūlana kūpono a me ka kāohi i ka helu hopena. Hoʻohana pūʻiaʻo Nitrogen e kūʻai i ka oxidation, pale aku i nā mea koʻikoʻi mai ka hōʻinoʻia.
- Oxygen (o₂)
Oxycongen E hoʻokani i kahi hana koʻikoʻi i loko o kaʻoihana semiconductor,ʻoi loa nā kaʻina oxidation. I ka hoʻokumuʻana o kahi papa silicon dioxide ma luna o ka papa o nā waficon wafers, he mea nui ka oxygen. Ma ka hoʻolahaʻana i ka oxygen, kahiʻano o nā papa hana mictide o nā mea hana ma luna o ka silicon,ʻo ia ka mea nui no ka hana uila a me ka paʻa o ka uila. Hoʻohanaʻia ka oxygen ma ka hoʻomaʻemaʻe a me nā kaʻina hana e like me nāʻano hana likeʻole e hana ai i nā kiʻiʻoniʻoni a wehe i nā kiʻiʻoniʻoni.
- Kahuna TEtrafluring (CF₄)
Ua hoʻohana nuiʻia ka taterblayrafluoridede i nā kaʻina hana o keʻano. I Semiconductor etching, cf₄ i hui pūʻia me nā kiʻi'ē aʻe e wehe pono ai i nā kiʻiʻoniʻoni he mau kiʻiʻoniʻoni Ke hoʻohui pūʻia neiʻo CF₄ me ka fluorine, he mau fluori ʻO keʻano o kēia mea he kino no keʻano kiʻekiʻe-pololei e hoʻohālikelike ai i ka hana i hoʻohuiʻia.
- Hydrogen Chloride (HCL)
Hoʻohana nuiʻiaʻo Hydrogen Chilride me keʻano o keʻano e like me keʻano etching Ua like ia me nā kiʻiʻoniʻoni e hana i nā chlordes, eʻae ana i nā papa kala e weheʻia. Hoʻohana nuiʻia kēia kaʻina hana i ka paʻiʻana o nā kiʻi hao nui, e hōʻoia ana i ka pololei o ka papa o nā chip.
- Nutrgen Trifluoride (NF₃)
Hoʻohana nuiʻiaʻo Nitrogen Trufluoride e hoʻomaʻemaʻe i nā nohona e hoʻomaʻemaʻe i nā wahi etching etching. I nā papa hana plasma etching, nf₃ react me nā mea i waihoʻia (e like me nā fluor recorides) e hana maʻalahi ai i nā maʻi maʻalahi. Pono keʻano o kēia kīwī i ke kaʻina hoʻomaʻemaʻe, kōkua e mālama i ka hoʻomaʻemaʻeʻana o nā mea hana e pono ai a hoʻomaikaʻi i nā hana hana.
- Silane (Sih₄)
ʻO Silane kahiʻoihana maʻamau maʻamau i hoʻohanaʻia ma ka Waihona Palapala Kūʻai Kūʻai (CVD), no ka waihoʻana i nā kiʻiʻoniʻoni Silcon Hoʻopauʻo Silane i nā kiʻekiʻe kiʻekiʻe e hana i nā kiʻiʻoniʻoni ma luna o nā kiʻi sticon ma luna o ka papa hana,ʻo ia ka mea koʻikoʻi ma semicortutor. Ma ka hoʻoponoponoʻana i ke kahe o Silane a me nā kūlana kūpono, hiki ke mālamaʻia ka helu helu a me ka maikaʻi o ka hana.
- Bonor Trifcouorgide (BF₃)
ʻO Boron Trifluoride ka mea hana koʻikoʻi nui, hoʻohana pinepineʻia ma ke kaʻina hana boron i ka hana semicortutory. Hoʻohanaʻia ia e hoʻoponopono i nā waiwai uila o ke crystal ma ka hanaʻana me ka silicono suberate e hana i ka papa hana derping i makemakeʻia. Pono ke kaʻina hana o Boron no ka hoʻokumuʻana i ka P-Type Semiconductory
- Sulfu hexfluude (sf₆)
Sulfura HexfLhideIo i hoʻohana nuiʻia ma semiconductor eveces eveces evecesses,ʻoi aku ma kaʻaoʻao kiʻekiʻe. Ma muli o kāna mau mea e hoʻohālikelike ai i nā waiwai uila kiʻekiʻe a me keʻano o ka lāʻau lapaʻau, hiki ke hoʻohui pūʻia me nā kīwaha'ē aʻe e wehe i nā kiʻi kiʻi ponoʻole. Ua hoʻohana nuiʻiaʻo ia i loko o ka etching, e pono ai e wehe i nā kiʻiʻoniʻoni makemakeʻoleʻia.
Hopena
ʻO nā mea pāʻani kūikawā no nā semiconductors e pāʻani i kahi hana hanaʻole i ka hanaʻana i ka hui hoʻohui. Ke hoʻomau nei kaʻenehana ma mua,ʻo ka noi no ka kiʻekiʻe o ka maʻemaʻe a me ka hana o kēia mau mea hoʻonaninani, e hoʻonui mau ana i nā lako a me nāʻano hana. I ka wā e hiki mai ana, e hoʻomau ka hana semichunductor i kēia mau kiʻi kūikawā e kākoʻo ai i ka hana o nā pūʻulu o nā makahiki e hiki mai ana. No laila,ʻo ka hoʻomaopopoʻana a me ka noiʻana i nā sanicornducten Scienty Scienty Scienty Scienty Science i ke kaʻaʻana i ka hoʻomohala mauʻana i ka hana semiconductor.




