সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনে ফ্লোরিন রসায়নের শক্তি আনলক করা: একটি জটিল গ্যাস বিশ্লেষণ

2026-01-31

আধুনিক বিশ্ব চিপস দিয়ে চলে। আপনার পকেটে থাকা স্মার্টফোন থেকে শুরু করে মহাকাশ প্রকৌশলে নির্দেশিকা সিস্টেম পর্যন্ত, ক্ষুদ্র সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস ডিজিটাল যুগের অমিমাংসিত নায়ক। কিন্তু নায়কের পেছনে কি নায়ক? এটি বিশেষ গ্যাসের অদৃশ্য, প্রায়শই অস্থির জগত। বিশেষ করে, ফ্লোরিন রসায়ন তে মুখ্য ভূমিকা পালন করে সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়া যা কেবল প্রতিস্থাপন করা যাবে না।

আপনি যদি একটি সাপ্লাই চেইন পরিচালনা করেন বা পণ্যের গুণমান তত্ত্বাবধান করেন অর্ধপরিবাহী ফাউন্ড্রি, আপনি জানেন যে ত্রুটির মার্জিন শূন্য। আর্দ্রতার একটি একক স্পাইক বা একটি আণুবীক্ষণিক কণা বহু মিলিয়ন ডলারের উৎপাদনকে নষ্ট করে দিতে পারে। এই নিবন্ধটি ভূমিকার গভীরে ডুব দেয় ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাসগুলি—কেন আমরা সেগুলি ব্যবহার করি, নির্দিষ্ট রসায়ন যা সেগুলিকে কার্যকর করে তোলে এবং সাপ্লাই চেইন স্থিতিশীলতা এবং বিশুদ্ধতার গুরুত্বপূর্ণ গুরুত্ব৷ আমরা কিভাবে এই অন্বেষণ করা হবে উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাস ব্যবহার করা হয় এচ এবং জমা দেওয়ার পদক্ষেপগুলি, এবং কেন একটি নির্ভরযোগ্য অংশীদারের কাছ থেকে সেগুলি সোর্স করা সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ সিদ্ধান্ত এই বছর আপনি নিতে পারেন৷

উচ্চ প্রযুক্তির সেমিকন্ডাক্টর ল্যাবরেটরি এচিং প্রক্রিয়ার জন্য ফ্লোরিন গ্যাস ব্যবহার করে

বিষয়বস্তু

কেন সেমিকন্ডাক্টর শিল্প ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাসের উপর এত নির্ভরশীল?

বুঝতে অর্ধপরিবাহী শিল্প, আপনাকে পর্যায় সারণী দেখতে হবে। সিলিকন ক্যানভাস, কিন্তু ফ্লোরিন ব্রাশ হয় দ সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়ায় উপকরণের স্তর তৈরি করা এবং তারপর সার্কিট তৈরি করার জন্য বেছে বেছে সেগুলি সরানো জড়িত। এই অপসারণ প্রক্রিয়াকে বলা হয় এচিং।

ফ্লোরিন সবচেয়ে ইলেক্ট্রোনেটিভ উপাদান। সহজ ভাষায়, এটি ইলেকট্রনের জন্য অবিশ্বাস্যভাবে ক্ষুধার্ত। আমরা যখন পরিচয় করিয়ে দিই ফ্লোরিন গ্যাস বা ফ্লোরিনযুক্ত যৌগ একটি প্লাজমা চেম্বারে, ফ্লোরিন পরমাণুগুলি সিলিকনের সাথে আক্রমণাত্মকভাবে বিক্রিয়া করে এবং সিলিকন ডাই অক্সাইড. এই রাসায়নিক বিক্রিয়া কঠিন সিলিকনকে উদ্বায়ী গ্যাসে পরিণত করে (যেমন সিলিকন টেট্রাফ্লোরাইড) যা সহজেই পাম্প করা যায়। এই রাসায়নিক বিক্রিয়া ছাড়া, আমরা আধুনিকতার জন্য প্রয়োজনীয় মাইক্রোস্কোপিক পরিখা এবং যোগাযোগের গর্ত তৈরি করতে পারতাম না। ইলেকট্রনিক ডিভাইস.

ইন উচ্চ ভলিউম উত্পাদন, গতি এবং নির্ভুলতা সবকিছু. ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাস থ্রুপুট আপ রাখার জন্য প্রয়োজনীয় উচ্চ এচ রেট প্রদান করে, পাশাপাশি এটির নীচের স্তরটিকে ক্ষতি না করে একটি উপাদান কেটে ফেলার জন্য নির্বাচনীতা প্রদান করে। এটি একটি সূক্ষ্ম ভারসাম্যমূলক কাজ রসায়ন এবং পদার্থবিদ্যা।

উচ্চ-নির্ভুলতা এচিংয়ের জন্য ফ্লোরিন রসায়নকে কী এত অনন্য করে তোলে?

আপনি জিজ্ঞাসা করতে পারেন, কেন ক্লোরিন বা ব্রোমিন ব্যবহার করবেন না? আমরা কিছু স্তরের জন্য করি। তবে, ফ্লোরিন রসায়ন সিলিকন-ভিত্তিক উপকরণ এচিং করার সময় একটি অনন্য সুবিধা প্রদান করে। সিলিকন এবং ফ্লোরিনের মধ্যে বন্ধন অবিশ্বাস্যভাবে শক্তিশালী। কখন ফ্লোরিনযুক্ত প্লাজমা ওয়েফারে আঘাত করে, প্রতিক্রিয়াটি এক্সোথার্মিক এবং স্বতঃস্ফূর্ত।

যাদুটি ঘটে প্লাজমা. ক অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়া চেম্বারে, আমরা কার্বন টেট্রাফ্লোরাইড (CF4) বা সালফার হেক্সাফ্লোরাইড (SF6) এর মতো একটি স্থিতিশীল গ্যাসে উচ্চ শক্তি প্রয়োগ করি। এটি গ্যাসকে বিচ্ছিন্ন করে, প্রতিক্রিয়াশীল মুক্তি দেয় ফ্লোরিন র্যাডিকেল এই র্যাডিকালগুলি পৃষ্ঠের উপর আক্রমণ করে ওয়েফার.

"এর নির্ভুলতা এচ চিপের কর্মক্ষমতা সংজ্ঞায়িত করে। যদি আপনার গ্যাসের বিশুদ্ধতা ওঠানামা করে, আপনার এচ রেট ওঠানামা করে এবং আপনার ফলন ক্র্যাশ হয়।"

এই ধারণা বাড়ে অ্যানিসোট্রপিক এচিং—পাশে না খেয়ে সোজা নিচে কাটা। মিশ্রিত করে ফ্লোরিন অন্যের সাথে প্রক্রিয়া গ্যাস, ইঞ্জিনিয়াররা পরিখার প্রোফাইল পুরোপুরি নিয়ন্ত্রণ করতে পারে। এই ক্ষমতাটি অপরিহার্য যখন আমরা ছোট নোডগুলিতে (7nm, 5nm এবং নীচে) চলে যাই, যেখানে এমনকি একটি ন্যানোমিটার বিচ্যুতিও ব্যর্থ হয়।

সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং এ গ্যাস কিভাবে উন্নত ইচ প্রক্রিয়া চালায়?

ইচ প্রসেস এর ভাস্কর্যের সরঞ্জাম fabs. দুটি প্রধান প্রকার রয়েছে: ভেজা খোদাই (তরল রাসায়নিক ব্যবহার করে হাইড্রোজেন ফ্লোরাইড) এবং শুকনো এচ (প্লাজমা ব্যবহার করে)। আধুনিক উন্নত অর্ধপরিবাহী নোডগুলি প্রায় একচেটিয়াভাবে শুষ্ক প্লাজমা এচিং এর উপর নির্ভর করে কারণ এটি অনেক বেশি সুনির্দিষ্ট।

একটি সাধারণ মধ্যে প্লাজমা এচিং ক্রম, ক ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাস পরিচয় করিয়ে দেওয়া হয়। চলুন ব্যবহৃত বিভিন্নতা দেখুন:

  • কার্বন টেট্রাফ্লোরাইড (CF4): অক্সাইড এচিং জন্য workhorse.
  • অক্টাফ্লুরোসাইক্লোবুটেন (C4F8): পরিখার পাশের দেয়ালে একটি পলিমার স্তর জমা করতে ব্যবহৃত হয়, নীচে গভীর খোদাই করার সময় তাদের রক্ষা করে।
  • সালফার হেক্সাফ্লোরাইড (SF6): অত্যন্ত দ্রুত সিলিকন এচিং হারের জন্য পরিচিত।

মধ্যে মিথস্ক্রিয়া প্লাজমা এবং স্তর জটিল। এতে আয়ন দ্বারা শারীরিক বোমাবর্ষণ এবং র‌্যাডিকেলের রাসায়নিক বিক্রিয়া জড়িত। দ সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন সরঞ্জাম এই গ্যাসগুলির প্রবাহ, চাপ এবং মিশ্রণকে কঠোরভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে হবে। যদি বিশেষ গ্যাস এতে আর্দ্রতার মতো অমেধ্য রয়েছে, এটি ডেলিভারি লাইন বা চেম্বারের মধ্যে হাইড্রোফ্লুরিক অ্যাসিড গঠন করতে পারে, যা ক্ষয় এবং কণার ত্রুটি সৃষ্টি করে।

ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাস ব্যবহার করে প্লাজমা এচিং চেম্বারের ক্লোজ আপ

নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড কেন চেম্বার পরিষ্কারের অ্যাপ্লিকেশনের রাজা?

যখন এচিং এবং পরিষ্কার করা হাতের মুঠোয় যান, উত্পাদন সরঞ্জাম পরিষ্কার করা ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের মতোই গুরুত্বপূর্ণ। সময় রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD), সিলিকন বা টংস্টেনের মতো উপকরণগুলি ওয়েফারে জমা হয়। যাইহোক, এই উপকরণগুলি চেম্বারের দেয়ালে প্রলেপ দেয়। যদি এই অবশিষ্টাংশগুলি তৈরি হয়, এটি ফ্লেক্স হয়ে যায় এবং ওয়েফারের উপর পড়ে, ত্রুটি সৃষ্টি করে।

প্রবেশ করুন নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড (NF3).

বছর আগে, শিল্প ব্যবহার করা হয় ফ্লোরিনেটেড গ্রিনহাউস চেম্বার পরিষ্কারের জন্য C2F6 এর মতো গ্যাস। যাইহোক, NF3 এর মান হয়ে উঠেছে চেম্বার পরিষ্কারের প্রক্রিয়া এর উচ্চ দক্ষতার কারণে। একটি দূরবর্তী প্লাজমা উৎসে ভাঙ্গা হলে, NF3 প্রচুর পরিমাণে উৎপন্ন করে ফ্লোরিন পরমাণু. এই পরমাণুগুলি চেম্বারের দেয়ালগুলি পরিষ্কার করে, শক্ত অবশিষ্টাংশগুলিকে পাম্প করা গ্যাসে পরিণত করে।

নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড পছন্দ করা হয় কারণ এটির ব্যবহারের হার বেশি (অনেক গ্যাস প্রকৃতপক্ষে ব্যবহৃত হয়) এবং পুরানো তুলনায় কম নির্গমন পরিষ্কার এজেন্ট. একটি সুবিধা পরিচালকের জন্য, এর অর্থ রক্ষণাবেক্ষণের জন্য কম ডাউনটাইম এবং দ্রুত থ্রুপুট।

কোন ফ্লোরিনযুক্ত যৌগগুলি উচ্চ-আয়তনের উত্পাদনের জন্য প্রয়োজনীয়?

সেমিকন্ডাক্টর সাপ্লাই চেইন নির্দিষ্ট একটি ঝুড়ি উপর নির্ভর করে ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাস. প্রতিটি একটি নির্দিষ্ট "রেসিপি" বা অ্যাপ্লিকেশন আছে. এ জিয়াংসু হুয়াজং গ্যাস, আমরা নিম্নলিখিত জন্য একটি ব্যাপক চাহিদা দেখতে:

গ্যাসের নাম সূত্র প্রাথমিক আবেদন মূল বৈশিষ্ট্য
কার্বন টেট্রাফ্লোরাইড CF4 অক্সাইড ইচ বহুমুখী, শিল্প মান.
সালফার হেক্সাফ্লোরাইড SF6 সিলিকন ইচ উচ্চ এচ রেট, উচ্চ ঘনত্ব।
নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড NF3 চেম্বার ক্লিনিং উচ্চ দক্ষতা, কম নির্গমন।
অক্টাফ্লুরোসাইক্লোবিউটেন C4F8 ডাইলেকট্রিক ইচ সাইডওয়াল সুরক্ষার জন্য পলিমারাইজিং গ্যাস।
হেক্সাফ্লুরোইথেন C2F6 অক্সাইড ইচ / পরিষ্কার উত্তরাধিকার গ্যাস, এখনও ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত.

এগুলো ফ্লোরিনযুক্ত যৌগ এর জীবন রক্ত উচ্চ ভলিউম উত্পাদন. এই একটি অবিচলিত প্রবাহ ছাড়া সেমিকন্ডাক্টরে গ্যাস উত্পাদন, লাইন বন্ধ. এটা যে সহজ. এ কারণেই এরিক মিলারের মতো ক্রয় ব্যবস্থাপক ক্রমাগত নজরদারি করছেন সরবরাহ চেইন বাধার জন্য

কেন উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাস সেমিকন্ডাক্টর ফলনের মেরুদণ্ড?

আমি এটিকে যথেষ্ট জোর দিতে পারি না: বিশুদ্ধতাই সবকিছু।

যখন আমরা কথা বলি উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাস, আমরা ঢালাইয়ের জন্য ব্যবহৃত "শিল্প গ্রেড" সম্পর্কে কথা বলছি না। আমরা 5N (99.999%) বা 6N (99.9999%) বিশুদ্ধতার কথা বলছি।

কেন? কারণ ক সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস ন্যানোমিটারে পরিমাপ করা বৈশিষ্ট্য রয়েছে। একটি ধাতব অশুদ্ধতার একটি একক অণু বা আর্দ্রতার একটি ট্রেস পরিমাণ (H2O) একটি শর্ট সার্কিট সৃষ্টি করতে পারে বা একটি স্তরকে আনুগত্য হতে বাধা দিতে পারে।

  • আর্দ্রতা: সাথে প্রতিক্রিয়া দেখায় ফ্লোরিন এইচএফ তৈরি করতে, যা গ্যাস বিতরণ ব্যবস্থাকে ক্ষয় করে।
  • অক্সিজেন: অনিয়ন্ত্রিতভাবে সিলিকনকে অক্সিডাইজ করে।
  • ভারী ধাতু: ট্রানজিস্টরের বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য ধ্বংস করুন।

একটি সরবরাহকারী হিসাবে, আমাদের কাজ নিশ্চিত করা যে উচ্চ বিশুদ্ধতা জেনন বা ইলেকট্রনিক গ্রেড নাইট্রাস অক্সাইড আপনি কঠোর পূরণ গ্রহণ শিল্প মান. আমরা সনাক্ত করতে উন্নত গ্যাস ক্রোমাটোগ্রাফি ব্যবহার করি অমেধ্য ট্রেস পার্টস পার বিলিয়ন পর্যন্ত (ppb)। একজন ক্রেতার জন্য, সার্টিফিকেট অফ অ্যানালাইসিস (COA) দেখা শুধু কাগজের কাজ নয়; এটা তাদের গ্যারান্টি যে সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন একটি বিপর্যয়কর ফলন ক্র্যাশ সম্মুখীন হবে না.

বিজ্ঞানী একটি ল্যাবে উচ্চ-বিশুদ্ধতার অর্ধপরিবাহী গ্যাস বিশ্লেষণ করছেন

শিল্প কিভাবে গ্রীনহাউস গ্যাস নির্গমন এবং GWP পরিচালনা করছে?

ঘরে একটি হাতি রয়েছে: পরিবেশ। অনেক ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাস একটি উচ্চ আছে গ্লোবাল ওয়ার্মিং পটেনশিয়াল (GWP). যেমন, সালফার হেক্সাফ্লোরাইড (SF6) অন্যতম শক্তিশালী গ্রীনহাউস গ্যাস মানুষ পরিচিত, একটি GWP সহ CO2 থেকে হাজার গুণ বেশি।

সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন শিল্প এর কার্বন পদচিহ্ন হ্রাস করার জন্য প্রচুর চাপের মধ্যে রয়েছে। এটি দুটি প্রধান পরিবর্তনের দিকে পরিচালিত করেছে:

  1. অবসান: ফ্যাবস তাদের নিষ্কাশন লাইনে বিশাল "বার্ন বক্স" বা স্ক্রাবার ইনস্টল করছে। এই সিস্টেমগুলি অপ্রতিক্রিয়াহীনকে ভেঙে দেয় গ্রীনহাউস গ্যাস বায়ুমণ্ডলে মুক্তি পাওয়ার আগে।
  2. প্রতিস্থাপন: গবেষকরা বিকল্প খুঁজছেন এচ কম GWP সহ গ্যাস। যাইহোক, পরিবেশগত প্রভাব ছাড়াই C4F8 বা SF6 এর মতো কাজ করে এমন একটি অণু খুঁজে পাওয়া রাসায়নিকভাবে কঠিন।

নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড এটি পরিষ্কার করার জন্য সঠিক দিকের একটি পদক্ষেপ ছিল কারণ এটি পুরানো পিএফসিগুলির তুলনায় আরও সহজে ভেঙে যায়, যার ফলে সামগ্রিকভাবে কম হয় নির্গমন যদি হ্রাস সিস্টেম সঠিকভাবে কাজ করে। হ্রাস করা গ্রীনহাউস গ্যাস নির্গমন এখন আর শুধু একটি জনসংযোগ পদক্ষেপ নয়; এটি ইইউ এবং মার্কিন যুক্তরাষ্ট্রে একটি নিয়ন্ত্রক প্রয়োজনীয়তা।

সেমিকন্ডাক্টর সাপ্লাই চেইন কি বিশেষ গ্যাসের ঘাটতির জন্য ঝুঁকিপূর্ণ?

বিগত কয়েক বছর যদি আমাদের কিছু শিখিয়ে থাকে, তা হলো সরবরাহ চেইন ভঙ্গুর হয় সেমিকন্ডাক্টর নির্মাতারা নিয়ন থেকে শুরু করে সবকিছুরই অভাবের সম্মুখীন হয়েছে ফ্লুরোপলিমার.

এর সরবরাহ ফ্লোরিন গ্যাস এবং এর ডেরিভেটিভগুলি ফ্লুরস্পার (ক্যালসিয়াম ফ্লোরাইড) খনির উপর নির্ভর করে। চীন এই কাঁচামালের একটি প্রধান বৈশ্বিক উৎস। যখন ভূ-রাজনৈতিক উত্তেজনা বেড়ে যায় বা লজিস্টিক রুটগুলো আটকে যায়, তখন এইসব সংকটের প্রাপ্যতা প্রক্রিয়া গ্যাস ড্রপ, এবং দাম আকাশচুম্বী.

এরিকের মতো একজন ক্রেতার জন্য, "ফোর্স ম্যাজিউর" এর ভয় আসল। এটি প্রশমিত করার জন্য, বুদ্ধিমান কোম্পানিগুলি তাদের সরবরাহকারীদের বৈচিত্র্য আনছে। তারা তাদের নিজেদের মালিকদের অংশীদার খুঁজছেন আইএসও-ট্যাঙ্ক এবং লজিস্টিক নেটওয়ার্ক স্থাপন করেছে। মধ্যে নির্ভরযোগ্যতা রসদ গ্যাসের বিশুদ্ধতার মতোই গুরুত্বপূর্ণ। আপনি সবচেয়ে বিশুদ্ধ থাকতে পারেন C4F8 গ্যাস বিশ্বে, কিন্তু যদি এটি একটি বন্দরে আটকে থাকে তবে এটি অকেজো ফ্যাব.

হাইড্রোজেন ফ্লোরাইড এবং অন্যান্য বিষাক্ত পদার্থ পরিচালনার জন্য নিরাপত্তা প্রোটোকল কি?

নিরাপত্তা আমাদের শিল্পের ভিত্তি। অনেক ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাসগুলি হয় বিষাক্ত, শ্বাসরোধকারী বা অত্যন্ত প্রতিক্রিয়াশীল। হাইড্রোজেন ফ্লোরাইড (HF), প্রায়শই ভেজা খোঁচায় ব্যবহৃত হয় বা উপজাত হিসাবে উৎপন্ন হয়, বিশেষ করে বিপজ্জনক। এটি ত্বকে প্রবেশ করে এবং হাড়ের গঠনকে আক্রমণ করে।

এই উপকরণগুলি পরিচালনা করার জন্য কঠোর প্রশিক্ষণ এবং বিশেষ সরঞ্জাম প্রয়োজন।

  • সিলিন্ডার: অভ্যন্তরীণ ক্ষয়ের জন্য অবশ্যই DOT/ISO প্রত্যয়িত এবং নিয়মিত পরিদর্শন করতে হবে।
  • ভালভ: ফুটো প্রতিরোধ করতে ডায়াফ্রাম ভালভ ব্যবহার করা হয়।
  • সেন্সর: সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবস গ্যাস সনাক্তকরণ সেন্সরে আবৃত থাকে যা সামান্য লিক এ অ্যালার্ম ট্রিগার করে।

যখন আমরা একটি সিলিন্ডার পূরণ করি ইলেকট্রনিক গ্রেড নাইট্রাস অক্সাইড বা একটি বিষাক্ত খোদাই, আমরা এটি একটি লোড করা অস্ত্রের মতো আচরণ করি। আমরা নিশ্চিত করি যে কণা আটকাতে সিলিন্ডারটি অভ্যন্তরীণভাবে পালিশ করা হয়েছে এবং ভালভটি ক্যাপ করা এবং সিল করা হয়েছে। আমাদের গ্রাহকদের জন্য, যে বুদ্ধিমান বাহক গ্যাস বা এচ্যান্ট নিরাপদে আসে, অনুগত প্যাকেজিং একটি বড় স্বস্তি।

সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের জন্য বিজোড় ইস্পাত গ্যাস সিলিন্ডারের নিরাপত্তা পরিদর্শন

সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত উপকরণগুলির জন্য কী সামনে রয়েছে?

অর্ধপরিবাহী উত্পাদন রোডম্যাপ আক্রমণাত্মক। গেট-অল-অ্যারাউন্ড (GAA) ট্রানজিস্টরের মতো চিপস 3D কাঠামোতে চলে যাওয়ার সাথে সাথে এর জটিলতা এচিং এবং পরিষ্কার করা বৃদ্ধি পায় আমরা আরো বহিরাগত জন্য একটি চাহিদা দেখছি ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাস মিশ্রণ যা পারমাণবিক নির্ভুলতার সাথে গভীর, সরু গর্ত খোদাই করতে পারে।

পারমাণবিক স্তর এচিং (ALE) একটি উদীয়মান কৌশল যা উপাদানকে এক সময়ে একটি পারমাণবিক স্তর সরিয়ে দেয়। এই অবিশ্বাস্যভাবে সুনির্দিষ্ট ডোজ প্রয়োজন প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস. তদ্ব্যতীত, "সবুজ" উত্পাদনের জন্য চাপ সম্ভবত নতুন গ্রহণকে চালিত করবে ফ্লোরিন রসায়ন যে কম সঙ্গে একই কর্মক্ষমতা প্রস্তাব জিডব্লিউপি.

ভবিষ্যত তাদের জন্য যারা গ্যাস সংশ্লেষণ এবং পরিশোধন উভয় ক্ষেত্রেই উদ্ভাবন করতে পারে। হিসাবে অর্ধপরিবাহী উপকরণ বিকশিত হয়, তাদের আকার দিতে ব্যবহৃত গ্যাসগুলিকেও বিবর্তিত হতে হবে।

উন্নত উপকরণ দিয়ে ভবিষ্যত সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার ফ্যাব্রিকেশন

মূল গ্রহণ

  • ফ্লোরিন অপরিহার্য: ফ্লোরিন রসায়ন এর জন্য মূল সক্ষমকারী এচ এবং পরিষ্কার পদক্ষেপ সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন.
  • পবিত্রতাই রাজা: উচ্চ-বিশুদ্ধতা (6N) ত্রুটি প্রতিরোধ এবং নিশ্চিত করতে অ-আলোচনাযোগ্য প্রক্রিয়া স্থিতিশীলতা.
  • গ্যাসের বিভিন্নতা: বিভিন্ন গ্যাস যেমন CF4, SF6, এবং নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড নির্দিষ্ট ভূমিকা পরিবেশন বানোয়াট.
  • পরিবেশগত প্রভাব: ব্যবস্থাপনা গ্রীনহাউস গ্যাস নির্গমন এবং হ্রাস একটি সমালোচনামূলক শিল্প চ্যালেঞ্জ.
  • সরবরাহ নিরাপত্তা: একটি শক্তিশালী সরবরাহ চেইন এবং নির্ভরযোগ্য অংশীদারদের উত্পাদন বন্ধ এড়াতে প্রয়োজন.

জিয়াংসু হুয়াজং গ্যাসে, আমরা এই চ্যালেঞ্জগুলি বুঝতে পারি কারণ আমরা তাদের প্রতিদিন বাস করি। আপনার প্রয়োজন কিনা উচ্চ বিশুদ্ধতা জেনন আপনার নতুন এচ প্রক্রিয়া বা আদর্শ শিল্প গ্যাসের নির্ভরযোগ্য ডেলিভারির জন্য, আমরা ভবিষ্যত গড়ার প্রযুক্তিকে সমর্থন করতে এখানে আছি।