সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে ব্যবহৃত অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাসের জন্য একটি নির্দেশিকা
আমরা চীনে একটি কারখানা চালাচ্ছি যা শিল্প গ্যাস উৎপাদনে বিশেষজ্ঞ। আমার সুবিধার দিক থেকে, আমি প্রযুক্তির অবিশ্বাস্য বিবর্তন প্রত্যক্ষ করেছি, যা বেশিরভাগ লোকেরা কখনও দেখে না এমন কিছু দ্বারা চালিত: অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাস। আপনার ফোন, কম্পিউটার এবং গাড়ির ক্ষুদ্র ক্ষুদ্র মাইক্রোচিপগুলি আধুনিক প্রকৌশলের বিস্ময়কর, কিন্তু এই বিশেষ গ্যাসগুলির সুনির্দিষ্ট এবং ত্রুটিহীন সরবরাহ ছাড়া তাদের তৈরি করা অসম্ভব।
আপনি গুণমান এবং একটি নির্ভরযোগ্য সাপ্লাই চেইনের গুরুত্ব বোঝেন, কিন্তু আপনি অবাক হতে পারেন কেন সেমিকন্ডাক্টর গ্যাসের মান জ্যোতির্বিজ্ঞানের দিক থেকে অনেক বেশি। কেন আর্গনের একটি চালান 99.9999% বিশুদ্ধ হওয়া দরকার? এই গাইড সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশনের জগতে পর্দা টানবে। আমরা ব্যবহৃত নির্দিষ্ট গ্যাসগুলি, তারা কী করে এবং কেন তাদের বিশুদ্ধতা একক সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ ফ্যাক্টর অন্বেষণ করব। শেষ পর্যন্ত, আপনি যে পণ্যগুলি উত্সর্গ করেন সেগুলি সম্পর্কে আপনার আরও স্পষ্ট ধারণা থাকবে এবং আপনার গ্রাহকদের কাছে তাদের মূল্য জানাতে আরও ভালভাবে সজ্জিত হবেন।
সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশনের জন্য বিশেষত্বের গ্যাসগুলি কেন এত গুরুত্বপূর্ণ?
একটি গগনচুম্বী ভবন নির্মাণের কল্পনা করুন যেখানে বালির একটি একক ভুল স্থান পুরো কাঠামোটি ভেঙে পড়তে পারে। এটিতে প্রয়োজনীয় নির্ভুলতার স্তর সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন শিল্প এই শিল্পের "বিল্ডিং ব্লক" ইট এবং মর্টার নয়, কিন্তু পরমাণু এবং "সরঞ্জাম" প্রায়শই অত্যন্ত বিশেষায়িত গ্যাস। সমগ্র বানোয়াট একটি ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট একটি আণুবীক্ষণিক স্কেলে ঘটে, যেখানে পদার্থের স্তরগুলি, প্রায়শই শুধুমাত্র কয়েকটি পরমাণু পুরু, একটি উপর জমা হয় বা দূরে খোদাই করা হয় সিলিকন ওয়েফার.
এগুলো অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়া অবিশ্বাস্যভাবে সংবেদনশীল। কোনো অবাঞ্ছিত কণা বা রাসায়নিক অপবিত্রতা মাইক্রোচিপের সূক্ষ্ম স্থাপত্যকে ব্যাহত করতে পারে, এটিকে অকেজো করে দিতে পারে। এই যেখানে গ্যাস ব্যবহার করা হয়. তারা অতি-পরিচ্ছন্ন পরিবেশ তৈরি করে, নতুন স্তরগুলির জন্য কাঁচামাল সরবরাহ করে এবং রাসায়নিক "স্ক্যাল্পেল" হিসাবে কাজ করে যা বিদ্যুতের জন্য জটিল পথ তৈরি করে। দ সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়া এর একটি জটিল নৃত্য রাসায়নিক বিক্রিয়া, এবং গ্যাসগুলি প্রধান নর্তক। এই গ্যাসগুলির একটি ধ্রুবক, নির্ভরযোগ্য, এবং ব্যতিক্রমীভাবে বিশুদ্ধ সরবরাহ ছাড়া, আধুনিক ইলেকট্রনিক্স কেবল বিদ্যমান থাকবে না।
দ সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে ব্যবহৃত গ্যাস আপনার মান শিল্প পণ্য নয়. এগুলি বিশুদ্ধতার স্তরগুলি পূরণ করার জন্য ইঞ্জিনিয়ার করা হয়েছে যা বোঝা কঠিন, প্রায়শই প্রতি বিলিয়ন অংশে বা এমনকি প্রতি ট্রিলিয়ন অংশে পরিমাপ করা হয়। এর কারণ হল পারফরম্যান্স সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস তাদের পারমাণবিক কাঠামোর পরিপূর্ণতার সাথে সরাসরি আবদ্ধ। অক্সিজেন বা জলীয় বাষ্পের একটি প্রতিক্রিয়াশীল অণু যা একটি জড় হওয়া উচিত গ্যাস অক্সিডেশন হতে পারে, পরিবর্তন বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য সার্কিটের এবং ত্রুটির দিকে পরিচালিত করে। এই কেন বিশেষ গ্যাস শিল্প প্রযুক্তি বিশ্বের জন্য তাই অত্যাবশ্যক.

সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং এ ব্যবহৃত গ্যাসের প্রধান বিভাগ কি কি?
যখন আমরা কথা বলি অর্ধপরিবাহী উত্পাদন গ্যাস, তারা সাধারণত তাদের ফাংশনের উপর ভিত্তি করে কয়েকটি মূল বিভাগে পড়ে। এই গোষ্ঠীগুলি বোঝা প্রতিটি ভূমিকা স্পষ্ট করতে সাহায্য করে গ্যাস কমপ্লেক্সে খেলে উত্পাদন প্রক্রিয়া. এটি কেবল একটি বা দুটি গ্যাস নয়; একটি আধুনিক সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব 30 টিরও বেশি ভিন্ন প্রয়োজন কাজ করার জন্য গ্যাস এবং মিশ্রণ।
প্রথম হয় বাল্ক গ্যাস. এগুলি হল ওয়ার্কহরস, পুরো সুবিধা জুড়ে প্রচুর পরিমাণে ব্যবহৃত হয়। এগুলিকে ফ্যাবের মৌলিক পরিবেশ হিসাবে ভাবুন। সবচেয়ে সাধারণ হল:
- নাইট্রোজেন (N₂): দূষক অপসারণ এবং একটি জড় পরিবেশ তৈরি করার জন্য চেম্বার এবং সরঞ্জাম শুদ্ধ করার জন্য ব্যবহৃত হয়।
- অক্সিজেন (O₂): উচ্চ মানের সিলিকন ডাই অক্সাইড (SiO₂) স্তর বৃদ্ধি করতে ব্যবহৃত হয়, যা অন্তরক হিসাবে কাজ করে।
- হাইড্রোজেন (H₂): পৃষ্ঠ পরিষ্কারের জন্য এবং নির্দিষ্টভাবে ব্যবহৃত হয় জবানবন্দি প্রসেস
- আর্গন (আর): আ নিষ্ক্রিয় গ্যাস sputtering মত প্রক্রিয়ার জন্য একটি স্থিতিশীল পরিবেশ তৈরি করতে ব্যবহৃত হয়।
পরবর্তী হয় বিশেষ গ্যাস, নামেও পরিচিত বৈদ্যুতিন বিশেষ গ্যাস. এই অত্যন্ত নির্দিষ্ট, প্রায়ই প্রতিক্রিয়াশীল বা বিপজ্জনক, গ্যাসগুলি যেগুলি এচিং এবং জমা করার গুরুত্বপূর্ণ কাজগুলি সম্পাদন করে। এগুলি অল্প পরিমাণে ব্যবহার করা হয় তবে এর দাম অনেক বেশি এবং অত্যন্ত যত্নবান হ্যান্ডলিং প্রয়োজন। এগুলিকে আরও দলে ভাগ করা যায় যেমন:
- জমা গ্যাস: এই গ্যাসগুলি, যেমন সিলেন (SiH₄), চিপের স্তরগুলি তৈরি করতে ব্যবহৃত উপাদানের উত্স। তারা পচে এবং জমা ক পাতলা ফিল্ম উপর উপাদান সিলিকন ওয়েফার.
- ইচ্যান্ট গ্যাস: এগুলো হল প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস বেছে বেছে উপাদান অপসারণ করতে ব্যবহৃত। উদাহরণগুলির মধ্যে রয়েছে কার্বন টেট্রাফ্লোরাইড (CF₄) এবং ফ্লোরিন যৌগ হাইড্রোজেন ক্লোরাইড (HCl)। তারা ব্যবহার করা হয় এচিং প্রক্রিয়া সার্কিট নিদর্শন খোদাই করা.
- ডোপ্যান্ট গ্যাস: এই গ্যাসগুলি "ডপ" করতে ব্যবহৃত হয় সিলিকন, যার অর্থ ইচ্ছাকৃতভাবে একটি নির্দিষ্ট প্রবর্তন করা অপবিত্রতা (ক ডোপ্যান্ট) এর পরিবর্তন করতে বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য. এটি ট্রানজিস্টর তৈরির জন্য মৌলিক। সাধারণ ডোপ্যান্ট গ্যাস আর্সাইন (AsH₃) এবং ফসফিন (PH₃) অন্তর্ভুক্ত।
কিভাবে নাইট্রোজেন গ্যাস সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবসে ওয়ার্কহরস হিসাবে কাজ করে?
যদি আপনি একটি মাধ্যমে হাঁটা ছিল সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন সুবিধা, সবচেয়ে সর্বব্যাপী গ্যাস আপনি সম্মুখীন হবে নাইট্রোজেন. যদিও এটা সবসময় প্রধান অংশ নিতে না রাসায়নিক বিক্রিয়া যে চিপ তৈরি করে, সেই প্রতিক্রিয়াগুলি সফল হওয়ার জন্য শর্ত তৈরি করার জন্য এর ভূমিকা একেবারে অপরিহার্য। নাইট্রোজেন ব্যবহার করা হয় প্রাথমিকভাবে এর জড়তার জন্য; এটি অন্য উপাদানগুলির সাথে সহজেই প্রতিক্রিয়া দেখায় না, এটিকে নিখুঁত "ফিলার" করে তোলে গ্যাস.
জন্য প্রাথমিক ব্যবহার নাইট্রোজেন শুদ্ধ করা এবং একটি জড় বায়ুমণ্ডল তৈরি করা হয়. কোন সংবেদনশীল আগে অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়া শুরু হতে পারে, চেম্বারটি অবশ্যই অক্সিজেন, জলীয় বাষ্প এবং ধুলোর মতো দূষিত পদার্থ থেকে সম্পূর্ণ মুক্ত হতে হবে। উচ্চ-বিশুদ্ধতা নাইট্রোজেন এই অবাঞ্ছিত উপাদানগুলিকে ধাক্কা দেওয়ার জন্য চেম্বারের মাধ্যমে ফ্লাশ করা হয়। এটি দুর্ঘটনাজনিত অক্সিডেশন বা অন্যান্য প্রতিক্রিয়া প্রতিরোধ করে যা ধ্বংস করবে ওয়েফার. এই একই নীতিটি বহন করা সরঞ্জাম এবং পরিবহন পড (FOUP নামে পরিচিত) প্রয়োগ করা হয় সিলিকন ওয়েফার এর বিভিন্ন পর্যায়ের মধ্যে উত্পাদন প্রক্রিয়া.
উপরন্তু, নাইট্রোজেন একটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে ফটোলিথোগ্রাফি, ওয়েফার সম্মুখের সার্কিট নকশা মুদ্রণ প্রক্রিয়া. আধুনিক গভীর আল্ট্রাভায়োলেটে (DUV) লিথোগ্রাফি, লেন্স এবং এর মধ্যে স্থান ওয়েফার অতি-বিশুদ্ধ দিয়ে পূর্ণ নাইট্রোজেন (বা আর্গন) স্বল্প-তরঙ্গদৈর্ঘ্যের আলোকে বায়ু দ্বারা শোষিত না করেই অতিক্রম করতে দেয়। এই জড় পরিবেশ ছাড়া, প্রক্রিয়াটি অসম্ভব হবে। fabs সরবরাহ করার আমার অভিজ্ঞতায়, একটি অবিচ্ছিন্ন, উচ্চ-ভলিউম এবং উচ্চ-বিশুদ্ধতার চাহিদা নাইট্রোজেন সরবরাহ অ-আলোচনাযোগ্য।
নিখুঁত পরিবেশ তৈরিতে আর্গন কী ভূমিকা পালন করে?
নাইট্রোজেনের মত, আর্গন একটি সম্ভ্রান্ত গ্যাস, মানে এটি রাসায়নিকভাবে জড়. তবে, আর্গন ব্যবহার করা হয় নির্দিষ্ট অ্যাপ্লিকেশনের জন্য যেখানে এর ভারী পারমাণবিক ওজন একটি সুবিধা প্রদান করে। এই অ্যাপ্লিকেশনগুলির মধ্যে সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ একটি হল স্পুটার ডিপোজিশন, বা স্পুটারিং। এটি একটি শারীরিক বাষ্প জমা দেওয়ার প্রক্রিয়া পাতলা ধাতু ছায়াছবি নিচে রাখা ব্যবহৃত, যা তারের গঠন ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট.
sputtering, একটি উচ্চ ভোল্টেজ ভরা একটি ভ্যাকুয়াম চেম্বারে প্রয়োগ করা হয় আর্গন গ্যাস. এটি ইতিবাচক চার্জযুক্ত প্লাজমা তৈরি করে আর্গন আয়ন এই আয়নগুলি ত্বরান্বিত হয় এবং আমরা যে ধাতু জমা করতে চাই তা দিয়ে তৈরি একটি "লক্ষ্য"-এ ভেঙে যায় (যেমন তামা বা অ্যালুমিনিয়াম)। সংঘর্ষের শক্তি লক্ষ্যবস্তু থেকে ধাতব পরমাণুকে ছিটকে দেয়, যা তারপর চেম্বার জুড়ে উড়ে যায় এবং আবরণ করে সিলিকন ওয়েফার একটি পাতলা, অভিন্ন স্তরে। আর্গন এটির জন্য নিখুঁত কারণ এটি লক্ষ্য পরমাণুগুলিকে কার্যকরভাবে অপসারণ করার জন্য যথেষ্ট ভারী কিন্তু রাসায়নিকভাবে যথেষ্ট জড় যে এটি তৈরি করতে সাহায্য করে এমন ধাতব ফিল্মের সাথে প্রতিক্রিয়া করবে না। এটা নিখুঁত প্রদান করে ধাতুর স্পুটার জমার পরিবেশ.
জন্য আরেকটি কী ব্যবহার আর্গন প্লাজমা এচিং হয়। এর মধ্যে এচিং প্রক্রিয়া, আর্গন প্রায়ই একটি সঙ্গে মিশ্রিত হয় প্রতিক্রিয়াশীল ইচ্যান্ট গ্যাস. দ আর্গন রক্তরসকে স্থিতিশীল করতে এবং ভূপৃষ্ঠে শারীরিকভাবে বোমাবর্ষণ করতে সাহায্য করে, রাসায়নিক এচকে সহায়তা করে এবং উপাদানে আরও সুনির্দিষ্ট, উল্লম্ব কাট তৈরি করে। একটি নির্ভরযোগ্য সরবরাহ আর্গন গ্যাস সিলিন্ডার মেটালাইজেশন বা উন্নত এচিং সঞ্চালন যে কোনো সুবিধার জন্য গুরুত্বপূর্ণ।

আপনি কি ব্যাখ্যা করতে পারেন কিভাবে হাইড্রোজেন জমা এবং পরিষ্কারের জন্য ব্যবহার করা হয়?
যদিও নাইট্রোজেন এবং আর্গন অপ্রতিক্রিয়াশীল হওয়ার জন্য মূল্যবান, হাইড্রোজেন উচ্চ হওয়ার জন্য মূল্যবান প্রতিক্রিয়াশীল, কিন্তু একটি খুব পরিষ্কার এবং নিয়ন্ত্রিত উপায়ে. হাইড্রোজেন ব্যবহার করা হয় ব্যাপকভাবে মধ্যে সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন পৃষ্ঠতল এবং একটি নির্দিষ্ট ধরনের পরিষ্কারের জন্য জবানবন্দি এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি বলা হয়। এর ছোট পারমাণবিক আকার এটিকে প্রবেশ করতে এবং অন্য গ্যাসগুলি যেভাবে করতে পারে না সেভাবে প্রতিক্রিয়া করতে দেয়।
একটি নতুন স্তর জন্মানোর আগে a ওয়েফার, পৃষ্ঠটি পারমাণবিক স্তরের নিচে, পুরোপুরি পরিষ্কার হতে হবে। হাইড্রোজেন গ্যাস একটি উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত হয় যাকে "হাইড্রোজেন বেক" বলা হয় যেকোন নেটিভ অক্সাইড (সিলিকন ডাই অক্সাইডের একটি পাতলা, প্রাকৃতিকভাবে সৃষ্ট স্তর) অপসারণ করতে। সিলিকন পৃষ্ঠ দ হাইড্রোজেন অক্সিজেনের সাথে বিক্রিয়া করে জলীয় বাষ্প (H₂O) তৈরি করে যা পরে চেম্বার থেকে পাম্প করা হয়, যা একটি আদিম রেখে যায় সিলিকন পৃষ্ঠ পরবর্তী পদক্ষেপের জন্য প্রস্তুত।
হাইড্রোজেন এছাড়াও একটি মূল উপাদান এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি (বা "এপি"), একটি প্রক্রিয়া যা একটি একক-ক্রিস্টাল স্তর বৃদ্ধি করে সিলিকন উপরে সিলিকন ওয়েফার. এই নতুন স্তরটি একটি নিখুঁত স্ফটিক গঠন এবং অবিকল নিয়ন্ত্রিত ডোপ্যান্ট স্তর হাইড্রোজেন বাহক হিসেবে কাজ করে গ্যাস জন্য সিলিকন উৎস গ্যাস (সিলেন বা ট্রাইক্লোরোসিলেনের মতো)। এটি যেকোন বিপথগামী অক্সিজেন পরমাণুগুলিকে স্ক্যাভেঞ্জ করে একটি পরিষ্কার বৃদ্ধির পরিবেশ নিশ্চিত করে। এই এপিটাক্সিয়াল স্তরটির গুণমান উচ্চ-প্রান্তের প্রসেসরগুলির কার্যক্ষমতার জন্য মৌলিক, যা এর বিশুদ্ধতা তৈরি করে হাইড্রোজেন সিলিন্ডার সরবরাহ একেবারে সমালোচনামূলক।
Etchant গ্যাস কি এবং কিভাবে তারা মাইক্রোস্কোপিক সার্কিট খোদাই করে?
ডিপোজিশন যদি স্তর তৈরির বিষয়ে হয়, তাহলে এচিং হল সার্কিট প্যাটার্ন তৈরি করতে বেছে বেছে সেগুলোকে খোদাই করা। এটিকে মাইক্রোস্কোপিক ভাস্কর্য হিসাবে ভাবুন। একটি প্যাটার্ন ব্যবহার করে সংজ্ঞায়িত করা হয় পরে ফটোলিথোগ্রাফি, ইচ্যান্ট গ্যাস সরবরাহ করতে ব্যবহৃত হয় রাসায়নিক উপায়ে অরক্ষিত এলাকা থেকে উপাদান অপসারণ ওয়েফার. এটি সবচেয়ে জটিল এবং সমালোচনামূলক পদক্ষেপগুলির মধ্যে একটি চিপ উত্পাদন.
দ খোঁচায় ব্যবহৃত গ্যাস প্রক্রিয়াটি সাধারণত ফ্লোরিন, ক্লোরিন বা ব্রোমিন-ভিত্তিক যৌগ। এর পছন্দ গ্যাস খোদাই করা উপাদানের উপর নির্ভর করে।
- ফ্লোরিন ভিত্তিক গ্যাস (যেমন, CF₄, SF₆, NF₃) এচিং এর জন্য চমৎকার সিলিকন এবং সিলিকন ডাই অক্সাইড।
- ক্লোরিন ভিত্তিক গ্যাস (যেমন, Cl₂, BCl₃, HCl) প্রায়শই অ্যালুমিনিয়ামের মতো ধাতু এচিং করার জন্য ব্যবহৃত হয়।
এগুলো প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস একটি প্লাজমা চেম্বারে প্রবর্তিত হয়। প্লাজমা ভেঙে যায় গ্যাস অণু পৃথক উচ্চ মধ্যে প্রতিক্রিয়াশীল আয়ন এবং র্যাডিকেল। এই র্যাডিকালগুলি তখন পৃষ্ঠের সাথে বিক্রিয়া করে ওয়েফার, একটি নতুন উদ্বায়ী যৌগ গঠন করে যা সহজেই পাম্প করা যায়, এইভাবে উপাদানটিকে "এচিং" করে। প্রয়োজনীয় নির্ভুলতা অপরিসীম; লক্ষ্য হল এচ প্যাটার্নযুক্ত স্তরটি আন্ডারকাটিং ছাড়াই সোজা নীচে (অ্যানিসোট্রপিক্যালি)। আধুনিক সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবস জটিল ব্যবহার করুন গ্যাসের মিশ্রণ এবং এটি অর্জনের জন্য প্লাজমা পরিস্থিতি সাবধানে নিয়ন্ত্রিত।
রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) কি এবং কোন গ্যাস জড়িত?
রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) একটি ভিত্তিপ্রস্তর জমা দেওয়ার প্রক্রিয়া মধ্যে সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন. এটি একটি প্রাথমিক পদ্ধতি যা বিভিন্ন অন্তরক এবং পরিবাহী পাতলা ফিল্ম তৈরি করতে ব্যবহৃত হয় সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস. মূল ধারণাটি প্রবাহিত হয় গ্যাস (বা গ্যাসের মিশ্রণ) একটি উত্তপ্ত উপর ওয়েফার. তাপ কারণ গ্যাস ওয়েফার পৃষ্ঠের উপর প্রতিক্রিয়া বা পচন, পছন্দসই উপাদান একটি কঠিন ফিল্ম পিছনে রেখে.
| দ ব্যবহৃত গ্যাসের পরিসীমা CVD-এ বিশাল, কারণ প্রতিটি একটি নির্দিষ্ট উপাদান জমা করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। সবচেয়ে বেশি কিছু সাধারণ গ্যাস এবং তারা যে চলচ্চিত্রগুলি তৈরি করে তা হল: | জমা গ্যাস | রাসায়নিক সূত্র | ফিল্ম জমা |
|---|---|---|---|
| সিলেন | SiH₄ | পলিসিলিকন (p-Si) | |
| ডাইক্লোরোসিলেন + অ্যামোনিয়া | SiH₂Cl₂ + NH₃ | সিলিকন নাইট্রাইড (Si₃N₄) | |
| Tetraethylorthosilicate (TEOS) | C₈H₂₀O₄Si | সিলিকন ডাই অক্সাইড (SiO₂) | |
| টংস্টেন হেক্সাফ্লোরাইড | WF₆ | টংস্টেন (W) |
এই প্রতিক্রিয়া প্রতিটি অবিশ্বাস্যভাবে স্থিতিশীল অবস্থার প্রয়োজন এবং অত্যন্ত উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাস. উদাহরণস্বরূপ, Silane ব্যবহার করে একটি polysilicon স্তর জমা করার সময়, যে কোনো অক্সিজেন অপবিত্রতা মধ্যে গ্যাস স্ট্রিম এর পরিবর্তে সিলিকন ডাই অক্সাইড তৈরি করবে, স্তরটির পরিবাহী বৈশিষ্ট্য নষ্ট করবে। এই কারণেই আমরা, সরবরাহকারী হিসাবে, এর উপর এত বেশি ফোকাস করি পরিশোধন এবং এগুলির বিশ্লেষণ জমা গ্যাস. এর পুরো লাইব্রেরি বাল্ক উচ্চ বিশুদ্ধতা বিশেষ গ্যাস আমরা অফার এই কঠোর প্রয়োজনীয়তা পূরণের দিকে প্রস্তুত করা হয়.

কেন অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা সেমিকন্ডাক্টর গ্যাসের জন্য সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ ফ্যাক্টর?
আমি এটিকে বাড়াবাড়ি করতে পারি না: তে অর্ধপরিবাহী শিল্প, বিশুদ্ধতা সবকিছু পদ উচ্চ বিশুদ্ধতা এর মানে 99% বা এমনকি 99.9% নয়। জন্য অর্ধপরিবাহী গ্যাস, আমরা সম্পর্কে কথা বলা হয় অতি উচ্চ বিশুদ্ধতা (UHP), যা সাধারণত 99.999% (প্রায়ই "ফাইভ নাইনস" বলা হয়) বা তার বেশি। কিছু সমালোচনামূলক জন্য প্রক্রিয়া গ্যাস, প্রয়োজনীয়তা 99.9999% ("ছয় নাইন") বা তারও বেশি হতে পারে। কারণটি সহজ: দূষক কর্মক্ষমতাকে মেরে ফেলে।
একটি আধুনিক মাইক্রোচিপের বৈশিষ্ট্যগুলি ন্যানোমিটারে (এক মিটারের বিলিয়ন ভাগ) পরিমাপ করা হয়। এই স্কেলে, একটি একক বিদেশী কণা বা অবাঞ্ছিত অণু একটি সুপারহাইওয়ের মাঝখানে একটি পাথরের মতো। আ অপবিত্রতা পারেন:
- বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য পরিবর্তন করুন: একটি বিপথগামী সোডিয়াম আয়ন একটি ট্রানজিস্টরের থ্রেশহোল্ড ভোল্টেজ পরিবর্তন করতে পারে, যার ফলে এটি ভুল সময়ে চালু বা বন্ধ হয়ে যায়।
- কাঠামোগত ত্রুটি তৈরি করুন: একটি অক্সিজেন অণু এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির সময় নিখুঁত স্ফটিক জালিকে ব্যাহত করতে পারে, একটি "স্থানচ্যুতি" তৈরি করে যা ইলেক্ট্রন প্রবাহকে বাধা দেয়।
- শর্ট সার্কিটের কারণ: একটি ধাতব কণা দুটি সংলগ্ন পরিবাহী লাইনকে সেতু করতে পারে, একটি মৃত শর্ট তৈরি করে।
- ফলন হ্রাস করুন: যত বেশি দূষক উপস্থিত থাকবে, প্রতিটিতে ত্রুটিপূর্ণ চিপের সংখ্যা তত বেশি হবে ওয়েফার, যা সরাসরি মুনাফাকে প্রভাবিত করে।
এই কারণেই, একজন প্রস্তুতকারক হিসাবে, আমাদের সবচেয়ে বড় বিনিয়োগ হল পরিশোধন এবং বিশ্লেষণাত্মক সরঞ্জামগুলিতে৷ প্রতিটি ব্যাচ গ্যাস অবশ্যই এটি আমাদের ক্লায়েন্টদের দ্বারা প্রয়োজনীয় পার্টস-পার-বিলিয়ন (পিপিবি) বা পার্টস-পার-ট্রিলিয়ন (পিপিটি) স্পেসিফিকেশন পূরণ করে তা নিশ্চিত করার জন্য পরীক্ষা করা হবে। দ উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাসের চাহিদা যা সমগ্র চালিত হয় বিশেষ গ্যাস বাজার ইলেকট্রনিক্স জন্য।
কিভাবে আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধ গ্যাসের গুণমান এবং নির্ভরযোগ্য সরবরাহ নিশ্চিত করব?
মার্কের মতো একজন প্রকিউরমেন্ট অফিসারের জন্য এটি সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ প্রশ্ন। একটি মহান মূল্য অর্থহীন যদি গ্যাস গুণমান অসামঞ্জস্যপূর্ণ বা চালান দেরী হয়. আমি ভয়ঙ্কর গল্প শুনেছি: সরবরাহকারীরা বিশ্লেষণের প্রতারণামূলক শংসাপত্র প্রদান করে, বা একটি চালান বিশেষ গ্যাস সপ্তাহের জন্য কাস্টমসের মধ্যে আটকে রাখা হয়েছে, যার ফলে একটি উত্পাদন লাইন বন্ধ হয়ে যায়। এই ব্যথার পয়েন্টগুলিকে সম্বোধন করা আমাদের ব্যবসায়িক দর্শনের মূলে রয়েছে।
গুণমান নিশ্চিত করা দিয়ে শুরু হয় পরিশোধন প্রক্রিয়া আমরা ক্রায়োজেনিক পাতন এবং বিশেষ শোষণকারী উপাদানের মতো উন্নত সিস্টেম ব্যবহার করি যাতে অমেধ্য দূর করা যায়। কিন্তু প্রক্রিয়া সেখানে শেষ হয় না। সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ পদক্ষেপ হল যাচাইকরণ। প্রতিটি সিলিন্ডার পাঠানোর আগে পরীক্ষা করার জন্য আমরা গ্যাস ক্রোমাটোগ্রাফ-ম্যাস স্পেকট্রোমিটার (GC-MS) এর মতো অত্যাধুনিক বিশ্লেষণী যন্ত্র ব্যবহার করি। আমরা আমাদের গ্রাহকদের প্রতিটি ব্যাচের জন্য একটি বিস্তারিত এবং খাঁটি সার্টিফিকেট অফ অ্যানালাইসিস (COA) প্রদান করি, গ্যারান্টি দিয়ে গ্যাস বিশুদ্ধতা.
A নির্ভরযোগ্য সরবরাহ চেইন হল সমীকরণের অন্য অর্ধেক। এর মধ্যে রয়েছে:
- শক্ত সিলিন্ডার প্রস্তুতি: জন্য সিলিন্ডার অতি উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাস কনটেইনার নিজেই দূষিত না হয় তা নিশ্চিত করার জন্য একটি বিশেষ পরিষ্কার এবং নিষ্ক্রিয়করণ প্রক্রিয়ার মধ্য দিয়ে যান গ্যাস.
- বুদ্ধিমান লজিস্টিকস: আমরা অভিজ্ঞ লজিস্টিক অংশীদারদের সাথে কাজ করি যারা আন্তর্জাতিকভাবে উচ্চ-চাপ এবং কখনও কখনও বিপজ্জনক উপকরণ শিপিংয়ের নিয়মগুলি বোঝে। আমরা মসৃণ কাস্টমস ক্লিয়ারেন্স নিশ্চিত করতে সমস্ত প্রয়োজনীয় ডকুমেন্টেশন প্রদান করি।
- পরিষ্কার যোগাযোগ: আমাদের বিক্রয় এবং সহায়তা দলগুলি নিয়মিত আপডেট প্রদানের জন্য প্রশিক্ষিত। উত্পাদন থেকে চূড়ান্ত ডেলিভারি পর্যন্ত আপনি সর্বদা আপনার অর্ডারের অবস্থা জানতে পারবেন। আমরা বুঝতে পারি যে একটি অনুমানযোগ্য উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাস সরবরাহ আমাদের গ্রাহকদের তাদের নিজস্ব উত্পাদন সময়সূচী পরিচালনা করার জন্য অপরিহার্য. আমরা এমনকি বিভিন্ন অফার গ্যাসের মিশ্রণ নির্দিষ্ট প্রক্রিয়ার প্রয়োজন মেটাতে বিকল্প।
সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে গ্যাসের জন্য ভবিষ্যত কী ধরে রাখে?
দ অর্ধপরিবাহী শিল্প কখনও স্থির থাকে না। মুরের আইন অনুসারে, চিপমেকাররা ক্রমাগত ছোট, দ্রুত এবং আরও শক্তিশালী ডিভাইস তৈরি করতে চাপ দিচ্ছে। এই নিরলস উদ্ভাবন সরাসরি প্রভাবিত করে গ্যাস এবং মিশ্রণ তাদের বানাতে ব্যবহৃত। আমরা সরানো হিসাবে সেমিকন্ডাক্টরের পরবর্তী প্রজন্ম প্রযুক্তি, বৈশিষ্ট্যের আকার মাত্র কয়েক ন্যানোমিটারে সঙ্কুচিত হওয়ার সাথে, গ্যাসের বিশুদ্ধতার প্রয়োজনীয়তা আরও চরম হয়ে উঠবে।
আমরা বাইরে নতুন উপকরণের দিকে একটি প্রবণতা দেখছি সিলিকন, যেমন গ্যালিয়াম নাইট্রাইড (GaN) এবং সিলিকন কার্বাইড (SiC), যার জন্য প্রয়োজন নতুন এবং ভিন্ন প্রক্রিয়া গ্যাস এচিং এবং জমা করার জন্য। ফিনএফইটি এবং গেট-অল-অ্যারাউন্ড (জিএএ) ট্রানজিস্টরের মতো আরও জটিল 3D আর্কিটেকচারের দিকেও একটি পদক্ষেপ রয়েছে, যা আরও বেশি নির্ভুলতার দাবি করে। জবানবন্দি এবং এচ পদক্ষেপ এই মানে বিশেষ গ্যাস শিল্প ক্রমাগত নতুন অণু বিকাশ এবং এমনকি উচ্চ মাত্রা অর্জন করতে হবে পরিশোধন.
একজন সরবরাহকারী হিসাবে আমার দৃষ্টিকোণ থেকে, ভবিষ্যত অংশীদারিত্ব সম্পর্কে। এর একটি সিলিন্ডার বিক্রি করা আর যথেষ্ট নয় গ্যাস. আমরা আমাদের গ্রাহকদের সাথে ঘনিষ্ঠভাবে কাজ করতে হবে ইলেকট্রনিক্স উত্পাদন সেক্টর তাদের ভবিষ্যত প্রযুক্তি রোডম্যাপ বুঝতে. এটি আমাদের নতুনের প্রয়োজনীয়তা অনুমান করতে দেয় উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাস এবং তাদের সরবরাহ করার জন্য উত্পাদন এবং বিশ্লেষণাত্মক ক্ষমতাগুলিতে বিনিয়োগ করুন। এর অদৃশ্য নায়করা অর্ধপরিবাহী বিশ্ব-গ্যাসগুলি-প্রযুক্তিগত অগ্রগতির অগ্রভাগে থাকবে।
মূল গ্রহণ
আপনি চাহিদাপূর্ণ সেমিকন্ডাক্টর বাজারের জন্য শিল্প গ্যাসের উৎস হিসাবে, এখানে মনে রাখা সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ বিষয়গুলি রয়েছে:
- বিশুদ্ধতা সর্বাগ্রে: একক সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ ফ্যাক্টর হয় অতি উচ্চ বিশুদ্ধতা. দূষক, এমনকি অংশ-প্রতি-বিলিয়ন স্তরেও, বিপর্যয়কর ডিভাইস ব্যর্থতার কারণ হতে পারে এবং উৎপাদনের ফলন হ্রাস করতে পারে।
- গ্যাসের নির্দিষ্ট কাজ আছে: গ্যাসগুলি বিনিময়যোগ্য নয়। এগুলি জড় বায়ুমণ্ডল (নাইট্রোজেন, আর্গন), বিল্ডিং স্তরগুলি তৈরির মতো স্বতন্ত্র প্রক্রিয়াগুলির জন্য ব্যবহৃত অত্যন্ত বিশেষ সরঞ্জাম।জমা গ্যাস সিলেনের মতো), এবং খোদাই সার্কিট (এচ্যান্ট গ্যাস যেমন CF₄)।
- সাপ্লাই চেইন গুরুত্বপূর্ণ: একটি নির্ভরযোগ্য সরবরাহকারী কেবল একটি পণ্য বিক্রি করার চেয়ে আরও বেশি কিছু করে। তারা কঠোর পরীক্ষার মাধ্যমে গুণমান নিশ্চিত করে, খাঁটি শংসাপত্র প্রদান করে, জটিল রসদ পরিচালনা করে এবং ব্যয়বহুল উত্পাদন বিলম্ব রোধ করতে স্পষ্ট যোগাযোগ বজায় রাখে।
- প্রযুক্তিগত জ্ঞান মূল্য যোগ করে: বোঝাপড়া কেন একটি নির্দিষ্ট গ্যাস ব্যবহৃত হয় এবং কেন এর বিশুদ্ধতা এতই গুরুত্বপূর্ণ যে আপনাকে আপনার নিজের গ্রাহকদের আরও কার্যকর অংশীদার হতে দেয়, গুণমানের ন্যায্যতা এবং দীর্ঘমেয়াদী আস্থা তৈরি করে।
- শিল্পটি বিকশিত হচ্ছে: ছোট এবং আরও শক্তিশালী চিপগুলির জন্য ধাক্কা মানে নতুন, এমনকি বিশুদ্ধতার চাহিদা বিশেষ গ্যাস শুধুমাত্র বৃদ্ধি অব্যাহত থাকবে। একজন দূরদর্শী সরবরাহকারীর সাথে অংশীদারিত্ব এগিয়ে থাকার মূল চাবিকাঠি।
