I saol na teicneolaíochta nua-aimseartha, tá an leathsheoltóra is rí é. Cumhachtaíonn na sliseanna beaga bídeacha seo gach rud ó ár bhfóin chliste go dtí ár ngluaisteáin agus na hionaid sonraí a ritheann an t-idirlíon. Ach cad iad na cumhachtaí a chruthaíonn na sliseanna seo? Is é an freagra, ionadh, ná gás. Ní hamháin ar bith gás, ach gáis ard-íonachta na glaineachta doshamhlaithe. Mar Allen, úinéir monarchan a bhfuil seacht líne táirgeachta ag speisialú i ngás tionsclaíochta, tá feicthe agam go díreach conas a mhéadaigh an t-éileamh ar íonacht. Tá an t-alt seo le haghaidh ceannairí gnó cosúil le Mark Shen, atá ar thús cadhnaíochta na gás slabhra soláthair. Tuigeann tú cáilíocht agus praghas, ach a bheith i gceannas go fírinneach sa mhargadh seo, ní mór duit a thuiscint an cén fáth. Déanfaimid an domhan casta de monarú leathsheoltóra, ag míniú i dtéarmaí simplí cén fáth ar strae amháin cáithnín in a gás Is féidir le sruth costas na milliúin mhonarcha. Is é seo do threoir maidir le labhairt na teanga an tionscal leathsheoltóra agus a bheith ina chomhpháirtí fíor-riachtanach.

Cén Ról atá ag Gás maidir le Sliseanna Leathsheoltóra a Dhéanamh?

Ina chroí, monarú leathsheoltóra Is próiseas é seo chun ciorcaid leictreacha micreascópacha ilshraitheacha a thógáil ar dhiosca tanaí de sileacain, ar a dtugtar a sliseag. Samhlaigh go bhfuil tú ag iarraidh skyscraper a thógáil chomh mór le stampa poist, le billiúin seomraí agus hallaí. Sin an scála a bhfuilimid ag caint faoi. Chun é seo a bhaint amach, ní féidir leat uirlisí fisiceacha a úsáid. Ina áit sin, an t-iomlán próiseas déantúsaíochta ag brath ar shraith imoibrithe ceimiceacha beacht, agus is é an príomhfheithicil le haghaidh na n-imoibrithe seo gás.

Feidhmíonn gáis mar na lámha dofheicthe a thógann na ciorcaid seo. Déanann siad roinnt post ríthábhachtach. Roinnt, cosúil le nítrigin, timpeallacht breá glan agus cobhsaí a chruthú, frithghníomhartha nach dteastaíonn a chosc. Is iad cuid eile, ar a dtugtar gáis phróisis, na bloic thógála iarbhír nó na huirlisí snoíodóireachta. Mar shampla, ar leith cineál gáis d'fhéadfaí é a úsáid chun ciseal micreascópach d'ábhar seoltaí a thaisceadh, agus sraith eile gás úsáidtear go beacht etch shiúl ábhar chun cosán ciorcaid a fhoirmiú. Gach céim amháin, ó ghlanadh an sliseag le tógáil na trasraitheoirí deiridh i gceist, ar leith gás nó meascán de gháis. Tá cruinneas an sreabhadh gáis agus déanann a chomhdhéanamh ceimiceach go díreach rathúlacht an déantúsaíochta sliseanna próiseas.

Cén fáth a bhfuil an íonacht chomh ríthábhachtach i ndéantúsaíocht leathsheoltóra?

In ár saol laethúil, beagán deannaigh nó truailliú aeir Níl aon déileáil mór. Ach taobh istigh a leathsheoltóra gléasra monaraithe, nó "fab," tá sé ina tubaiste. Na comhpháirteanna atá á dtógáil ar a sileacain sliseag is minic a thomhaistear iad i nanaiméadar—is é sin na billiúinithe de mhéadar. Chun é sin a chur i bpeirspictíocht, tá gruaig dhaonna aonair thart ar 75,000 nanaiméadar ar leithead. A deannaigh beag cáithnín ní féidir leat a fheiceáil fiú mar bholláin ollmhór i saol na leathsheoltóra déantúsaíocht.

Is é seo an fáth íonachta an tréith aonair is tábhachtaí de na gáis a úsáidtear i leathsheoltóra táirgeadh. Aon mhóilín nach bhfuil ag teastáil—cibé an móilín uisce strae é, miotal beag bídeach cáithnín, nó difriúil gás móilín - meastar gur eisíontas. seo éilliú Is féidir cur isteach go hiomlán ar an íogair imoibriú ceimiceach ar siúl ar an sliseag' dromchla. Singil eisíontas is féidir ciorcad a bhlocáil ó fhoirmiú, ciorcad gearr a chur faoi deara, nó athrú a dhéanamh ar an airíonna leictreacha an leathsheoltóra ábhar. Mar gheall ar amháin sliseag is féidir leis na céadta nó na mílte sceallóga aonair a bheith ann, is féidir caillteanas ollmhór airgeadais a bheith mar thoradh ar bhotún beag bídeach amháin. Éilíonn an próiseas ar fad an leibhéil is airde íonachta a bheith ag obair ar chor ar bith.

Conas a Bhaineann Neamhíonachtaí i nGás Táirgeadh Leathsheoltóra?

Nuair a bheidh an eisíontas i láthair i bpróiseas gás, is féidir é a chur faoi deara "killer locht." Ní hamháin gur locht beag é seo; tá sé a locht a dhéanann an micrishlis iomlán ar an gcuid sin den sliseag gan úsáid. Breathnaímid ar conas a tharlaíonn sé seo. Le linn na taisceadh chéim, ina bhfuil scannáin tanaí á dtógáil ciseal le ciseal, nach dteastaíonn cáithnín Is féidir talamh ar an dromchla. Nuair a thaisceadh an chéad chiseal eile ar a bharr, cruthaíonn sé bump micreascópach nó neamhní. Is féidir leis an locht seo an nasc leictreach a bhriseadh nó ceann neamhbheartaithe a chruthú, rud a scriosann go héifeachtach an trasraitheoir atá á thógáil.

Tá na hiarmhairtí a bhaineann leis seo uafásach do bhunlíne fab. An phríomhmhéadrach do rathúlacht i a leathsheoltóra Is é fab "toradh" - céatadán na sceallóga oibre a tháirgtear ó cheann amháin sliseag. Fiú titim beag isteach toradh, ó 95% go 90%, is féidir leis na milliúin dollar a léiriú in ioncam caillte. Neamhíonachtaí gáis Is cúis dhíreach laghdaithe iad toradh. Is é seo an fáth monaróirí leathsheoltóra bhfuil obsessed le íonacht gáis. Caithfidh siad a bheith cinnte go bhfuil an gás Tá dul isteach ar a n-uirlisí il-billiún dollar go hiomlán saor ó aon ábhar salaithe a d'fhéadfadh derail an próiseas monaraithe leathsheoltóra. Is cluiche cruinneas micreascópach é ina bhfuil spás nialasach le haghaidh earráide.

Cad iad na Príomhgháis a Úsáidtear i Déantúsaíocht Leathsheoltóra?

Tá raon na ngás a úsáidtear sa tionscal leathsheoltóra ollmhór, ach go hiondúil baineann siad le dhá chatagóir: mórgáis agus gáis speisialtachta.

• Bulcgháis: Úsáidtear iad seo i gcainníochtaí ollmhóra agus is bonn iad don timpeallacht déantúsaíochta.

  • Nítrigin (N₂): Seo é an capall oibre. Ultra-ard íonachta Nítrigin úsáidtear é chun "atmaisféar" támh a chruthú taobh istigh de na huirlisí monaraithe. Glanann sé seo ocsaigin, taise, agus cáithníní eile, rud a choscann ocsaídiú nach dteastaíonn nó éilliú den sliseag.
  • Hidrigin (H₂): Is minic a úsáidtear i gcomhcheangal le gáis eile, hidrigin ríthábhachtach go cinnte taisceadh próisis agus chun timpeallachtaí ceimiceacha an-sonracha a chruthú a theastaíonn chun struchtúir trasraitheora a thógáil.
  • Argón (Arg): Mar támh gás, Úsáidtear Argón i bpróiseas ar a dtugtar sputtering, áit a n-úsáidtear é chun sprioc-ábhar a thumadh, ag bualadh adaimh scaoilte a thaisceann ansin ar an sliseag. Úsáidtear é freisin chun an plasma i go leor etch próisis.

• Gáis Speisialtachta: Is gáis chasta, ghuaiseacha go minic iad seo, agus an-innealtóireacht a úsáidtear le haghaidh céimeanna próisis ar leith. Is iad na comhábhair "ghníomhacha".

  • Eitigh: Úsáidtear gáis amhail clóirín (Cl₂) agus bróimíd hidrigine (HBr) chun carnadh beacht nó etch patrúin isteach i sraitheanna an sliseag.
  • Dopants: Úsáidtear gáis mar airsín (AsH₃) agus fosfín (PH₃) chun sainuimhir a thabhairt isteach d’aon ghnó. eisíontas isteach sa sileacain a n-airíonna leictreacha a athrú, is é sin an chaoi a rialaítear trasraitheoirí.
  • Gáis Taisce: Is sampla clasaiceach é Silane (SiH₄), a úsáidtear mar fhoinse sileacain scannáin tanaí a thaisceadh.

Maidir le hoifigeach soláthair cosúil le Mark, tá sé ríthábhachtach fios a bheith agat, cé go bhfuil na gáis seo go léir difriúil, go bhfuil ceanglas coiteann amháin acu: foircneach íonachta.

An féidir leat Taiscí agus Eitseáil a Mhíniú i dTéarmaí Simplí?

Táirgeadh leathsheoltóra na céadta céimeanna, ach is éagsúlachtaí iad an chuid is mó díobh ar dhá phróiseas bhunúsacha: taisceadh agus etch. Tá sé ríthábhachtach iad seo a thuiscint i dtéarmaí simplí chun ról na gás.

1. Teistíocht: Ag Tógáil na Sraitheanna
Smaoinigh ar taisceadh cosúil le spraeáil-phéinteáil le móilíní. Is é an sprioc ciseal ultra-tanaí, foirfe aonfhoirmeach d'ábhar a chur ar an sliseog sileacain.

• An Próiseas: Próiseas gás (cosúil le silane) measctha le a gás iompróra (cosúil le nítrigin nó hidrigin). seo gás tugtar meascán isteach ansin i ndlísheomra ina bhfuil an sliseag. A imoibriú ceimiceach a spreagtar, go minic ag teas nó a plasma, is cúis le móilíní a "deascadh" as an gás agus foirm soladach scannán tanaí ar an sliseag' dromchla.
• Cén Fáth Tá Íonachta: Má tá ábhar salaithe ann cáithnín sna gás sruthán, tá sé cosúil le breacadh deannaigh ag dul isteach i do phéint spraeála. Beidh sé leabaithe sa chiseal nua, ag cruthú struchtúrach locht. Má tá gan iarraidh gás móilín, is féidir leis freagairt go mícheart, ag athrú comhdhéanamh ceimiceach agus airíonna leictreacha na ciseal.

2. Eitseáil: Snoíodóireacht na gCiorcad
Tar éis ciseal a thógáil, ní mór duit an patrún ciorcad a shnoí isteach ann. Etch Is é an próiseas a bhaineann le hábhar a bhaint go roghnach.

• An Próiseas: Tá an sliseag tá sé brataithe le hábhar éadrom-íogair ar a dtugtar fótairéiseach. Teilgtear patrún air (cosúil le stionsal). Déantar na limistéir nochta a chruachadh ansin. Tá an sliseag ansin cuirtear i seomra líonta é le eitsint gás (cosúil le cumaisc fluairín-bhunaithe). seo gás is energized isteach a plasma stáit, rud a fhágann go bhfuil sé an-imoibríoch. Tá an plasma bombards an sliseag, an t-ábhar a ithe go ceimiceach amháin sna limistéir nach bhfuil cosanta ag an stionsal.
• Cén Fáth Tá Íonachta: Neamhíonachtaí i ngás a úsáidtear le haghaidh eitseála is féidir an ráta imoibrithe a athrú. D'fhéadfadh sé seo a chur faoi deara go mbeadh na ciorcaid snoite ró-leathan, ró-chúng, nó nach bhfuil ar chor ar bith. A miotail cáithnín eisíontas d'fhéadfadh bloc fiú an etch próiseáil in aon láthair bídeach amháin, rud a fhágann "cuaille" d'ábhar nach dteastaíonn a ghearrann amach an ciorcad.

Conas a Dhéantar Íonacht Gháis Ultra-Ard a Thomhas agus a Chothabháil?

Sna tionscal leathsheoltóra domhanda, tá tomhais íonachta caighdeánach cosúil le "faoin gcéad" gan úsáid. Táimid ag déileáil le éilliú ar scála atá deacair a thuiscint. Déantar íonacht a thomhas i páirteanna in aghaidh an trilliún (ppt). Ciallaíonn sé seo do gach trilliún gás móilíní, ní féidir ach ceann amháin nó dhá mhóilín eisíontais a bheith ann.

Chun an leibhéal seo a bhaint amach agus a fhíorú íonacht gáis, córas sofaisticiúil de íonú gáis agus tá anailís ag teastáil.

Sa mhonarcha, ní hamháin go dtáirgeann muid an gás; mairimid agus análaimid rialú cáilíochta. Tá an soláthar gáis slabhra le haghaidh a leathsheoltóra Baineann fab le íonaitheoirí speisialaithe a shuiteáiltear díreach ag an bpointe úsáide. Ina theannta sin, chun cinn anailís gáis úsáidtear uirlisí le haghaidh monatóireacht fíor-ama. Teicnící cosúil le mais ianaithe brú an atmaisféir is féidir le speictriméadracht (APIMS) feidhmiú bhrath eisíontas síos go dtí an leibhéal páirteanna-in aghaidh an trilliún, ag cinntiú an uhp gáis (íonachta ultra-ard) ag dul isteach sa phróiseas uirlis foirfe.

Cad a Dhéanann Soláthraí Gáis Ardíonachta Iontaofa?

Maidir le ceann soláthair cosúil le Mark, a bhfuil taithí aige ar an bpian a bhaineann le moilleanna lastais agus deimhnithe calaoiseacha, is é an iontaofacht gach rud. I saol na leathsheoltóir ard-íonachta Tá trí cholún ag baint le gáis, iontaofacht: Comhsheasmhacht Táirgthe, Dearbhú Cáilíochta, agus Saineolas Lóistíochta.

1. Comhsheasmhacht Táirgeachta: Ní mór go mbeadh cumas táirgthe láidir agus iomarcach ag soláthraí iontaofa. Cinntíonn seacht línte táirgeachta ár monarcha, mar shampla, gur féidir linn freastal ar an éileamh ard agus nach gcuireann fadhb ar líne amháin stop lenár n-aschur iomlán. Laghdaíonn sé seo an baol go gcuirfí isteach ar an soláthar a d’fhéadfadh il-billiún dollar a dhúnadh leathsheoltóra fab.
2. Dearbhú Cáilíochta Infhíoraithe: Ní leor é a éileamh atá agat gáis íonachta ard. Caithfidh tú a bheith in ann é a chruthú. Ciallaíonn sé seo infheistíocht a dhéanamh i dtrealamh anailíse den scoth le haghaidh bhrath eisíontas. Ciallaíonn sé freisin Deimhnithe Anailíse (CoA) trédhearcach agus inrianaithe a sholáthar le gach lastas. Is éard atá i gceist le calaois deimhnithe a chomhrac ná caidreamh fadtéarmach a thógáil bunaithe ar iontaoibh agus ar shonraí infhíoraithe.
3. Saineolas Lóistíochta: Ag fáil a gás creimneach nó nach bhfuil leacht crióigineach ón tSín go SAM simplí. Éilíonn sé coimeádáin speisialaithe, eolas ar rialacháin loingseoireachta idirnáisiúnta, agus pleanáil mhionchúiseach chun moill a sheachaint. Tuigeann soláthraí iontaofa nach bhfuil sé seo ach bosca a sheoladh; tá sé ag bainistiú cuid ríthábhachtach den domhan leathsheoltóra slabhra soláthair.

Cad é an Difríocht idir Bulcghás agus Gás Speisialtachta?

Tuiscint ar an idirdhealú idir gás mórchóir agus gás speisialtachta ríthábhachtach d'aon duine a bhfuil baint acu le foinsiú le haghaidh an tionscal leathsheoltóra. Cé go n-éilíonn an dá mhór íonachta, tá a scála, a láimhseáil agus a gcur i bhfeidhm an-difriúil.

Bulc Gáis, cosúil le Gáis Speisialtachta Bulc Ardíonachta, tagairt do gáis cosúil le nítrigin, ocsaigin, argón, agus hidrigin. Tá siad mar bhunús le timpeallacht na fab. Tagraíonn an téarma "mórchóir" do na méideanna ollmhóra a úsáidtear. Is minic a tháirgtear na gáis seo ar an láthair nó in aice láimhe agus seachadtar iad trí phíblínte tiomnaithe go díreach chuig córas dáileacháin inmheánach an fab. Is iad na príomhdhúshláin anseo a chothabháil íonachta thar líonraí dáileacháin ollmhóra agus ag cinntiú soláthar ard-toirte gan bhriseadh.

Gás Speisialtacht (nó gás leictreonach( ) tagraíonn sé do chatagóir leathan de gháis andúchasacha, imoibríocha nó ghuaiseacha go minic a úsáidtear i gcainníochtaí níos lú le haghaidh céimeanna próisis sonracha amhail eitseáil agus taisceadh. I measc na samplaí tá silane, amóinia, tríchlóiríd bhórón, agus trífhluairíd nítrigine. Déantar iad seo a sheachadadh i sorcóirí ardbhrú aonair. Na dúshláin le gás speisialtachta atá fíorshábháilteacht i láimhseáil, ag cinntiú comhsheasmhachta foirfeachta do mheascáin gháis, agus ag cosc ar aon imoibrithe ceimiceacha laistigh den sorcóir a d'fhéadfadh a bheith i mbaol caighdeán gáis.

Conas atá an tÉileamh ar Ghás Leathsheoltóra Ardíonachta ag Forás?

Tá an tionscal leathsheoltóra ní sheasann sé riamh. Leanann Dlí Moore, an bhreathnóireacht go ndúblaíonn líon na dtrasraitheoirí ar shlis thart ar gach dhá bhliain, ag brú teorainneacha na fisice. De réir mar a laghdaíonn trasraitheoirí, éiríonn siad níos íogaire do éilliú. A méid na gcáithníní a bhí inghlactha cúig bliana ó shin is “killer locht" inniu.

Ciallaíonn an tiomáint gan staonadh seo le haghaidh sliseanna níos lú agus níos cumhachtaí an t-éileamh ar leibhéil níos airde fós íonacht gáis ag fás. Táimid ag bogadh ó dhomhan ina raibh páirteanna-in-billiún an caighdeán óir go dtí domhan ina bhfuil codanna-in aghaidh an trilliún mar an t-íosriachtanas iontrála do leathsheoltóir chun cinn nóid. Ina theannta sin, éilíonn ábhair nua agus ailtireachtaí sliseanna, amhail trasraitheoirí 3D NAND agus Gate-Around (GAA), punann iomlán nua de gás den chéad ghlúin eile meascáin agus réamhtheachtaithe. Mar monaróirí gáis, táimid i rás leanúnach nuálaíochta, ag forbairt teicneolaíochtaí íonú nua agus modhanna anailíse chun coinneáil suas leis an tionscal leathsheoltóra domhanda.

Mar Cheannaitheoir, Cad iad na Deimhnithe Cáilíochta ar Chóir Liom a Lorg?

Is féidir leis a bheith deacair dul i ngleic le saol na soláthróirí, go háirithe agus iad ag déileáil le táirgí teicniúla. Soláthraíonn deimhnithe bailíochtú ríthábhachtach, tríú páirtí ar chumais soláthróra agus ar a thiomantas don cháilíocht. Nuair a fhoinsiú gáis ard-íonachta le haghaidh an tionscal leathsheoltóra, seo cúpla rud le lorg:

• ISO 9001: Is deimhniú bunúsach é seo do chórais bhainistíochta cáilíochta. Léiríonn sé go bhfuil próisis dea-shainithe agus in-athdhéanta ag an soláthraí maidir le táirgeadh, cigireacht agus seachadadh.
• ISO/IEC 17025: Is ceann ríthábhachtach é seo. Is é an caighdeán é maidir le hinniúlacht saotharlanna tástála agus calabrúcháin. Tá sé cruthaithe ag soláthróir leis an deimhniú seo go bhfuil a saotharlann intí - an ceann a ghineann do Dheimhniú Anailíse - cruinn agus iontaofa.
• Anailís Inrianaithe: Teastas Anailíse (CoA) a éileamh i gcónaí do gach sorcóir nó baisc. Ba cheart go sonraíodh an leibhéal criticiúil go cruinn sa teastas seo neamhíonachtaí sa ghás, arna thomhas ag modhanna anailíse ar leith cosúil le crómatagrafaíocht gháis nó mais-speictriméadracht.

Mar cheannaire cinntitheach cosúil le Mark, is é an uirlis is fearr atá agat ná ceisteanna fiafraithe a chur. Ná fiafraigh ach “An é seo gás glan?" Fiafraigh "Conas a chruthaíonn tú go bhfuil sé íon? Taispeáin dom do dheimhniú saotharlainne. Mínigh do phróiseas chun comhsheasmhacht ó chrannchur a chinntiú." Cuirfidh comhpháirtí fíor-saineolaí iontaofa fáilte roimh na ceisteanna seo agus beidh freagraí muiníneacha, trédhearcacha aige.

Siopaí Bealaí Eochair

• Uirlis is ea Gás: I déantúsaíocht leathsheoltóra, ní hamháin ábhair iad gáis; is uirlisí beachta iad a úsáidtear chun ciorcaid mhicreascópacha a thógáil agus a shnoí ar a sliseog sileacain.
• Is é an íonacht gach rud: Tá scála na déantúsaíochta sliseanna chomh beag sin nach dteastaíonn cáithnín nó eisíontas is féidir le móilín sliseanna a mhilleadh, ag déanamh íonacht ultra-ard riachtanas do-idirbheartaithe.
• Is é Toradh an Sprioc: Tionchar príomhúil na éilliú gáis is laghdú i ndéantúsaíocht toradh, a aistríonn go díreach chuig na milliúin dollar in ioncam caillte le haghaidh fabs leathsheoltóra.
• Dhá Phríomhphróiseas: Baineann an chuid is mó de na céimeanna chun sliseanna a dhéanamh le ceachtar acu taisceadh (sraitheanna tógála) nó etch (patrúin snoíodóireachta), atá an dá cheann ag brath go hiomlán ar imoibrithe ceimiceacha beachta gás íon.
• Tá Iontaofacht Eochair: Soláthraí iontaofa sa gás leathsheoltóra ní mór don mhargadh comhsheasmhacht táirgeachta a léiriú, dearbhú cáilíochta infhíoraithe trí shaotharlanna deimhnithe, agus bainistíocht lóistíochta shaineolach.
• Is Glana an Todhchaí: De réir mar a théann leathsheoltóirí chun cinn, tá an t-éileamh ar leibhéil níos airde fós de íonacht gáis (síos go dtí codanna in aghaidh an trilliún) ach leanúint ar aghaidh ag fás.