Günəş fotovoltaik sənayesi
Fotovoltaik sənayedekada, Huazhong qazı nazik film, polissilikon, incə silikon və günəş hüceyrələri üçün 3-5 mürəkkəb tətbiq, o cümlədən nazik film çöküntüsü, boşluq təmizlənməsi və daşıyıcı qaz tətbiqetmələrində istifadə olunur.
