ত্রুটিহীন সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের জন্য বৈদ্যুতিন বিশেষায়িত গ্যাসগুলিতে অশুদ্ধতা বিশ্লেষণের অপরিহার্য ভূমিকা
Huazhong গ্যাস শিল্প ও বিজ্ঞানের শিল্প ও বিজ্ঞানে দক্ষতা অর্জনের জন্য নিজেদেরকে উৎসর্গ করেছে বিশেষ গ্যাস উত্পাদন আজকের উচ্চ প্রযুক্তির বিশ্বে, বিশেষ করে এর মধ্যে অর্ধপরিবাহী শিল্প, জন্য চাহিদা অতি উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাস শুধুমাত্র একটি পছন্দ নয়; এটা একটি পরম প্রয়োজনীয়তা. এই নিবন্ধটি সমালোচনামূলক বিশ্বের মধ্যে delves অপবিত্রতা বিশ্লেষণ জন্য বৈদ্যুতিন বিশেষ গ্যাস. আমরা কেন এমনকি ক্ষুদ্রতম অন্বেষণ করব অপবিত্রতা বিশাল পরিণতি হতে পারে, কিভাবে আমরা এই অধরা সনাক্ত করতে পারি অমেধ্য ট্রেস, এবং ব্যবসার জন্য এর অর্থ কী। বোঝাপড়া গ্যাসের অমেধ্য এবং তাদের জন্য পদ্ধতি পরিশোধন এবং সনাক্তকরণ, যেমন আইসিপি-এমএস, আধুনিক এর নির্ভরযোগ্যতা এবং কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করার চাবিকাঠি ইলেকট্রনিক্স. এই টুকরাটি আপনার সময়ের মূল্যবান কারণ এটি কঠোরতা বজায় রাখার বিষয়ে একটি কারখানা-অভ্যন্তরীণ দৃষ্টিকোণ সরবরাহ করে বৈদ্যুতিন বিশেষ গ্যাসের বিশুদ্ধতা, একটি ভিত্তিপ্রস্তর অর্ধপরিবাহী এবং ইলেকট্রনিক্স সেক্টর

ইলেকট্রনিক স্পেশালিটি গ্যাসগুলি ঠিক কী এবং কেন সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনে তাদের বিশুদ্ধতা এত গুরুত্বপূর্ণ?
বৈদ্যুতিন বিশেষ গ্যাস, প্রায়ই হিসাবে উল্লেখ করা হয় ইলেকট্রনিক গ্যাস বা অর্ধপরিবাহী গ্যাস, একটি অনন্য বিভাগ উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাস এবং গ্যাসের মিশ্রণ ইলেকট্রনিক উপাদান উত্পাদন জড়িত জটিল প্রক্রিয়ার জন্য বিশেষভাবে প্রকৌশলী. তাদের ডিজিটাল যুগের অদৃশ্য স্থপতি হিসেবে ভাবুন। এগুলো সেমিকন্ডাক্টরে ব্যবহৃত গ্যাস জালিয়াতির মধ্যে রয়েছে বিভিন্ন পরিসর, যেমন সিলিকন স্তর জমা করার জন্য সিলেন (SiH₄), চেম্বার পরিষ্কারের জন্য নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইড (NF₃), আর্গন (Ar) একটি জড় ঢাল হিসাবে, এবং বিভিন্ন ডোপিং গ্যাস ফসফাইন (PH₃) বা আর্সাইন (AsH₃) এর বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য পরিবর্তন করতে অর্ধপরিবাহী উপকরণ শব্দটি "ইলেকট্রনিক বিশেষত্ব" নিজেই তাদের উপযোগী প্রয়োগ এবং তাদের রচনায় প্রয়োজনীয় চরম নির্ভুলতাকে হাইলাইট করে৷ এগুলো আপনার প্রতিদিনের নয় শিল্প গ্যাস; তাদের স্পেসিফিকেশন অনেক বেশি কঠোর।
তাদের সর্বাগ্রে গুরুত্ব বিশুদ্ধতা ওভারস্টেট করা যাবে না, বিশেষ করে অর্ধপরিবাহী উত্পাদন. আধুনিক ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট (ICs) বৈশিষ্ট্যযুক্ত ট্রানজিস্টর এবং পরিবাহী পথ যা অবিশ্বাস্যভাবে ছোট, প্রায়ই ন্যানোমিটারে পরিমাপ করা হয় (এক মিটারের বিলিয়ন ভাগ)। এই মাইক্রোস্কোপিক স্কেলে, এমনকি একটি একক অবাঞ্ছিত পরমাণু-একটি অপবিত্রতা-একটি ক্ষুদ্র স্রোতে একটি বোল্ডারের মতো কাজ করতে পারে, উদ্দেশ্যমূলক বৈদ্যুতিক প্রবাহকে ব্যাহত করতে পারে বা কাঠামোগত ত্রুটি সৃষ্টি করতে পারে। এটি একটি ত্রুটিপূর্ণ চিপের দিকে নিয়ে যেতে পারে এবং এমন একটি শিল্পে যেখানে লক্ষ লক্ষ চিপ একটি একক ওয়েফারে উত্পাদিত হয়, ব্যাপক থেকে আর্থিক এবং সুনামগত ক্ষতি দূষণ বিশাল হতে পারে। অতএব, দ বৈদ্যুতিন বিশেষ গ্যাসের বিশুদ্ধতা একটি ভিত্তি স্তম্ভ যার উপর সমগ্র ইলেকট্রনিক্স এবং সেমিকন্ডাক্টর শিল্প দাঁড়িয়েছে। যে কোন অপবিত্রতা ডিভাইসের কর্মক্ষমতা, ফলন এবং নির্ভরযোগ্যতার সাথে আপস করতে পারে, কঠোর করে গ্যাস বিশুদ্ধতা নিয়ন্ত্রণ অপরিহার্য।
Huazhong গ্যাস এ, আমরা বুঝতে পারি যে আমাদের গ্রাহকরা সেমিকন্ডাক্টর শিল্প "ফাইভ নাইন" (99.999%) বা এমনকি "ছয় নাইন" (99.9999%) বিশুদ্ধতার মাত্রা পূরণ করে বা অতিক্রম করে এমন গ্যাস সরবরাহ করতে আমাদের উপর নির্ভর করুন। এর মানে যে কোনো অপবিত্রতা পার্টস পার মিলিয়ন (পিপিএম) বা এমনকি পার্টস পার বিলিয়ন (পিপিবি) থেকে কম ঘনত্বে উপস্থিত থাকতে হবে। এই ধরনের অর্জন এবং যাচাই করা উচ্চ বিশুদ্ধতা স্তরগুলি পরিশীলিত প্রয়োজন পরিশোধন কৌশল এবং, গুরুত্বপূর্ণভাবে, উন্নত অপবিত্রতা বিশ্লেষণ পদ্ধতি একটি অপ্রত্যাশিত উপস্থিতি অপবিত্রতা এছাড়াও সঙ্গে সমস্যা নির্দেশ করতে পারে গ্যাস সিলিন্ডার অথবা সাপ্লাই চেইন, সামঞ্জস্যপূর্ণ মানের পরীক্ষাকে গুরুত্বপূর্ণ করে তোলে। আমরা আমাদের নিশ্চিত করি নাইট্রোজেন সিলিন্ডার অফারগুলি, উদাহরণস্বরূপ, এই উত্তেজনাপূর্ণ মানগুলি পূরণ করে, যেহেতু নাইট্রোজেন অনেক সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন ধাপে একটি ওয়ার্কহরস গ্যাস।
কিভাবে এমনকি মাইক্রোস্কোপিক ট্রেস অমেধ্য সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন লাইন লাইনচ্যুত করতে পারে?
এত ছোট কিছু কিভাবে কল্পনা করা কখনও কখনও কঠিন, ক অপবিত্রতা ট্রেস পার্টস পার বিলিয়ন (ppb) বা এমনকি পার্টস পার ট্রিলিয়ন (ppt) এ পরিমাপ করা হয়, এই ধরনের উল্লেখযোগ্য সমস্যা সৃষ্টি করতে পারে। কিন্তু বিশ্বের অর্ধপরিবাহী উত্পাদন, এই মাইক্রোস্কোপিক দূষণকারী প্রধান ভিলেন। আসুন একটি সাধারণ সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়া বিবেচনা করা যাক: এতে কয়েক ডজন, কখনও কখনও শত শত সূক্ষ্ম পদক্ষেপ যেমন জমা করা (পাতলা ফিল্ম স্থাপন), এচিং (বস্তু অপসারণ), এবং আয়ন ইমপ্লান্টেশন (নির্দিষ্ট পরমাণু সন্নিবেশ করা) জড়িত। প্রতিটি পদক্ষেপ একটি সুনির্দিষ্টভাবে নিয়ন্ত্রিত রাসায়নিক পরিবেশের উপর নির্ভর করে, প্রায়শই তৈরি বা রক্ষণাবেক্ষণ করে বৈদ্যুতিন বিশেষ গ্যাস. যদি ক ব্যবহৃত গ্যাস এই পদক্ষেপগুলির একটিতে একটি অবাঞ্ছিত বহন করে অপবিত্রতা, যে অপবিত্রতা এর সূক্ষ্ম স্তরগুলির মধ্যে অন্তর্ভুক্ত করা যেতে পারে অর্ধপরিবাহী ডিভাইস
যেমন, ধাতব অমেধ্য সোডিয়াম, লোহা বা তামার মতো, এমনকি অতি-নিম্ন ঘনত্বেও, সিলিকনের বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্যগুলিকে ব্যাপকভাবে পরিবর্তন করতে পারে। তারা অবাঞ্ছিত পরিবাহী পথ তৈরি করতে পারে, যা শর্ট সার্কিটের দিকে পরিচালিত করতে পারে বা "ফাঁদ" হিসাবে কাজ করতে পারে যা ইলেকট্রনের প্রবাহকে বাধা দেয়, ডিভাইসটিকে ধীর করে দেয় বা এটি সম্পূর্ণরূপে ব্যর্থ হতে পারে। আ অপবিত্রতা একটি প্রক্রিয়া ধাপে উদ্দিষ্ট রাসায়নিক বিক্রিয়াতেও হস্তক্ষেপ করতে পারে। উদাহরণস্বরূপ, ক দূষক এচিং গ্যাসে আন্ডার-এচিং বা ওভার-এচিং হতে পারে, ওয়েফারের সঠিক নিদর্শন নষ্ট করে। প্রভাব শুধুমাত্র পৃথক চিপ উপর হয় না; একটি অজ্ঞাত অপবিত্রতা ইস্যুটির ফলে ওয়েফারের সম্পূর্ণ ব্যাচ বাতিল হয়ে যেতে পারে, যার ফলে মার্ক শেন-এর মতো প্রকিউরমেন্ট অফিসারদের জন্য লক্ষ লক্ষ ডলার লোকসান, উৎপাদন বিলম্ব এবং মাথাব্যথা হতে পারে, যাদের মানসম্পন্ন উপকরণের স্থিতিশীল সরবরাহ নিশ্চিত করতে হবে। এই শক্তিশালী জন্য সমালোচনামূলক প্রয়োজন হাইলাইট অমেধ্য পরিমাপ ট্রেস.
চ্যালেঞ্জটি হল যে কোনও জন্য "গ্রহণযোগ্য" স্তর অপবিত্রতা হিসেবে সঙ্কুচিত হতে থাকে অর্ধপরিবাহী ডিভাইসের বৈশিষ্ট্যগুলি ছোট হয়ে যায়। যা গ্রহণযোগ্য বলে বিবেচিত হয়েছিল অপবিত্রতা এক দশক আগের স্তর একটি বিপর্যয়কর হতে পারে দূষণ আজ ক্ষুদ্রকরণের জন্য এই নিরলস ড্রাইভ উন্নত করার জন্য গ্যাস প্রস্তুতকারক এবং বিশ্লেষণাত্মক ল্যাবগুলির উপর প্রচণ্ড চাপ সৃষ্টি করে সনাক্তকরণ সীমা ক্ষমতা এমনকি কণা অমেধ্য, ক্ষুদ্র ধূলিকণা খালি চোখে অদৃশ্য, ফটোলিথোগ্রাফি ধাপে আলোকে আটকাতে পারে বা ওয়েফার পৃষ্ঠে শারীরিক ত্রুটি তৈরি করতে পারে। অতএব, প্রতিটি সম্ভাব্য নিয়ন্ত্রণ অপবিত্রতা - বায়বীয়, ধাতব বা কণা - গুরুত্বপূর্ণ। দ অমেধ্য পরিসীমা যে সমস্যার সৃষ্টি করতে পারে তা ব্যাপক, ব্যাপকতার প্রয়োজনীয়তার উপর জোর দেয় গ্যাস বিশ্লেষণ.
সবচেয়ে সাধারণ সমস্যা সৃষ্টিকারী কি? ইলেকট্রনিক্সের জন্য গ্যাসের অমেধ্য সনাক্তকরণ।
যখন আমরা কথা বলি গ্যাসের অমেধ্য জন্য উদ্দেশ্যে ইলেকট্রনিক্স এবং সেমিকন্ডাক্টর সেক্টরে, আমরা অক্ষরের একটি বৈচিত্র্যময় কাস্টের দিকে তাকাচ্ছি, যার প্রতিটিতে উল্লেখযোগ্য ক্ষতি হওয়ার সম্ভাবনা রয়েছে। এগুলো অমেধ্য সনাক্ত করা হবে ব্যাপকভাবে বায়বীয়, ধাতব এবং কণা আকারে শ্রেণীবদ্ধ করা যেতে পারে। এই সাধারণ সমস্যা তৈরিকারীদের বোঝা কার্যকর হওয়ার প্রথম ধাপ অপবিত্রতা বিশ্লেষণ এবং নিয়ন্ত্রণ। নির্দিষ্ট অমেধ্য উপস্থিত গ্যাস নিজেই, এর উৎপাদন পদ্ধতি, স্টোরেজ এবং পরিচালনার উপর নির্ভর করে পরিবর্তিত হতে পারে।
গ্যাসীয় অমেধ্য প্রধান উপস্থিত অন্যান্য গ্যাস আছে বিশেষ গ্যাস. উদাহরণস্বরূপ, মধ্যে উচ্চ বিশুদ্ধতা নাইট্রোজেন, সাধারণ বায়বীয় অমেধ্য অক্সিজেন (O₂), আর্দ্রতা (H₂O), কার্বন ডাই অক্সাইড (CO₂), কার্বন মনোক্সাইড (CO), এবং হাইড্রোকার্বন (CHₓ) অন্তর্ভুক্ত থাকতে পারে। অক্সিজেন এবং আর্দ্রতা বিশেষত সমস্যাযুক্ত কারণ তারা অত্যন্ত প্রতিক্রিয়াশীল এবং অবাঞ্ছিত অক্সিডেশন হতে পারে অর্ধপরিবাহী উপকরণ বা প্রক্রিয়া সরঞ্জাম। এমনকি একটি মধ্যে নিষ্ক্রিয় গ্যাস পছন্দ আর্গন, এই ট্রেস স্তরে উপস্থিত হতে পারে. একটি কোম্পানি হিসাবে, আমরা প্রায়ই একটি বিশ্লেষণের জন্য অনুরোধগুলি দেখতে পাই অমেধ্য বিস্তৃত পরিসর, এই প্রতিক্রিয়াশীল প্রজাতি সহ। উদাহরণস্বরূপ, আমাদের ক্ষমতা জটিল উত্পাদন অন্তর্ভুক্ত গ্যাসের মিশ্রণ পণ্য, যেখানে সম্ভাব্য বায়বীয় সহ প্রতিটি উপাদান নিয়ন্ত্রণ করে অমেধ্য, সর্বোপরি।
ধাতব অমেধ্য আরেকটি প্রধান উদ্বেগ। এগুলি হল সোডিয়াম (Na), পটাসিয়াম (K), ক্যালসিয়াম (Ca), লোহা (Fe), তামা (Cu), নিকেল (Ni), ক্রোমিয়াম (Cr), এবং অ্যালুমিনিয়াম (Al) এর মতো ধাতুগুলির পরমাণু। তারা কাঁচামাল, উত্পাদন সরঞ্জাম (যেমন পাইপলাইন এবং চুল্লি) থেকে উদ্ভূত হতে পারে গ্যাস সিলিন্ডার সঠিকভাবে চিকিৎসা না হলে নিজেরাই। উল্লিখিত হিসাবে, এই ধাতু অমেধ্য এর বৈদ্যুতিক কর্মক্ষমতা মারাত্মকভাবে প্রভাবিত করতে পারে অর্ধপরিবাহী ডিভাইস পিপিবি বা পিপিটি স্তরে এগুলি সনাক্ত করার জন্য অত্যন্ত সংবেদনশীল বিশ্লেষণাত্মক কৌশলগুলির প্রয়োজন যেমন ইন্ডাকটিভলি কাপলড প্লাজমা মাস স্পেকট্রোমেট্রি (আইসিপি-এমএস) আমাদেরও বিবেচনা করতে হবে কণা ব্যাপার এগুলি হল স্থগিত ক্ষুদ্র কঠিন বা তরল কণা গ্যাস প্রবাহ. তারা ওয়েফারগুলিতে শারীরিক ত্রুটি সৃষ্টি করতে পারে, সরঞ্জামগুলিতে অগ্রভাগ ব্লক করতে পারে বা অন্য কিছু চালু করতে পারে দূষণকারী. পরিস্রাবণ কণা অপসারণের চাবিকাঠি, তবে তাদের স্তরগুলি পর্যবেক্ষণ করাও একটি বিস্তৃত অংশ গ্যাসের গুণমান প্রোগ্রাম কিছু বৈদ্যুতিন বিশেষ গ্যাস এছাড়াও আছে ক্ষয়কারী গ্যাস বা বিষাক্ত গ্যাস, যা তাদের পরিচালনা এবং বিশ্লেষণে জটিলতার আরেকটি স্তর যোগ করে, নিশ্চিত করে যে অপবিত্রতা প্রোফাইল এই বিপদগুলিকে বাড়িয়ে তোলে না।

ICP-MS: সেমিকন্ডাক্টর গ্যাসে ধাতব অমেধ্য সনাক্তকরণের জন্য গোল্ড স্ট্যান্ডার্ড?
এটা আসে যখন ধাতব অমেধ্য বিশ্লেষণ মধ্যে অতি উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাস, ইন্ডাকটিভলি কাপলড প্লাজমা ম্যাস স্পেকট্রোমেট্রি, বা আইসিপি-এমএস, ব্যাপকভাবে একটি নেতৃস্থানীয় প্রযুক্তি হিসাবে গণ্য করা হয়. এটি একটি শক্তিশালী বিশ্লেষণাত্মক কৌশল যা বিস্তৃত পরিসর সনাক্ত এবং পরিমাপ করতে পারে মৌলিক অমেধ্য, প্রায়ই আশ্চর্যজনকভাবে নিম্ন স্তরে - কিছু উপাদানের জন্য পার্টস-পার-ট্রিলিয়ন (পিপিটি) বা এমনকি পার্টস-পার-কোয়াড্রিলিয়ন (পিপিকিউ) মনে করুন। এই সংবেদনশীলতা অবিকল কেন আইসিপি-এমএস জন্য তাই গুরুত্বপূর্ণ হয়ে উঠেছে অর্ধপরিবাহী শিল্প, যেখানে, আমরা আলোচনা করেছি, এমনকি মিনিট ট্রেস ধাতব অমেধ্য জন্য ক্ষতিকর হতে পারে পণ্যের গুণমান.
কিভাবে করে আইসিপি-এমএস তার জাদু কাজ? সহজ ভাষায়, দ নমুনা গ্যাস (বা গ্যাস থেকে প্রাপ্ত একটি দ্রবণ) একটি খুব গরম প্লাজমাতে প্রবর্তন করা হয়, যা সাধারণত তৈরি হয় আর্গন. এই প্লাজমা, 6,000 থেকে 10,000 ডিগ্রি সেলসিয়াসের তাপমাত্রায় পৌঁছানো, গ্যাসের অণুগুলিকে ভেঙে ফেলার জন্য এবং উপস্থিত পরমাণুগুলিকে আয়নিত করার জন্য যথেষ্ট শক্তিশালী। ধাতব অমেধ্য. এই আয়নগুলি তারপর প্লাজমা থেকে বের করা হয় এবং একটি ভর স্পেকট্রোমিটারে পরিচালিত হয়। ভর স্পেকট্রোমিটার একটি খুব সুনির্দিষ্ট ফিল্টারের মতো কাজ করে, আয়নগুলিকে তাদের ভর-থেকে-চার্জ অনুপাতের উপর ভিত্তি করে আলাদা করে। ক আবিষ্কারক তারপর প্রতিটি নির্দিষ্ট ভরের জন্য আয়ন গণনা করে, আমাদের সনাক্ত করতে দেয় যে কোন উপাদানগুলি উপস্থিত রয়েছে এবং কী পরিমাণে। এর ক্ষমতা আইসিপি-এমএস একটি বিস্তৃত বর্ণালী জন্য স্ক্যান করতে বিশেষ গ্যাসে ধাতব অমেধ্য একই সাথে এটি অত্যন্ত দক্ষ করে তোলে।
যখন আইসিপি-এমএস এটি অবিশ্বাস্যভাবে শক্তিশালী, এটি তার চ্যালেঞ্জ ছাড়া নয়, বিশেষ করে যখন মোকাবেলা করা হয় সেমিকন্ডাক্টরে ব্যবহৃত গ্যাস বানোয়াট একটি সাধারণ পদ্ধতির ফাঁদ হয় অমেধ্য বিপুল পরিমাণ গ্যাস থেকে সংগ্রহের মাধ্যমে বা তরলে পরিণত হয়, যা পরে বিশ্লেষণ করা হয় আইসিপি-এমএস. যাইহোক, সরাসরি সরাসরি গ্যাস ইনজেকশন মধ্যে আইসিপি-এমএস সিস্টেম কিছু নির্দিষ্ট অ্যাপ্লিকেশনের জন্য আরও সাধারণ হয়ে উঠছে, যদিও এটির জন্য বিশেষ ইন্টারফেসের প্রয়োজন। পদ্ধতির পছন্দ নির্দিষ্ট উপর নির্ভর করে গ্যাসের অমেধ্য সুদের, ম্যাট্রিক্স গ্যাস, এবং প্রয়োজনীয় সনাক্তকরণ সীমা. হুয়াজং গ্যাসে, আমরা অত্যাধুনিক বিশ্লেষণাত্মক সরঞ্জামগুলিতে প্রচুর বিনিয়োগ করি, যার মধ্যে রয়েছে আইসিপি-এমএস ক্ষমতা, কারণ আমরা জানি যে প্রদান নির্ভরযোগ্য অপবিত্রতা বিশ্লেষণ ডেটা আমাদের গ্রাহকদের বিশ্বাসের জন্য মৌলিক উচ্চ বিশুদ্ধতা ইলেকট্রনিক গ্যাস এর নির্ভুলতা আইসিপি-এমএস নিশ্চিত করতে সাহায্য করে যে গ্যাসের বিশুদ্ধতা জন্য কঠোর চাহিদা পূরণ ইলেকট্রনিক গ্রেড উপকরণ
কেন অটল গ্যাস বিশুদ্ধতা ইলেকট্রনিক্স এবং সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের জন্য একটি অ-আলোচনাযোগ্য?
অটল জন্য প্রয়োজন গ্যাস বিশুদ্ধতা মধ্যে ইলেকট্রনিক্স এবং সেমিকন্ডাক্টর শিল্প শুধুমাত্র একটি পছন্দ নয়; এটি আধুনিক যন্ত্র উৎপাদনের পদার্থবিদ্যা এবং অর্থনীতি দ্বারা চালিত একটি মৌলিক প্রয়োজনীয়তা। হিসাবে অর্ধপরিবাহী ডিভাইসের বৈশিষ্ট্যগুলি ন্যানোমিটার স্কেলে সঙ্কুচিত হয়, তাদের সংবেদনশীলতা যে কোনও ফর্মের দূষণ আকাশচুম্বী আ অপবিত্রতা যা পুরানো, বৃহত্তর ডিভাইসগুলিতে নগণ্য হতে পারে এখন কাটিং-এজ চিপগুলিতে বিপর্যয়কর ব্যর্থতার কারণ হতে পারে। এটি সরাসরি ফলনকে প্রভাবিত করে - প্রতি ওয়েফারে ভাল চিপগুলির শতাংশ - এবং এমনকি ফলনের একটি সামান্য হ্রাসও লক্ষ লক্ষ ডলারের হারানো রাজস্বকে অনুবাদ করতে পারে অর্ধপরিবাহী প্রস্তুতকারক
একটি আধুনিক মাইক্রোপ্রসেসর বা মেমরি চিপের জটিল আর্কিটেকচার সম্পর্কে চিন্তা করুন। এটিতে কোটি কোটি ট্রানজিস্টর রয়েছে, প্রতিটি ক্ষুদ্র প্রকৌশলের এক বিস্ময়। এই ট্রানজিস্টরের কর্মক্ষমতা নির্ভর করে এর সুনির্দিষ্ট বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্যের উপর অর্ধপরিবাহী ব্যবহৃত উপকরণ, যা, ঘুরে, অত্যন্ত সংবেদনশীল অমেধ্য. উদাহরণস্বরূপ, নির্দিষ্ট ধাতব অমেধ্য সিলিকন ব্যান্ড গ্যাপের মধ্যে অবাঞ্ছিত শক্তির মাত্রা প্রবর্তন করতে পারে, যার ফলে লিকেজ কারেন্ট বৃদ্ধি পায় বা ক্যারিয়ারের গতিশীলতা হ্রাস পায়। এর অর্থ ধীরগতির, কম কার্যকরী বা সম্পূর্ণরূপে অকার্যকর ডিভাইস। গ্যাসীয় অমেধ্য যেমন অক্সিজেন বা আর্দ্রতা অনিচ্ছাকৃত অক্সাইড স্তর গঠনের দিকে নিয়ে যেতে পারে, ফিল্মের বেধ পরিবর্তন করতে পারে বা ডিভাইসের অপারেশনের জন্য গুরুত্বপূর্ণ ইন্টারফেস বৈশিষ্ট্যগুলি পরিবর্তন করতে পারে। সামগ্রিক গ্যাসের গুণমান সরাসরি অনুবাদ করে পণ্যের গুণমান এবং নির্ভরযোগ্যতা।
উপরন্তু, ইলেকট্রনিক্স এবং সেমিকন্ডাক্টর শিল্প অত্যন্ত জটিল এবং ব্যয়বহুল উত্পাদন প্রক্রিয়া দ্বারা চিহ্নিত করা হয়. একক অর্ধপরিবাহী ফ্যাব্রিকেশন প্ল্যান্ট ("ফ্যাব") নির্মাণ এবং সজ্জিত করতে বিলিয়ন ডলার খরচ হতে পারে। দ ব্যবহৃত গ্যাস এই ব্যয়বহুল প্রক্রিয়া পদক্ষেপের অনেক অবিচ্ছেদ্য. যদি ক বিশেষ গ্যাস একটি দ্বারা দূষিত হয় অপবিত্রতা, এটি শুধুমাত্র বর্তমানে প্রক্রিয়া করা ওয়েফারগুলিকে প্রভাবিত করে না; এটি ব্যয়বহুল প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জাম নিজেই দূষিত করতে পারে। এটি পরিচ্ছন্নতা এবং পুনঃযোগ্যতার জন্য বর্ধিত ডাউনটাইম হতে পারে, আরও খরচ যোগ করতে পারে এবং উত্পাদন সময়সূচী ব্যাহত করতে পারে - মার্ক শেন এর মতো একজনের জন্য একটি প্রধান ব্যথার বিষয়, যিনি তার গ্রাহকদের চাহিদা মেটাতে সময়মত ডেলিভারির উপর নির্ভর করেন। অতএব, নিশ্চিত করা বৈদ্যুতিন বিশেষ গ্যাসের বিশুদ্ধতা কঠোর মাধ্যমে অপবিত্রতা বিশ্লেষণ পুরো সরবরাহ শৃঙ্খলের জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ ঝুঁকি প্রশমন কৌশল। উপর ফোকাস উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাস নিরলস কারণ বাজি অবিশ্বাস্যভাবে উচ্চ।
বিশেষ গ্যাসে ধাতব অমেধ্য বিশ্লেষণে আমরা কী কী চ্যালেঞ্জের মুখোমুখি হই?
বিশ্লেষণ করছে ধাতব অমেধ্য মধ্যে বিশেষ গ্যাস, বিশেষ করে যারা ব্যবহৃত অর্ধপরিবাহী শিল্প, চ্যালেঞ্জের একটি অনন্য সেট উপস্থাপন করে। প্রাথমিক অসুবিধাটি অত্যন্ত কম ঘনত্ব থেকে উদ্ভূত হয় যেখানে এইগুলি অমেধ্য সমস্যাযুক্ত হতে পারে - প্রায়শই পার্টস-পার-বিলিয়ন (পিপিবি) বা এমনকি পার্টস-পার-ট্রিলিয়ন (পিপিটি) পরিসরে। এই ধরনের মিনিটের পরিমাণ নির্ণয় এবং সঠিকভাবে পরিমাপ করার জন্য শুধুমাত্র অত্যন্ত সংবেদনশীল বিশ্লেষণাত্মক যন্ত্রের প্রয়োজন হয় না আইসিপি-এমএস কিন্তু বহিরাগত প্রবর্তন এড়াতে ব্যতিক্রমীভাবে পরিষ্কার an_alytical পরিবেশ এবং সতর্ক নমুনা হ্যান্ডলিং প্রোটোকল দূষণ.
একটি উল্লেখযোগ্য চ্যালেঞ্জ নমুনা ভূমিকা. অনেক বিশেষ গ্যাস ব্যবহার করা হয় মধ্যে ইলেকট্রনিক্স অত্যন্ত প্রতিক্রিয়াশীল, ক্ষয়কারী, এমনকি পাইরোফোরিক (বাতাসে স্বতঃস্ফূর্তভাবে জ্বলে)। নিরাপদে এবং কার্যকরভাবে এই স্থানান্তর গ্যাস একটি মত একটি বিশ্লেষণাত্মক যন্ত্র মধ্যে আইসিপি-এমএস পরিবর্তন ছাড়া নমুনা গ্যাস বা যন্ত্রকে দূষিত করার জন্য বিশেষ ইন্টারফেস এবং হ্যান্ডলিং পদ্ধতির প্রয়োজন হয়। উদাহরণস্বরূপ, সরাসরি ইনজেকশন a ক্ষয়কারী গ্যাস যেমন হাইড্রোজেন ক্লোরাইড (HCl) একটি স্ট্যান্ডার্ডে আইসিপি-এমএস সিস্টেম এটি মারাত্মকভাবে ক্ষতি করতে পারে। অতএব, পরোক্ষ পদ্ধতি, যেমন ইমপিঞ্জার ট্র্যাপিং (ক্যাপচার করার জন্য তরল দিয়ে গ্যাসকে বুদবুদ করা অমেধ্য) বা ক্রায়োজেনিক ফাঁদ, প্রায়ই নিযুক্ত করা হয়। যাইহোক, এই পদ্ধতি তাদের নিজস্ব সম্ভাব্য উৎস পরিচয় করিয়ে দিতে পারে দূষণ নিখুঁতভাবে সঞ্চালিত না হলে বা বিশ্লেষণ ক্ষতি। এর পছন্দ বাহক গ্যাস তরলীকরণের জন্য, প্রয়োজন হলে, অবশ্যই অনবদ্য হতে হবে বিশুদ্ধতা.
আরেকটি চ্যালেঞ্জ হল "ম্যাট্রিক্স প্রভাব।" বাল্ক গ্যাস নিজেই (যেমন, আর্গন, নাইট্রোজেন, হাইড্রোজেন) সনাক্তকরণে হস্তক্ষেপ করতে পারে অমেধ্য ট্রেস. উদাহরণস্বরূপ, মধ্যে আইসিপি-এমএস, প্লাজমা বাল্ক থেকে গঠিত গ্যাস পলিয়েটমিক আয়ন তৈরি করতে পারে যার ভর-থেকে-চার্জের অনুপাত কিছু লক্ষ্যমাত্রার মতো ধাতব অমেধ্য, মিথ্যা ইতিবাচক বা ভুল পরিমাপ নেতৃস্থানীয়. বিশ্লেষকদের মধ্যে সংঘর্ষ/প্রতিক্রিয়া কোষের মতো কৌশল ব্যবহার করতে হবে আইসিপি-এমএস বা এই বর্ণালী হস্তক্ষেপগুলি কাটিয়ে উঠতে উচ্চ-রেজোলিউশন ভর স্পেকট্রোমেট্রি। তদ্ব্যতীত, পরিমাণ নির্ধারণের জন্য ব্যবহৃত ক্রমাঙ্কন মান ধাতু অমেধ্য অত্যন্ত নির্ভুল এবং সনাক্তযোগ্য হতে হবে, এবং সমগ্র বিশ্লেষণাত্মক প্রক্রিয়াটিকে অবশ্যই বৈধতা নিশ্চিত করতে হবে অপবিত্রতা বিশ্লেষণ ফলাফল আমরা, সরবরাহকারী হিসাবে, এর সততা নিয়েও উদ্বিগ্ন গ্যাস সিলিন্ডার এবং তাদের অবদানের সম্ভাবনা ধাতব অমেধ্য সময়ের সাথে সাথে, যা চলমান মান নিয়ন্ত্রণের প্রয়োজন।

একটি গ্যাস এক্সচেঞ্জ ডিভাইস ব্যবহার করে ট্রেস অমেধ্য পরিমাপের যথার্থতা বৃদ্ধি করতে পারে?
হ্যাঁ, একটি গ্যাস এক্সচেঞ্জ ডিভাইস ব্যবহার করে এর নির্ভুলতা বৃদ্ধিতে প্রকৃতপক্ষে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করতে পারে অমেধ্য পরিমাপ ট্রেস, বিশেষ করে যখন চ্যালেঞ্জিং মোকাবেলা গ্যাস matrices বা যখন অতি-নিম্ন জন্য লক্ষ্য সনাক্তকরণ সীমা. ক গ্যাস বিনিময় ডিভাইস, কখনও কখনও একটি ম্যাট্রিক্স নির্মূল সিস্টেম হিসাবে উল্লেখ করা হয়, মূলত বাল্ক অপসারণ দ্বারা নির্বাচিতভাবে কাজ করে গ্যাস (এর প্রধান উপাদান নমুনা গ্যাস) মনোনিবেশ করার সময় অমেধ্য ট্রেস আগ্রহের এই প্রাক-ঘনত্ব পদক্ষেপটি পরবর্তী বিশ্লেষণাত্মক কৌশলগুলির সংবেদনশীলতাকে নাটকীয়ভাবে উন্নত করতে পারে আইসিপি-এমএস বা গ্যাস ক্রোমাটোগ্রাফ সিস্টেম
অনেকের পিছনে নীতি গ্যাস বিনিময় ডিভাইস একটি আধা-ভেদ্য ঝিল্লি বা একটি নির্বাচনী শোষণ/ডিসোর্পশন প্রক্রিয়া জড়িত। উদাহরণস্বরূপ, একটি প্যালাডিয়াম ঝিল্লি নির্বাচনীভাবে a থেকে হাইড্রোজেন অপসারণ করতে ব্যবহার করা যেতে পারে গ্যাসের মিশ্রণ, অন্যান্য অনুমতি দেয় গ্যাসের অমেধ্য to be concentrated and pass to a আবিষ্কারক. একইভাবে, নির্দিষ্ট শোষণকারী উপাদানগুলি নির্দিষ্ট ফাঁদে ফেলতে পারে অমেধ্য একটি প্রবাহ থেকে গ্যাস প্রবাহ, যা তারপর একটি পরিষ্কার একটি ছোট ভলিউম মধ্যে তাপীয়ভাবে desorbed করা যেতে পারে বাহক গ্যাস বিশ্লেষণের জন্য। বাল্ক পরিমাণ হ্রাস দ্বারা গ্যাস পৌঁছানোর আবিষ্কারক, এই ডিভাইসগুলি ম্যাট্রিক্সের হস্তক্ষেপ কম করে, পটভূমির শব্দ কম করে এবং লক্ষ্যের জন্য সংকেত-টু-শব্দ অনুপাত কার্যকরভাবে বৃদ্ধি করে অমেধ্য ট্রেস. এটি একটি নিম্ন হতে পারে সনাক্তকরণের সীমা.
এর সুবিধা একটি গ্যাস এক্সচেঞ্জ ডিভাইস ব্যবহার করে বিশ্লেষণ করার সময় বিশেষভাবে স্পষ্ট হয় ইলেকট্রনিক মধ্যে অমেধ্য গ্যাসগুলি যা সরাসরি পরিচালনা করা কঠিন বা যা বিশ্লেষণাত্মক যন্ত্রগুলিতে উল্লেখযোগ্য হস্তক্ষেপের কারণ। উদাহরণস্বরূপ, একটি অত্যন্ত প্রতিক্রিয়াশীল মধ্যে ট্রেস অক্সিজেন বা আর্দ্রতা পরিমাপ করার চেষ্টা করার সময় বিশেষ গ্যাস, ক গ্যাস বিনিময় ডিভাইস সম্ভাব্য এইগুলি আলাদা করতে পারে অমেধ্য একটি আরো সৌম্য মধ্যে বাহক গ্যাস পছন্দ আর্গন বা হিলিয়াম পৌঁছানোর আগেই আবিষ্কারক. এটি শুধুমাত্র নির্ভুলতা উন্নত করে না কিন্তু সংবেদনশীল বিশ্লেষণাত্মক উপাদানগুলিকেও রক্ষা করতে পারে। এর প্রস্তুতকারক হিসাবে 99.999% বিশুদ্ধতা 50L সিলিন্ডার জেনন গ্যাস, আমরা ব্যতিক্রমী যাচাই করার ক্ষেত্রে এই ধরনের উন্নত কৌশলগুলির মূল্য বুঝতে পারি বিশুদ্ধতা বিরল এবং বিশেষ গ্যাস. এই প্রযুক্তি সমালোচনামূলক সাহায্য করে গ্যাস পরিশোধন এবং যাচাইকরণ পর্যায়।
গুরুত্বপূর্ণ লিঙ্ক: অর্ধপরিবাহী উত্পাদনে সরাসরি ব্যবহৃত গ্যাসগুলিতে অশুদ্ধতা বিশ্লেষণ।
দ অর্ধপরিবাহী উত্পাদন সরাসরি ব্যবহৃত গ্যাস বানোয়াট প্রক্রিয়ার প্রাণরক্ত হয়. এর মধ্যে শুধু নয় বাল্ক গ্যাস নাইট্রোজেনের মত এবং আর্গন, কিন্তু একটি বিস্তৃত অ্যারের বৈদ্যুতিন বিশেষ গ্যাস যেমন এপিটাক্সিয়াল গ্যাস (যেমন, সিলেন, ক্রিস্টাল স্তর বৃদ্ধির জন্য জার্মান), এচিং গ্যাস (যেমন, প্যাটার্নিংয়ের জন্য NF₃, SF₆, Cl₂), আয়ন ইমপ্লান্টেশন গ্যাস (যেমন, আরসাইন, ফসফাইন, ডোপিংয়ের জন্য বোরন ট্রাইফ্লুরাইড), এবং জমা গ্যাস। এই প্রতিটি জন্য প্রয়োজনীয় গ্যাস, গ্রহণযোগ্য মাত্রা এবং প্রকার অপবিত্রতা কঠোরভাবে সংজ্ঞায়িত করা হয়েছে কারণ কোনো বিচ্যুতি সরাসরি ত্রুটিতে অনুবাদ করতে পারে অর্ধপরিবাহী ওয়েফার এই তোলে অপবিত্রতা বিশ্লেষণ এই জন্য প্রক্রিয়া গ্যাস একটি একেবারে গুরুত্বপূর্ণ মান নিয়ন্ত্রণ পদক্ষেপ।
একটি পাতলা সিলিকন ডাই অক্সাইড স্তর, ট্রানজিস্টরের একটি সাধারণ অন্তরকের জমার কথা বিবেচনা করুন। অক্সিজেন হলে গ্যাস ব্যবহার করা হয় এই প্রক্রিয়ার জন্য হাইড্রোকার্বন রয়েছে অমেধ্য, কার্বনকে অক্সাইড স্তরে অন্তর্ভুক্ত করা যেতে পারে, যা এর অন্তরক বৈশিষ্ট্যকে হ্রাস করে এবং সম্ভাব্যভাবে ডিভাইসের ব্যর্থতার দিকে পরিচালিত করে। একইভাবে, যদি একটি এচিং গ্যাস একটি অপ্রত্যাশিত রয়েছে অপবিত্রতা, এটি এচ রেট বা সিলেক্টিভিটি পরিবর্তন করতে পারে, যা খুব বড়, খুব ছোট, বা ভুল আকৃতির বৈশিষ্ট্যগুলির দিকে পরিচালিত করে৷ এমনকি একটি অপবিত্রতা একটি মধ্যে নিষ্ক্রিয় গ্যাস পছন্দ আর্গন গ্যাস সিলিন্ডার sputtering জন্য ব্যবহৃত ওয়েফার পৃষ্ঠের উপর স্থানান্তর করা যেতে পারে, ফিল্ম গুণমান প্রভাবিত. একটি প্রভাব অপবিত্রতা প্রায়শই প্রক্রিয়া-নির্দিষ্ট হয়, যার অর্থ একটি অপবিত্রতা এক ধাপে সহ্য করা একটি সমালোচনামূলক হতে পারে দূষক অন্য মধ্যে
এই সমালোচনামূলক লিঙ্ক একটি ব্যাপক পদ্ধতির প্রয়োজন অপবিত্রতা বিশ্লেষণ. এটি কেবল চূড়ান্ত পণ্য পরীক্ষা করার বিষয়ে নয়; এটি কাঁচামাল, প্রক্রিয়াধীন স্ট্রীম এবং চূড়ান্ত পর্যবেক্ষণ জড়িত গ্যাস পরিশোধন পর্যায়। জন্য সেমিকন্ডাক্টর বিশেষত্ব গ্যাস, জন্য স্পেসিফিকেশন সেমিকন্ডাক্টরের অমেধ্য অ্যাপ্লিকেশানগুলি প্রায়ই অত্যন্ত আঁটসাঁট, বিশ্লেষণাত্মক সনাক্তকরণের সীমানাকে ঠেলে দেয়৷ আমরা আমাদের গ্রাহকদের সঙ্গে ঘনিষ্ঠভাবে কাজ সেমিকন্ডাক্টর এবং ইলেকট্রনিক্স ক্ষেত্র তাদের নির্দিষ্ট বুঝতে অপবিত্রতা বিভিন্ন জন্য সংবেদনশীলতা গ্যাস এবং গ্যাসের মিশ্রণ. এই সহযোগিতামূলক পদ্ধতি নিশ্চিত করতে সাহায্য করে যে বিশুদ্ধতা বিশেষ গ্যাস আমরা ক্রমাগতভাবে তাদের উন্নত উত্পাদন প্রক্রিয়ার চাহিদা পূরণের সরবরাহ করি। একটি সনাক্তকরণের মধ্যে চ্যালেঞ্জটি রয়েছে অমেধ্য বিস্তৃত পরিসর ক্রমাগত হ্রাসের স্তরে।
ল্যাবের বাইরে: দূষণ রোধ করতে উচ্চ-বিশুদ্ধ সেমিকন্ডাক্টর গ্যাসগুলি পরিচালনা করার জন্য সর্বোত্তম অনুশীলন।
নিশ্চিত করা বৈদ্যুতিন বিশেষ গ্যাসের বিশুদ্ধতা শেষ হয় না যখন গ্যাস আমাদের উত্পাদন সুবিধা ছেড়ে. যে বজায় রাখা বিশুদ্ধতা একটি ব্যবহার বিন্দু সব উপায় অর্ধপরিবাহী ফ্যাব-এর জন্য হ্যান্ডলিং, স্টোরেজ এবং ডিস্ট্রিবিউশনের প্রতি যত্নশীল মনোযোগ প্রয়োজন। এমনকি সর্বোচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাস সঠিকভাবে পরিচালিত না হলে দূষিত হতে পারে। Huazhong গ্যাসে, আমরা শুধুমাত্র উৎপাদনের উপর ফোকাস করি না উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাস কিন্তু আমাদের ক্লায়েন্টদেরকে উপদেশ দেয় ডাউনস্ট্রিম প্রতিরোধ করার জন্য সর্বোত্তম অনুশীলনের বিষয়ে দূষণ.
মূল সেরা অনুশীলন অন্তর্ভুক্ত:
- উপাদান নির্বাচন: গ্যাস সরবরাহ ব্যবস্থার সমস্ত উপাদান - সহ গ্যাস সিলিন্ডার, নিয়ন্ত্রক, ভালভ, টিউবিং এবং ফিটিংস - অবশ্যই উপযুক্ত উপকরণ (যেমন, ইলেক্ট্রোপলিশড স্টেইনলেস স্টীল) থেকে তৈরি হতে হবে এবং বিশেষভাবে পরিষ্কার এবং প্রত্যয়িত হতে হবে অতি উচ্চ বিশুদ্ধতা (UHP) পরিষেবা। ভুল উপকরণ ব্যবহার আউটগ্যাসিং হতে পারে অমেধ্য বা ক ধাতব অপবিত্রতা মধ্যে leaching গ্যাস প্রবাহ.
- সিস্টেম অখণ্ডতা: গ্যাস সরবরাহ ব্যবস্থা অবশ্যই লিক-টাইট হতে হবে। এমনকি ক্ষুদ্র ফুটো বায়ুমণ্ডলকে অনুমতি দিতে পারে দূষণকারী যেমন অক্সিজেন, আর্দ্রতা এবং কণা সিস্টেমে প্রবেশের ব্যাপার, আপস করে গ্যাস বিশুদ্ধতা. নিয়মিত লিক চেকিং অপরিহার্য।
- শুদ্ধ করার পদ্ধতি: যখনই সংযোগ তৈরি করা হয় বা একটি সিলিন্ডার পরিবর্তন করা হয় তখন সঠিক শুদ্ধকরণ পদ্ধতিগুলি গুরুত্বপূর্ণ৷ এটি একটি সঙ্গে লাইন ফ্লাশ জড়িত উচ্চ বিশুদ্ধতা নিষ্ক্রিয় গ্যাস (যেমন আর্গন বা নাইট্রোজেন) কোনো আটকে থাকা বাতাস অপসারণ করতে বা অমেধ্য. অপর্যাপ্ত purging একটি সাধারণ উৎস দূষণ. ধারাবাহিকতা নিশ্চিত করতে আমরা প্রায়শই স্বয়ংক্রিয় পরিস্কার প্যানেলের সুপারিশ করি।
- উত্সর্গীকৃত সরঞ্জাম: নির্দিষ্ট জন্য ডেডিকেটেড নিয়ন্ত্রক এবং লাইন ব্যবহার করে গ্যাস বা পরিবারের গ্যাস ক্রস-দূষণ প্রতিরোধ করতে পারে। একটি মধ্যে স্যুইচ করার সময় এটি বিশেষভাবে গুরুত্বপূর্ণ নিষ্ক্রিয় গ্যাস এবং একটি প্রতিক্রিয়াশীল বা ক্ষয়কারী গ্যাস.
- সিলিন্ডার হ্যান্ডলিং: গ্যাস সিলিন্ডার ক্ষতি এড়াতে যত্ন সহকারে পরিচালনা করা উচিত। এগুলিকে মনোনীত, ভাল-বাতাসবাহী এলাকায় সংরক্ষণ করা উচিত এবং "ফার্স্ট-ইন, ফার্স্ট-আউট" ইনভেন্টরি ম্যানেজমেন্ট অনুশীলন করা উচিত। ব্যবহার করে নিবেদিত আর্দ্রতা এবং অক্সিজেন সমালোচনামূলক পয়েন্টে বিশ্লেষকরাও এই সাধারণের যেকোনো প্রবেশের জন্য নিরীক্ষণ করতে সাহায্য করতে পারে অমেধ্য.
মার্ক শেন-এর মতো গ্রাহকদের জন্য, যারা পুনরায় বিক্রির জন্য বা উত্পাদনে ব্যবহারের জন্য গ্যাস সংগ্রহ করছেন, এই হ্যান্ডলিং অনুশীলনগুলি বোঝা অত্যাবশ্যক পণ্যের গুণমান তারা তাদের নিজস্ব গ্রাহকদের প্রতিশ্রুতি. এটি একটি ভাগ করা দায়িত্ব। আমরা আমাদের নিশ্চিত করি হাইড্রোজেন সিলিন্ডার পণ্য, উদাহরণস্বরূপ, ভরা এবং প্রতিরোধ করার জন্য রক্ষণাবেক্ষণ করা হয় অপবিত্রতা প্রবেশ, কিন্তু শেষ-ব্যবহারকারীর সিস্টেম সমানভাবে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। বিরুদ্ধে লড়াই অপবিত্রতা উত্পাদন থেকে প্রয়োগ একটি অবিরাম প্রচেষ্টা.

ক্রিস্টাল বলের দিকে তাকিয়ে থাকা: বৈদ্যুতিন গ্রেড গ্যাসগুলির জন্য অশুদ্ধতা সনাক্তকরণে আমরা ভবিষ্যতের কী উদ্ভাবন আশা করতে পারি?
নিরন্তর উচ্চতর জন্য অনুসন্ধান বিশুদ্ধতা মধ্যে ইলেকট্রনিক গ্রেড গ্যাস এবং আরো সংবেদনশীল অপবিত্রতা সনাক্তকরণ পদ্ধতি একটি অবিচ্ছিন্ন যাত্রা, উদ্ভাবনের নিরলস গতি দ্বারা চালিত অর্ধপরিবাহী শিল্প ডিভাইসের বৈশিষ্ট্যগুলি সাব-10 ন্যানোমিটার অঞ্চলে আরও সঙ্কুচিত হওয়ার সাথে সাথে নতুন উপকরণ এবং স্থাপত্যগুলি আবির্ভূত হয় (যেমন 3D NAND এবং গেট-অল-অ্যারাউন্ড ট্রানজিস্টর), এর প্রভাব আরও দুর্বল হয়ে যায় অমেধ্য ট্রেস আরো স্পষ্ট হয়ে উঠবে। এটি উভয় ক্ষেত্রে আরও অগ্রগতি প্রয়োজন হবে গ্যাস পরিশোধন প্রযুক্তি এবং অপবিত্রতা বিশ্লেষণ ক্ষমতা
আমরা বিভিন্ন প্রবণতা অনুমান করতে পারি:
- নিম্ন সনাক্তকরণ সীমা: যেমন বিশ্লেষণাত্মক কৌশল আইসিপি-এমএস, গ্যাস ক্রোমাটোগ্রাফি-ম্যাস স্পেকট্রোমেট্রি (GC-MS), এবং ক্যাভিটি রিং-ডাউন স্পেকট্রোস্কোপি (CRDS) বিকশিত হতে থাকবে, পুশ করে সনাক্তকরণ সীমা একটি বিস্তৃত জন্য অমেধ্য পরিসীমা একক-অঙ্কের ppt স্তরে বা এমনকি ppq ডোমেনেও। এর জন্য আয়ন উত্স, ভর বিশ্লেষক এবং উদ্ভাবনের প্রয়োজন হবে আবিষ্কারক প্রযুক্তি
- ইন-সিটু এবং রিয়েল-টাইম মনিটরিং: বিশ্লেষণমূলক সিস্টেমের জন্য একটি ক্রমবর্ধমান চাহিদা রয়েছে যা নিরীক্ষণ করতে পারে গ্যাস বিশুদ্ধতা রিয়েল-টাইমে, সরাসরি ব্যবহারের বিন্দুতে অর্ধপরিবাহী ফ্যাব এই যে কোনো অবিলম্বে সনাক্তকরণের জন্য অনুমতি দেয় দূষণ ঘটনা বা প্রবাহ অপবিত্রতা স্তর, দ্রুত সংশোধনমূলক ক্রিয়া সক্ষম করে এবং পণ্যের ক্ষতি কমিয়ে দেয়। ক্ষুদ্রাকৃতির সেন্সর এবং উন্নত কেমোমেট্রিক অ্যালগরিদম এখানে একটি মূল ভূমিকা পালন করবে।
- জটিল গ্যাস মিশ্রণের বিশ্লেষণ: ভবিষ্যৎ অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়া আরো জটিল জড়িত হতে পারে গ্যাসের মিশ্রণ একাধিক প্রতিক্রিয়াশীল উপাদান সহ। বিশ্লেষণ করছে অমেধ্য এই ধরনের চ্যালেঞ্জিং ম্যাট্রিক্সের জন্য নতুন বিশ্লেষণাত্মক কৌশল এবং অত্যাধুনিক ডেটা ব্যাখ্যার সরঞ্জামের প্রয়োজন হবে। একটি পরিমাপ করার ক্ষমতা অপবিত্রতা অন্যদের থেকে হস্তক্ষেপ ছাড়া একটি উপাদান গুরুত্বপূর্ণ হবে.
- "হত্যাকারী" অমেধ্যগুলিতে ফোকাস করুন: গবেষণা সুনির্দিষ্ট সনাক্ত করতে থাকবে সেমিকন্ডাক্টরের অমেধ্য প্রক্রিয়াকরণ যা ডিভাইসের কার্যক্ষমতা বা ফলনের উপর অসামঞ্জস্যপূর্ণভাবে বড় প্রভাব ফেলে, এমনকি অত্যন্ত নিম্ন স্তরেও। বিশ্লেষণাত্মক পদ্ধতিগুলি এই "হত্যাকারী" এর দিকে আরও লক্ষ্যবস্তু হয়ে উঠবে অমেধ্য.
- ডেটা বিশ্লেষণ এবং এআই: উন্নত দ্বারা উত্পন্ন তথ্য বিশাল পরিমাণ অপবিত্রতা বিশ্লেষণ প্রবণতা সনাক্ত করতে, সম্ভাবনার পূর্বাভাস দিতে AI এবং মেশিন লার্নিং ব্যবহার করে সিস্টেমগুলিকে লিভারেজ করা হবে দূষণ সমস্যা, এবং অপ্টিমাইজ করুন গ্যাস পরিশোধন প্রসেস এটি প্রতিক্রিয়াশীল সমস্যা সমাধানের পরিবর্তে সক্রিয় গুণমান নিয়ন্ত্রণে সহায়তা করতে পারে।
হুয়াজং গ্যাসে, আমরা এই উন্নয়নের অগ্রভাগে থাকতে প্রতিশ্রুতিবদ্ধ। আমরা ক্রমাগত গবেষণা এবং উন্নয়নে বিনিয়োগ করি, শিল্প অংশীদার এবং একাডেমিক প্রতিষ্ঠানের সাথে সহযোগিতা করে বিজ্ঞানকে এগিয়ে নিয়ে যেতে উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাস উত্পাদন এবং অপবিত্রতা বিশ্লেষণ. আমাদের গ্রাহকদের জন্য, মার্ক শেন-এর মতো গুণমান-সচেতন ব্যক্তিদের জন্য, এর মানে হল একটি নির্ভরযোগ্য সরবরাহ বৈদ্যুতিন বিশেষ গ্যাস যা ক্রমবর্ধমান চাহিদা পূরণ করে ইলেকট্রনিক্স এবং সেমিকন্ডাক্টর শিল্প. আমাদের পরিসীমা হিলিয়াম, তার জড়তা এবং বিশেষায়িত অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে ব্যবহারের জন্য পরিচিত, ন্যূনতম নিশ্চিত করতে এই উন্নত বিশ্লেষণাত্মক যাচাই থেকেও উপকৃত হয় অপবিত্রতা স্তর
মনে রাখার মূল উপায়:
- বৈদ্যুতিন বিশেষ গ্যাস মৌলিক হয় সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন, এবং তাদের বিশুদ্ধতা আলোচনার অযোগ্য।
- এমনকি অমেধ্য ট্রেস, ppb বা ppt পরিমাপ, উল্লেখযোগ্য ত্রুটি এবং ফলন ক্ষতি হতে পারে অর্ধপরিবাহী ডিভাইস
- সাধারণ গ্যাসের অমেধ্য অন্যান্য গ্যাস অন্তর্ভুক্ত করুন (যেমন O₂, H₂O), ধাতব অমেধ্য, এবং কণা ব্যাপার
- আইসিপি-এমএস একটি সনাক্তকরণের জন্য একটি ভিত্তিপ্রস্তর প্রযুক্তি অমেধ্য বিস্তৃত পরিসরবিশেষ করে ধাতব অমেধ্য, অতি-নিম্ন স্তরে।
- রক্ষণাবেক্ষণ গ্যাস বিশুদ্ধতা থেকে সতর্ক হ্যান্ডলিং এবং সিস্টেম অখণ্ডতা প্রয়োজন গ্যাস সিলিন্ডার প্রতিরোধ করার জন্য ব্যবহারের বিন্দু পর্যন্ত দূষণ.
- ভবিষ্যতে আরও কম দেখবে সনাক্তকরণ সীমা, রিয়েল-টাইম মনিটরিং, এবং এআই-চালিত অপবিত্রতা বিশ্লেষণ জন্য ইলেকট্রনিক গ্রেড গ্যাস
- প্রতিটি সম্ভাবনা নিয়ন্ত্রণ অপবিত্রতা নিশ্চিত করার জন্য গুরুত্বপূর্ণ পণ্যের গুণমান এবং আধুনিক নির্ভরযোগ্যতা ইলেকট্রনিক্স.
