Huazhong Gas, sənaye sənətini və elmini mənimsəmək üçün özümüzü həsr etdi və ixtisas qazı İstehsal. Xüsusilə içərisində bugünkü yüksək texnoloji dünyada yarımkeçiricili Sənaye, tələb Ultra yüksək təmizlik Qazlar yalnız bir üstünlük deyildir; Mütləq zərurətdir. Bu məqalə kritik dünyasına daxildir murdarlıq təhlili üçün Elektron ixtisas qazları. Niyə ən kiçik olduğunu araşdıracağıq murdarlıq bu əlçatmazları necə aşkar etdiyimiz böyük nəticələrə səbəb ola bilər İz çirklərivə müəssisələr üçün nə deməkdir. Anlayış qaz çirkləri və onların üsulları təmizlənmə və aşkarlanması, məsələn ICP-ms, müasirin etibarlılığını və performansını təmin etmək üçün açardır elektronika. Bu parça sizin vaxtınıza dəyər, çünki bu, fabrik-insiderin sərtliyi qorumaq baxımını təklif edir Elektron ixtisas qazlarının saflığı, bir təməl daşı yarımkeçiricili və elektronika sektorlar.

Elektron ixtisas qazları nədir və niyə saflığı yarımkeçirici istehsalda çox vacibdir?

Elektron ixtisas qazları, tez-tez adlandırılır Elektron qazlar və ya yarımkeçirici qazlar, unikal bir kateqoriyadır yüksək saflıq qazları və Qaz qarışıqları Xüsusi olaraq elektron komponentlərin istehsalında iştirak edən mürəkkəb proseslər üçün hazırlanmışdır. Rəqəmsal əsrin görünməyən memarları kimi düşünün. Bunlar Yarımkeçiricilərdə istifadə olunan qazlar İstehsalda silikon təbəqələri, azotlu trifluoride (NF₃) kamerası təmizlənməsi üçün silikon təbəqələri (NF₃) kimi müxtəlif diapazon kimi müxtəlif bir sıra daxildir, argon (AR) bir inert qalxan və müxtəlif doping qazı Elektrik xüsusiyyətlərini dəyişdirmək üçün fosfin (ph₃) və ya arsin (ash₃) kimi yarımkeçiricili Materiallar. Termini "Elektron ixtisas"Özü, öz tərtibatlarında və onların tərkibində tələb olunan həddindən artıq dəqiqliyi vurğulayır. Bunlar gündəlik deyil sənaye qazlarıAçıq Onların spesifikasiyaları daha sərtdir.

Onların əsas əhəmiyyəti saflıq xüsusilə də aşmaq olmur yarımkeçirici istehsalı. Müasir inteqrasiya olunmuş sxemlər (ICS), tez-tez nanometrlərdə ölçülür (metrin milyardıncı hissəsində) olduqca kiçik olan tranzistorlar və keçirici yollar var. Bu mikroskopik miqyasda, hətta bir istənməyən atom da murdarlıqKiçik bir axında bir daş kimi hərəkət edir, nəzərdə tutulan elektrik axını pozur və ya struktur qüsurlarına səbəb olur. Bu, səhv bir çipə və milyonlarla fişin bir vaflonda istehsal olunduğu bir sahədə, geniş yayılmış maliyyə və nüfuzlu ziyan çirklənmə böyük ola bilər. Buna görə, Elektron ixtisas qazlarının saflığı bütöv bir təməl sütundur Elektron və yarımkeçirici Sənaye stendləri. Hər hansı bir murdarlıq Cihazın performansını, məhsuldarlığı və etibarlılığını, ciddi hala gətirərək güzəştə gedə bilər qazıma Nəzarət vacibdir.

Huazhong qazında, müştərilərimizin içində olduğunu başa düşürük Yarımkeçirici sənaye "Beş Nines" (99.999%) və ya hətta "altı Nines" (99.9999%) (99.9999%) (99.9999%) ilə (99.9999%) cavab verən qazları təmin etmək üçün bizə etibar edin. Bu o deməkdir ki murdarlıq Bir milyon (ppm) və ya hətta bir milyard (ppb) başına (ppb) hissələrindən daha aşağı konsentrasiyalarda iştirak etməlidir. Buna nail olmaq və yoxlamaq yüksək saflıq Səviyyə mürəkkəb tələb edir təmizlənmə Texnikalar və, Qabaqcıl, Qabaqcıl murdarlıq təhlili Metodlar. Gözlənilməz birinin olması murdarlıq ilə bağlı problemləri də göstərə bilər qaz silindrləri və ya tədarük zənciri, ardıcıl keyfiyyət yoxlamaları həyati hala gətirir. Bizi təmin edirik Azot silindrli Təkliflər, məsələn, bu tələbkar standartlara cavab verin, çünki azot bir çox yarımkeçirici istehsal addımlarında bir işçi qazıdır.

Hətta mikroskopik iz çirkləri yarımkeçirici istehsal xətlərini necə poza bilər?

Bəzən kiçik bir şeyin necə kiçik olduğunu təsəvvür etmək çətindir trace murku Bir milyard (ppb) və ya trilyon (ppt) başına (ppt) hissələrində ölçülmüş (ppt), bu qədər ciddi problemlərə səbəb ola bilər. Ancaq dünyada yarımkeçiricili İstehsalat, bu mikroskopik çirkləndirənlər əsas yaramazlardır. Tipik bir yarımkeçirici istehsal prosesini nəzərdən keçirək: bu, bəzən yüzlərlə, yüzlərlə yüzlərlə, çökmə (nazik filmlər çəkmək), tithing (material çıxarmaq) və ion implantasiyası (xüsusi atomlar) kimi zərif addımlardan ibarətdir. Hər addım, tez-tez yaradılan və ya saxlanılan dəqiq idarə olunan kimyəvi mühitə güvənir Elektron ixtisas qazları. Əgər a Qaz istifadə olunur Bu addımlardan birində istənməyən bir şey var murdarlıq, murdarlıq incə təbəqələrə daxil edilə bilər yarımkeçiricili cihaz.

Məsələn, metal çirklər Natrium, dəmir və ya mis kimi, ultra aşağı konsentrasiyalarda belə, silikon elektrik xüsusiyyətlərini kəskin şəkildə dəyişdirə bilər. Qısa sxemlərə aparan istenmeyen keçirici yolları yarada bilər və ya cihazın axınına mane olan "tələlər" kimi hərəkət edə bilər, cihazı yavaşlatan və ya tamamilə uğursuz olmağa səbəb ola bilər. Bir murdarlıq bir proses addımında nəzərdə tutulmuş kimyəvi reaksiyalara da müdaxilə edə bilər. Məsələn, a çirkləndirici İntching qazında, voberdəki dəqiq naxışları məhv edərək altından və ya həddən artıq etching səbəb ola bilər. Təsir yalnız fərdi çiplərə aid deyil; təyin olunmamış murdarlıq Məsələ, boşalma dəstlərinin bütün dəstələrinə səbəb ola bilər, nəticədə milyonlarla dollar itkisi, istehsal gecikmələri və keyfiyyətli materialların sabit tədarükünü təmin etməli olan Mark Shen kimi satınalma işçiləri üçün baş ağrısı və baş ağrısı. Bu, sağlam olmaq üçün kritik ehtiyacı vurğulayır iz çirkləri ölçülür.

Çağırış hər hansı bir üçün "məqbul" səviyyəsidir murdarlıq kimi kiçilir yarımkeçiricili Cihaz xüsusiyyətləri daha kiçik olur. Məqbul sayılan şey murdarlıq bir on il əvvəl bir fəlakətli ola bilər çirklənmə bu gün. Miniatürləşmə üçün bu amansız sürücü qaz istehsalçılarına və yaxşılaşdırmaq üçün analitik laboratoriyalara çox böyük təzyiq göstərir aşkarlama limiti Qabiliyyətlər. Hətta hissəcik Çirkləri, çılpaq gözə görünməyən kiçik toz ləkələri, fotoliitoqrafiya pillələrində işığı maneə törədir və ya gofret səthində fiziki qüsurlar yarada bilər. Buna görə hər potensiala nəzarət etmək murdarlıq - İstər qazlı, metal və ya hissəcik - çox vacibdir. Bu Çirklərin çirkləri Hərtərəfli ehtiyac olduğunu vurğulayan məsələlərin geniş olduğunu vurğulaya bilər qaz analizi.

Ən çox yayılmış problemlər hansılardır? Elektronikalardakı qazlarda çirkləri müəyyənləşdirmək.

Haqqında danışanda Qazlarda çirklər üçün nəzərdə tutulmuşdur Elektron və yarımkeçirici Sektor, müxtəlif simvol tökmə, hər biri əhəmiyyətli zərər verə biləcək potensiala baxırıq. Bunlar Təsbit ediləcək çirklər Gaseous, metal və hissəcik formalara geniş şəkildə təsnif edilə bilər. Bu ümumi problemləri başa düşmək təsirli olan ilk addımdır murdarlıq təhlili və nəzarət. Xüsusi Çirkləri təqdim edir qazın özündən, onun istehsalı metodu, saxlanması və işləməsindən asılı olaraq dəyişə bilər.

Qazlı cansızlıqlar əsas olan digər qazlardır ixtisas qazı. Məsələn, içəridə yüksək saflıq azot, ümumi qaz cansızlıqlar Oksigen (o₂), nəm (h₂o), karbon qazı (co₂), karbonmonoksit (co) və karbohidrogenlər (chₓ) daxil ola bilər. Oksigen və nəmlik xüsusilə problemlidir, çünki onlar yüksək reaktivdir və istənməyən oksidləşməyə səbəb ola bilər yarımkeçiricili materiallar və ya proses avadanlığı. Hətta bir inert qaz bəyənmək argon, bunlar iz səviyyəsində ola bilər. Bir şirkət olaraq, tez-tez a təhlili üçün müraciətləri görürük Geniş çirkləri, bu reaktiv növlər də daxil olmaqla. Məsələn, imkanlarımıza kompleks istehsal edir Qaç potensial qazlar da daxil olmaqla hər bir komponenti idarə edən məhsullar cansızlıqlar, paramount.

Metal çirklər başqa bir böyük narahatlıqdır. Bunlar natrium (na), kalium (k), kalsium (ca), dəmir (fe), mis (ni), nikel (ni), xrom (cr), xrom (cr) və) kimi metalların atomlarıdır. Xammal, istehsal avadanlığı (boru kəmərləri və reaktorlar kimi) və ya hətta qaz silindrləri düzgün müalicə olunmadıqda özləri. Qeyd edildiyi kimi, bunlar metal çirklər elektrik işinə ciddi təsir göstərə bilər yarımkeçiricili qurğular. Bunları PPB və ya PPT səviyyələrində aşkar etmək, induktiv şəkildə birləşdirilmiş plazma kütləvi spektrometriyası kimi yüksək həssas analitik üsullar tələb edir (ICP-ms). Hesab etməliyik hissəcik məsələ. Bunlar kiçik bərk və ya maye hissəciklərdir qaz axınının. Bunlar bədəndəki fiziki qüsurlara səbəb ola bilər, avadanlıqdakı nozzles-də nozzol və ya digəri təqdim edə bilərlər çirkləndirənlər. Filtrasiya hissəcikləri aradan qaldırmaq üçün açardır, lakin səviyyələrini izləmək də hərtərəfli bir hissəsidir Qaz keyfiyyəti Proqram. Bir qədər Elektron ixtisas qazları də kibrit qazları və ya zəhərli qazlar, bunların təmin edilməsi, onların işlənməsi və təhlilinə başqa bir mürəkkəb bir təbəqə qatırı murdarlıq Profil bu təhlükələri kəskinləşdirmir.

ICP-MS: Yarımkeçirici qazlarda metal çirkləri aşkar etmək üçün qızıl standartı?

Gələndə Metal çirklərin təhlili içində Ultra yüksək təmizlik qazları, İnduktiv şəkildə birləşdirilmiş plazma kütləvi spektrometriyası və ya ICP-ms, geniş bir texnologiya kimi qəbul edilir. Geniş çeşidini aşkarlaya və ölçə biləcək güclü bir analitik texnikadır elementar çirklər, tez-tez heyrətamiz dərəcədə aşağı səviyyələrə enmək - bəzi elementlər üçün trilyon (ppt başına (PPT) və ya hətta hissələrarası (ppq) düşünün. Bu həssaslıq dəqiqdir ICP-ms üçün bu qədər vacib hala gəldi yarımkeçiricili Sənaye, burada, müzakirə etdiyimiz kimi, dəqiqəlik izləri metal çirklər zərərli ola bilər Məhsulun keyfiyyəti.

Necə olur ICP-ms Sehirini işləyin? Sadə baxımdan, nümunə qazı (və ya qazdan yaranan bir həll), adətən hazırlanmış çox isti plazma şəklində təqdim olunur argon. 6000 ilə 10.000 ° C temperaturuna çatan bu plazma, qaz molekullarını parçalamaq və hər hansı bir şəkildə daxil olmaqla atomları ionlaşdırmaq üçün kifayət qədər enerjilidir metal çirklər. Bu ionlar daha sonra plazmadan çıxarılır və kütləvi bir spektreterə yönəldilir. Kütləvi spektrometr, kütləvi şəkildə yükləmə nisbətinə görə ionları ayıran çox dəqiq bir filtr kimi hərəkət edir. Bir detektoru Sonra hər bir xüsusi kütlə üçün ionları sayır, bizə hansı elementlərin mövcud olduğunu və hansı miqdarda olduğunu müəyyənləşdirməyə imkan verir. Qabiliyyəti ICP-ms geniş bir spektri taramaq ixtisas qazlarında metal çirklər eyni zamanda onu çox səmərəli edir.

İsə ICP-ms inanılmaz dərəcədə güclüdür, xüsusən də məşğul olduqda problemləri olmadan deyil Yarımkeçiricilərdə istifadə olunan qazlar uydurma. Bir ümumi yanaşma tələyə salmaqdır cansızlıqlar böyük bir qazdan bir kolleksiya mühitinə və ya sonra təhlil edilən bir maye halına gətirilir ICP-ms. Ancaq birbaşa Qaz birbaşa inyeksiya içinə ICP-ms Xüsusi interfeyslər tələb olunsa da, sistem müəyyən tətbiqlər üçün daha çox rast gəlinir. Metod seçimi konkretdən asılıdır qaz çirkləri maraq, matris qazı və tələb olunan aşkarlama limiti. Huazhong Qazında, ən müasir analitik avadanlıqlara, o cümlədən ICP-ms Qabiliyyətlər, çünki etibarlı şəkildə təmin etdiyimizi bilirik murdarlıq təhlili Məlumatlar müştərilərimizə etibar etmək üçün əsasdır Yüksək saflıq elektron qazlar. Dəqiqliyi ICP-ms Bunun üçün kömək edir Qazların təmizliyi Üçün sərt tələblərə cavab verir elektron dərəcəli Materiallar.

Niyə şirin qaz saflığı elektronika və yarımkeçirici sənaye üçün müzakirə edilə bilməz?

Sarsılmaz ehtiyacı qazıma içində Elektron və yarımkeçirici sənaye yalnız bir üstünlük deyil; Müasir cihaz istehsalının fizika və iqtisadiyyatı tərəfindən idarə olunan əsas tələbdir. Kimi yarımkeçiricili cihaz xüsusiyyətləri nanometr miqyasına, hər hansı bir formaya həssaslığı çirklənmə Skyskoklar. Bir murdarlıq Yaşlıda əhəmiyyətsiz ola bilər, daha böyük qurğular indi qabaqcıl çiplərdə fəlakətli uğursuzluqlara səbəb ola bilər. Bu birbaşa gəlir gətirir - bir gofret üçün yaxşı fişlərin faizi və hətta məhsuldarlıqda kiçik bir damla, itirilmiş gəlirdə milyonlarla dollara çevrilə bilər yarımkeçiricili İstehsalçı.

Müasir bir mikroprosessor və ya yaddaş çipinin kompleks memarlığı haqqında düşünün. Burada milyardlarla tranzistor, hər biri miniatür mühəndisliyin heykəlcəsi var. Bu tranzistorların performansı dəqiq elektrik xüsusiyyətlərindən asılıdır yarımkeçiricili istifadə olunan materiallar, öz növbəsində, yüksək həssasdır cansızlıqlar. Məsələn, müəyyən metal çirklər Silikon band boşluğu içərisində istenmeyen enerji səviyyələrini təqdim edə bilər, artan sızma cərəyanı və ya azaldılmış daşıyıcı hərəkətliliyinə səbəb olur. Bu daha yavaş, daha az səmərəli və ya tamamilə qeyri-funksional olmayan cihaz deməkdir. Qazlı cansızlıqlar Oksigen və ya nəm kimi, cihazın istismarı üçün kritik film qalınlığı və ya interfeys xüsusiyyətlərini dəyişdirərək, gözlənilən oksidi təbəqələrinin meydana gəlməsinə səbəb ola bilər. Ümumilikdə Qaz keyfiyyəti birbaşa tərcümə edir Məhsulun keyfiyyəti və etibarlılıq.

Bundan əlavə, Elektron və yarımkeçirici sənaye yüksək mürəkkəb və bahalı istehsal prosesləri ilə xarakterizə olunur. Tək yarımkeçiricili İstehsal zavodu ("FAB") qurmaq və təchiz etmək üçün milyardlarla dollara başa gələ bilər. Bu istifadə olunan qazlar bu bahalı proses addımlarının çoxuna ayrılmazdır. Əgər a ixtisas qazı ilə çirklənmişdir murdarlıq, hazırda işlənən gofretlərə sadəcə təsir etmir; Bahalı emal avadanlıqlarını da çirkləndirə bilər. Bu, təmizlənmə və ixtisasartlaşdırma, xərclər və istehsal cədvəllərinə əlavə olaraq, istehsal cədvəllərinə daha da əlavə edilməsinə səbəb ola bilər - müştərilərin tələblərini ödəmək üçün vaxtında çatdırılmasına əsaslanan Mark Shen kimi birisi üçün əsas ağrı nöqtəsidir. Buna görə də, təmin etmək Elektron ixtisas qazlarının saflığı ciddi şəkildə murdarlıq təhlili bütün tədarük zənciri üçün kritik bir risk yumşalma strategiyasıdır. Fokus Yüksək saflıq qazları səhələrin inanılmaz dərəcədə yüksək olduğu üçün amansızdır.

Xüsusi qazlarda metal çirklərin təhlilində hansı əsas problemlərlə üzləşirik?

Təhlil etmək metal çirklər içində Xüsusi qazlar, xüsusilə də istifadə olunanlar yarımkeçiricili Sənaye, unikal bir çağırış dəsti təqdim edir. Əsas çətinliklər bunların olduğu son dərəcə aşağı konsentrasiyadan qaynaqlanır cansızlıqlar problemli ola bilər - tez-tez başçısına (ppb) və ya hətta trilyon (PPT) aralığında. Dəqiqə məbləğləri aşkar etmək və dəqiqləşdirmək yalnız yüksək həssas analitik cihaz tələb edir ICP-ms həm də xarici tətbiqi ilə tanış olmamaq üçün qeyri-adi mühitləri və diqqətli nümunə işləmə protokollarını təmizləyin çirklənmə.

Bir əhəmiyyətli bir problem nümunə girişdir. Çox İxtisas qazları istifadə olunur içində elektronika yüksək reaktiv, aşındırıcı və ya hətta pyroforikdir (öz-özünə efirdə alovlanır). Bunları etibarlı və effektiv şəkildə köçürən qazlar kimi analitik bir alətə ICP-ms dəyişmədən nümunə qazı Aləti çirkləndirmək, ixtisaslaşmış interfeys və işləmə prosedurları tələb edir. Məsələn, birbaşa enjekte etmək tıxanma qazı hidrogen xlorid (HCL) standartına bənzəyir ICP-ms sistem ciddi şəkildə zərər verə bilər. Buna görə, itaətçi tələyə düşmək kimi dolayı üsullar (qazı bir maye vasitəsilə bükmək) cansızlıqlar) və ya cryogenic tələ, tez-tez işə götürülür. Ancaq bu üsullar öz potensial mənbələrini tanıda bilər çirklənmə və ya mükəmməl şəkildə yerinə yetirilmədiyi təqdirdə təhlil itkisi. Seçimi deşik seyreltildiyinə görə, lazım olduqda qüsursuz olmalıdır saflıq.

Digər bir problem "matris effekti" dir. Toplu qaz özü (məsələn, argon, azot, hidrogen) aşkarlanmasına müdaxilə edə bilər İz çirkləri. Məsələn, içəridə ICP-ms, plazma topludan meydana gəldi qaz bəzi hədəf kimi eyni kütləvi yükləmə nisbəti olan poliatomik ionlar yarada bilər metal çirklər, saxta pozitivlərə və ya qeyri-dəqiq miqdarda liderlik aparır. Təhlilçilər toqquşma / reaksiya hüceyrələri kimi texnikalardan istifadə etməlidirlər ICP-ms və ya bu spektral müdaxilələri aradan qaldırmaq üçün yüksək qətnamə kütləvi spektrometriya. Bundan əlavə, kəmiyyətdən istifadə olunan kalibrləmə standartları metal çirklər Son dərəcə dəqiq və izlənilməlidir və etibarlılığını təmin etmək üçün bütün analitik proses təsdiqlənməlidir murdarlıq təhlili Nəticələr. Biz, bir təchizatçı olaraq, bütövlüyün də narahatlığını da narahat edirik qaz silindrləri və töhfə vermək potensialı metal çirklər zamanla davam edən keyfiyyət nəzarətini zəruri edir.

Bir qaz mübadiləsi cihazından istifadə edə bilər, iz çirklərinin ölçülməsinin düzgünlüyünü artırır?

Bəli, Bir qaz mübadiləsi cihazından istifadə Həqiqətən dəqiqliyin artırılmasında mühüm rol oynaya bilər iz çirkləri ölçülür, xüsusilə çətinliklə məşğul olduqda qaz matrislər və ya ultra-aşağı hədəf alarkən aşkar məhdudiyyətlər. Bir qaz mübadiləsi cihazı, bəzən matris aradan qaldırılması sistemi olaraq adlandırılan, əslində toplu silməklə işləyir qaz (əsas komponenti nümunə qazı) cəmləşdirərkən İz çirkləri maraq. Əvvəlcədən konsentrasiya addımı kimi, sonrakı analitik texnikaların həssaslığını kəskin dərəcədə yaxşılaşdıra bilər ICP-ms və ya qaz xromatoqrafı sistemləri.

Çoxlarının arxasındakı prinsip Qaz mübadiləsi cihazları Yarımkeçmiş bir membran və ya seçici adsorbsiya / desorbsiya mexanizmi daxildir. Məsələn, bir palladium membranı, a-dan hidrogeni seçmək üçün istifadə edilə bilər qaz qarışığı, digərlərinə imkan verir Qazlarda çirklər cəmləşmək və a-ya keçilmək detektoru. Eynilə, xüsusi adsorbent materialları müəyyən edə bilər cansızlıqlar axar qaz sonra daha kiçik bir təmiz bir həcmdə istəməlləşdirilə bilən axın deşik Təhlil üçün. Toplu miqdarını azaltmaqla qaz çatmaq detektoru, bu qurğular matris müdaxilələrini minimuma endirir, fon səs-küyünü aşağı salır və hədəf üçün siqnal-səs-küy nisbətini effektiv şəkildə artırır İz çirkləri. Bu daha aşağıya səbəb ola bilər aşkarlama limiti.

Faydaları Bir qaz mübadiləsi cihazından istifadə təhlil edərkən xüsusilə aydın görünür Elektron olaraq çirklər birbaşa idarə etmək çətin olan və ya analitik alətlərə əhəmiyyətli müdaxiləyə səbəb olan qazlar. Məsələn, yüksək reaktivdə iz oksigen və ya nəm ölçmək istəyərkən ixtisas qazı, a qaz mübadiləsi cihazı bunları potensial ayıra bilər cansızlıqlar daha yaxşı bir şəkildə deşik bəyənmək argon və ya helium çatmadan əvvəl detektoru. Bu, yalnız dəqiqliyi yaxşılaşdırmır, lakin həssas analitik komponentləri də qoruya bilər. İstehsalçı kimi 99.999% saflıq 50l silindrli ksenon qazı, müstəsna olanı yoxlamaqda belə inkişaf etmiş texnikaların dəyərini başa düşürük saflıq nadir və Xüsusi qazlar. Bu texnologiya kritikdə kömək edir Qaz təmizlənməsi və doğrulama mərhələləri.

Kritik link: Yarımkeçirici istehsalda birbaşa istifadə olunan qazlarda çirk təhlili.

Bu birbaşa yarımkeçirici istehsalda istifadə olunan qazlar uydurma prosesinin ömrü. Bunlara yalnız deyil toplu qazlar azot kimi və argon, eyni zamanda geniş bir sıra Elektron ixtisas qazları kimi epitaxial qazlar (məsələn, are, böyüyən kristal təbəqələri üçün gervane), Qazlar (e.g., nf₃, sf₆, patching üçün cl₂, ion implantasiya qazları (məsələn, arsin, fosfin, boron trifluoride) və depozit qazı. Bunların hər biri üçün Qazlar tələb olunur, məqbul səviyyəsi və növü murdarlıq hər hansı bir sapma birbaşa qüsurlara çevrilə biləcəyi üçün olduqca müəyyən edilir yarımkeçiricili vafli. Bu edir murdarlıq təhlili Bunlar üçün proses qazları Tamamilə kritik bir keyfiyyətə nəzarət addımı.

Tranzistorlarda nazik bir silikon dioksid qatının çöküntüsünü, tranzistorlarda ortaq bir izolyatoru nəzərdən keçirin. Oksigen varsa Qaz istifadə olunur Bu müddət üçün karbohidrogendir cansızlıqlar, karbon, oksid qatına daxil edilə bilər, izolyasiya xüsusiyyətlərini alçaldan və cihaz çatışmazlığına aparan. Eynilə, bir ayırma varsa qaz gözlənilməz bir şey ehtiva edir murdarlıq, çox böyük, çox kiçik və ya səhv formalı xüsusiyyətlərə səbəb olan etch dərəcəsini və ya seçicisini dəyişdirə bilər. Hətta bir murdarlıq bir inert qaz bəyənmək Argon qaz silli Sputtering üçün istifadə olunan, film keyfiyyətinə təsir edən vafli səthinə köçürülə bilər. Birinin təsiri murdarlıq tez-tez emal edir, mənası var murdarlıq bir addımda toleration kritik ola bilər çirkləndirici digərində.

Bu kritik əlaqə hərtərəfli bir yanaşmanı zəruri edir murdarlıq təhlili. Bu, yalnız son məhsulu yoxlamaqla deyil; Bu, xammal, prosesdə axın və finalı izləmək daxildir qaz Təmizləmə mərhələləri. Üçün Yarımkeçirici ixtisası Qazlar, spesifikasiyalar Yarımkeçiricilərdə çirklər Müraciətlər tez-tez analitik aşkarlanmanın sərhədlərini itələyirlər. Müştərilərimizlə yaxından işləyirik Yarımkeçirici və elektronika özünəməxsuslarını başa düşmək üçün sahə murdarlıq Fərqli üçün həssaslıqlar Qazlar və qaz qarışıqları. Bu əməkdaşlıq yanaşma bunun təmin olunmasına kömək edir saflıq ixtisas qazları Biz inkişaf etmiş istehsal proseslərinin tələb olunan tələblərinə ardıcıl olaraq təmin edirik. Çağırış a aşkarlanmasında yatır Geniş çirkləri daim azalma səviyyəsində.

Laboratoriyadan kənarda: çirklənmənin qarşısını almaq üçün yüksək saflıq yarımkeçirici qazlarla işləmə üçün ən yaxşı təcrübələr.

Təmin etmək Elektron ixtisas qazlarının saflığı nə vaxt bitmir qaz İstehsalat qurumumuzu tərk edir. Bunu qorumaq saflıq istifadə nöqtəsinə qədər bütün yol yarımkeçiricili Fab işləmə, saxlama və paylanmaya diqqət tələb edir. Hətta ən yüksəkdir saflıq qazı düzgün idarə olunmadığı təqdirdə çirklənə bilər. Huazhong Qazında, nəinki istehsal etməyə diqqət etmirik yüksək saflıq qazları Həm də müştərilərimizə ən yaxşı təcrübələr barədə məlumatın aşağı axınının qarşısını almaq üçün məsləhət verin çirklənmə.

Ən yaxşı təcrübələrin açarı aşağıdakılar daxildir:

• Komponent seçimi: Qaz çatdırılma sistemindəki bütün komponentlər - o cümlədən qaz silindrləri, tənzimləyicilər, klapanlar, borular və fitinqlər - uyğun materiallardan (məsələn, elektirolunan paslanmayan poladdan) edilməlidir və xüsusi olaraq təmizlənməlidir və sertifikatlıdır Ultra yüksək təmizlik (UHP) xidməti. Yanlış materiallardan istifadə edərək, getməyə səbəb ola bilər cansızlıqlar və ya a metal murdarlıq içinə silmək qaz axınının.
• Sistemin bütövlüyü: Qaz tədarükü sistemi sızan-sıx olmalıdır. Hətta kiçik sızmalar atmosferə icazə verə bilər çirkləndirənlər Oksigen, nəm və hissəcik Sistemi daxil etmək, güzəştə getmək qazıma. Daimi sızma yoxlanılması vacibdir.
• Təmizləmə prosedurları: Düzgün təmizlənmə prosedurları hər dəfə bir əlaqə və ya bir silindrin dəyişdirildiyi zaman kritikdir. Bu xətləri bir ilə qızartmaq ehtiva edir Yüksək təmizlik inert qazı (kimi argon və ya azot) hər hansı bir tələyə düşmüş havanı çıxarmaq və ya cansızlıqlar. Qeyri-kafi təmizlənmə ümumi mənbəyidir çirklənmə. Tez-tez ardıcıllığı təmin etmək üçün avtomatlaşdırılmış təmizlənmiş panelləri tövsiyə edirik.
• Xüsusi avadanlıqlar: Xüsusi üçün xüsusi tənzimləyicilər və xətlərdən istifadə etməklə qazlar və ya ailələri qazlar çarpaz çirklənmənin qarşısını ala bilər. Bu, arasına keçərkən xüsusilə vacibdir inert qaz və reaktiv və ya tıxanma qazı.
• Silindrlə işləyən: Qaz silindrləri zərər verməmək üçün qayğı ilə işlənməlidir. Onlar təyin olunmuş, yaxşı havalandırılan ərazilərdə saxlanılmalıdır və "ilk, ilk" inventar idarəetmə tətbiq edilməlidir. İstifadə Xüsusi nəm və oksigen Tənqidi nöqtələrdəki analizatorlar bu ümumilərin hər hansı bir həcmini izləməyə də kömək edə bilər cansızlıqlar.

Yenidən satın almaq və ya istehsalda istifadə üçün qazlar əldə edən Mark Shen kimi Mark Shen kimi müştərilər üçün bu işləmə təcrübələrini dərk etmək üçün vacibdir Məhsulun keyfiyyəti öz müştərilərinə söz verirlər. Paylaşılan bir məsuliyyətdir. Bizi təmin edirik Hidrogen silindri Məsələn, məhsullar, qarşısını almaq üçün doldurulur və saxlanılır murdarlıq Giriş, lakin son istifadəçi sistemi eyni dərəcədə vacib rol oynayır. Qarşı mübarizə murdarlıq İstehsalın tətbiqinə davamlı bir səydir.

Kristal topa bax: Elektron dərəcəli qazlar üçün murdarlıq aşkarlanmasında hansı gələcək yenilikləri gözləyə bilərik?

Həmişə daha yüksək olan axtarış saflıq içində Elektron dərəcəli qazlar və daha həssasdır murdarlıq aşkarlanması Metodlar, innovasiyanın amansız tempi ilə idarə olunan davamlı bir səyahətdir yarımkeçiricili Sənaye. Cihazın xüsusiyyətləri, alt-10 nanometr aləminə və yeni materiallar və memarlığında (3D nand və qapı-hərtərəfli tranzistorlar kimi), hətta zəifləyicinin təsirini daha da artırdıqca İz çirkləri daha çox tələffüz olacaq. Bu hər ikisində daha çox irəliləyiş tələb edəcəkdir Qaz təmizlənməsi Texnologiyalar və murdarlıq təhlili Qabiliyyətlər.

Bir neçə tendensiyanı təxmin edə bilərik:

• Aşağı aşkarlama hədləri: Kimi analitik üsullar ICP-ms, Qaz xromatoqrafiyası-kütləvi spektrometriya (GC-MS) və boşluq ring-aşağı spektroskopiya (CRDS) inkişaf etməyə, itələməyə davam edəcəkdir aşkar məhdudiyyətlər daha geniş Çirklərin çirkləri təkrəqəmli PPT səviyyəsinə və ya hətta PPQ domeninə qədər. Bu, ion mənbələrində, kütləvi analizatorlarda yeniliklər tələb edəcək və detektoru Texnologiya.
• In-situ və real vaxt monitorinqi: Müşahidə edə biləcək analitik sistemlər üçün artan tələb var qazıma real vaxtda birbaşa istifadə nöqtəsində yarımkeçiricili fab. Bu, hər hansı birinin dərhal aşkar edilməsinə imkan verir çirklənmə Hadisələr və ya süründürmə murdarlıq Səviyyə, daha sürətli düzəldici hərəkətə və məhsul itkisini minimuma endirməyə imkan verir. Miniatürləşdirilmiş sensorlar və inkişaf etmiş chemometric alqoritmlər burada əsas rol oynayacaqdır.
• Kompleks qaz qarışıqlarının təhlili: Gələcək yarımkeçiricili Proseslər daha mürəkkəb ola bilər Qaz qarışıqları çox reaktiv komponentlərlə. Təhlil etmək cansızlıqlar Bu cür çətin matrislərdə yeni analitik strategiyalar və mürəkkəb məlumat təfsiri alətləri tələb olunur. Ölçmək qabiliyyəti murdarlıq Başqalarının müdaxiləsi olmadan bir komponentdə çox vacib olacaqdır.
• "Qatil" çirklərinə diqqət yetirin: Tədqiqatlar konkret müəyyənləşdirməyə davam edəcəkdir Yarımkeçiricilərdə çirklər Cihazın performansına və ya məhsuldarlığına qeyri-mütənasib olaraq böyük təsir göstərən emal, hətta son dərəcə aşağı səviyyələrdə. Analitik metodlar bu "qatil" üçün daha çox hədəfə çevriləcəkdir cansızlıqlar.
• Məlumat analitikləri və AI: Qabaqcıl tərəfindən yaradılan geniş məlumatlar murdarlıq təhlili Sistemlər AI və maşından istifadə edərək, tendensiyaları müəyyənləşdirməyi, potensialı proqnozlaşdırmağı öyrənməkdən istifadə edəcəkdir çirklənmə məsələlər və optimallaşdırın Qaz təmizlənməsi proseslər. Bu, reaktiv problem həllindən daha çox fəal keyfiyyətə nəzarət edə bilər.

Huazhong Qazında bu inkişafların ön sıralarında qalmağa qərarlıyıq. Aralıq və inkişafa davamlı olaraq tədqiqat və inkişafa investisiya qoyuruq, elmini inkişaf etdirmək üçün sənaye tərəfdaşları və akademik qurumları ilə əməkdaşlıq edirik yüksək saflıq qazı istehsal və murdarlıq təhlili. Müştərilərimiz, o cümlədən Mark Shen kimi keyfiyyətli olanlar üçün bu, etibarlı bir tədarük deməkdir Elektron ixtisas qazları inkişaf edən ehtiyaclarını qarşılayan Elektron və yarımkeçirici sənaye. Aralığımız Heliumİxtisaslaşması və ixtisaslaşmış tətbiqlərdə istifadə ilə tanınan, minimal təmin etmək üçün bu qabaqcıl analitik araşdırmalardan da faydaları da murdarlıq səviyyələri.

Unutmaq üçün açar yol yolları:

• Elektron ixtisas qazları üçün əsasdır Yarımkeçirici İstehsalatvə və onların saflıq razılaşdırılmır.
• Hətta İz çirkləri, PPB və ya PPT-də ölçülür, əhəmiyyətli qüsurlara və zərər verə bilər yarımkeçiricili qurğular.
• Ümumi Qazlarda çirklər Digər qazları (o₂, h₂o), metal çirklər, və hissəcik məsələ.
• ICP-ms A aşkar etmək üçün bir təməl daşı texnologiyasıdır Geniş çirkləri, xüsusən də metal çirklər, ultra aşağı səviyyədə.
• Qorumaq qazıma Diqqətsiz işləmə və sistem bütövlüyü tələb edir qaz silli qarşısını almaq üçün istifadə nöqtəsinə çirklənmə.
• Gələcək daha da aşağı görəcək aşkar məhdudiyyətlər, real vaxt monitorinqi və Ai tərəfindən idarə olunan murdarlıq təhlili üçün elektron dərəcəli qazlar.
• Hər potensiala nəzarət etmək murdarlıq təmin etmək üçün vacibdir Məhsulun keyfiyyəti və müasirin etibarlılığı elektronika.