Argón Leacht Ard-íonachta i Déantúsaíocht Leathsheoltóra agus Treoir Soláthair
Le forbairt go mear ar an tionscal leathsheoltóra domhanda, tá próisis déantúsaíochta sliseanna tar éis dul isteach go hiomlán sa ré nanaiméadar. Sa phróiseas monaraíochta atá thar a bheith beacht seo, is féidir le haon luaineacht chomhshaoil nó neamhíonacht ábhair a bheith mar thoradh ar bhaisc iomlán sliseog a scriosadh. Dá bhrí sin, tá ról do-athsholáthair ag gáis speisialtachta leictreonacha agus gáis thionsclaíocha ard-íonachta. Ina measc, argón leachtach ard íonachta tar éis éirí mar eochair-inchaite fíor-riachtanach in oibríochtaí laethúla fabs leathsheoltóra mar gheall ar a inertness ceimiceach deiridh agus airíonna fisiceacha den scoth.
Déanfaidh an t-alt seo anailís dhomhain ar chroí-iarratais argón leachtach i bpróisis déantúsaíochta sliseanna agus soláthróidh sé treoir soláthair ghairmiúil d'fhoirne slabhra soláthair fiontair.
Feidhmchláir Lárnacha: Cén fáth a bhfuil Argón Leachtach Doscartha ó Dhéantúsaíocht Leathsheoltóra?
Sa phróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra Tosaigh Deireadh Líne (FEOL), cuirtear argón leachtach do leathsheoltóirí i bhfeidhm go príomha sna céimeanna lárnacha seo a leanas a chinneann toradh an táirge:
- Taistil Fhisiceach Gal (PVD) / Sputtering: Is é gás argón ultra-íon, a fhoirmítear trí ghású argón leachtach, an gás oibre is príomhshrutha i bpróisis sputtering PVD. Sa seomra folúis, déantar na hiain argóin a luathú le réimse leictreach chun an sprioc-ábhar a bhuamáil, rud a fhágann go scaoileann na n-adaimh sprice agus go dtaiscfidh siad go cothrom ar an dromchla wafer chun scannán miotail a fhoirmiú. Is réamhriachtanas é íonacht ard chun dlús agus comhsheasmhacht leictreach an scannáin a chinntiú.
- Atmaisféar Cosanta atá Go hiomlán Sábháilte: Le linn an phróisis tarraingthe sileacain mhonacrystalline (cosúil le próiseas Czochralski) agus próisis annealing ard-teocht, imoibríonn sileacain go héasca le ocsaigin ag teochtaí arda. Mar sin, ní mór gás argón a thabhairt isteach go leanúnach chun an t-aer a athsholáthar, ag soláthar timpeallacht fíor-thámh atá scoite amach ó ocsaigine agus taise, rud a chinntíonn fás foirfe na laitíse criostail sileacain.
- Teicneolaíocht chrióigineach agus glantacháin sliseog: I bpróisis chun cinn mar liteagrafaíocht Foircní Ultraivialait (EUV), uaireanta cuirtear saintréithe teocht ultra-íseal an argón leachta (fiuchphointe -186 ° C) i bhfeidhm ar chórais fuaraithe trealaimh bheachtais. Ag an am céanna, úsáidtear teicneolaíocht aerasóil argón freisin le haghaidh micreaghlanadh fisiceach ar scála nanaiméadar ar dhromchlaí sliseog, rud a fhéadfaidh ábhar cáithníneach nóiméad a bhaint go neamh-millteach.
Cinneann Cáilíocht Toradh: Caighdeáin Dhian Argón Leacht Ard-íonachta
Tá ceanglais an tionscail leathsheoltóra maidir le hamhábhair thar a bheith dian. De ghnáth ní gá ach íonacht 99.9% nó 99.99% a bhaint amach argón leachtach gnáth-ghrád tionsclaíoch, ach tá sé seo i bhfad ó bheith ag freastal ar riachtanais déantúsaíochta sliseanna. Le haghaidh argón leachtach ardíonachta cáilithe, is gnách go n-éilíonn an íonacht bunlíne 99.999% (5N) a bhaint amach, agus i nóid chun cinn, ní mór fiú 99.9999% (6N) nó níos airde a bhaint amach.
Tá rialú eisíontais níos ríthábhachtach. Ní mór an t-ábhar ocsaigine, nítrigine, taise, hidreacarbóin iomlán (THC), agus iain rian-mhiotail a rialú go docht ag an leibhéal ppb (páirteanna in aghaidh an bhilliún) nó fiú ppt (codanna in aghaidh an trilliún). Fiú má mheascann méid nóiméad d'eisíontais isteach sa phíblíne gáis, cruthóidh sé micrea-lochtanna ar an dromchla wafer, rud a fhágann go mbeidh gearrchiorcaid sliseanna nó sceitheadh reatha, ag tarraingt síos an ráta toraidh go díreach agus ag tabhairt caillteanais eacnamaíocha ollmhóra.
Treoir Soláthair: Conas Soláthraí Argón Leachtach Leachtach Gairmiúil a Mheas agus a Roghnú?
I bhfianaise ról cinntitheach na ngás ard-íonachta in oibriú línte táirgeachta, is tasc lárnach d’fhoirne soláthair agus slabhra soláthair soláthraí argón leacht láncháilithe agus cumasach a aimsiú agus a dhaingniú. Agus soláthraithe ionchasacha á meas, moltar díriú ar na trí ghné seo a leanas:
Cumais Dhian Rialú Cáilíochta agus Tástála: Ní mór do sholáthraithe sármhaithe trealamh anailíse rian barrleibhéil a bheith acu, mar shampla Crómatagraf Gáis (GC) agus Mais-Speictriméadar (MS). Caithfidh siad a bheith in ann COA (Deimhniú Anailíse) mionsonraithe a sholáthar do gach baisc chun comhsheasmhacht iomlán íonachta idir seachadtaí a áirithiú.
Athléimneacht láidir Slabhra Soláthair agus Cobhsaíocht Seachadta: Is gnách go n-oibríonn Fabs 24/7/365, agus tá an costas ama síos thar a bheith ard. Mar sin, ní mór go mbeadh cumas stórála leachta logánta ollmhór ag soláthróirí, a gcabhlach féin de thrucailí tancaeir crióigineacha, agus pleananna teagmhasacha cuimsitheacha le haghaidh dearbhú soláthair éigeandála.
Ard-Choimeádáin agus Teicneolaíocht Frith-"Éillithe Tánaisteach": Is cuma cé chomh hard is atá íonacht an gháis, tá sé gan úsáid má tá sé éillithe le linn iompair. Ba cheart go ndíreofaí ar umair stórála crióigineacha an tsoláthraí agus ar theicneolaíochtaí cóireála balla istigh an tancaeir (cosúil le cibé an ndearnadh cóireáil Leictreapholaithe / PE), chomh maith leis na Nósanna Imeachta Caighdeánacha Oibriúcháin (SOP) le haghaidh glantacháin comhla agus píblíne le linn na gcéimeanna líonta agus aistrithe, ag cinntiú gur féidir íonacht ard a sheachadadh díreach ón ngléasra go críochfort an chustaiméara.
Conclúid
Faoi dhul chun cinn leanúnach Dhlí Moore, ní hamháin gur inchaite bunúsach é argón leachtach ardíonachta, ach freisin mar “choimhdeacht dofheicthe” le haghaidh ardphróisis leathsheoltóra. Go heolaíoch agus go dian meastóireacht agus roghnú a soláthraí argón leachtach le neart cuimsitheach chun a chinntiú go bhfuil soláthar ard-chaighdeán agus cobhsaí argón leachtach do leathsheoltóirí mar bhunchloch gach fiontar déantúsaíochta leathsheoltóra chun toradh agus bua próisis a fheabhsú i gcomórtas domhanda an mhargaidh.
CCanna
C1: Cé chomh dian is atá an rialú eisíontais le haghaidh argón leachtach ardíonachta a úsáidtear i ndéantúsaíocht leathsheoltóra?
Freagra: Thar a bheith dian. Ní hamháin go n-éilíonn argón leachtach de ghrád leathsheoltóra íonacht iomlán de 99.999% (5N) nó níos airde, ach níos tábhachtaí fós, cuireann sé teorainneacha dochta ar eisíontais shonracha. Mar shampla, de ghnáth is gá leibhéil taise (H2O) agus ocsaigine (O2) a choinneáil faoi bhun 10 ppb; le haghaidh 7nm agus faoi bhun nóid chun cinn, is gá fiú rialú ppt-leibhéal (codanna in aghaidh an trilliún) d'eisíontais ian miotail.
C2: Agus soláthraí argón leachtach á roghnú agat, conas is féidir éilliú tánaisteach le linn iompair agus aistrithe a chosc?
Freagra: Is é trealamh crua-earraí agus sonraíochtaí oibríochta an tsoláthraí an eochair chun éilliú tánaisteach a chosc. Le linn an tsoláthair, deimhnigh an n-úsáideann an soláthraí tancaeir chrióigineacha ard-ghlaineachta atá tiomnaithe do leathsheoltóirí (ní mór snasta agus pasivation speisialta a bheith ag an línéar istigh). Idir an dá linn, athbhreithniú a dhéanamh ar a SOP do dhíluchtú leacht ar an láthair, ag cinntiú go ndéantar glantachán agus athsholáthar gáis ard-íonachta leordhóthanach sula nasctar píblínte, agus go bhfuil trealamh rianaithe ocsaigine/taise monatóireachta ar líne feistithe.
C3: Cén damáiste sonrach a dhéanfaidh sé don wafer mura gcomhlíonann an argón leachtach le haghaidh leathsheoltóirí caighdeáin íonachta?
Freagra: Má tá an íonacht faoi bhun caighdeáin (mar a mheascadh le rian ocsaigine nó taise), beidh sé ina chúis le frithghníomhartha ocsaídiúcháin dromchla gan choinne ar sliseog sileacain le linn próisis ard-teocht annealing nó criostail tarraingt. I sputtering PVD, meascfaidh neamhíonachtaí isteach sa scannán miotail taiscthe, ag athrú friotachas agus airíonna fisiceacha an scannáin. Beidh siad seo ina chúis le lochtanna marfacha go díreach cosúil le ciorcaid ghearr agus ciorcaid oscailte ar an sliseog, rud a laghdóidh go mór an toradh sliseanna.
