ዘመናዊው ዓለም በቺፕስ ላይ ይሰራል. በኪስዎ ውስጥ ካለው ስማርትፎን ጀምሮ በአይሮስፔስ ኢንጂነሪንግ ውስጥ እስከ መመሪያ ስርዓቶች ድረስ ፣ ትንሹ ሴሚሚኮንድዌተር መሣሪያ ያልተዘመረለት የዲጂታል ዘመን ጀግና ነው። ግን ከጀግናው ጀርባ ያለው ጀግና ምንድን ነው? እሱ የማይታይ ፣ ብዙውን ጊዜ ተለዋዋጭ የልዩ ጋዞች ዓለም ነው። በተለይም፣ የፍሎራይን ኬሚስትሪ ውስጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታል ሴሚኮንድገር ማምረቻ በቀላሉ ሊተካ የማይችል ሂደት.

የአቅርቦት ሰንሰለት እያስተዳደሩ ከሆነ ወይም የምርት ጥራትን በ ሀ ሴሚኮንዳተር ፋውንዴሪ ፣ የስህተት ህዳግ ዜሮ መሆኑን ያውቃሉ። A single spike in moisture or a microscopic particle can ruin a multimillion-dollar production run. ይህ መጣጥፍ ወደ ሚናው ጠልቆ ይሄዳል ፍሎራይን የያዘ ጋዞች-ለምን እንደምንጠቀምባቸው፣ ውጤታማ የሚያደርጋቸው ልዩ ኬሚስትሪ እና የአቅርቦት ሰንሰለት መረጋጋት እና ንፅህና አስፈላጊነት። እነዚህ እንዴት እንደሆነ እንመረምራለን ከፍተኛ የመጥራት ጋዞች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ ኢ.ቲ. እና የማስቀመጫ ደረጃዎች፣ እና ለምን ከታማኝ አጋር እነሱን ማግኘቱ በዚህ አመት ሊወስኑት የሚችሉት በጣም አስፈላጊው ውሳኔ ነው።

ለምንድን ነው ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ፍሎራይን በያዙ ጋዞች ላይ በጣም ጥገኛ የሆነው?

የሚለውን ለመረዳት ሴሚኮንዳተር ኢንዱስትሪ, ወቅታዊውን ሰንጠረዥ መመልከት አለብዎት. ሲሊኮን ሸራ ነው, ግን ፍሎራይድ ብሩሽ ነው. የ ሴሚኮንድገር ፍርስራሽ ሂደቱ የቁሳቁሶች ንብርብሮችን መገንባት እና ወረዳዎችን ለመፍጠር በመምረጥ እነሱን ማስወገድን ያካትታል. ይህ የማስወገጃ ሂደት etching ይባላል.

ፍሎራይድ በጣም ኤሌክትሮኔክቲቭ ንጥረ ነገር ነው. በቀላል አገላለጽ፣ ለኤሌክትሮኖች በሚያስደንቅ ሁኔታ ይራባል። ስናስተዋውቅ የፍሎራይን ጋዝ ወይም የፍሎራይድ ውህዶች ወደ ፕላዝማ ክፍል ውስጥ ፣ የፍሎራይን አተሞች በሲሊኮን እና ኃይለኛ ምላሽ ይሰጣሉ ሲሊኮን ዳይኦክሳይድ. ይህ ኬሚካላዊ ምላሽ ጠጣር ሲሊከንን ወደ ተለዋዋጭ ጋዞች (እንደ ሲሊኮን ቴትራፍሎራይድ) በቀላሉ ወደ ሚነፈሱ ይለውጠዋል። ያለዚህ ኬሚካላዊ ምላሽ ለዘመናዊ የሚያስፈልጉትን ጥቃቅን ጉድጓዶች እና የመገናኛ ቀዳዳዎች መፍጠር አልቻልንም። ኤሌክትሮኒክ መሣሪያዎች.

በ ውስጥ ከፍተኛ መጠን ያለው ምርት, ፍጥነት እና ትክክለኛነት ሁሉም ነገር ናቸው. ፍሎራይን የያዙ ጋዞች ምርቱን ከፍ ለማድረግ የሚያስፈልጉትን ከፍተኛ የ etch ተመኖች ያቅርቡ ፣ እንዲሁም አንድ ቁሳቁስ ከስር ያለውን ንጣፍ ሳይጎዳ የመቁረጥ ምርጫን ይሰጣል። ሚዛኑን የጠበቀ እርምጃ ነው። ኬሚስትሪ እና ፊዚክስ.

የፍሎራይን ኬሚስትሪ ለከፍተኛ-ትክክለኛነት ማሳከክ ልዩ የሚያደርገው ምንድን ነው?

ምናልባት ክሎሪን ወይም ብሮሚን ለምን አትጠቀሙም? እኛ እናደርጋለን, ለተወሰኑ ንብርብሮች. ሆኖም፣ የፍሎራይን ኬሚስትሪ በሲሊኮን ላይ የተመረኮዙ ቁሳቁሶችን በሚቀረጽበት ጊዜ ልዩ ጥቅም ይሰጣል. በሲሊኮን እና በፍሎራይን መካከል ያለው ትስስር በማይታመን ሁኔታ ጠንካራ ነው. መቼ ፍሎራይን የያዘ ፕላዝማ ዋፈርን ይመታል ፣ ምላሹ ውጫዊ እና ድንገተኛ ነው።

አስማት በ ውስጥ ይከሰታል ፕላዝማ. በ ሴሚኮንዳክተር ሂደት ክፍል፣ እንደ ካርቦን ቴትራፍሎራይድ (CF4) ወይም ሰልፈር ሄክፋሉራይድ (SF6) ባሉ የተረጋጋ ጋዝ ላይ ከፍተኛ ኃይልን እንተገብራለን። ይህ ጋዙን ይሰብራል ፣ ምላሽ ይሰጣል ፍሎራይድ አክራሪዎች. እነዚህ አክራሪዎች የንጣፉን ገጽታ ያጠቃሉ ዋስትና.

" የ. ትክክለኛነት ኢ.ቲ. የቺፑን አፈጻጸም ይገልጻል. የጋዝ ንፅህናዎ ከተለዋወጠ፣ የእርስዎ የኢትች ፍጥነት ይለዋወጣል፣ እና ምርትዎ ይበላሻል።

ይህ ወደ ጽንሰ-ሐሳብ ይመራል አኒሶትሮፒክ ማሳከክ - ወደ ጎን ሳይበሉ በቀጥታ መቁረጥ. በማደባለቅ ፍሎራይድ ከሌሎች ጋር ጋዞችን ያካሂዱ፣ መሐንዲሶች የጉድጓዱን መገለጫ በትክክል መቆጣጠር ይችላሉ። ወደ ትናንሽ ኖዶች (7nm፣ 5nm እና ከዚያ በታች) ስንሸጋገር ይህ አቅም አስፈላጊ ነው፣ አንድ ናኖሜትር የመቀየሪያ ልዩነት እንኳን ውድቀት ነው።

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ያሉ ጋዞች የላቀ የኢትች ሂደቶችን የሚያንቀሳቅሱት እንዴት ነው?

Etch ሂደቶች የቅርጻ ቅርጽ መሳሪያዎች ናቸው ጨርቆች. ሁለት ዋና ዋና ዓይነቶች አሉ-እርጥብ etch (ፈሳሽ ኬሚካሎችን በመጠቀም ሃይድሮጂን ፍሎራይድ) እና ደረቅ ኢች (ፕላዝማ በመጠቀም). ዘመናዊ የላቀ ሴሚኮንዳተር አንጓዎች በደረቅ ፕላዝማ ማሳከክ ላይ ብቻ የተመኩ ናቸው ምክንያቱም እሱ የበለጠ ትክክለኛ ነው።

በተለመደው ውስጥ የፕላዝማ ማሳከክ ቅደም ተከተል፣ ሀ የፍሎራይድ ጋዝ ቀርቧል። ጥቅም ላይ የዋለውን ዝርያ እንመልከት፡-

• ካርቦን ቴትራፍሎራይድ (CF4): ለኦክሳይድ ማሳከክ የስራ ፈረስ።
• Octafluorocyclobutane (C4F8) ፖሊመር ንብርብር ከጉድጓዱ ጎን ለጎን ለማስቀመጥ ይጠቅማል ፣ ይህም የታችኛው ክፍል በጥልቀት ሲቀረጽ ይጠብቃቸዋል።
• ሰልፈር ሄክፋሉራይድ (SF6)፦ እጅግ በጣም ፈጣን በሆነ የሲሊኮን ኢቲንግ ተመኖች ይታወቃል።

መካከል ያለው መስተጋብር ፕላዝማ እና substrate ውስብስብ ነው. በ ions አካላዊ ቦምብ እና ኬሚካላዊ ምላሽን በአክራሪዎች ያካትታል. የ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች የእነዚህን ጋዞች ፍሰት፣ ግፊት እና ድብልቅ በጥብቅ መቆጣጠር አለበት። ከሆነ ልዩ ጋዝ እንደ እርጥበት ያሉ ቆሻሻዎችን ይይዛል፣ በመላኪያ መስመሮች ወይም በክፍሉ ውስጥ ሃይድሮፍሎሪክ አሲድ ሊፈጠር ይችላል፣ ይህም ዝገት እና ቅንጣት ጉድለቶችን ያስከትላል።

ለምን ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ የቻምበር ማጽጃ አፕሊኬሽኖች ንጉስ የሆነው?

ቢሆንም ማሳከክ እና ማጽዳት እጅ ለእጅ ተያይዘው፣ የማምረቻ መሳሪያዎችን ማጽዳት ልክ እንደ ዋፈር ሂደት በጣም አስፈላጊ ነው። ወቅት የኬሚካዊ እንፋሎት ተቀማጭ ገንዘብ (CVD)እንደ ሲሊኮን ወይም ቱንግስተን ያሉ ቁሳቁሶች በቫፈር ላይ ይቀመጣሉ. ይሁን እንጂ እነዚህ ቁሳቁሶች የግድግዳውን ግድግዳዎች ይለብሳሉ. ይህ ቅሪት ከተገነባ፣ ተፈልጦ በቫፈር ላይ ይወድቃል፣ ይህም ጉድለቶችን ይፈጥራል።

አስገባ ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ (ኤን.ኤፍ.3).

ከዓመታት በፊት ኢንዱስትሪው ጥቅም ላይ ውሏል የፍሎራይድ ግሪን ሃውስ እንደ C2F6 ያሉ ጋዞች ለክፍል ማጽዳት. ነገር ግን፣ NF3 መለኪያው ሆኗል። ክፍል የማጽዳት ሂደቶች በከፍተኛ ቅልጥፍናው ምክንያት. በርቀት የፕላዝማ ምንጭ ውስጥ ሲከፋፈሉ NF3 ከፍተኛ መጠን ያመነጫል። የፍሎራይን አተሞች. እነዚህ አተሞች የጓዳውን ግድግዳዎች በንጽህና ያጸዱታል፣ ይህም ጠንካራ ቀሪዎችን ወደ ሚወጣ ጋዝ ይለውጣሉ።

ናይትሮጂን ትሪምፕ የሚመረጠው ከፍ ያለ የመጠቀሚያ መጠን ስላለው (ብዙው ጋዝ በትክክል ጥቅም ላይ ይውላል) እና ከአሮጌው ጋር ሲነፃፀር ዝቅተኛ ልቀቶች አሉት የጽዳት ወኪሎች. ለፋሲሊቲ አስተዳዳሪ ይህ ማለት ለጥገና እና ለፈጣን የፍጆታ ጊዜ ይቀንሳል ማለት ነው።

ከፍተኛ መጠን ለማምረት የትኞቹ የፍሎራይድ ውህዶች አስፈላጊ ናቸው?

የ ሴሚኮንዳክተር አቅርቦት ሰንሰለት በተወሰነ ቅርጫት ላይ ይመሰረታል ፍሎራይን የያዙ ጋዞች. እያንዳንዳቸው የተወሰነ "የምግብ አዘገጃጀት" ወይም መተግበሪያ አላቸው. በ ጂያንግሱ ሁአዝሆንግ ጋዝለሚከተሉት ከፍተኛ ፍላጎት እናያለን፡-

እነዚህ የፍሎራይድ ውህዶች የሕይወት ደም ናቸው። ከፍተኛ መጠን ያለው ምርት. የእነዚህ ቋሚ ፍሰት ከሌለ ሴሚኮንዳክተር ውስጥ ጋዞች ማምረት, መስመሮቹ ይቆማሉ. ይህን ያህል ቀላል ነው። ለዚህም ነው እንደ ኤሪክ ሚለር ያሉ የግዢ አስተዳዳሪዎች ያለማቋረጥ የሚቆጣጠሩት። የአቅርቦት ሰንሰለት ለረብሻዎች.

ከፍተኛ ንፁህ ጋዞች የሴሚኮንዳክተር ምርት የጀርባ አጥንት የሆኑት ለምንድነው?

ይህንን በበቂ ሁኔታ ማስጨነቅ አልችልም፡ ንፅህና ሁሉም ነገር ነው።

ስናወራ ከፍተኛ የመጥራት ጋዞችእኛ እየተናገርን ያለነው ስለ “ኢንዱስትሪ ግሬድ” ለመበየድ ስለሚውል አይደለም። እየተነጋገርን ያለነው ስለ 5N (99.999%) ወይም 6N (99.9999%) ንፅህና ነው።

ለምን? ምክንያቱም ሀ ሴሚሚኮንድዌተር መሣሪያ በናኖሜትሮች የሚለኩ ባህሪያት አሉት። የብረት ብክለት ነጠላ ሞለኪውል ወይም የእርጥበት መጠን (H2O) አጭር ዙር ሊያስከትል ወይም ንብርብሩን እንዳይጣበቅ ይከላከላል።

• እርጥበት፡- ምላሽ ይሰጣል ፍሎራይድ የጋዝ አቅርቦት ስርዓትን የሚያበላሽ ኤችኤፍ ለመፍጠር.
• ኦክስጅንን ሲሊኮን ከቁጥጥር ውጭ በሆነ ሁኔታ ኦክሳይድ ያደርገዋል።
• ከባድ ብረቶች; የትራንዚስተር ኤሌክትሪክ ባህሪያትን አጥፋ.

እንደ አቅራቢ፣ የእኛ ስራ ማረጋገጥ ነው። ከፍተኛ-ንፅህና Xenon ወይም ኤሌክትሮኒክ ደረጃ ናይትረስ ኦክሳይድ በጥብቅ የሚያሟላ የኢንዱስትሪ ደረጃዎች. ለመለየት የላቀ የጋዝ ክሮማቶግራፊን እንጠቀማለን። ርኩስነትን ይከታተላል ወደ ክፍሎች በቢልዮን (ppb)። ለገዢ፣ የትንታኔ ሰርተፍኬት (COA) ማየት የወረቀት ስራ ብቻ አይደለም። የእነሱ ዋስትና ነው ሴሚኮንድገር ፍርስራሽ አስከፊ የምርት ውድቀት አያጋጥመውም።

ኢንዱስትሪው የግሪንሀውስ ጋዝ ልቀቶችን እና GWPን እንዴት ይቆጣጠራል?

በክፍሉ ውስጥ አንድ ዝሆን አለ: አካባቢ. ብዙ ፍሎራይድድ ጋዞች ከፍተኛ አላቸው የአለም ሙቀት መጨመር እምቅ አቅም (GWP). ለምሳሌ፡- ሰልፈር ሄክሳፊንግ (SF6) በጣም ከሚባሉት ውስጥ አንዱ ነው ኃይለኛ የግሪንሀውስ ጋዞች በሰው ዘንድ የታወቀ፣ GWP ከ CO2 በሺህ የሚቆጠር ጊዜ ከፍ ያለ ነው።

የ ሴሚኮንዳክተር አምራች ኢንዱስትሪ የካርቦን ዱካውን ለመቀነስ ከፍተኛ ጫና ውስጥ ነው. ይህም ሁለት ዋና ዋና ለውጦችን አስከትሏል፡-

1. መቀነስ፡ ጨርቆች በጭስ ማውጫ መስመሮቻቸው ላይ ግዙፍ "የተቃጠሉ ሳጥኖች" ወይም ማጽጃዎችን እየጫኑ ነው። እነዚህ ስርዓቶች ምላሽ ያልሰጡትን ይሰብራሉ የግሪንሃውስ ጋዝ ወደ ከባቢ አየር ከመውጣቱ በፊት.
2. ምትክ፡ ተመራማሪዎች አማራጭ እየፈለጉ ነው። ኢ.ቲ. ዝቅተኛ GWP ያላቸው ጋዞች. ነገር ግን፣ ያለአካባቢያዊ ተጽእኖ የሚሰራውን ሞለኪውል እንዲሁም C4F8 ወይም SF6 ማግኘት በኬሚካል አስቸጋሪ ነው።

ናይትሮጂን ትሪምፕ ለማጽዳት በትክክለኛው አቅጣጫ ላይ ያለ እርምጃ ነበር ምክንያቱም ከአሮጌ ፒኤፍሲዎች በበለጠ በቀላሉ ስለሚበላሽ አጠቃላይ ውጤቱም አነስተኛ ነው። ልቀት የመቀነስ ስርዓቶች በትክክል እየሰሩ ከሆነ. በመቀነስ ላይ የግሪንሃውስ ጋዝ ልቀቶች ከአሁን በኋላ የ PR እንቅስቃሴ ብቻ አይደለም; በአውሮፓ ህብረት እና በዩኤስ ውስጥ የቁጥጥር መስፈርት ነው.

የሴሚኮንዳክተር አቅርቦት ሰንሰለት ለልዩ ጋዝ እጥረት የተጋለጠ ነው?

ያለፉት ጥቂት ዓመታት ምንም ነገር አስተምረውን ከሆነ፣ ያ ነው። የአቅርቦት ሰንሰለት ደካማ ነው. ሴሚኮንዳክተር አምራቾች ከኒዮን እስከ ሁሉም ነገር እጥረት አጋጥሟቸዋል ፍሎሮፖሊመሮች.

አቅርቦት የ የፍሎራይን ጋዝ እና የእሱ ተዋጽኦዎች በ fluorspar (ካልሲየም ፍሎራይድ) ማዕድን ላይ ይመረኮዛሉ. ቻይና የዚህ ጥሬ ዕቃ ዋነኛ ምንጭ ነች። የጂኦፖለቲካዊ ውጥረቶች ሲነሱ ወይም የሎጂስቲክስ መስመሮች ሲዘጉ፣ የእነዚህ መገኘት ወሳኝ ነው። ጋዞችን ያካሂዱ ወድቋል ፣ እና ዋጋዎች ጨምረዋል።

እንደ ኤሪክ ላለ ገዥ የ"Force Majeure" ፍርሃት እውነት ነው። ይህንን ለማቃለል አስተዋይ ኩባንያዎች አቅራቢዎቻቸውን በማብዛት ላይ ናቸው። የራሳቸው ባለቤት የሆኑ አጋሮችን ይፈልጋሉ iso-ታንኮች እና የሎጂስቲክስ አውታሮችን አቋቁመዋል። አስተማማኝነት በ ሎጂስቲክስ ልክ እንደ ጋዝ ንፅህና አስፈላጊ ነው. በጣም ንጹህ መሆን ይችላሉ C4F8 ጋዝ በአለም ውስጥ, ነገር ግን ወደብ ላይ ከተጣበቀ, ለ ፋብ.

ሃይድሮጅን ፍሎራይድ እና ሌሎች መርዛማ ቁሳቁሶችን ለመቆጣጠር የደህንነት ፕሮቶኮሎች ምንድን ናቸው?

ደህንነት የኢንደስትሪያችን መሰረት ነው። ብዙ ፍሎራይን የያዘ ጋዞች መርዛማ፣ አስፊክሲያን ወይም ከፍተኛ ምላሽ ሰጪ ናቸው። ሃይድሮጅን ፍሎራይድ (HF)፣ ብዙውን ጊዜ በእርጥብ ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውለው ወይም እንደ ተረፈ ምርት የሚፈጠረው፣ በተለይ አደገኛ ነው። ወደ ቆዳ ውስጥ ዘልቆ በመግባት የአጥንትን መዋቅር ያጠቃል.

እነዚህን ቁሳቁሶች አያያዝ ጥብቅ ስልጠና እና ልዩ መሳሪያዎችን ይጠይቃል.

• ሲሊንደሮች በDOT/ISO የተመሰከረ እና የውስጥ ዝገትን በየጊዜው መመርመር አለበት።
• ቫልቮች፡ የዲያፍራም ቫልቮች መፍሰስን ለመከላከል ጥቅም ላይ ይውላሉ.
• ዳሳሾች፡- ሴሚኮንዳክተር ፋብሎች በትንሹ በሚፈስበት ጊዜ ማንቂያዎችን በሚያስነሱ ጋዝ ማወቂያ ዳሳሾች ተሸፍነዋል።

አንድ ሲሊንደር በምንሞላበት ጊዜ ኤሌክትሮኒክ ደረጃ ናይትረስ ኦክሳይድ ወይም መርዛማ ኤክሰንት, እንደ ተጫነ መሳሪያ እንይዘዋለን. ቅንጣቶችን ለመከላከል ሲሊንደር ከውስጥ የተወለወለ መሆኑን እና ቫልዩው የተሸፈነ እና የታሸገ መሆኑን እናረጋግጣለን። መሆኑን በማወቅ ለደንበኞቻችን ተሸካሚ ጋዝ ወይም ሌሎች ነገሮች በአስተማማኝ ሁኔታ ሲደርሱ፣ ታዛዥ ማሸግ ትልቅ እፎይታ ነው።

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ ቁሳቁሶች ምን ወደፊት ይጠብቃሉ?

የ ሴሚኮንዳተር ምርት ፍኖተ ካርታ ጠበኛ ነው። ቺፖችን እንደ ጌት-አል-ዙር (GAA) ትራንዚስተሮች ወደ 3D መዋቅሮች ሲዘዋወሩ፣ ውስብስብነቱ ማሳከክ እና ማጽዳት ይጨምራል። የበለጠ እንግዳ የመፈለግ ፍላጎት እያየን ነው። የፍሎራይድ ጋዝ ጥልቅ እና ጠባብ ቀዳዳዎች ከአቶሚክ ትክክለኛነት ጋር ሊፈጥሩ የሚችሉ ድብልቆች።

የአቶሚክ ንብርብር ማሳከክ (ALE) አንድን የአቶሚክ ንብርብርን በአንድ ጊዜ የሚያስወግድ ብቅ ብቅ ቴክኒክ ነው። ይህ በሚያስደንቅ ሁኔታ ትክክለኛ መጠን መውሰድን ይጠይቃል ምላሽ ሰጪ ጋዞች. በተጨማሪም “አረንጓዴ” የማምረቻ ግፋ አዲስ ተቀባይነትን ሊያመጣ ይችላል። የፍሎራይን ኬሚስትሪ ዝቅተኛ ጋር ተመሳሳይ አፈጻጸም ያቀርባል GWP.

የወደፊቱ ጊዜ በጋዝ ውህደት እና በማጣራት ውስጥ ፈጠራን ለሚፈጥሩ ሰዎች ነው. እንደ ሴሚኮንዳተር ቁሳቁሶች በዝግመተ ለውጥ፣ እነሱን ለመቅረጽ የሚያገለግሉ ጋዞች እንዲሁ መሻሻል አለባቸው።

ቁልፍ atways

• ፍሎራይን አስፈላጊ ነው; የፍሎራይን ኬሚስትሪ ቁልፍ አስማሚ ነው። ኢ.ቲ. እና ንፁህ ውስጥ እርምጃዎች ሴሚኮንድገር ማምረቻ.
• ንጽህና ንጉስ ነው፡- ከፍተኛ-ንፅህና (6N) ጉድለቶችን ለመከላከል እና ለማረጋገጥ ለድርድር የማይቀርብ ነው። የሂደቱ መረጋጋት.
• የተለያዩ ጋዞች; የተለያዩ ጋዞች እንደ CF4, SF6 እና ናይትሮጂን ትሪምፕ ውስጥ የተወሰኑ ሚናዎችን ማገልገል ቅነሳ.
• የአካባቢ ተጽዕኖ: ማስተዳደር የግሪንሃውስ ጋዝ ልቀቶች እና መቀነስ ወሳኝ የኢንዱስትሪ ፈተና ነው።
• የአቅርቦት ደህንነት፡ ጠንካራ የአቅርቦት ሰንሰለት እና አስተማማኝ አጋሮች የምርት ማቆሚያዎችን ለማስወገድ አስፈላጊ ናቸው.

በጂያንግሱ ሁአዝሆንግ ጋዝ፣ እነዚህን ፈተናዎች የምንረዳው በየቀኑ ስለምንኖር ነው። ያስፈልግህ እንደሆነ ከፍተኛ ንፅህና Xenon ለእርስዎ አዲሱ የኢትች ሂደት ወይም ለመደበኛ የኢንዱስትሪ ጋዞች አስተማማኝ አቅርቦት፣ የወደፊቱን የሚገነባውን ቴክኖሎጂ ለመደገፍ እዚህ ተገኝተናል።