Braitheann déantúsaíocht leathsheoltóra ar raon leathan gás, ar féidir iad a chatagóiriú i dtrí phríomhchineál: gás mórchóir, gáis speisialtachta, agus gáis eitseála. Caithfidh na gáis seo a bheith ardíonachta chun éilliú a chosc, rud a d'fhéadfadh an próiseas monaraithe íogair agus casta a mhilleadh.

Bulc Gáis

Nítrigin (N₂):

Ról: Feidhmíonn N₂ ilchuspóirí, lena n-áirítear glanadh seomra próisis agus atmaisféar támh a sholáthar le linn céimeanna éagsúla de mhonarú leathsheoltóra.
Nótaí Breise: Is minic a úsáidtear nítrigin in iompar agus stóráil sliseog sileacain chun ocsaídiú a íoslaghdú. Cinntíonn a nádúr támh nach n-imoibríonn sé le hábhair eile, rud a fhágann go bhfuil sé iontach chun timpeallachtaí próiseála glan a chothabháil.

Argón (Arg):
Ról: Chomh maith lena rannpháirtíocht i bpróisis plasma, tá ról lárnach ag argón i bpróisis ina bhfuil comhdhéanamh gáis rialaithe ríthábhachtach.
Nótaí Breise: Toisc nach n-imoibríonn sé le formhór na n-ábhar, úsáidtear argón freisin le haghaidh sputtering, rud a chabhraíonn le taisceadh scannáin mhiotail nó thréleictreacha áit nach mór dromchlaí a choinneáil gan éilliú.

Héiliam (sé):
Ról: Mar gheall ar airíonna teirmeacha Héiliam tá sé fíor-luachmhar chun comhsheasmhacht teochta a fhuarú agus a chothabháil le linn próisis imoibríocha.
Nótaí Breise: Is minic a úsáidtear é i gcórais léasair ardfhuinnimh le haghaidh liteagrafaíocht mar gheall ar a nádúr neamh-imoibríoch agus a chumas an cosán optúil a choinneáil saor ó éilliú.

Hidrigin (H₂):
Ról: Taobh amuigh dá cur i bhfeidhm in anáil, cuidíonn hidrigin freisin le dromchla na sliseog a ghlanadh agus féadann sí a bheith páirteach in imoibrithe ceimiceacha le linn eipeasóid.
Nótaí Breise: Trí úsáid a bhaint as hidrigin chun scannáin thanaí a leagan, is féidir níos mó smachta a fháil ar thiúchan iompróra in ábhair leathsheoltóra, rud a mhodhnaíonn a n-airíonna leictreacha go suntasach.

Gáis Speisialtachta agus Dopants

Síleann (SiH₄):
Ról: Seachas a bheith ina réamhtheachtaí do thaisceadh sileacain, is féidir silane a pholaiméiriú i scannán pasivating a fheabhsaíonn tréithe leictreonacha.
Nótaí Breise: Ní mór a imoibríocht a láimhseáil go cúramach mar gheall ar imní sábháilteachta, go háirithe nuair a mheasctar é le haer nó ocsaigin.

Amóinia (NH₃):
Ról: Chomh maith le scannáin nítríde a tháirgeadh, tá amóinia suntasach maidir le sraitheanna pasivation a tháirgeadh a fheabhsaíonn iontaofacht feistí leathsheoltóra.
Nótaí Breise: Is féidir leis a bheith páirteach i bpróisis a éilíonn ionchorprú nítrigine i sileacain, ag feabhsú airíonna leictreonacha.

Fosfín (PH₃), Arsine (AsH₃), agus Diborane (B₂H₆):
Ról: Ní hamháin go bhfuil na gáis seo riachtanach le haghaidh dópála ach tá siad ríthábhachtach freisin chun na hairíonna leictreacha atá ag teastáil a bhaint amach in ardfheistí leathsheoltóra.
Nótaí Breise: Éilíonn a dtocsaineacht prótacail dhian sábháilteachta agus córais mhonatóireachta i dtimpeallachtaí monaraithe chun guaiseacha a mhaolú.

Eitseáil agus Gáis Glantacháin

Fluaracarbóin (CF₄, SF₆):
Ról: Úsáidtear na gáis seo i bpróisis eitseála tirim, a thairgeann cruinneas ard i gcomparáid le modhanna eitseála fliuch.
Nótaí Breise: Tá CF₄ agus SF₆ suntasach mar gheall ar a gcumas ábhair sileacain-bhunaithe a eitseáil go héifeachtach, rud a ligeann do réiteach patrún mín atá ríthábhachtach i micrileictreonaic nua-aimseartha.

Clóirín (Cl₂) agus Fluairíd Hidrigin (HF):
Ról: Soláthraíonn clóirín cumais eitseála ionsaitheach, go háirithe do mhiotail, agus tá HF ríthábhachtach chun dé-ocsaíd sileacain a bhaint.
Nótaí Breise: Trí na gáis seo a chomhcheangal is féidir ciseal a bhaint go héifeachtach le linn céimeanna éagsúla monaraithe, ag cinntiú dromchlaí glana le haghaidh céimeanna próiseála ina dhiaidh sin.

Trífhluairíd Nítrigine (NF₃):
Ról: Tá NF₃ ríthábhachtach do ghlanadh comhshaoil ​​i gcórais CVD, ag freagairt le hábhair salaithe chun an fheidhmíocht is fearr a choinneáil.
Nótaí Breise: In ainneoin imní faoina acmhainneacht gáis cheaptha teasa, fágann éifeachtacht glantacháin NF₃ gur rogha tosaíochta é i go leor monarchana, cé go dteastaíonn breithniú cúramach comhshaoil ​​lena úsáid.

Ocsaigin (O₂):
Ról: Is féidir leis na próisis ocsaídiúcháin a éascaíonn ocsaigine sraitheanna inslithe riachtanacha a chruthú i struchtúir leathsheoltóra.
Nótaí Breise: Tá ról ocsaigine maidir le feabhas a chur ar ocsaídiú sileacain chun sraitheanna SiO₂ a fhoirmiú ríthábhachtach chun comhpháirteanna ciorcaid a leithlisiú agus a chosaint.

Gáis atá ag Teacht Chun Cinn i Déantúsaíocht Leathsheoltóra

Chomh maith leis na gáis traidisiúnta atá liostaithe thuas, tá aird á tabhairt ar gháis eile sa phróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra, lena n-áirítear:

Dé-ocsaíd Charbóin (CO₂): Úsáidtear é i roinnt feidhmeanna glantacháin agus eitseála, go háirithe iad siúd a bhaineann le hardábhair.

Dé-ocsaíd Sileacain (Sio₂): Cé nach gás é faoi choinníollacha caighdeánacha, úsáidtear foirmeacha galraithe dé-ocsaíd sileacain i bpróisis áirithe sil-leagan.

Cúrsaí Timpeallachta

Tá an tionscal leathsheoltóra ag díriú níos mó ar an tionchar ar an gcomhshaol a bhaineann le húsáid na ngás éagsúla a laghdú, go háirithe iad siúd atá ina ngás ceaptha teasa cumhachtacha. Mar thoradh air seo forbraíodh ardchórais bhainistíochta gáis agus taiscéaladh gás malartacha ar féidir leo tairbhí comhchosúla a sholáthar le lorg comhshaoil ​​níos ísle.

Conclúid

Tá ról ríthábhachtach ag na gáis a úsáidtear i ndéantúsaíocht leathsheoltóra maidir le cruinneas agus éifeachtúlacht na bpróiseas monaraithe a chinntiú. De réir mar a théann an teicneolaíocht chun cinn, déanann an tionscal leathsheoltóra a dhícheall go leanúnach feabhas a chur ar íonacht agus bainistíocht gáis, agus ag an am céanna ag tabhairt aghaidh ar imní sábháilteachta agus comhshaoil ​​a bhaineann lena n-úsáid.