በሴሚኮንድገር ማምረቻ ውስጥ ምን ምን ጥቅም ላይ ይውላሉ?
ሴሚኮንዳዩተር ማምረቻ በማኑፋካች በሦስት ዋና ዋና ዓይነቶች ውስጥ ሊመደብ የሚችል የተለያዩ የተለያዩ ጋዞችን ላይ ይተገበራል- የጅምላ ጋዞች, ልዩ ጋዞችእና ጩኸት ጋዞች. እነዚህ ጋዞች ብክለትን ለመከላከል በጣም ከፍተኛ ንፅህናን ለመከላከል እጅግ ከፍተኛ ንፅህና መሆን አለባቸው, ይህም ለስላሳ እና የተወሳሰበ ጥንቅር ሂደት ሊያበላሸው ይችላል.
የጅምላ ጋዞች
ናይትሮጂን (n₂)
ሚና-NAMED የሂደት ክፍሎችን ጨምሮ በርካታ ዓላማዎችን ጨምሮ በተለያዩ የሴሚኮንድገር ማምረቻ ደረጃ ደረጃዎች ውስጥ የስነ-አከባቢ ሁኔታን ማቅረብ.
ተጨማሪ ማስታወሻዎች-ናይትሮጂን ብዙውን ጊዜ ኦክሳይድ ለመቀነስ ሲሊኮን ወራሾች በሚጓዙበት ማከማቻ እና ማከማቸት ውስጥ ተቀጥረዋል. የስነምግባር ተፈጥሮው ከሌሎች ቁሳቁሶች ጋር ምላሽ እንደማይሰጥ ያረጋግጣል, እሱ ንጹህ የማራገቢያ አካባቢዎችን ለማቆየት ተስማሚ መሆኑን ያረጋግጣል.
Argon (AR)
ሚና: - በፕላዝማ ሂደቶች ከተሳተፈ በተጨማሪ አርጎን ቁጥጥር በሚደረግበት የጋዝ ስብጥር ውስጥ ወሳኝ በሚሆኑባቸው ሂደቶች ውስጥ አስፈላጊ ነው.
ተጨማሪ ማስታወሻዎች: - በብዙ ቁሳቁሶች ላይ ምላሽ ስላልሆነ, ብረትን ወይም አሪፍ ሪልስቲክ ምልክቶችን ሳይበክሉ የተቀመጡበትን ብረት ወይም አሪፍ ፊልሞችን ለማስቀመጥ ይረዳል.
Helium (እሱ)
ሚና-የሄሊየም የሙቀት ንብረቶች እንደገና በሚቀዘቅዙ ሂደቶች ወቅት የሙቀት መጠንን ለማቀዝቀዝ እና ለማቆየት የሚያስችል አጋጣሚ ይሰጣቸዋል.
ተጨማሪ ማስታወሻዎች: - ምላሽ ሰጪ ባልሆኑ ተፈጥሮአዊ ተፈጥሮአዊ እና ከብክሽነቶች ነፃ በሆነ መንገድ የመኖር ችሎታ ባለው ከፍተኛ ኃይል ሰጭ ስርዓቶች ውስጥ ብዙውን ጊዜ በብሔራዊ ኃይል ስርዓቶች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል.
ሃይድሮጂን (ኤች.አይ.)
ሚና-ከማመልከቻው በላይ, ሃይድሮጂን እንዲሁ የመርከቧን ወለል ለማፅዳት እና በኤፒታኪክ ጊዜ በኬሚካዊ ግብረመልሶች ውስጥ ሊገጣጠም ይችላል.
ተጨማሪ ማስታወሻዎች: - ቀጫጭን ፊልሞች በተቀባበል መጠን የሃይድሮጂን አጠቃቀም በሴሚኮንደርዴር ቁሳቁሶች ላይ ተሸካሚ ማተኮር እንዲቻል ያስችላል.
ልዩ ጋዞች እና ዶግሮች
ሲሊ (ሲህ):
ሚና-ለሲሊኮን ተቀማጭ ሰጭነት ቅድመ ሁኔታ ከመሆን በተጨማሪ ሲሊ ኤሌክትሮኒክ ባህሪያትን የሚያሻሽሉ ወደ ሚዳሪ ፊልም ሊገባ ይችላል.
ተጨማሪ ማስታወሻዎች-ቅጣቱ በዋናነት አሳሳቢ ጉዳዮች በተለይም ከአየር ወይም ከኦክስጂን ጋር ሲደባለቁ በደህንነት ጉዳዮች ምክንያት በጥልቀት አያያዝ ይጠይቃል.
አሞኒያ (ኤን.ኤን.)
ሚና-የናይትኒኬሪድ ፊልሞችን ከማምረት በተጨማሪ የሴሚክቶንዲቨር መሳሪያዎችን አስተማማኝነት የሚያሻሽሉ ንብርብሮችን በማዘጋጀት ረገድ ጉልህ ነው.
ተጨማሪ ማስታወሻዎች: - ናይትሮጂን ወደ ሲሊኮን የሚጠይቅ, የኤሌክትሮኒክ ንብረቶችን ለማሻሻል በሚፈልጉ ሂደቶች ውስጥ ሊሳተፍ ይችላል.
ፎስፊን (ኤች.አይ.ፒ.), የሪሳፊን (አሽ as₃), እና ዲቦራኔ (ቢቢራ):
ሚና-እነዚህ ጋዞች ለመቅደሚያዎች አስፈላጊ ብቻ አይደሉም ነገር ግን በተላሰ የ Semiconder መሣሪያዎች ውስጥ የሚፈለጉ የኤሌክትሪክ ባህሪያትን ለማሳካት ወሳኝ ናቸው.
ተጨማሪ ማስታወሻዎች-መርዛማነት አደጋዎችን ለማቃለል በተጫነ አከባቢዎች ጥብቅ የጥንቃቄ ፕሮቶኮሎችን እና የቁጥጥር ስርዓቶችን ያስፈለጋቸዋል.
ጋዞችን ማጽዳት እና ማፅዳት
ፍሎራይተሮካካን (CF₄, SF₆)
ሚና-እነዚህ ጋዞች እርጥብ ከሚባባሱ ዘዴዎች ጋር ሲነፃፀር ከፍተኛ ትክክለኛነት የሚያቀርቡ በደረቅ ዥረት ሂደቶች ውስጥ ተቀጥረዋል.
ተጨማሪ ማስታወሻዎች: - CFT እና SF₆ በከፍተኛ ሁኔታ በሚችሉት ችሎታቸው ምክንያት በፀባይ የሲርኮን-ተኮር ቁሳቁሶች ችሎታ ላይ ናቸው, ለዘመናዊ አሽከርካሪዎች ወሳኝነት አስፈላጊ ናቸው.
ክሎሪን (ክሎኒ) እና የሃይድሮጂን ፍሎራይድ (ኤች.አይ.ቪ.)
ሚና ክሎሪን አስጨናቂ የመርከቦችን የመርከቦች አቅም ይሰጣል, በተለይም ለባርታዎች, hf ለሲሊኮን ዳይኦክሳይድ መወገድ ወሳኝ ነው.
ተጨማሪ ማስታወሻዎች: - የእነዚህ ጋዞች ጥምረት በተለያዩ የጥፋት ደረጃዎች ውስጥ ውጤታማ የንብርብር መወገድን ያስከትላል, ይህም ለሚቀጥሉት የማቀናገድ እርምጃዎች ንጹህ ገጽታዎች.
ናይትሮጂን ትሪፕሽን (NFF)
ሚና NF ₃ በ CVD ስርዓቶች ውስጥ ለክልል ጽዳት ወደ የአካባቢ ማጽጃ ተስማሚ የሆነ አፈፃፀም ለማቆየት ከጎናሮች ጋር ምላሽ ይሰጣል.
ተጨማሪ ማስታወሻዎች-ምንም እንኳን ስለ ግሪንሃውስ ጋዝ አቅም ቢባልም, የፅዳት ውጤታማነት ቢኖርም የፅዳት ውጤታማነት ምንም እንኳን የእሱ አጠቃቀም ጠንቃቃ አካባቢያዊ ግምት የሚጠይቅ ቢሆንም በብዙ ፋብሪካዎች ውስጥ ምርጫዎች ውስጥ የመረጠው ምርጫ ያደርገዋል.
ኦክስጅንን (ኦ.)
ሚና በኦክስጂን የተስተካከለ የኦክሳይድ ሂደቶች በሴሚኮንድገር መዋቅሮች ውስጥ አስፈላጊ የሆኑ ንጣፎችን ሊፈጥሩ ይችላሉ.
ተጨማሪ ማስታወሻዎች Sio₂ ንብርብሮችን ለማገገም የኦክስጂን ሚና የወረዳ አካላት ማግለል እና ጥበቃ ወሳኝ ነው.
በሴሚኮንድገር ማምረቻ ውስጥ ያሉ ጋዞች ይወጣል
ከላይ ከተዘረዘሩት ባህላዊ ጋዞች በተጨማሪ ሌሎች ጋዞች በሴሚኮንዳር ማምረቻ ሂደት ውስጥ ትኩረት እያገኙ ነው-
ካርቦን ዳይኦክሳይድ (ኮሮ) በአንዳንድ የፅዳት እና በመመቂያ ትግበራዎች በተለይም የላቁ ቁሳቁሶችን በሚመለከቱት.
ሲሊኮን ዳይኦክሳይድ (SIO) ምንም እንኳን በመደበኛ ሁኔታዎች ውስጥ ጋዝ ባይሆንም, በተወሰኑ ተቀማጭነት ሂደቶች ውስጥ የተቆራረጡ የሲሊኮን ዳይኦክሳይድ ዓይነቶች ጥቅም ላይ ውሏል.
አካባቢያዊ ጉዳዮች
ሴሚኮንዲተር ኢንዱስትሪ ከተለያዩ ጋዞች በተለይም ከተለያዩ ጋዞችዎች በተለይም የግሪን ሃውስ ጋዞች ከመጠቀም ጋር የተዛመደ የአካባቢ ተጽዕኖን በመቀነስ እያተኮረ ነው. ይህ ወደ የላቀ የጋዝ አያያዝ ስርዓቶች እና ዝቅተኛ የአካባቢ አከባቢ ተመሳሳይ ጥቅሞችን ሊያቀርቡ የሚችሉ አማራጭ ጋዞችን እንዲመረምሩ አስችሏል.
ማጠቃለያ
በሴሚሚኮንድገር ማምረቻ ማምረቻ ማምረቻ ውስጥ የተጠቀሙባቸው ጋዞች የጥሪ ሂደቶች ትክክለኛ እና ውጤታማነት ለማረጋገጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ. የቴክኖሎጂ እድገቶች, ሴሚሚኖቨር ኢንዱስትሪ በጋዝ ንፅህና እና በአስተዳደሩ ውስጥ ላሉት ማሻሻያዎች እና በአስተዳደሩ ውስጥ ላሉት ማሻሻያዎች እና የአካባቢ ስጋቶች ከአገልግሎት ጋር የተዛመዱ ናቸው.
