Ritheann an domhan nua-aimseartha ar sceallóga. Ón bhfón cliste i do phóca go dtí na córais treorach san innealtóireacht aeraspáis, an bídeach gléas leathsheoltóra Is é an laoch gan moladh den aois dhigiteach. Ach cad é an laoch taobh thiar den laoch? Is é an domhan dofheicthe, go minic so-ghalaithe na ngás speisialtachta. Go sonrach, ceimic fluairín imríonn ról lárnach sa déantúsaíocht leathsheoltóra próiseas nach féidir a athsholáthar go simplí.

Má tá slabhra soláthair á bhainistiú agat nó má tá tú ag maoirsiú cáilíocht táirgí in a leathsheoltóra teilgcheárta, tá a fhios agat gur nialas an lamháil earráide. Is féidir le spíc amháin taise nó cáithnín micreascópach rith táirgeachta na milliúin dollar a mhilleadh. Léimeann an t-alt seo go domhain i ról na ina bhfuil fluairín gáis—an fáth a n-úsáidimid iad, an cheimic shonrach a fhágann go bhfuil siad éifeachtach, agus an tábhacht ríthábhachtach a bhaineann le cobhsaíocht agus íonacht an tslabhra soláthair. Déanfaimid iniúchadh ar conas iad seo gáis ard-íonachta úsáidtear i etch agus céimeanna sil-leagan, agus cén fáth gurb é an cinneadh is tábhachtaí is féidir leat a dhéanamh i mbliana iad a fháil ó chomhpháirtí iontaofa.

Cén fáth a bhfuil an tionscal leathsheoltóra ag brath chomh mór ar gháis ina bhfuil fluairín?

Chun tuiscint a fháil ar an tionscal leathsheoltóra, caithfidh tú breathnú ar an tábla peiriadach. Is sileacain an chanbhás, ach fluairín Tá an scuab. Tá an déantús leathsheoltóra Is éard atá i gceist leis an bpróiseas ná sraitheanna ábhar a thógáil agus ansin iad a bhaint go roghnach chun ciorcaid a chruthú. Tugtar eitseáil ar an bpróiseas bainte seo.

Fluairín an eilimint is leictridhiúltacha. I dtéarmaí simplí, tá sé thar a bheith ocras do leictreoin. Nuair a thugaimid isteach gás fluairín nó comhdhúile fluairínithe isteach i seomra plasma, imoibríonn na hadaimh fluairín go ionsaitheach le sileacain agus dé-ocsaíd sileacain. Déanann an t-imoibriú ceimiceach seo sileacain soladach a thiontú ina gháis so-ghalaithe (cosúil le teitreafluairíd sileacain) ar féidir iad a phumpáil go héasca. Gan an imoibríocht cheimiceach seo, ní fhéadfaimis na trinsí micreascópacha agus na poill teagmhála a theastaíonn le haghaidh nua-aimseartha a chruthú gléasanna leictreonacha.

I déantúsaíochta ard-toirte, tá luas agus cruinneas gach rud. Gáis ina bhfuil fluairín na rátaí arda eitse a sholáthar a theastaíonn chun tréchur a choinneáil suas, agus ag an am céanna an roghnaíocht a thairiscint chun gearradh trí ábhar amháin gan dochar a dhéanamh don chiseal faoina bhun. Is gníomh cothromaithe íogair de ceimic agus fisic.

Cad a dhéanann ceimic fluairín chomh uathúil le haghaidh eitseáil ardchruinneas?

D’fhéadfá ceist a chur, cén fáth nach n-úsáidfeá clóirín nó bróimín? Déanaimid, le haghaidh sraitheanna áirithe. Mar sin féin, ceimic fluairín Tairgeann buntáiste uathúil nuair a eitseáil ábhair sileacain-bhunaithe. Tá an nasc idir sileacain agus fluairín thar a bheith láidir. Cathain ina bhfuil fluairín buaileann plasma an wafer, tá an t-imoibriú eisiteirmeach agus spontáineach.

Tarlaíonn an draíocht sa plasma. In a próiseas leathsheoltóra seomra, cuirimid ardfhuinneamh i bhfeidhm ar ghás cobhsaí cosúil le Teitreafluairíd Charbóin (CF4) nó Heicseafluairíd Sulfair (SF6). Briseann sé seo an gás óna chéile, ag scaoileadh imoibríoch fluairín radacacha. Ionsaíonn na fréamhacha seo dromchla an sliseag.

“Tá beachtas an etch sainmhíníonn feidhmíocht an sliseanna. Má athraíonn íonacht do gháis, luainíonn do ráta eitse, agus tagann tuairteanna toraidh isteach."

Seo mar thoradh ar an coincheap de anisotrópach eitseáil - gearradh díreach síos gan ithe taobh. Trí mheascadh fluairín le eile gáis a phróiseáil, is féidir le hinnealtóirí próifíl an trinse a rialú go foirfe. Tá an cumas seo riachtanach agus muid ag bogadh chuig nóid níos lú (7nm, 5nm, agus thíos), áit a bhfuil teip ar fiú nanaiméadar diall.

Conas a thiomáineann gáis i ndéantúsaíocht leathsheoltóra ardphróisis eitse?

Próisis etcch iad uirlisí dealbhóireachta an fabs. Tá dhá phríomhchineál ann: etch fliuch (ag baint úsáide as ceimiceáin leachtacha cosúil le fluairíd hidrigine) agus etch tirim (ag úsáid plasma). Nua-aimseartha leathsheoltóir chun cinn Braitheann nóid beagnach go heisiach ar eitseáil plasma tirim toisc go bhfuil sé i bhfad níos cruinne.

I tipiciúil eitseáil plasma seicheamh, a gás fluairínithe tugtar isteach. Breathnaímid ar an éagsúlacht a úsáidtear:

• Teitreafluairíd Charbóin (CF4): An capall oibre le haghaidh eitseáil ocsaíd.
• Ochtafhluaracioclútán (C4F8): Úsáidtear é chun ciseal polaiméire a thaisceadh ar bhallaí taobh an trinse, iad a chosaint agus an bun eitseáilte níos doimhne.
• Heicseafluairíd Sulfair (SF6): Is eol do rátaí eitseála sileacain thar a bheith tapa.

An idirghníomhaíocht idir an plasma agus an tsubstráit casta. Baineann sé le bombardú fisiciúil ag iain agus imoibriú ceimiceach ag fréamhacha. Tá an trealamh déantúsaíochta leathsheoltóra Ní mór rialú docht a dhéanamh ar shreabhadh, brú, agus meascán na ngás seo. Má tá an gás speisialtachta Tá neamhíonachtaí cosúil le taise ann, féadann sé aigéad hidreafluarach a fhoirmiú laistigh de na línte seachadta nó den seomra, rud a fhágann creimeadh agus lochtanna cáithníní.

Cén fáth a bhfuil Nítrigin Trifluoride mar rí na n-iarratas glantacháin seomra?

Cé go eitseáil agus glanadh lámh ar láimh, tá glanadh an trealaimh déantúsaíochta díreach chomh ríthábhachtach le próiseáil an sliseog. I rith Taistil Cheimiceach Gaile (CVD), déantar ábhair cosúil le sileacain nó tungstain a thaisceadh ar an sliseog. Mar sin féin, cótaíonn na hábhair seo ballaí an tseomra freisin. Má mhéadaíonn an t-iarmhar seo, calógann sé agus titeann sé ar na sliseoga, rud a chruthaíonn lochtanna.

Cuir isteach Trífhluairíd Nítrigine (NF3).

Blianta ó shin, d'úsáid an tionscal cheaptha teasa fluairínithe gáis cosúil le C2F6 do ghlanadh seomra. Mar sin féin, is é NF3 an caighdeán le haghaidh próisis glantacháin seomra mar gheall ar a éifeachtacht ard. Nuair a mhiondealaítear é i bhfoinse iargúlta plasma, gineann NF3 méid ollmhór de adaimh fluairín. Déanann na hadaimh seo ballaí an tseomra a scrobarnach glan, ag déanamh iarmhair soladacha ina ngás a phumpáiltear amach.

Trífhluairíd Nítrigine is fearr toisc go bhfuil ráta úsáide níos airde aige (úsáidtear níos mó den ghás i ndáiríre) agus astaíochtaí níos ísle i gcomparáid le níos sine gníomhairí glantacháin. I gcás bainisteoir saoráide, ciallaíonn sé seo níos lú aga neamhfhónaimh le haghaidh cothabhála agus tréchur níos tapúla.

Cé na comhdhúile fluairínithe atá riachtanach do mhonarú ardtoirte?

Tá an slabhra soláthair leathsheoltóra ag brath ar chiseán de ar leith gáis ina bhfuil fluairín. Tá "oideas" nó feidhmchlár ar leith ag gach ceann acu. Ag Gás Jiangsu Huazhong, feicimid éileamh ollmhór ar na nithe seo a leanas:

iad seo comhdhúile fluairínithe iad fuil na déantúsaíochta ard-toirte. Sin sruth seasta díobh seo gáis i leathsheoltóir táirgeadh, stopann na línte. Tá sé chomh simplí sin. Sin é an fáth go mbíonn bainisteoirí ceannaigh cosúil le Eric Miller i gcónaí ag déanamh monatóireachta ar an slabhra soláthair le haghaidh cur isteach.

Cén fáth gur gás ardíonachta cnámh droma an táirge leathsheoltóra?

Ní féidir liom béim a chur air seo go leor: Is é an íonacht gach rud.

Nuair a labhairt linn faoi gáis ard-íonachta, nílimid ag caint faoi "grád tionsclaíoch" a úsáidtear le haghaidh táthú. Táimid ag caint faoi íonacht 5N (99.999%) nó 6N (99.9999%).

Cén fáth? Toisc a gléas leathsheoltóra tá gnéithe tomhaiste i nanaiméadar. Is féidir le móilín aonair d'eisíontas miotail nó méid rian taise (H2O) ciorcad gearr a chur faoi deara nó ciseal a chosc ó chloí.

• Taise: Imoibríonn le fluairín chun HF a chruthú, a chreimeann an córas seachadta gáis.
• Ocsaigin: Ocsaídíonn sé an sileacain go neamhrialaithe.
• Miotail Throma: Scrios airíonna leictreacha an trasraitheora.

Mar sholáthraí, is é an post atá againn ná a chinntiú go bhfuil an Xeanón ard-íonachta nó Ocsaíd Nítriúil Leictreonach Grád fhaigheann tú le chéile go docht caighdeáin tionscail. Bainimid úsáid as crómatagrafaíocht gháis chun cinn chun a bhrath neamhíonachtaí a rianú síos go dtí codanna in aghaidh an billiún (ppb). Maidir le ceannaitheoir, ní páipéarachas amháin é an Deimhniú Anailíse (COA) a fheiceáil; is é an ráthaíocht go n- déantús leathsheoltóra ní bheidh timpiste toraidh tubaisteach ann.

Conas atá an tionscal ag bainistiú astuithe gáis cheaptha teasa agus GWP?

Tá eilifint sa seomra: an timpeallacht. go leor gáis fhluairínithe bhfuil ard Acmhainn Téamh Domhanda (GWP). Mar shampla, Heicseafluairíd Sulfair (SF6) ar cheann de na cinn is mó gáis cheaptha teasa láidre ar eolas ag an duine, le GWP na mílte uair níos airde ná CO2.

Tá an tionscal déantúsaíochta leathsheoltóra atá faoi bhrú ollmhór a lorg carbóin a laghdú. Tá dhá mhórathrú mar thoradh air seo:

1. Laghdú: Fabaí ag suiteáil "boscaí sruthán" ollmhór nó scrubbers ar a línte sceite. Briseann na córais seo síos ar an neamhfhreagairt gás ceaptha teasa sula scaoiltear isteach san atmaisféar é.
2. Ionadú: Tá taighdeoirí ag lorg rogha eile etch gáis le GWP níos ísle. Mar sin féin, tá sé deacair go ceimiceach móilín a aimsiú a fheidhmíonn chomh maith le C4F8 nó SF6 gan an tionchar ar an gcomhshaol.

Trífhluairíd Nítrigine céim sa treo ceart maidir le glanadh toisc go mbristear síos níos éasca é ná na PFCanna níos sine, rud a fhágann go bhfuil níos lú ar an iomlán astú má tá córais lacáiste ag obair i gceart. Laghdú astaíochtaí gás ceaptha teasa ní bogadh PR amháin é a thuilleadh; is ceanglas rialála é san AE agus sna SA.

An bhfuil an slabhra soláthair leathsheoltóra i mbaol ganntanas gáis speisialtachta?

Má tá rud ar bith múinte dúinn le cúpla bliain anuas, is é an slabhra soláthair is leochaileach. Déantóirí leathsheoltóra tá ganntanas gach rud ó neon go fluarapolaiméirí.

An soláthar de gás fluairín agus braitheann a díorthaigh ar mhianadóireacht fluorspar (fluairíd chailciam). Is foinse mhór domhanda den amhábhar seo í an tSín. Nuair a ardaítear teannas geopolitical nó nuair a chliseann ar bhealaí lóistíochta, tá sé ríthábhachtach iad seo a bheith ar fáil gáis a phróiseáil titeann, agus praghsanna skyrocket.

Maidir le ceannaitheoir cosúil le Eric, tá an eagla ar "Force Majeure" fíor. Chun é seo a mhaolú, tá cuideachtaí stuama ag éagsúlú a gcuid soláthróirí. Tá siad ag lorg comhpháirtithe ar leo a gcuid féin iso-umair agus tá líonraí lóistíochta bunaithe acu. Iontaofacht i loighistic chomh tábhachtach céanna le híonacht an gháis. Is féidir leat a bheith ar an purest C4F8 gáis ar domhan, ach má tá sé i bhfostú ag port, tá sé useless chun an fab.

Cad iad na prótacail sábháilteachta chun Fluairíd Hidrigineach agus ábhair thocsaineacha eile a láimhseáil?

Is í an tsábháilteacht bunchloch ár dtionscal. go leor ina bhfuil fluairín tá gáis tocsaineach, asfaicseanaigh, nó an-imoibríoch. Fluairíd Hidrigin (HF), a úsáidtear go minic i etch fliuch nó a ghintear mar fhotháirge, go háirithe contúirteach. Penetrates sé an craiceann agus ionsaí ar an struchtúr cnámh.

Teastaíonn oiliúint dhian agus trealamh speisialaithe chun na hábhair seo a láimhseáil.

• Sorcóirí: Ní mór deimhniú DOT/ISO a bheith aige agus cigireacht rialta a dhéanamh air maidir le creimeadh inmheánach.
• Comhlaí: Úsáidtear comhlaí scairt chun sceitheadh a chosc.
• Braiteoirí: Fabs leathsheoltóra clúdaithe le braiteoirí braite gáis a spreagann aláraim nuair a bhíonn an sceitheadh is lú.

Nuair a líonaimid sorcóir le Ocsaíd Nítriúil Leictreonach Grád nó eitseog tocsaineach, caithfimid é mar arm luchtaithe. Cinnteoimid go bhfuil an sorcóir snasta go hinmheánach chun cáithníní a chosc agus go bhfuil an comhla caipínithe agus séalaithe. Chun ár gcustaiméirí, a fhios agam go bhfuil an gás iompróra nó eitseagán a thagann isteach i bpacáistiú sábháilte, comhlíontach is mór an faoiseamh é.

Cad atá romhainn maidir le hábhair a úsáidtear sa phróiseas monaraithe leathsheoltóra?

Tá an táirgeadh leathsheoltóra tá an treochlár ionsaitheach. De réir mar a aistríonn sceallóga chuig struchtúir 3D cosúil le trasraitheoirí Gate-All-Around (GAA), tá castacht na eitseáil agus glanadh méaduithe. Táimid ag feiceáil éileamh ar níos mó coimhthíocha gás fluairínithe meascáin atá in ann poill dhomhain, chúnga a eitseáil le cruinneas adamhach.

Eitseáil Chiseal Adamhach (ALE) is teicníocht atá ag teacht chun cinn é a bhaintear ábhar ciseal adamhach amháin ag an am. Éilíonn sé seo dosing thar a bheith beacht de gáis imoibríocha. Ina theannta sin, is dócha go spreagfaidh an brú le haghaidh déantúsaíochta "glas" glacadh na nua ceimic fluairín a thairgeann an fheidhmíocht chéanna le níos ísle GWP.

Baineann an todhchaí leo siúd ar féidir leo a bheith nuálaíoch i sintéis agus íonú gáis araon. Mar ábhair leathsheoltóra éabhlóid, caithfidh na gáis a úsáidtear chun iad a mhúnlú éabhlóidiú freisin.

Siopaí Bealaí Eochair

• Tá fluairín riachtanach: Ceimic fluairín Is é an príomh-chumasóir le haghaidh etch agus glan céimeanna isteach déantúsaíocht leathsheoltóra.
• Is Rí í an íonacht: Ard-íonachta (6N) neamh-shoshannta chun lochtanna a chosc agus a chinntiú cobhsaíocht próisis.
• Éagsúlacht Gáis: Gáis éagsúla cosúil le CF4, SF6, agus Trífhluairíd Nítrigine freastal ar róil ar leith i déantúsaíocht.
• Tionchar Timpeallachta: Bainistiú astaíochtaí gás ceaptha teasa agus lacáiste dúshlán ríthábhachtach don tionscal é.
• Slándáil Soláthair: A láidir slabhra soláthair agus tá gá le comhpháirtithe iontaofa chun stopanna táirgeachta a sheachaint.

Ag Jiangsu Huazhong Gas, tuigimid na dúshláin seo toisc go mairimid iad gach lá. Cibé is gá duit Xeanón Ard-íonachta le haghaidh do phróiseas etch is nua nó seachadadh iontaofa gás tionsclaíoch caighdeánach, táimid anseo chun tacú leis an teicneolaíocht a thógann an todhchaí.