Baineann an tionscal leathsheoltóra, mar chroílár na forbartha teicneolaíochta nua-aimseartha, le go leor gáis ardchruinneas agus ard-íonachta ina phróiseas déantúsaíochta. Tagraíonn gáis speisialtachta do leathsheoltóirí do gháis a bhfuil ról lárnach acu i dtáirgeadh ábhar leathsheoltóra, déantúsaíocht sliseanna, sil-scannán tanaí, eitseáil, agus próisis eile. Caithfidh na gáis seo ceanglais dhian a chomhlíonadh maidir le íonacht, cobhsaíocht, agus rialú beacht ar na próisis imoibrithe. Tabharfaidh an t-alt seo isteach roinnt gás speisialtachta coitianta a úsáidtear i leathsheoltóirí agus pléifidh sé a róil sa phróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra.

1. Hidrigin (H₂)

Hidrigin a úsáidtear go forleathan i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, go háirithe i sil-leagan ceimiceach gaile (CVD) agus imoibrithe laghdaithe. I CVD, déantar hidrigin a mheascadh go minic le gáis eile chun scannáin tanaí a fhás, mar shampla scannáin sileacain. Feidhmíonn hidrigin freisin mar oibreán laghdaitheora i bpróisis sil-leagan miotail agus baint ocsaíd. Ina theannta sin, úsáidtear hidrigin chun sliseoga leathsheoltóra a ghlanadh agus a chóireáil chun éillithe dromchla a bhaint go héifeachtach agus chun cáilíocht na sliseanna a fheabhsú.

2. Nítrigin (N₂)

Nítrigin, gás támh, a úsáidtear go príomha chun timpeallacht saor ó ocsaigine a sholáthar i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Úsáidtear go coitianta é i nglanadh trealaimh, próisis fuaraithe, agus mar chaolaitheoir in atmaisféir imoibrithe. I bpróiseas sil-leagan gaile agus eitseála, déantar nítrigin a mheascadh go minic le gáis eile chun coinníollacha imoibrithe a chobhsú agus an ráta imoibrithe a rialú. Úsáidtear nítrigin freisin chun ocsaídiú a shochtadh, rud a chosnaíonn ábhair íogair ó dhamáiste ocsaídiúcháin.

3. Ocsaigin (O₂)

Ocsaigin Tá ról ríthábhachtach aige sa tionscal leathsheoltóra, go háirithe i bpróisis ocsaídiúcháin. I bhfoirmiú ciseal dé-ocsaíd sileacain ar dhromchla na sliseog sileacain, tá ocsaigin riachtanach. Trí ocsaigin a thabhairt isteach, foirmíonn ciseal aonfhoirmeach ocsaíd ar an dromchla sileacain, rud atá ríthábhachtach le haghaidh feidhmíocht leictreach agus cobhsaíocht gléas. Úsáidtear ocsaigin freisin i bpróiseas glantacháin agus eitseála, ag imoibriú le gáis cheimiceacha eile chun ocsaídí a fhoirmiú nó scannáin mhiotail áirithe a bhaint.

4. Teitreafluairíd Charbóin (CF₄)

Úsáidtear teitreafluairíd charbóin go forleathan i bpróisis eitseála. I eitseáil leathsheoltóra, déantar CF₄ a mheascadh le gáis eile chun scannáin tanaí sileacain, nítríde sileacain, miotail agus ábhair eile a bhaint go héifeachtach. Nuair a chomhcheanglaíonn CF₄ le fluairín, cruthaíonn sé fluairíd, a bhfuil imoibríocht láidir aige agus is féidir leis an spriocábhar a eitseáil go héifeachtach. Tá an gás seo ríthábhachtach le haghaidh eitseáil patrún ard-chruinneas i dtáirgeadh ciorcad iomlánaithe.

5. Clóiríd Hidrigin (HCl)

Úsáidtear gás clóiríd hidrigine go príomha mar ghás eitseála, go háirithe in eitseáil ábhar miotail. Imoibríonn sé le scannáin miotail chun clóirídí a fhoirmiú, rud a fhágann gur féidir na sraitheanna miotail a bhaint. Úsáidtear an próiseas seo go forleathan i bpatrúnáil scannáin tanaí miotail, ag cinntiú cruinneas na struchtúr sliseanna.

6. Trífhluairíd Nítrigine (NF₃)

Úsáidtear trifluairíd nítrigine go príomha chun iarmhair sil-leagan i dtrealamh eitseála plasma a ghlanadh. I bpróisis eitseála plasma, imoibríonn NF₃ le hábhair thaisce (cosúil le fluairíd sileacain) chun fluairíd atá inbhainte go héasca a fhoirmiú. Tá an gás seo an-éifeachtach sa phróiseas glantacháin, ag cabhrú le glaineacht an trealaimh eitseála a choinneáil agus cruinneas agus éifeachtúlacht na bpróiseas déantúsaíochta a fheabhsú.

7. Síleann (SiH₄)

Gás a úsáidtear go coitianta i sil-leagan ceimiceach gaile (CVD) is ea Silane, go háirithe chun scannáin tanaí sileacain a thaisceadh. Díscaoileann Silane ag teochtaí arda chun scannáin sileacain a fhoirmiú ar dhromchla an tsubstráit, rud atá ríthábhachtach i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Trí shreabhadh silane agus coinníollacha imoibrithe a choigeartú, is féidir an ráta taisce agus cáilíocht an scannáin a rialú go beacht.

8. Trífhluairíd Bhórón (BF₃)

Is gás dópála tábhachtach é trífhluairíd bhóróin, a úsáidtear go hiondúil sa phróiseas dópála bórón i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Úsáidtear é chun airíonna leictreacha na criostail a choigeartú trí imoibriú leis an tsubstráit sileacain chun an ciseal dópála atá ag teastáil a fhoirmiú. Tá an próiseas dópála bórón riachtanach chun ábhair leathsheoltóra de chineál P a chruthú, agus tá ról ríthábhachtach ag gás BF₃ sa phróiseas seo.

9. Heicseafluairíd Sulfair (SF₆)

Heicseafluairíd sulfair a úsáidtear go príomha i bpróisis eitseála leathsheoltóra, go háirithe i eitseáil ard-chruinneas. Mar gheall ar a ard-airíonna inslithe leictreach agus cobhsaíocht cheimiceach, is féidir SF₆ a chomhcheangal le gáis eile chun scannáin ábhartha a bhaint go cruinn agus patrúin beachta a chinntiú. Úsáidtear go forleathan é freisin in eitseáil ian, ag baint go héifeachtach le scannáin miotail nach dteastaíonn.

Conclúid

Tá ról do-athsholáthair ag gásanna speisialtachta do leathsheoltóirí i ndéantúsaíocht ciorcaid iomlánaithe. De réir mar a leanann an teicneolaíocht ag dul chun cinn, méadaíonn an t-éileamh ar íonacht agus feidhmíocht níos airde na ngás seo, rud a spreagann soláthraithe chun cáilíocht agus cineálacha gáis a bharrfheabhsú i gcónaí. Sa todhchaí, leanfaidh an tionscal leathsheoltóra ag brath ar na gáis speisialtachta seo chun tacú le táirgeadh sliseanna den chéad ghlúin eile agus nuálaíochtaí teicneolaíochta. Dá bhrí sin, beidh tuiscint agus cur i bhfeidhm gáis speisialtachta leathsheoltóra ríthábhachtach chun forbairt leanúnach an tionscail leathsheoltóra a thiomáint.