Η Huazhong Gas αφιερώσαμε τους εαυτούς μας στην κυριαρχία της τέχνης και της επιστήμης των βιομηχανικών και ειδικό αέριο παραγωγή. Στον σημερινό κόσμο υψηλής τεχνολογίας, ιδιαίτερα εντός της ημιαγωγός βιομηχανία, η ζήτηση για εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα αέρια δεν είναι απλώς μια προτίμηση? είναι απόλυτη ανάγκη. Αυτό το άρθρο εμβαθύνει στον κρίσιμο κόσμο του ανάλυση ακαθαρσιών για ηλεκτρονικά ειδικά αέρια. Θα διερευνήσουμε γιατί ακόμα και το πιο μικρό ακαθαρσία μπορεί να έχει κολοσσιαίες συνέπειες, πώς ανιχνεύουμε αυτά τα άπιαστα ίχνος ακαθαρσιών, και τι σημαίνει για τις επιχειρήσεις. Κατανόηση ακαθαρσίες αερίων και τις μεθόδους για τους κάθαρση και ανίχνευσης, όπως π.χ ICP-MS, είναι το κλειδί για τη διασφάλιση της αξιοπιστίας και της απόδοσης του σύγχρονου ηλεκτρονική. Αυτό το κομμάτι αξίζει τον χρόνο σας γιατί προσφέρει την προοπτική του εργοστασίου για τη διατήρηση της αυστηρότητας καθαρότητα ηλεκτρονικών ειδικών αερίων, ακρογωνιαίος λίθος του ημιαγωγός και ηλεκτρονική κλάδους.

Τι είναι ακριβώς τα ηλεκτρονικά ειδικά αέρια και γιατί είναι τόσο ζωτικής σημασίας η καθαρότητά τους στην κατασκευή ημιαγωγών;

Ηλεκτρονικά ειδικά αέρια, που συχνά αναφέρεται ως ηλεκτρονικά αέρια ή αέρια ημιαγωγών, αποτελούν μια μοναδική κατηγορία αέρια υψηλής καθαρότητας και μίγματα αερίων ειδικά σχεδιασμένο για τις περίπλοκες διαδικασίες που εμπλέκονται στην κατασκευή ηλεκτρονικών εξαρτημάτων. Σκεφτείτε τους ως τους αόρατους αρχιτέκτονες της ψηφιακής εποχής. Αυτοί αέρια που χρησιμοποιούνται στους ημιαγωγούς Η κατασκευή περιλαμβάνει μια μεγάλη ποικιλία, όπως σιλάνιο (SiH4) για εναπόθεση στρωμάτων πυριτίου, τριφθοριούχο άζωτο (NF3) για καθαρισμό θαλάμου, αργόν (Αρ) ως αδρανής ασπίδα, και διάφορα αέρια ντόπινγκ όπως η φωσφίνη (PH3) ή η αρσίνη (AsH3) για την αλλαγή των ηλεκτρικών ιδιοτήτων του ημιαγωγός υλικά. ο όρος "ηλεκτρονική ειδικότητα" η ίδια τονίζει την προσαρμοσμένη εφαρμογή τους και την εξαιρετική ακρίβεια που απαιτείται στη σύνθεσή τους. Αυτά δεν είναι η καθημερινότητά σας βιομηχανικά αέρια; οι προδιαγραφές τους είναι πολύ πιο αυστηρές.

Η ύψιστη σημασία τους καθαρότητα δεν μπορεί να υπερεκτιμηθεί, ειδικά σε κατασκευή ημιαγωγών. Τα σύγχρονα ολοκληρωμένα κυκλώματα (IC) διαθέτουν τρανζίστορ και αγώγιμα μονοπάτια που είναι απίστευτα μικρά, συχνά μετρημένα σε νανόμετρα (δισεκατομμυριοστά του μέτρου). Σε αυτή τη μικροσκοπική κλίμακα, ακόμη και ένα μόνο ανεπιθύμητο άτομο—ένα ακαθαρσία— μπορεί να λειτουργήσει σαν ογκόλιθος σε ένα μικροσκοπικό ρεύμα, διαταράσσοντας την επιδιωκόμενη ηλεκτρική ροή ή προκαλώντας δομικά ελαττώματα. Αυτό θα μπορούσε να οδηγήσει σε ένα ελαττωματικό τσιπ και σε μια βιομηχανία όπου παράγονται εκατομμύρια μάρκες σε ένα μόνο γκοφρέτα, η οικονομική ζημιά και η φήμη από εκτεταμένη μόλυνση μπορεί να είναι τεράστια. Ως εκ τούτου, το καθαρότητα ηλεκτρονικών ειδικών αερίων είναι ένας θεμελιώδης πυλώνας πάνω στον οποίο το σύνολο ηλεκτρονικών και ημιαγωγών περίπτερα της βιομηχανίας. Κάθε ακαθαρσία μπορεί να θέσει σε κίνδυνο την απόδοση, την απόδοση και την αξιοπιστία της συσκευής, καθιστώντας αυστηρή καθαρότητα αερίου έλεγχος απαραίτητος.

Στην Huazhong Gas, κατανοούμε ότι οι πελάτες μας στο βιομηχανίες ημιαγωγών βασιστείτε σε εμάς για να παρέχουμε αέρια που πληρούν ή υπερβαίνουν τα επίπεδα καθαρότητας "πέντε εννιά" (99,999%) ή ακόμη και "έξι εννέα" (99,9999%). Αυτό σημαίνει ότι οποιαδήποτε ακαθαρσία πρέπει να υπάρχουν σε συγκεντρώσεις χαμηλότερες από μέρη ανά εκατομμύριο (ppm) ή ακόμη και μέρη ανά δισεκατομμύριο (ppb). Επίτευξη και επαλήθευση τέτοιων υψηλή καθαρότητα επίπεδα απαιτεί εξελιγμένα κάθαρση τεχνικές και, κυρίως, προηγμένες ανάλυση ακαθαρσιών μεθόδους. Η παρουσία ενός απροσδόκητου ακαθαρσία θα μπορούσε επίσης να υποδείξει προβλήματα με το φιάλες αερίου ή την αλυσίδα εφοδιασμού, καθιστώντας τους συνεπείς ποιοτικούς ελέγχους ζωτικής σημασίας. Διασφαλίζουμε τη δική μας Κύλινδρος αζώτου Οι προσφορές, για παράδειγμα, πληρούν αυτά τα απαιτητικά πρότυπα, καθώς το άζωτο είναι αέριο σε πολλά στάδια κατασκευής ημιαγωγών.

Πώς μπορούν ακόμη και μικροσκοπικά ίχνη ακαθαρσιών να εκτροχιάσουν τις γραμμές παραγωγής ημιαγωγών;

Μερικές φορές είναι δύσκολο να φανταστεί κανείς πώς κάτι τόσο μικρό, α ίχνος ακαθαρσίας μετρούμενη σε μέρη ανά δισεκατομμύριο (ppb) ή ακόμη και μέρη ανά τρισεκατομμύριο (ppt), μπορεί να προκαλέσει τόσο σημαντικά προβλήματα. Αλλά στον κόσμο του ημιαγωγός κατασκευή, αυτά τα μικροσκοπικά ρύπους είναι μεγάλοι κακοί. Ας εξετάσουμε μια τυπική διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών: περιλαμβάνει δεκάδες, μερικές φορές εκατοντάδες, ευαίσθητα βήματα όπως εναπόθεση (απόθεση λεπτών μεμβρανών), χάραξη (αφαίρεση υλικού) και εμφύτευση ιόντων (εισαγωγή συγκεκριμένων ατόμων). Κάθε βήμα βασίζεται σε ένα επακριβώς ελεγχόμενο χημικό περιβάλλον, που συχνά δημιουργείται ή συντηρείται από ηλεκτρονικά ειδικά αέρια. Αν α αέριο που χρησιμοποιείται σε ένα από αυτά τα βήματα φέρει ένα ανεπιθύμητο ακαθαρσία, αυτό ακαθαρσία μπορεί να ενσωματωθεί στα ευαίσθητα στρώματα του ημιαγωγός συσκευή.

Για παράδειγμα, μεταλλικές ακαθαρσίες όπως το νάτριο, ο σίδηρος ή ο χαλκός, ακόμη και σε εξαιρετικά χαμηλές συγκεντρώσεις, μπορούν να αλλάξουν δραστικά τις ηλεκτρικές ιδιότητες του πυριτίου. Μπορεί να δημιουργήσουν ανεπιθύμητες αγώγιμες διαδρομές, που οδηγούν σε βραχυκυκλώματα ή να λειτουργούν ως «παγίδες» που εμποδίζουν τη ροή των ηλεκτρονίων, επιβραδύνοντας τη συσκευή ή προκαλώντας την πλήρη αστοχία της. Ενα ακαθαρσία μπορεί επίσης να επηρεάσει τις χημικές αντιδράσεις που προορίζονται σε ένα στάδιο της διαδικασίας. Για παράδειγμα, α μολυσματικό σε ένα αέριο χάραξης μπορεί να προκαλέσει υπο-χαρακτική ή υπερβολική χάραξη, καταστρέφοντας τα ακριβή σχέδια στη γκοφρέτα. Ο αντίκτυπος δεν είναι μόνο σε μεμονωμένες μάρκες. ένα μη ανιχνεύσιμο ακαθαρσία Το πρόβλημα μπορεί να οδηγήσει σε απόσυρση ολόκληρων παρτίδων γκοφρετών, με αποτέλεσμα εκατομμύρια δολάρια σε απώλειες, καθυστερήσεις στην παραγωγή και πονοκεφάλους για τους υπεύθυνους προμηθειών όπως ο Mark Shen, οι οποίοι πρέπει να διασφαλίσουν μια σταθερή προμήθεια ποιοτικών υλικών. Αυτό υπογραμμίζει την κρίσιμη ανάγκη για στιβαρό μέτρηση ιχνών ακαθαρσιών.

Η πρόκληση είναι ότι το "αποδεκτό" επίπεδο για οποιονδήποτε ακαθαρσία συνεχίζει να συρρικνώνεται καθώς ημιαγωγός τα χαρακτηριστικά της συσκευής γίνονται μικρότερα. Αυτό που θεωρήθηκε αποδεκτό ακαθαρσία επίπεδο πριν από μια δεκαετία μπορεί να είναι καταστροφικό μόλυνση σήμερα. Αυτή η αδυσώπητη προσπάθεια για σμίκρυνση ασκεί τεράστια πίεση στους κατασκευαστές αερίου και στα αναλυτικά εργαστήρια να βελτιώσουν όριο ανίχνευσης δυνατότητες. Ακόμη και σωματίδια ακαθαρσίες, μικροσκοπικές κηλίδες σκόνης αόρατες με γυμνό μάτι, μπορούν να μπλοκάρουν το φως στα βήματα της φωτολιθογραφίας ή να δημιουργήσουν φυσικά ελαττώματα στην επιφάνεια της γκοφρέτας. Επομένως, ελέγχοντας κάθε δυναμικό ακαθαρσία – αέριο, μεταλλικό ή σωματίδια – είναι κρίσιμο. Ο γκάμα ακαθαρσιών που μπορεί να προκαλέσει προβλήματα είναι τεράστια, τονίζοντας την ανάγκη για ολοκληρωμένη ανάλυση αερίου.

Ποιοι είναι οι πιο συνηθισμένοι προβληματικοί; Προσδιορισμός ακαθαρσιών σε αέρια για ηλεκτρονικά.

Όταν μιλάμε για ακαθαρσίες στα αέρια που προορίζεται για την ηλεκτρονικών και ημιαγωγών τομέα, εξετάζουμε ένα ποικίλο καστ χαρακτήρων, ο καθένας με τη δυνατότητα να προκαλέσει σημαντική βλάβη. Αυτοί ακαθαρσίες που πρέπει να ανιχνευθούν μπορούν ευρέως να κατηγοριοποιηθούν σε αέριες, μεταλλικές και σωματιδιακές μορφές. Η κατανόηση αυτών των κοινών ταραχοποιών είναι το πρώτο βήμα για την αποτελεσματικότητα ανάλυση ακαθαρσιών και τον έλεγχο. Το συγκεκριμένο παρούσες ακαθαρσίες μπορεί να ποικίλλει ανάλογα με το ίδιο το αέριο, τη μέθοδο παραγωγής, την αποθήκευση και τον χειρισμό του.

Αεριώδης ακαθαρσίες υπάρχουν άλλα αέρια στο κύριο μέρος ειδικό αέριο. Για παράδειγμα, σε υψηλή καθαρότητα άζωτο, κοινό αέριο ακαθαρσίες μπορεί να περιλαμβάνει οξυγόνο (O2), υγρασία (H2O), διοξείδιο του άνθρακα (CO2), μονοξείδιο του άνθρακα (CO) και υδρογονάνθρακες (CH2). Το οξυγόνο και η υγρασία είναι ιδιαίτερα προβληματικά καθώς είναι εξαιρετικά αντιδραστικά και μπορούν να οδηγήσουν σε ανεπιθύμητη οξείδωση ημιαγωγός υλικά ή εξοπλισμό διεργασίας. Ακόμη και σε ένα αδρανές αέριο σαν αργόν, αυτά μπορεί να υπάρχουν σε επίπεδα ίχνους. Ως εταιρεία, βλέπουμε συχνά αιτήματα για ανάλυση του α ευρύ φάσμα ακαθαρσιών, συμπεριλαμβανομένων αυτών των αντιδρώντων ειδών. Για παράδειγμα, οι δυνατότητές μας περιλαμβάνουν την παραγωγή συμπλόκου Αέριο μίγμα προϊόντα, όπου ελέγχεται κάθε συστατικό, συμπεριλαμβανομένων των πιθανών αερίων ακαθαρσίες, είναι πρωταρχικής σημασίας.

Μεταλλικές ακαθαρσίες αποτελούν άλλη μια σημαντική ανησυχία. Αυτά είναι άτομα μετάλλων όπως το νάτριο (Na), το κάλιο (K), το ασβέστιο (Ca), ο σίδηρος (Fe), ο χαλκός (Cu), το νικέλιο (Ni), το χρώμιο (Cr) και το αλουμίνιο (Al). Μπορούν να προέρχονται από πρώτες ύλες, εξοπλισμό παραγωγής (όπως αγωγούς και αντιδραστήρες), ή ακόμα και από φιάλες αερίου τον εαυτό τους εάν δεν αντιμετωπιστούν σωστά. Όπως αναφέρθηκε, αυτά ακαθαρσίες μετάλλων μπορεί να επηρεάσει σοβαρά την ηλεκτρική απόδοση του ημιαγωγός συσκευές. Η ανίχνευση αυτών σε επίπεδα ppb ή ppt απαιτεί εξαιρετικά ευαίσθητες αναλυτικές τεχνικές όπως η επαγωγικά συζευγμένη φασματομετρία μάζας πλάσματος (ICP-MS). Πρέπει επίσης να εξετάσουμε σωματίδια ύλη. Αυτά είναι μικροσκοπικά στερεά ή υγρά σωματίδια που αιωρούνται στο ροή αερίου. Μπορούν να προκαλέσουν φυσικά ελαττώματα σε γκοφρέτες, να μπλοκάρουν τα ακροφύσια στον εξοπλισμό ή να εισάγουν άλλα ρύπους. Το φιλτράρισμα είναι το κλειδί για την απομάκρυνση των σωματιδίων, αλλά η παρακολούθηση των επιπέδων τους αποτελεί επίσης μέρος μιας συνολικής ποιότητα φυσικού αερίου πρόγραμμα. Μερικοί ηλεκτρονικά ειδικά αέρια είναι επίσης διαβρωτικά αέρια ή τοξικά αέρια, το οποίο προσθέτει άλλο ένα επίπεδο πολυπλοκότητας στον χειρισμό και την ανάλυσή τους, διασφαλίζοντας ότι η ακαθαρσία Το προφίλ δεν επιδεινώνει αυτούς τους κινδύνους.

ICP-MS: Το χρυσό πρότυπο για την ανίχνευση μεταλλικών ακαθαρσιών σε αέρια ημιαγωγών;

Όταν πρόκειται για το ανάλυση μεταλλικών ακαθαρσιών σε αέρια εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας, Φασματομετρία μάζας επαγωγικά συζευγμένου πλάσματος, ή ICP-MS, θεωρείται ευρέως ως κορυφαία τεχνολογία. Είναι μια ισχυρή αναλυτική τεχνική που μπορεί να ανιχνεύσει και να ποσοτικοποιήσει ένα ευρύ φάσμα στοιχειακές ακαθαρσίες, συχνά σε εκπληκτικά χαμηλά επίπεδα – σκεφτείτε μέρη ανά τρισεκατομμύριο (ppt) ή ακόμη και μέρη ανά τετράλιον (ppq) για ορισμένα στοιχεία. Αυτή η ευαισθησία είναι ακριβώς ο λόγος ICP-MS έχει γίνει τόσο κρίσιμο για την ημιαγωγός βιομηχανία, όπου, όπως έχουμε συζητήσει, ακόμη και ελάχιστα ίχνη μεταλλικές ακαθαρσίες μπορεί να είναι επιζήμια για ποιότητα του προϊόντος.

Πώς κάνει ICP-MS κάνει τα μαγικά του; Με απλά λόγια, το δείγμα αερίου (ή ένα διάλυμα που προέρχεται από το αέριο) εισάγεται σε ένα πολύ καυτό πλάσμα, που συνήθως αποτελείται από αργόν. Αυτό το πλάσμα, που φτάνει σε θερμοκρασίες από 6.000 έως 10.000°C, είναι αρκετά ενεργητικό για να διασπάσει τα μόρια του αερίου και να ιονίσει τα υπάρχοντα άτομα, συμπεριλαμβανομένων τυχόν μεταλλικές ακαθαρσίες. Αυτά τα ιόντα στη συνέχεια εξάγονται από το πλάσμα και οδηγούνται σε ένα φασματόμετρο μάζας. Το φασματόμετρο μάζας λειτουργεί σαν ένα πολύ ακριβές φίλτρο, διαχωρίζοντας τα ιόντα με βάση την αναλογία μάζας προς φορτίο. ΕΝΑ ανιχνευτής στη συνέχεια μετράει τα ιόντα για κάθε συγκεκριμένη μάζα, επιτρέποντάς μας να προσδιορίσουμε ποια στοιχεία υπάρχουν και σε ποια ποσότητα. Η ικανότητα του ICP-MS για σάρωση για ένα ευρύ φάσμα μεταλλικές ακαθαρσίες σε ειδικά αέρια το καθιστά ταυτόχρονα εξαιρετικά αποδοτικό.

Ενώ ICP-MS είναι απίστευτα ισχυρό, δεν είναι χωρίς προκλήσεις, ειδικά όταν αντιμετωπίζετε αέρια που χρησιμοποιούνται στους ημιαγωγούς κατασκεύασμα. Μια κοινή προσέγγιση είναι η παγίδευση του ακαθαρσίες από ένα μεγάλο όγκο αερίου σε ένα μέσο συλλογής ή σε ένα υγρό, το οποίο στη συνέχεια αναλύεται από ICP-MS. Ωστόσο, απευθείας άμεση έγχυση αερίου στο ICP-MS σύστημα γίνεται επίσης πιο κοινό για ορισμένες εφαρμογές, αν και απαιτεί εξειδικευμένες διεπαφές. Η επιλογή της μεθόδου εξαρτάται από τη συγκεκριμένη ακαθαρσίες αερίων ενδιαφέροντος, το αέριο μήτρας και το απαιτούμενο όριο ανίχνευσης. Στην Huazhong Gas, επενδύουμε σε μεγάλο βαθμό σε υπερσύγχρονο αναλυτικό εξοπλισμό, συμπεριλαμβανομένου του ICP-MS δυνατότητες, γιατί γνωρίζουμε ότι η παροχή αξιόπιστη ανάλυση ακαθαρσιών Τα δεδομένα είναι θεμελιώδη για την εμπιστοσύνη που μας δείχνουν οι πελάτες μας ηλεκτρονικό υψηλής καθαρότητας αέρια. Η ακρίβεια του ICP-MS βοηθά να διασφαλιστεί ότι το καθαρότητα αερίων ικανοποιεί τις αυστηρές απαιτήσεις για ηλεκτρονικός βαθμός υλικά.

Γιατί η αταλάντευτη καθαρότητα αερίου είναι αδιαπραγμάτευτη για τις βιομηχανίες ηλεκτρονικών και ημιαγωγών;

Η ανάγκη για ακλόνητη καθαρότητα αερίου στο βιομηχανίες ηλεκτρονικών και ημιαγωγών δεν είναι απλώς μια προτίμηση? είναι μια θεμελιώδης απαίτηση που καθοδηγείται από τη φυσική και τα οικονομικά της σύγχρονης κατασκευής συσκευών. Ως ημιαγωγός τα χαρακτηριστικά της συσκευής συρρικνώνονται σε κλίμακα νανομέτρων, η ευαισθησία τους σε οποιαδήποτε μορφή μόλυνση εκτοξεύεται στα ύψη. Ενα ακαθαρσία που μπορεί να ήταν αμελητέο σε παλαιότερες, μεγαλύτερες συσκευές μπορεί τώρα να προκαλέσει καταστροφικές αστοχίες σε μάρκες αιχμής. Αυτό επηρεάζει άμεσα την απόδοση – το ποσοστό των καλών μαρκών ανά γκοφρέτα – και ακόμη και μια μικρή πτώση στην απόδοση μπορεί να μεταφραστεί σε εκατομμύρια δολάρια σε χαμένα έσοδα για ένα ημιαγωγός κατασκευαστής.

Σκεφτείτε την περίπλοκη αρχιτεκτονική ενός σύγχρονου μικροεπεξεργαστή ή τσιπ μνήμης. Περιέχει δισεκατομμύρια τρανζίστορ, το καθένα ένα θαύμα μικροσκοπικής μηχανικής. Η απόδοση αυτών των τρανζίστορ εξαρτάται από τις ακριβείς ηλεκτρικές ιδιότητες του ημιαγωγός υλικά που χρησιμοποιούνται, τα οποία, με τη σειρά τους, είναι πολύ ευαίσθητα ακαθαρσίες. Για παράδειγμα, ορισμένα μεταλλικές ακαθαρσίες μπορεί να εισάγει ανεπιθύμητα επίπεδα ενέργειας μέσα στο διάκενο ζώνης πυριτίου, οδηγώντας σε αυξημένο ρεύμα διαρροής ή μειωμένη κινητικότητα του φορέα. Αυτό σημαίνει πιο αργές, λιγότερο αποδοτικές ή εντελώς μη λειτουργικές συσκευές. Αεριώδης ακαθαρσίες όπως το οξυγόνο ή η υγρασία μπορεί να οδηγήσει στο σχηματισμό ανεπιθύμητων στρωμάτων οξειδίου, αλλάζοντας το πάχος του φιλμ ή τις ιδιότητες διεπαφής που είναι κρίσιμες για τη λειτουργία της συσκευής. Το συνολικό ποιότητα φυσικού αερίου μεταφράζεται άμεσα σε ποιότητα του προϊόντος και αξιοπιστία.

Επιπλέον, το βιομηχανίες ηλεκτρονικών και ημιαγωγών χαρακτηρίζονται από εξαιρετικά περίπλοκες και δαπανηρές διαδικασίες παραγωγής. Ένα single ημιαγωγός Το εργοστάσιο κατασκευής ("fab") μπορεί να κοστίσει δισεκατομμύρια δολάρια για την κατασκευή και τον εξοπλισμό. Ο αέρια που χρησιμοποιούνται αποτελούν αναπόσπαστο μέρος πολλών από αυτά τα δαπανηρά βήματα διαδικασίας. Αν α ειδικό αέριο είναι μολυσμένο με ένα ακαθαρσία, δεν επηρεάζει μόνο τις γκοφρέτες που επεξεργάζονται αυτήν τη στιγμή. μπορεί επίσης να μολύνει τον ίδιο τον ακριβό εξοπλισμό επεξεργασίας. Αυτό μπορεί να οδηγήσει σε παρατεταμένο χρόνο διακοπής λειτουργίας για τον καθαρισμό και τον επαναπροσδιορισμό, αυξάνοντας περαιτέρω το κόστος και διαταράσσει τα χρονοδιαγράμματα παραγωγής – ένα σημαντικό σημείο πόνου για κάποιον όπως ο Mark Shen, ο οποίος βασίζεται στην έγκαιρη παράδοση για να καλύψει τις απαιτήσεις των πελατών του. Επομένως, η διασφάλιση της καθαρότητα ηλεκτρονικών ειδικών αερίων μέσω αυστηρών ανάλυση ακαθαρσιών είναι μια κρίσιμη στρατηγική μετριασμού του κινδύνου για ολόκληρη την αλυσίδα εφοδιασμού. Η εστίαση σε αέρια υψηλής καθαρότητας είναι αμείλικτο γιατί τα στοιχήματα είναι απίστευτα υψηλά.

Ποιες βασικές προκλήσεις αντιμετωπίζουμε στην ανάλυση των μεταλλικών ακαθαρσιών σε ειδικά αέρια;

Αναλύοντας μεταλλικές ακαθαρσίες σε ειδικά αέρια, ιδιαίτερα αυτά που χρησιμοποιούνται στο ημιαγωγός βιομηχανία, παρουσιάζει ένα μοναδικό σύνολο προκλήσεων. Η κύρια δυσκολία πηγάζει από τις εξαιρετικά χαμηλές συγκεντρώσεις στις οποίες αυτές ακαθαρσίες μπορεί να είναι προβληματική – συχνά στην περιοχή μέρη ανά δισεκατομμύριο (ppb) ή ακόμη και μέρη ανά τρισεκατομμύριο (ppt). Ο εντοπισμός και ο ακριβής ποσοτικός προσδιορισμός τέτοιων λεπτών ποσών απαιτεί όχι μόνο εξαιρετικά ευαίσθητα αναλυτικά όργανα όπως ICP-MS αλλά και εξαιρετικά καθαρά περιβάλλοντα ανάλυσης και σχολαστικά πρωτόκολλα χειρισμού δειγμάτων για την αποφυγή εισαγωγής εξωτερικών μόλυνση.

Μια σημαντική πρόκληση είναι η εισαγωγή του δείγματος. Πολοί ειδικά αέρια που χρησιμοποιούνται σε ηλεκτρονική είναι εξαιρετικά αντιδραστικά, διαβρωτικά ή ακόμα και πυροφορικά (αναφλέγονται αυθόρμητα στον αέρα). Ασφαλής και αποτελεσματική μεταφορά αυτών αέρια σε ένα αναλυτικό όργανο όπως ένα ICP-MS χωρίς να αλλοιωθεί το δείγμα αερίου ή η μόλυνση του οργάνου απαιτεί εξειδικευμένες διεπαφές και διαδικασίες χειρισμού. Για παράδειγμα, απευθείας ένεση α διαβρωτικό αέριο όπως το υδροχλώριο (HCl) σε ένα πρότυπο ICP-MS το σύστημα μπορεί να το βλάψει σοβαρά. Επομένως, έμμεσες μέθοδοι, όπως η παγίδευση πρόσκρουσης (διοχέτευση του αερίου μέσω ενός υγρού για σύλληψη ακαθαρσίες) ή κρυογονική παγίδευση, χρησιμοποιούνται συχνά. Ωστόσο, αυτές οι μέθοδοι μπορούν να εισαγάγουν τις δικές τους πιθανές πηγές μόλυνση ή απώλεια αναλυόμενης ουσίας εάν δεν εκτελεστεί τέλεια. Η επιλογή του φέρον αέριο για αραίωση, εάν χρειάζεται, πρέπει επίσης να είναι άψογη καθαρότητα.

Μια άλλη πρόκληση είναι το «φαινόμενο μήτρας». Ο όγκος αέριο η ίδια (π.χ. αργόν, άζωτο, υδρογόνο) μπορεί να επηρεάσει την ανίχνευση ίχνος ακαθαρσιών. Για παράδειγμα, σε ICP-MS, το πλάσμα σχηματίστηκε από τον όγκο αέριο μπορεί να δημιουργήσει πολυατομικά ιόντα που έχουν την ίδια αναλογία μάζας προς φορτίο με κάποιο στόχο μεταλλικές ακαθαρσίες, που οδηγεί σε ψευδώς θετικά αποτελέσματα ή ανακριβή ποσοτικοποίηση. Οι αναλυτές πρέπει να χρησιμοποιούν τεχνικές όπως κύτταρα σύγκρουσης/αντίδρασης στο ICP-MS ή φασματομετρία μάζας υψηλής ευκρίνειας για να ξεπεραστούν αυτές οι φασματικές παρεμβολές. Επιπλέον, τα πρότυπα βαθμονόμησης που χρησιμοποιούνται για την ποσοτικοποίηση ακαθαρσίες μετάλλων πρέπει να είναι εξαιρετικά ακριβής και ανιχνεύσιμη και ολόκληρη η αναλυτική διαδικασία πρέπει να επικυρώνεται για να διασφαλίζεται η αξιοπιστία του ανάλυση ακαθαρσιών αποτελέσματα. Εμείς, ως προμηθευτής, ανησυχούμε επίσης για την ακεραιότητα του φιάλες αερίου και τις δυνατότητές τους να συνεισφέρουν μεταλλικές ακαθαρσίες με την πάροδο του χρόνου, κάτι που απαιτεί συνεχή ποιοτικό έλεγχο.

Μπορεί η χρήση μιας συσκευής ανταλλαγής αερίου να βελτιώσει την ακρίβεια της μέτρησης ιχνοακαθαρσιών;

Ναί, χρησιμοποιώντας συσκευή ανταλλαγής αερίων μπορεί πράγματι να διαδραματίσει σημαντικό ρόλο στην ενίσχυση της ακρίβειας του μέτρηση ιχνών ακαθαρσιών, ειδικά όταν αντιμετωπίζετε προκλήσεις αέριο πίνακες ή όταν στοχεύετε σε εξαιρετικά χαμηλά όρια ανίχνευσης. ΕΝΑ συσκευή ανταλλαγής αερίων, που μερικές φορές αναφέρεται ως σύστημα εξάλειψης μήτρας, ουσιαστικά λειτουργεί με την επιλεκτική αφαίρεση του όγκου αέριο (το κύριο συστατικό του δείγμα αερίου) ενώ συγκεντρώνετε το ίχνος ακαθαρσιών ενδιαφέροντος. Αυτό το βήμα προ-συγκέντρωσης μπορεί να βελτιώσει δραματικά την ευαισθησία των επακόλουθων αναλυτικών τεχνικών όπως ICP-MS ή αέριος χρωματογράφος συστήματα.

Η αρχή πίσω από πολλά συσκευές ανταλλαγής αερίων περιλαμβάνει μια ημιπερατή μεμβράνη ή έναν μηχανισμό επιλεκτικής προσρόφησης/εκρόφησης. Για παράδειγμα, μια μεμβράνη παλλαδίου μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την επιλεκτική αφαίρεση υδρογόνου από α μίγμα αερίων, επιτρέποντας άλλα ακαθαρσίες στα αέρια να συγκεντρωθεί και να περάσει σε α ανιχνευτής. Ομοίως, συγκεκριμένα προσροφητικά υλικά μπορούν να παγιδεύσουν ορισμένους ακαθαρσίες από ένα ρέον αέριο ρεύμα, το οποίο στη συνέχεια μπορεί να εκροφηθεί θερμικά σε μικρότερο όγκο καθαρού φέρον αέριο για ανάλυση. Με τη μείωση της ποσότητας χύδην αέριο φτάνοντας στο ανιχνευτής, αυτές οι συσκευές ελαχιστοποιούν τις παρεμβολές μήτρας, μειώνουν τον θόρυβο του περιβάλλοντος και αυξάνουν αποτελεσματικά την αναλογία σήματος προς θόρυβο για τον στόχο ίχνος ακαθαρσιών. Αυτό μπορεί να οδηγήσει σε χαμηλότερο όριο ανίχνευσης.

Τα οφέλη του χρησιμοποιώντας συσκευή ανταλλαγής αερίων είναι ιδιαίτερα εμφανείς κατά την ανάλυση ακαθαρσίες στα ηλεκτρονικά αέρια που είναι δύσκολο να χειριστούν άμεσα ή που προκαλούν σημαντικές παρεμβολές σε όργανα ανάλυσης. Για παράδειγμα, όταν προσπαθείτε να μετρήσετε ίχνη οξυγόνου ή υγρασίας σε ένα εξαιρετικά αντιδραστικό ειδικό αέριο, α συσκευή ανταλλαγής αερίων θα μπορούσε ενδεχομένως να τα διαχωρίσει ακαθαρσίες σε πιο καλοήθη φέρον αέριο σαν αργόν ή ήλιο πριν φτάσουν στο ανιχνευτής. Αυτό όχι μόνο βελτιώνει την ακρίβεια, αλλά μπορεί επίσης να προστατεύσει ευαίσθητα αναλυτικά στοιχεία. Ως κατασκευαστής του 99,999% Καθαρότητα 50L Κύλινδρος Xenon Gas, κατανοούμε την αξία τέτοιων προηγμένων τεχνικών για την επαλήθευση του εξαιρετικού καθαρότητα των σπάνιων και ειδικά αέρια. Αυτή η τεχνολογία βοηθά στο κρίσιμο καθαρισμός αερίου και στάδια επαλήθευσης.

Ο κρίσιμος σύνδεσμος: Ανάλυση ακαθαρσιών σε αέρια που χρησιμοποιούνται απευθείας στην κατασκευή ημιαγωγών.

Ο αέρια που χρησιμοποιούνται απευθείας στην κατασκευή ημιαγωγών είναι η ψυχή της διαδικασίας κατασκευής. Αυτά περιλαμβάνουν όχι μόνο χύδην αέρια όπως το άζωτο και αργόν, αλλά και μια ευρεία γκάμα από ηλεκτρονικά ειδικά αέρια όπως επιταξιακά αέρια (π.χ. σιλάνιο, γερμανικό για την καλλιέργεια κρυσταλλικών στρωμάτων), αέρια χάραξης (π.χ. NF3, SF6, Cl2 για μοτίβο), αέρια εμφύτευσης ιόντων (π.χ. αρσίνη, φωσφίνη, τριφθοριούχο βόριο για ντόπινγκ) και αέρια εναπόθεσης. Για καθένα από αυτά απαιτούνται αέρια, το επίπεδο και το είδος του αποδεκτού ακαθαρσία ορίζονται αυστηρά επειδή οποιαδήποτε απόκλιση μπορεί να μεταφραστεί άμεσα σε ελαττώματα στο ημιαγωγός όστια. Αυτό κάνει ανάλυση ακαθαρσιών για αυτά αέρια διεργασίας ένα απολύτως κρίσιμο βήμα ποιοτικού ελέγχου.

Εξετάστε την εναπόθεση ενός λεπτού στρώματος διοξειδίου του πυριτίου, ενός κοινού μονωτή στα τρανζίστορ. Αν το οξυγόνο χρησιμοποιείται αέριο για αυτή τη διαδικασία περιέχει υδρογονάνθρακες ακαθαρσίες, άνθρακας μπορεί να ενσωματωθεί στο στρώμα οξειδίου, υποβαθμίζοντας τις μονωτικές του ιδιότητες και δυνητικά οδηγώντας σε αστοχία της συσκευής. Ομοίως, εάν μια χαλκογραφία αέριο περιέχει ένα απροσδόκητο ακαθαρσία, μπορεί να αλλάξει τον ρυθμό χάραξης ή την επιλεκτικότητα, οδηγώντας σε χαρακτηριστικά που είναι πολύ μεγάλα, πολύ μικρά ή λανθασμένα σχήματα. Ακόμη και ένα ακαθαρσία σε μια αδρανές αέριο σαν Κύλινδρος αερίου αργού που χρησιμοποιείται για ψεκασμό μπορεί να μεταφερθεί στην επιφάνεια της γκοφρέτας, επηρεάζοντας την ποιότητα του φιλμ. Ο αντίκτυπος ενός ακαθαρσία είναι συχνά συγκεκριμένη διαδικασία, που σημαίνει an ακαθαρσία ανεκτό σε ένα βήμα μπορεί να είναι κρίσιμο μολυσματικό σε άλλο.

Αυτός ο κρίσιμος σύνδεσμος απαιτεί μια ολοκληρωμένη προσέγγιση ανάλυση ακαθαρσιών. Δεν είναι μόνο ο έλεγχος του τελικού προϊόντος. περιλαμβάνει την παρακολούθηση των πρώτων υλών, των ροών κατά τη διαδικασία και του τελικού αέριο στάδια καθαρισμού. Για ειδικότητα ημιαγωγών αέρια, οι προδιαγραφές για ακαθαρσίες σε ημιαγωγούς Οι εφαρμογές είναι συχνά εξαιρετικά περιορισμένες, ωθώντας τα όρια της αναλυτικής ανίχνευσης. Συνεργαζόμαστε στενά με τους πελάτες μας στο ημιαγωγών και ηλεκτρονικών πεδίο για την κατανόηση των ειδικών τους ακαθαρσία ευαισθησίες για διαφορετικά αέρια και μείγματα αερίων. Αυτή η συνεργατική προσέγγιση βοηθά να διασφαλιστεί ότι η αέρια ειδικής καθαρότητας προμηθεύουμε ικανοποιούμε με συνέπεια τις απαιτητικές απαιτήσεις των προηγμένων διαδικασιών παραγωγής τους. Η πρόκληση έγκειται στην ανίχνευση α ευρύ φάσμα ακαθαρσιών σε συνεχώς μειούμενα επίπεδα.

Πέρα από το εργαστήριο: Βέλτιστες πρακτικές για το χειρισμό ημιαγωγικών αερίων υψηλής καθαρότητας για την πρόληψη της μόλυνσης.

Διασφάλιση του καθαρότητα ηλεκτρονικών ειδικών αερίων δεν τελειώνει όταν το αέριο εγκαταλείπει την παραγωγική μας μονάδα. Διατηρώντας το καθαρότητα μέχρι το σημείο χρήσης σε α ημιαγωγός Το fab απαιτεί σχολαστική προσοχή στο χειρισμό, την αποθήκευση και τη διανομή. Ακόμα και το υψηλότερο αέριο καθαρότητας μπορεί να μολυνθεί εάν δεν γίνει σωστή διαχείριση. Στην Huazhong Gas, δεν επικεντρωνόμαστε μόνο στην παραγωγή αέρια υψηλής καθαρότητας αλλά και συμβουλεύουμε τους πελάτες μας σχετικά με τις βέλτιστες πρακτικές για την αποτροπή της κατάντιας μόλυνση.

Οι βασικές βέλτιστες πρακτικές περιλαμβάνουν:

• Επιλογή εξαρτημάτων: Όλα τα εξαρτήματα στο σύστημα παροχής αερίου – συμπεριλαμβανομένων φιάλες αερίου, ρυθμιστές, βαλβίδες, σωλήνες και εξαρτήματα – πρέπει να είναι κατασκευασμένα από κατάλληλα υλικά (π.χ. ηλεκτρογυαλισμένο ανοξείδωτο χάλυβα) και να είναι ειδικά καθαρισμένα και πιστοποιημένα για εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα υπηρεσία (UHP). Η χρήση λανθασμένων υλικών μπορεί να οδηγήσει σε εξάτμιση του αερίου ακαθαρσίες ή α μεταλλική ακαθαρσία έκπλυση στο ροή αερίου.
• Ακεραιότητα συστήματος: Το σύστημα παροχής αερίου πρέπει να είναι στεγανό. Ακόμη και μικροσκοπικές διαρροές μπορούν να επιτρέψουν την ατμοσφαιρική ρύπους όπως το οξυγόνο, η υγρασία και σωματίδια θέμα να εισέλθει στο σύστημα, σε κίνδυνο καθαρότητα αερίου. Ο τακτικός έλεγχος διαρροών είναι απαραίτητος.
• Διαδικασίες καθαρισμού: Οι σωστές διαδικασίες καθαρισμού είναι κρίσιμες κάθε φορά που πραγματοποιείται σύνδεση ή αλλαγή κυλίνδρου. Αυτό περιλαμβάνει το ξέπλυμα των γραμμών με α αδρανές αέριο υψηλής καθαρότητας (σαν αργόν ή άζωτο) για την απομάκρυνση τυχόν παγιδευμένου αέρα ή ακαθαρσίες. Ο ανεπαρκής καθαρισμός είναι μια κοινή πηγή μόλυνση. Συχνά προτείνουμε αυτοματοποιημένα πάνελ καθαρισμού για να διασφαλιστεί η συνέπεια.
• Ειδικός Εξοπλισμός: Χρήση αποκλειστικών ρυθμιστών και γραμμών για συγκεκριμένα αέρια ή οικογένειες των αέρια μπορεί να αποτρέψει τη διασταυρούμενη μόλυνση. Αυτό είναι ιδιαίτερα σημαντικό κατά την εναλλαγή μεταξύ ενός αδρανές αέριο και ένα αντιδραστικό ή διαβρωτικό αέριο.
• Χειρισμός κυλίνδρων: Φιάλες αερίου πρέπει να αντιμετωπίζονται με προσοχή για να αποφευχθεί η ζημιά. Θα πρέπει να φυλάσσονται σε καθορισμένους, καλά αεριζόμενους χώρους και θα πρέπει να ασκείται η διαχείριση αποθεμάτων "πρώτο εισερχόμενο, πρώτη έξοδο". Χρησιμοποιώντας αφιερωμένη υγρασία και οξυγόνο Οι αναλυτές σε κρίσιμα σημεία μπορούν επίσης να βοηθήσουν στην παρακολούθηση τυχόν εισόδου αυτών των κοινών ακαθαρσίες.

Για πελάτες όπως ο Mark Shen, οι οποίοι προμηθεύονται αέρια για μεταπώληση ή για χρήση στην κατασκευή, η κατανόηση αυτών των πρακτικών χειρισμού είναι ζωτικής σημασίας για τη διατήρηση του ποιότητα του προϊόντος υπόσχονται στους δικούς τους πελάτες. Είναι κοινή ευθύνη. Διασφαλίζουμε τη δική μας Κύλινδρος υδρογόνου προϊόντα, για παράδειγμα, γεμίζονται και συντηρούνται για την πρόληψη ακαθαρσία εισόδου, αλλά το σύστημα του τελικού χρήστη παίζει εξίσου σημαντικό ρόλο. Η καταπολέμηση ακαθαρσία είναι μια συνεχής προσπάθεια από την παραγωγή στην εφαρμογή.

Κοιτάζοντας την Κρυστάλλινη Μπάλα: Ποιες μελλοντικές καινοτομίες μπορούμε να περιμένουμε στην ανίχνευση ακαθαρσιών για ηλεκτρονικά αέρια ποιότητας;

Η αναζήτηση για όλο και υψηλότερο καθαρότητα σε αέρια ηλεκτρονικής ποιότητας και πιο ευαίσθητη ανίχνευση ακαθαρσιών μέθοδοι είναι ένα συνεχές ταξίδι, με γνώμονα τον αδυσώπητο ρυθμό της καινοτομίας στο ημιαγωγός βιομηχανία. Καθώς τα χαρακτηριστικά της συσκευής συρρικνώνονται περαιτέρω στη σφαίρα κάτω των 10 νανομέτρων και αναδύονται νέα υλικά και αρχιτεκτονικές (όπως τα τρανζίστορ 3D NAND και Gate-All-Around), ο αντίκτυπος ακόμη πιο εξασθενημένου ίχνος ακαθαρσιών θα γίνει πιο έντονο. Αυτό θα απαιτήσει περαιτέρω προόδους και στα δύο καθαρισμός αερίου τεχνολογίες και ανάλυση ακαθαρσιών δυνατότητες.

Μπορούμε να προβλέψουμε διάφορες τάσεις:

• Κατώτερα όρια ανίχνευσης: Αναλυτικές τεχνικές όπως ICP-MS, Αέρια Χρωματογραφία-Φασματομετρία Μάζας (GC-MS) και Φασματοσκοπία Δακτυλίου Κάτω κοιλότητας (CRDS) θα συνεχίσουν να εξελίσσονται, ωθώντας όρια ανίχνευσης για ένα ευρύτερο γκάμα ακαθαρσιών σε μονοψήφια επίπεδα ppt ή ακόμα και στον τομέα ppq. Αυτό θα απαιτήσει καινοτομίες σε πηγές ιόντων, αναλυτές μάζας και ανιχνευτής τεχνολογία.
• Παρακολούθηση επί τόπου και σε πραγματικό χρόνο: Υπάρχει μια αυξανόμενη ζήτηση για αναλυτικά συστήματα που μπορούν να παρακολουθούν καθαρότητα αερίου σε πραγματικό χρόνο, απευθείας στο σημείο χρήσης εντός του ημιαγωγός fab. Αυτό επιτρέπει την άμεση ανίχνευση οποιουδήποτε μόλυνση γεγονότα ή παρασύρσεις μέσα ακαθαρσία επίπεδα, επιτρέποντας ταχύτερη διορθωτική δράση και ελαχιστοποιώντας την απώλεια προϊόντος. Οι μικροσκοπικοί αισθητήρες και οι προηγμένοι χημειομετρικοί αλγόριθμοι θα παίξουν βασικό ρόλο εδώ.
• Ανάλυση σύνθετων μιγμάτων αερίων: Μελλοντικός ημιαγωγός διαδικασίες μπορεί να περιλαμβάνουν πιο πολύπλοκες μίγματα αερίων με πολλαπλά αντιδραστικά συστατικά. Αναλύοντας ακαθαρσίες σε τέτοιους δύσκολους πίνακες θα απαιτηθούν νέες αναλυτικές στρατηγικές και εξελιγμένα εργαλεία ερμηνείας δεδομένων. Η ικανότητα μέτρησης ενός ακαθαρσία σε ένα στοιχείο χωρίς παρεμβολές από άλλα θα είναι ζωτικής σημασίας.
• Εστίαση στις ακαθαρσίες "Killer": Η έρευνα θα συνεχιστεί για τον εντοπισμό συγκεκριμένων ακαθαρσίες σε ημιαγωγούς επεξεργασία που έχουν δυσανάλογα μεγάλο αντίκτυπο στην απόδοση ή την απόδοση της συσκευής, ακόμη και σε εξαιρετικά χαμηλά επίπεδα. Οι αναλυτικές μέθοδοι θα γίνουν πιο στοχευμένες σε αυτούς τους «δολοφόνους» ακαθαρσίες.
• Data Analytics και AI: Οι τεράστιες ποσότητες δεδομένων που παράγονται από προηγμένες ανάλυση ακαθαρσιών Τα συστήματα θα αξιοποιηθούν χρησιμοποιώντας τεχνητή νοημοσύνη και μηχανική μάθηση για τον εντοπισμό τάσεων, την πρόβλεψη των δυνατοτήτων μόλυνση ζητήματα και βελτιστοποίηση καθαρισμός αερίου διαδικασίες. Αυτό μπορεί να βοηθήσει στον προληπτικό έλεγχο ποιότητας παρά στην αντιδραστική επίλυση προβλημάτων.

Στην Huazhong Gas, δεσμευόμαστε να παραμείνουμε στην πρώτη γραμμή αυτών των εξελίξεων. Επενδύουμε συνεχώς στην έρευνα και την ανάπτυξη, συνεργαζόμενοι με εταίρους του κλάδου και ακαδημαϊκά ιδρύματα για την προώθηση της επιστήμης αέριο υψηλής καθαρότητας παραγωγή και ανάλυση ακαθαρσιών. Για τους πελάτες μας, συμπεριλαμβανομένων εκείνων που γνωρίζουν την ποιότητα όπως ο Mark Shen, αυτό σημαίνει αξιόπιστη προμήθεια ηλεκτρονικά ειδικά αέρια που ανταποκρίνονται στις εξελισσόμενες ανάγκες των βιομηχανίες ηλεκτρονικών και ημιαγωγών. Η γκάμα μας από Ήλιο, γνωστό για την αδράνεια και τη χρήση του σε εξειδικευμένες εφαρμογές, επωφελείται επίσης από αυτόν τον προηγμένο αναλυτικό έλεγχο για την εξασφάλιση ελάχιστων ακαθαρσία επίπεδα.

Βασικά συμπεράσματα που πρέπει να θυμάστε:

• Ηλεκτρονικά ειδικά αέρια είναι θεμελιώδεις για κατασκευή ημιαγωγών, και τους καθαρότητα είναι αδιαπραγμάτευτη.
• Ακόμη και ίχνος ακαθαρσιών, μετρημένη σε ppb ή ppt, μπορεί να προκαλέσει σημαντικά ελαττώματα και απώλεια απόδοσης ημιαγωγός συσκευές.
• Κοινός ακαθαρσίες στα αέρια περιλαμβάνουν άλλα αέρια (όπως O2, H2O), μεταλλικές ακαθαρσίες, και σωματίδια ύλη.
• ICP-MS είναι μια τεχνολογία ακρογωνιαίο λίθο για την ανίχνευση α ευρύ φάσμα ακαθαρσιών, ειδικά μεταλλικές ακαθαρσίες, σε εξαιρετικά χαμηλά επίπεδα.
• Διατήρηση καθαρότητα αερίου απαιτεί σχολαστικό χειρισμό και ακεραιότητα συστήματος από το κύλινδρος αερίου στο σημείο χρήσης για την πρόληψη μόλυνση.
• Το μέλλον θα δει ακόμα χαμηλότερα όρια ανίχνευσης, παρακολούθηση σε πραγματικό χρόνο και τεχνητή νοημοσύνη ανάλυση ακαθαρσιών για ηλεκτρονικός βαθμός αέρια.
• Έλεγχος κάθε δυνατότητας ακαθαρσία είναι ζωτικής σημασίας για τη διασφάλιση της ποιότητα του προϊόντος και αξιοπιστία του σύγχρονου ηλεκτρονική.