ሁዋንግንግ ጋዝ የኢንዱስትሪውን ጥበብ እና ሳይንስን ለመመርመር እራሳችንን ወስኗል ልዩ ጋዝ ምርት. በዛሬው ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ዓለም ውስጥ በተለይም በ ውስጥ ሴሚኮንዳተር ኢንዱስትሪ, ፍላጎቱ አልትራሳውንድ ከፍተኛ ንፅህና ጋዞች ምርጫ ብቻ አይደሉም, እሱ ፈጽሞ አስፈላጊነት ነው. ይህ ጽሑፍ ወደ ወሳኝ ዓለም ውስጥ ያስገባል impater ትንተና ለ የኤሌክትሮኒክ ልዩ ጋዞች. በጣም ቀለል ያሉ ለምን እንኳን እንመረምራለን ርኩሰት እነዚህን አስከፊዎች እንዴት እንደምናገኝ አስቂኝ ውጤት ሊኖራቸው ይችላል ርኩስነትን ይከታተላልእና ለንግድ ሥራዎች ምን ማለት ነው. ማስተዋል የጋዝ ጉድለት እና የእነሱ ዘዴዎች መንጻት እና የመሳሰሉት ICP-MSየዘመናዊውን አስተማማኝነት እና አፈፃፀም ለማረጋገጥ ቁልፍ ቁልፍ ነው ኤሌክትሮኒክስ. ይህ ቁራጭ በሀገሪቱ ላይ በሚቆይበት ጊዜ የፋብሪካ-ነክ አመለካከትን ስለሚሰጥበት ጊዜዎ ጊዜዎ ነው የኤሌክትሮኒክ ልዩ ሰዶማውያን ንፅህና, የማዕዘን ድንጋይ, የ ሴሚኮንዳተር እና ኤሌክትሮኒክስ ዘርፎች.

የኤሌክትሮኒክ ልዩ ሰዶማውያን በትክክል ምን እንደሆኑ እና በሴሚኮንዱገር ማምረታቸው በጣም አስፈላጊ የሆነው ለምንድነው?

የኤሌክትሮኒክ ልዩ ጋዞች, ብዙውን ጊዜ እንደ ኤሌክትሮኒክ ጋዞች ወይም ሴሚኮንዳር ጋዜጣዎች, ልዩ ምድብ ናቸው ከፍተኛ የመጥራት ጋዞች እና የጋዝ ድብልቅ ኤሌክትሮኒክ አካላትን ለማምረት ለተሳሳተ ውስብስብ ሂደቶች በተለይም ትህትና. እንደ ዲጂታል ዕድሜ እንደ ሚያዩ የማይታዩ አርኪቶች አድርገው ያስቡ. እነዚህ በሴሚኮንድገር ውስጥ ጥቅም ላይ የዋሉ ጋዎች ቅጣቱ ሲሊን (ሲህ ₄), የሲሊኮን ንብርብሮች, ናይትሮጂን ትሪፕሽን (NF₃) ን ለማፅዳት, Argon (አር) እንደ Intrt ጋሻ እና የተለያዩ ጋዜጣዎች እንደ ፎስፊን (ፒኤች) ወይም የ <ኤሌክትሪክ> ንብረቶችን ለመቀየር እንደ ፎስፊን (ኤች.አይ.ፒ. (አመድ) ሴሚኮንዳተር ቁሳቁሶች. "ኤሌክትሮኒክ ልዩየተደገፈ መተግበሪያቸውን እና አቋማቸውን በአሳዳናቸው ውስጥ የተጠየቀውን ጥልቅ ትክክለኛነት ያጎላል. እነዚህ የዕለት ተዕለት ሰዎች አይደሉም የኢንዱስትሪ ጋዝ; የእነሱ መለያዎች እጅግ በጣም ጥሩ ናቸው.

የእነሱ የጠበቀ አስፈላጊነት ንፅህና በተለይም በ ውስጥ መጨናነቅ አይቻልም ሴሚኮንዳዩተር ማምረት. ዘመናዊ የተቀናጁ ወረዳዎች (ፔሲ) በሚያስደንቅ ሁኔታ አነስተኛ የሆኑ ጥቃቅን ተስተካካዮች እና የተለመዱ መንገዶች ብዙውን ጊዜ በናኖሜትሮች የሚለዩት (የሜትሮ ሜትር). በዚህ አጉሊ መነፅር ልኬት, አንድ ነጠላ ያልተፈለገ አቶም - ሀ ርኩሰት- የታሰበውን የኤሌክትሪክ ፍሰትን የሚያስተጓጉል ወይም መዋቅራዊ ጉድለቶች እንዲያስከትሉ በትንሽ ጅረት ውስጥ እንደ ድንጋጤ እንደ ድንጋጤ ዓይነት ድብልቅ ነው. ይህ ወደ ስህተት ቺፕ ሊመራ ይችላል, እና በሚሊዮን የሚቆጠሩ ቺፖች በአንድ ቺፖች በሚተገበሩበት ኢንዱስትሪ, በስፋት የሚመረቱ የገንዘብ እና የስምምነት ጉዳቶች ብክለት ግዙፍ ሊሆን ይችላል. ስለዚህ, የኤሌክትሮኒክ ልዩ ሰዶማውያን ንፅህና መላው የመሠረታዊ ምሰሶ ነው ኤሌክትሮኒክስ እና ሴሚኮንድቨር ኢንዱስትሪ ይቆማል. ማናቸውም ርኩሰት የመሣሪያ አፈፃፀም, ምርት እና አስተማማኝነት ማመጣጠን, ጠንካራ መሆን የጋዝ ንፅህና መቆጣጠሪያ አስፈላጊ ነው.

በ Hazohog ጋዝ ውስጥ ደንበኞቻችን በ ውስጥ እንደምንረዳ እናውቃለን ሴሚኮንዳዩተር ኢንዱስትሪዎች "አምስት NINS" (99.999%) ወይም "ስድስት NINS" ወይም "ስድስት Nins" ወይም "ስድስት Nins" (99.999%) ንፅህናን ለማቅረብ በእኛ ላይ ይተማመናሉ. ይህ ማለት ያ ማለት ነው ርኩሰት በክፍለ-ጊዜዎች (PPM) ወይም በአነስተኛ (PPB) ውስጥ ካሉ ክፍሎች በታች መሆን አለበት. እንዲህ ዓይነቱን ማሳካት እና ማረጋገጥ ከፍተኛ ንፅህና ደረጃዎች የተራቀቁ ናቸው መንጻት ቴክኒኮች እና, በተቋማዊ, የላቀ impater ትንተና ዘዴዎች. ያልተጠበቀ መኖር ርኩሰት እንዲሁም ጉዳዮችን ከ ጋር ሊያመለክቱ ይችላሉ የጋዝ ሲሊንደር ወይም የአቅርቦት ሰንሰለት, ወጥ የሆነ የጥራት ቼኮች አስፈላጊ ናቸው. የእኛን እናረጋግጣለን ናይትሮጂን ሲሊንደር ለምሳሌ, ናይትሮጂን በብዙ ሴሚኮንዳር የመጥፋት ደረጃዎች ውስጥ እንደነዚህ ያሉትን ትክክለኛ መመዘኛዎች ያነጋግሩ.

ውሸቶች እንኳ ትላልቅ የመለዋወጫ ሥራዎችን እንዴት ሊኖሩ የሚችሉት እንዴት ነው?

አንድ ትንሽ ነገር ምን ያህል ትንሽ እንደሆነ መገመት ይቻላል ሀ ርኩሰት በክፍል (PPB) ወይም በአንድ ትሪሊዮን (PPP) ወይም ክፍሎችም ይለካሉ, እንደዚህ ያሉ ጉልህ ችግሮች ሊያስከትሉ ይችላሉ. ግን በዓለም ውስጥ ሴሚኮንዳተር ማምረት, እነዚህ ጥቃቅን ሰዎች ብክለት ዋና መንደሮች ናቸው. እስቲ አንድ የተለመደ ሴሚኮንዳር የመርከብ ሂደት ሂደትን እንመልከት-አንዳንድ ጊዜ, አንዳንድ ጊዜ በመቶዎች የሚቆጠሩ ፊልሞችን አስወግዶች, እና ion መሻገሪያ (የተወሰኑ አቶሞችን በማስገባት). እያንዳንዱ ደረጃ በትክክል ቁጥጥር በተደረገ ኬሚካል አካባቢን ይተገበራል, ብዙውን ጊዜ ይፈጠራሉ ወይም የተጠበሰ በ የኤሌክትሮኒክ ልዩ ጋዞች. ሀ ያገለገለው ጋዝ ከእነዚህ ደረጃዎች በአንዱ ውስጥ የማይፈለጉትን ይይዛል ርኩሰት, ያ ርኩሰት በከባድ የ "የ" የ "የ" / "የ" ነጠብጣቦች ውስጥ ሊካትት ይችላል ሴሚኮንዳተር መሣሪያ.

ለምሳሌ, ብረት እንደ ሶዲየም, ብረት ወይም መዳብ, እንኳን በአልቸት ዝቅተኛ ክምችት እንኳን, የሲሊኮን የኤሌክትሪክ ባህሪዎች በከፍተኛ ሁኔታ ሊቀይሩ ይችላሉ. ወደ አጫጭር ወረዳዎች የሚመሩ ያልተፈለጉ ተጓዳኝ ዱካዎችን ሊፈጥሩ ወይም መሣሪያውን ለማዘግየት ወይም ሙሉ በሙሉ እንዲሳካ ለማድረግ "ወጥመዶች" ሆነው ያገለግላሉ. ሀ ርኩሰት እንዲሁም በሂደቱ ደረጃ የታሰበ ኬሚካዊ ግብረመልሶች ጋር ጣልቃ ሊገባ ይችላል. ለምሳሌ, ሀ ብክለት በሚስማሙ ጋዝ ውስጥ ዋነኛው ስርዓተ-ጥለቶችን በማጥፋት በመጠምዘዝ ጋዝ ውስጥ የመግቢያ ወይም ከመጠን በላይ መታጠፍ ሊያስከትል ይችላል. ተፅእኖ በተናጥል ቺፖች ላይ ብቻ አይደለም, ያልተስተካከለ ርኩሰት ጉዳይ ወደ ሁሉም የመለኪያዎቹ ድብደባዎች እንዲፈስሱ ሊመራ ይችላል, ይህም በተረጋጋ አቅርቦት ውስጥ የተረጋጋ አቅርቦት አቅርቦትን ማረጋገጥ እንዳለበት በማምረቻ ኃላፊዎች ውስጥ በሚሊዮን የሚቆጠሩ ዶላሮች እና ራስ ምታት,. ይህ ጠንካራ የሆነውን ወሳኝ ፍላጎት ያጎላል የመርከቦች መለካት ይከታተሉ.

ችግሩ ለማንኛውም "ተቀባይነት ያለው" ደረጃ ለማንኛውም ነው ርኩሰት እንደ ሴሚኮንዳተር የመሣሪያ ባህሪዎች ያንሳል. ተቀባይነት ያለው ነገር ምን እንደሆነ ተደርጎ ተቆጥሯል ርኩሰት ከአስር አመት በፊት አንድ ደርሷል ብክለት ዛሬ. ለማሻሻል ይህ ያለማቋረጥ የሚነድ ድራይቭ ለማሻሻል በጋዝ አምራቾች እና ትንታኔ ቤተክርስቲያኖች ላይ ከፍተኛ ግፊት ያስከትላል የመርጃ ገደብ ችሎታዎች. እንኳን ክምችት ርኩስ, እርቃናቸውን ወደ ዐይን የማይታይ ትናንሽ የአቧራ ጫካዎች, በፎቶግራግራግራግራግራግራግራግራፊ ቅደም ተከተል ብርሃን ማገድ ወይም በወገብ ወለል ላይ አካላዊ ጉድጓዶችን መፍጠር ይችላል. ስለዚህ እያንዳንዱን አቅም መቆጣጠር ርኩሰት - አዝናኝ, ብረት, ወይም ክምችት - ወሳኝ ነው. የ የተለያዩ ርኩሰት ጉዳዮችን አስደንጋጭ ሁኔታን የሚያጎለፉ ነገሮች ሰፊ ናቸው ጋዝ ትንታኔ.

በጣም የተለመዱ ችግሮች ምንድ ናቸው? ለኤሌክትሮኒክስ በጋዞች ውስጥ ርኩሰት መለየት.

ስናወራ በጋዞች ውስጥ ያሉ ሥራዎች ለ ኤሌክትሮኒክስ እና ሴሚኮንድቨር ሴክተር, እያንዳንዳችን ጉልህ የሆነ ጉዳት የማድረግ አቅም ያለው የእያንዳንዳችን የተለያዩ የቁምፊዎች ስብስብ እየተመለከትን ነው. እነዚህ መገኘታቸው በአሰቃቂ, በብረት, እና በዝካተቱ ቅጾች ውስጥ በስድብ ሊመደብ ይችላል. እነዚህን የተለመዱ ችግሮች መረዳቶች ውጤታማ በሆነ መንገድ የመጀመሪያ እርምጃ ነው impater ትንተና እና ቁጥጥር ልዩነቱ ተካፋዮች ተገኝተዋል በጋዝ ራሱ ላይ በመመርኮዝ, የምርት ዘዴው, ማከማቻ እና አያያዝን በመወሰን ሊለያይ ይችላል.

አዝናኝ ርኩስ ሌሎች ጋዞች በዋናው ውስጥ ይገኛሉ ልዩ ጋዝ. ለምሳሌ, በ ውስጥ ከፍተኛ ንፅህና ናይትሮጂን, የተለመደው አዝናኝ ርኩስ ኦክስጅንን (ኦክሳይድ), እርጥበት (ኤች.አይ.ኦ), የካርቦን ዳይኦክሳይድ, የካርቦን ሞኖክሳይድ (CA) እና ሃይድሮካርቦን (CHID). ኦክስጂን እና እርጥበት በተለይ በጣም ምላሽ ሰጡ እና ያልተፈለጉ ኦክሳይድ እንዲመሩ ሊያመሩ ይችላሉ ሴሚኮንዳተር ቁሳቁሶች ወይም የሂደት መሣሪያዎች. በ a ውስጥ እንኳን Inrt ጋዝ እንደ Argon, እነዚህ በትራንስፖርት ደረጃዎች ውስጥ ይገኛሉ. እንደ ኩባንያ እንደመሆንዎ ብዙውን ጊዜ የ ሀ ሰፋ ያሉ ርኩሰትእነዚህን ምላሽ ሰጪ ዝርያዎችን ጨምሮ. ለምሳሌ, ችሎታችን ውስብስብ ማምረትን ያካትታሉ ጋዝኪንግ የተዘበራረቀውን ጨምሮ እያንዳንዱን አካል የሚቆጣጠርባቸው ምርቶች ርኩስ, ቀልጣፋ ነው.

ብረት ሌላው አሳሳቢ ጉዳይ ናቸው. እነዚህ እንደ ሶዲየም (ኤች.አይ.), ዎልሲየም (ካሲየም), ብረት (ሲ), ብረት (ኤች.አይ.), ብረት (ሲ), ብረት (ኬ), ኒኬል (ኤም.), ኒውኤል (CR), እና አሊሚኒየም (ኤ.ኢ.). ከመነሻ ቁሳቁሶች, ከምርት መሳሪያዎች (እንደ ቧንቧዎች እና ከርሴሮች) ወይም ስለ እንኳን የመነጩ ይችላሉ የጋዝ ሲሊንደር በትክክል ካልተያዙ እራሳቸውን. እንደተጠቀሰው, እነዚህ የብረት ጉድለት በኤሌክትሪክ አፈፃፀም ላይ በጣም ተጽዕኖ ሊያሳድር ይችላል ሴሚኮንዳተር መሣሪያዎች. እነዚህን ፒ.ፒ.ፒ.ፒ.ፒ.ፒ.ፒ.ፒ.ICP-MS). እንዲሁም ማጤን አለብን ክምችት ጉዳይ. እነዚህ በ ውስጥ የታገዱ ጥቃቅን ወይም ፈሳሽ ቅንጣቶች ናቸው ጋዝ ፍሰት. በጀልባዎች ላይ አካላዊ ጉድጓዶችን ሊያስከትሉ ይችላሉ, መሳሪያዎችን ማገድ ወይም ሌሎች ማስተዋወቅ ይችላሉ ብክለት. የመደንዘዝ ዝርዝር ጉዳዮችን ለማስወገድ ቁልፍ ነው, ነገር ግን የእነሱን ደረጃ መከታተል የተሟላ አካል ነው የጋዝ ጥራት መርሃግብሩ. አንዳንድ የኤሌክትሮኒክ ልዩ ጋዞች እንዲሁ ናቸው የጥፋት ጋዞች ወይም መርዛማ ጋዞች, ያንን በማረጋገጥ ሁኔታቸው እና ትንታኔ ውስጥ ሌላ ውስብስብነትን የሚያካትት ነው ርኩሰት መገለጫ እነዚህን አደጋዎች አያባክንም.

ICP-MS: በሴሚኮንድገር ጋዎች ውስጥ የብረት ሥራዎችን ለመለየት የወርቅ ደረጃ?

ወደ እግዚአብሔር ሲመጣ የብረታ ብረት ርኩሰት ትንተና በ ውስጥ እጅግ በጣም ከፍተኛ የመጥራት ጋዞች, የተደነገገው የፕላዝማ ብዛት ታዋቂነት, ወይም ICP-MS, እንደ መሪ ቴክኖሎጂ ተብሎ የተጠራው. ሰፋ ያለ ቦታን ለመለየት እና ለመጠቅለል ኃይለኛ ትንታኔ ዘዴ ነው ኡሄልካንስ, ብዙውን ጊዜ ወደ አስገራሚ ወደ ዝቅተኛ ደረጃዎች ይወርዳሉ - የአንዳንድ አካላት-ባለ-ትሪሊዮን (PPT- PPILION (PPQ) አልፎ ተርፎም ለአንዳንድ ክፍሎች ያስቡ. ይህ ስሜታዊነት በትክክል ለምን እንደሆነ ነው ICP-MS ለ "በጣም አስፈላጊ ሆኗል ሴሚኮንዳተር ኢንዱስትሪ, እንደተወያየን, ምንም እንኳን, የደቂቃ ዱካዎች እንኳን ብረት ጉዳት ሊደርስበት ይችላል የምርት ጥራት.

እንዴት ይሠራል ICP-MS አስማቱን ሥራ ይስሩ? በቀላል ቃላት, የ ናሙና ጋዝ (ወይም ከጋዝ የተገኘ መፍትሄ) በተለምዶ ሞቃታማ ፕላዝማ የተሰራው ወደ በጣም ሞቃት ፕላዝማ ታወቀ Argon. ይህች ፕላዝማ, ከ 6,000 እስከ 10,000 ዲግሪ ሴንቲግሬድ ውስጥ የሚደርሰውን የጋዝ ሞለኪውሎችን ለማቋረጥ እና ማናቸውም ጨምሮ አተሞች ብረት. በዚህ ጊዜ ኢሳን ከፕላዝማ ተወሰደ እና ወደ ጅምላ ትዕይንት ይመራሉ. በጅምላ ክፍፍል ጥምርቃቸው ላይ በመመርኮዝ Ins ን በመመርኮዝ የጅምላ ትርኢት እንደ አንድ ትክክለኛ ማጣሪያ ይሠራል. ሀ መመርመሪያ ከዚያ የትኞቹ ንጥረ ነገሮች እንደሆኑ ለመለየት እና በየትኛው ብዛት እንዲታዩ በመፍቀድ ለእያንዳንዱ የተወሰነ መጠን አይቆጭም. የመቻል ችሎታ ICP-MS ሰፋ ያለ ስካርነቷን ለመቃኘት በልዩነት ጋዞች ውስጥ የብረት ማስታገሻ በተመሳሳይ ጊዜ በጣም ውጤታማ ያደርገዋል.

ቢሆንም ICP-MS በሚያስደንቅ ሁኔታ ኃያል ነው, በተለይም በሚተላለፉበት ጊዜ ያለ እሱ ተፈታታኝ ሁኔታዎች አይደሉም በሴሚኮንድገር ውስጥ ጥቅም ላይ የዋሉ ጋዎች ቅጣቱ. አንድ የጋራ አቀራረብን ለማጥመድ ነው ርኩስ ከብዙ የጋዝ መጠን ወደ ክምችት መካከለኛ ወይም ወደ ፈሳሽ ወደ ፈሳሽ ይወጣል, ከዚያ ይነሳል ICP-MS. ሆኖም, ቀጥታ ጋዝ ቀጥታ መርፌ ወደ ICP-MS ምንም እንኳን ልዩ በይነገጽ የሚጠይቁ ቢያስፈልግም ለተወሰኑ ትግበራዎች እንዲሁ በጣም የተለመደ እየሆነ ነው. ዘዴው ምርጫው በተጠቀሰው መሠረት ላይ የተመሠረተ ነው የጋዝ ጉድለት ፍላጎት, የማትሪክስ ጋዝ, እና የሚፈለገው የመርጃ ገደብ. በ Hazohog ጋዝ, እኛ ጨምሮ በአምልኮ-ነክ አንቀፅ ውስጥ በስብሰባው ላይ ኢንቨስት እናደርጋለን ICP-MS ችሎታዎች, እምነት የሚጣልበት መሆኑን እናውቃለን impater ትንተና መረጃዎች በእኛ ውስጥ ላሉት ደህንነታችን እንዲተማመኑ መሰረታዊ ነው ከፍተኛ የመንጻት ኤሌክትሮኒክ ጋዞች. ትክክለኛነት ICP-MS ያንን ለማረጋገጥ ይረዳል ጋዞች ንፅህና የታጠበ ፍላጎቶችን ያሟላል ኤሌክትሮኒክ ክፍል ቁሳቁሶች.

የማይለዋወጥ የጋዝ ንፅህና ለኤሌክትሮኒክስ እና ለ SEMCOWordure ኢንዱስትሪዎች የማይካሄድ ለምንድን ነው?

የማይለዋወጥ አስፈላጊነት የጋዝ ንፅህና በውስጡ ኤሌክትሮኒክስ እና ሴሚኮንድዌይ ኢንዱስትሪዎች ምርጫ ብቻ አይደለም, በዘመናዊ የመንጃ ማምረቻ አውራጃ ፊዚክስ እና ኢኮኖሚክስ የሚነዳ መሰረታዊ መስፈርት ነው. እንደ ሴሚኮንዳተር የመሣሪያ ባህሪዎች ወደ ናኖሜትሪ ሚዛን, ለማንኛውም ቅርፅ አላቸው ብክለት Skyrocks. ሀ ርኩሰት ያ ምናልባት በዕድሜ የገፉ, ትልልቅ መሣሪያዎች አሁን በሩቅ ቺፕስ ውስጥ ከባድ ውድቀቶችን ያስከትላሉ. ይህ በቀጥታ ተፅእኖ ያለው በቂ ተጽዕኖ ያሳድራል - በዋናነት የመልካም ቺፕስ መቶኛ አልፎ ተርፎም በምርጫው ውስጥ ያለው አነስተኛ ጠብታዎች ለ ሴሚኮንዳተር አምራች.

ስለ ዘመናዊ ማይክሮፕሮሰሰር ወይም የማስታወስ ቺፕ ውስብስብ የሆነ የስነምግባር ባለሙያ ያስቡ. በቢሊዮን የሚቆጠሩ ትራንዚስተሮችን ይይዛል, እያንዳንዱ አነስተኛ የምህንድስና. የእነዚህ ተርጓሚዎች አፈፃፀም የተመካው በቅዱስ ኤሌክትሪክ ባህሪዎች ላይ ነው ሴሚኮንዳተር የተጠቀሙባቸው ቁሳቁሶች, እነሱ በተራው, በጣም የተጋለጡ ለ ርኩስ. ለምሳሌ, በእርግጠኝነት ብረት ያልተፈለጉ የኃይል ደረጃዎችን ማስተዋወቅ, ወደ ሲሊኮን ባንድ ክፍተት ውስጥ ማስተዋወቅ, የመሳሪያ ማነስ የአሁኑ ወይም የተቀነሰ ተሸካሚ እንቅስቃሴ እንቅስቃሴ. ይህ ማለት ቀርፋፋ, ያነሰ ውጤታማ ወይም ሙሉ በሙሉ ተግባራዊ ያልሆኑ መሣሪያዎች. አዝናኝ ርኩስ እንደ ኦክስጅንን ወይም እርጥበት የመሳሰሉ የኦክሳይድ ሽፋን, የፊልም ውፍረትን ወይም በይነገጽ ባህሪዎች የመሣሪያ ክወናዎችን ለማቃለል ሊያመሩ ይችላሉ. አጠቃላይ የጋዝ ጥራት በቀጥታ ይተረጉማል የምርት ጥራት እና አስተማማኝነት.

በተጨማሪም, የ ኤሌክትሮኒክስ እና ሴሚኮንድዌይ ኢንዱስትሪዎች በጣም ውስብስብ እና ውድ በማምረቻ ሂደቶች ተለይተው ይታወቃሉ. አንድ ሴሚኮንዳተር የመቀባበል ተክል ("FAB") በቢሊዮን የሚቆጠሩ ዶላሮችን ለመገንባት እና ለማመቻቸት ሊያስከፍሉ ይችላሉ. የ ያገለገሉ ጋዎች ለእነዚህ ብዙ ውድ የአሂደቶች ደረጃዎች ወሳኝ ናቸው. ሀ ልዩ ጋዝ ከ ጋር ተበክሏል ርኩሰት, በአሁኑ ጊዜ በሚካሄዱት ማዕድናት ላይ ብቻ አይደለም. እንዲሁም ውድ የሥራ መሳሪያውን መሣሪያ ራሱ ሊበክል ይችላል. ይህ ለማፅዳት እና ለመጠየቅ ወደ ክትባት እና የመቀየሪያ ፍላጎቶችን ለማጨስ እና ለማደናቀፍ የሚመስል አንድ ሰው የደንበኞቹን ፍላጎቶች ለማሟላት በሚተገበርበት ጊዜ የሚመስል የሴቶች ሰቃታማ የሆነ አንድ የህመም ነጥብ ነው. ስለዚህ, የእግዚአብሔርን ማረጋገጥ የኤሌክትሮኒክ ልዩ ሰዶማውያን ንፅህና በጥርጣሬ impater ትንተና ለጠቅላላው አቅርቦት ሰንሰለት የህደያ የአጋጣሚ የመቀነስ ስትራቴጂ ነው. ትኩረት ከፍተኛ የመጥሪያ ጋዞች የእንቆቅልሽ ሰዎች በሚያስደንቅ ሁኔታ ከፍተኛ ስለሆኑ የጎደለ ነው.

በልዩ ጌቶች ውስጥ የብረት ሥራዎችን ትንታኔ ምን ቁልፍ ተግዳሮቶች ያጋጥሙናል?

መተንተን ብረት በ ውስጥ ልዩ ጋዞችበተለይም በ ውስጥ ያገለገሉት ሴሚኮንዳተር ኢንዱስትሪ ልዩ የሆኑ ተፈታታኝ ሁኔታዎችን ያቀርባል. ዋናው ችግር በጣም ዝቅተኛ ከሆኑት ክምችት ውስጥ ነው ርኩስ ችግር ሊፈጥር ይችላል - ብዙውን ጊዜ በአካባቢያዊ (PPB) አልፎ ተርፎም, ትሪሊዮን (PPT) ክልል. እንደዚህ ያሉ ደቂቃዎችን መለየት እና በትክክል መመርመር በጣም ስሜታዊ ትንታኔ መሳሪያን ብቻ ሳይሆን እንደ ICP-MS ግን ደግሞ ከውጭ ውጭ _ilatic አካባቢን እና ልዩ የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና የናሙና ዝርዝር ብክለት.

አንድ አስፈላጊ ፈታኝ ሁኔታ ናሙና ነው. ብዙ ያገለገሉ ልዩ ጋዝ በ ውስጥ ኤሌክትሮኒክስ በጣም ምላሽ ሰጪ, በርካሽ, ወይም ፓይሮፊስት (በአየር ውስጥ በድንገት (በአየር ውስጥ በድንገት). በደህና እና ውጤታማ በሆነ መንገድ እነዚህን ማስተላለፍ ጋዞች ወደ ትንታኔ መሳሪያ ICP-MS ሳያለወጥ ናሙና ጋዝ ወይም የመሳሪያውን መሳሪያ መበከል ልዩ በይነገጽ የሚጠይቁ እና አያያዝ ሂደቶች ያስፈልጋሉ. ለምሳሌ, በቀጥታ መጓዝ ሀ የቆሸሸ ጋዝ እንደ ሃይድሮጂን ክሎራይድ (ኤች.ሲ.ኤል) ወደ መደበኛ ICP-MS ሲስተም ሊጎዳው ይችላል. ስለዚህ, የመገጣጠም ዘዴዎች ያሉ ቀጥተኛ ያልሆኑ ዘዴዎች (ጋዝ) ርኩስ) ወይም Curogenic Trapping, ብዙ ጊዜ ተቀጥረዋል. ሆኖም እነዚህ ዘዴዎች የራሳቸውን አቅም ማሳወቅ ይችላሉ ብክለት ወይም አይተነተንም በትክክል ካልተፈጸመ. ምርጫው ተሸካሚ ጋዝ አስፈላጊ ከሆነ ለሽግግርም እንዲሁ የማይቻል መሆን አለበት ንፅህና.

ሌላው ፈታኝ ሁኔታ "የማትሪክስ ውጤት" ነው. ቡክ ጋዝ እራሱ (ኢ.ሲ.ግ., Argon, ናይትሮጂን, ሃይድሮጂጂን) በማያውቁ ላይ ጣልቃ ሊገባ ይችላል ርኩስነትን ይከታተላል. ለምሳሌ, በ ውስጥ ICP-MSፕላዝማ ከጅምላ የተሠራ ነው ጋዝ አንድ ዓይነት የጅምላ ክፍያ የተካሄደውን የጅምላ-ድልድይ (express ass ላማ) የሚፈጥር ፖሊቲክ አጎት ሊፈጥር ይችላል ብረት, ወደ ሐሰት አዎንታዊ ወይም ትክክል ያልሆነ ዋጋን ያስከትላል. ተንታኞች እንደ ግጭት / ምላሽ ሴሎች ያሉ ቴክኒኮችን መጠቀም አለባቸው ICP-MS ወይም ከፍተኛ ጥራት ያለው የጅምላ ትርኢት እነዚህን የአስተያየት ጣልቃገብነቶች ለማሸነፍ. በተጨማሪም, ለማረም የሚያገለግሉ የማስተካከያ ደረጃዎች የብረት ጉድለት በጣም ትክክለኛ እና መከታተል አለበት, እና መላው ትንታኔው አስተማማኝነት ለማረጋገጥ መረጋገጥ አለበት impater ትንተና ውጤቶች. እኛ እንደ አቅራቢ እንደመሆንዎ መጠን ስለ ታማኝነት መጨነቅ አለብን የጋዝ ሲሊንደር እና አቅማቸው አስተዋጽኦ ማድረግ ብረት ከጊዜ በኋላ ቀጣይነት ያለው የጥራት ቁጥጥርን የሚፈልግ ነው.

የጋዝ የልውውጥ መሣሪያን መጠቀም የሚችለው የመከታተያ የቁጣ የመለኪያ መለኪያዎች ትክክለኛነት ያሻሽላል?

አዎ፣ የጋዝ የልውውጥ መሣሪያን በመጠቀም ትክክለኛውን ትክክለኛነት በማጎልበት ረገድ በእርግጥ ጉልህ ሚና ሊጫወት ይችላል የመርከቦች መለካት ይከታተሉበተለይም ፈታኝ ሁኔታዎችን በሚመለከትበት ጊዜ ጋዝ ያልታሰበ ማትሪክዎች ወይም ዝቅተኛ ለሆኑ ዝቅተኛ የማወቅ ገደቦች. ሀ የጋዝ የልውውጥ መሣሪያአንዳንድ ጊዜ እንደ ማትሪክስ የማስወገጃ ስርዓት ተብሎ የሚጠራ ሲሆን በመሠረቱ በመሠረቱ በብዛት በሚወጣው ብዛት በማስወገድ ነው ጋዝ (የአንድ ዋና አካል ናሙና ጋዝ) ሲያተኩሩ ርኩስነትን ይከታተላል ፍላጎት. ይህ ቅድመ-ትኩረትን እርምጃ እንደ ቀጣዩ ትንታኔ ቴክኒኮች ስሜትን በከፍተኛ ሁኔታ ማሻሻል ይችላል ICP-MS ወይም ጋዝ ክሮሞቶግራፍ ስርዓቶች.

ከብዙዎች በስተጀርባ ያለው መሠረታዊ ሥርዓት የጋዝ ልውውጥ መሣሪያዎች ከፊል-ሊገነባ የሚችል ሽፋን ወይም የተመረጠ የአድራሻ / ተስፋ መቁረጥ ዘዴን ያካትታል. ለምሳሌ, አንድ ፓሌላዲየም ሽፋን ሃይድሮጂን ከ ሀ ጋር በተመረጠው ሊያገለግል ይችላል የጋዝ ድብልቅ, ሌላ መስጠት በጋዞች ውስጥ ያሉ ሥራዎች ማተኮር እና ወደ ሀ መተላለፍ መመርመሪያ. በተመሳሳይ, የተወሰኑ የኤቻ ሰዶማውያን ቁሳቁሶች የተወሰኑትን ሊወጡ ይችላሉ ርኩስ ከሚፈስስ ጋዝ በዚህም ጅረት, ከዚያ ከፍተኛውን የንጹህ መጠን የተደነገገ ነው ተሸካሚ ጋዝ ለመተንተን. የብዙዎችን መጠን በመቀነስ ጋዝ መድረስ መመርመሪያ, እነዚህ መሣሪያዎች የማትሪክስ ጣልቃ ገብነትን ያሳካሉ, የጀርባ ጫጫታዎችን ዝቅ ያደርጉ, እና ለ target ላማው የምልክት ምሰሶውን ቅጥርን ውጤታማ በሆነ መንገድ ያሳድጋሉ ርኩስነትን ይከታተላል. ይህ ወደ ዝቅተኛ ሊያመራ ይችላል የመፍትሄ ወሰን.

ጥቅሞቹ የጋዝ የልውውጥ መሣሪያን በመጠቀም በተለይ ሲተነተን በተለይ በግልጽ ይታያሉ በኤሌክትሮኒክ ውስጥ ርኩሰት በመደበኛነት መሣሪያዎች ላይ ጉልህ የሆነ ጣልቃ-ገብነት ለመፍታት አስቸጋሪ የሆኑ ጋዝዎች በቀጥታ ወይም ለማስተካከል አስቸጋሪ የሆኑ ጋዎች. ለምሳሌ, በከፍተኛ መልኩ የመከታተያ ኦክስጅንን ወይም እርጥበት ለመለካት ሲሞክሩ ልዩ ጋዝ, ሀ የጋዝ የልውውጥ መሣሪያ እነዚህን ሊለያይ ይችላል ርኩስ ይበልጥ ወደ የበለጠ ግቢ ተሸካሚ ጋዝ እንደ Argon ወይም ሄልየም ከደረሱ በፊት መመርመሪያ. ይህ ትክክለኛነትን ለማሻሻል ብቻ ሳይሆን ስሜታዊ ትንታኔዎችን መከላከል ይችላል. እንደ አምራች 99.999% ንፅህና 50L ሲሊንደር Xenon ጋዝለየት ያሉ የላቁ ቴክኒኮችን ዋጋ እንረዳለን ንፅህና አልፎ አልፎ እና ልዩ ጋዞች. ይህ የቴክኖሎጂ ወሳኝ ወሳኝ ነው የጋዝ መንጻት እና የማረጋገጫ ደረጃዎች.

ወሳተኛው ትስስር: - ርኩሰት በቀጥታ በቀጥታ በሴሚኮንድገር አምራች ውስጥ በሚጠቀሙበት ጋዝ ውስጥ.

የ በቀጥታ በሴሚኮንድገር ማምረቻ ውስጥ ጥቅም ላይ የዋሉ ጋዎች የእድገት ሂደት የህይወት ዘመን ናቸው. እነዚህ ብቻ አይደሉም የጅምላ ጋዞች እንደ ናይትሮጂን እና Argon, ግን ደግሞ ሰፊ ድርድር የኤሌክትሮኒክ ልዩ ጋዞች እንደ ኤፒታሳክሲክስ ጋዞች (e.g., ሲላን, ክሪስታል ንብርብሮች ለማደግ), ጋዞች (e.g., NF₃, sf₆, sf₆, sf₆, ለፓርስትራክሽን), ion መሻገሪያ ጋዞች (ኢ.ሲ.ግ., አውራ ጎዳና, ፎርፊን, ቦሮን ትሮፊንግ ለመደርደር እና ተቀማጭ ሰፈር. ለእያንዳንዳቸው ጋዞች ያስፈልጋሉ, ተቀባይነት ያለው ደረጃ እና ዓይነት ርኩሰት በተከታታይ ተገልፀዋል ምክንያቱም ማንኛውም ማዛመድ በ ላይ ያሉ ጉድለቶች በቀጥታ መተርጎም ስለሚችል ሴሚኮንዳተር ዋስትና. ይህ ያደርገዋል impater ትንተና ለእነዚህ ጋዞችን ያካሂዱ በጣም ወሳኝ የጥራት ቁጥጥር እርምጃ.

በአስተያየተሮች ውስጥ የተለመደው የኛ ቀለም ያለው የሲሊኮን ዳይኦክሳይድን ዳይኦክሳይድን ዳይሬተር ተቀማጭ ገንዘብን እንመልከት. ኦክስጅንን ከሆነ ጋዝ ጥቅም ላይ ውሏል ለዚህ ሂደት የሃይድሮካርቦን ይይዛል ርኩስካርቦን የመገጣጠም ንብረቶችን በማዋረድ እና ወደ የመሳሪያ ውድቀት ሊመሩ ይችላሉ. በተመሳሳይ, ግርፕ ከሆነ ጋዝ ያልተጠበቀ ሁኔታ ይ contains ል ርኩሰት, በጣም ትልልቅ, በጣም ትንሽ, ወይም በተሳሳተ ቅርፅ የተጻፉ ወደሆኑ ባህሪዎች የሚመራውን የኢ.ቲ.ኤል. መጠን ወይም መላክን ሊቀየር ይችላል. እንኳን ርኩሰት በ Inrt ጋዝ እንደ የአርጎን ጋዝ ሲሊንደር ለ Spateration ጥቅም ላይ የዋለው የፊልም ፅሁፍ ጥራት ላይ ተጽዕኖ ለማሳደር ወደ ግራጫው ወለል ላይ ሊተላለፍ ይችላል. የ ርኩሰት ብዙውን ጊዜ የሂሳብ አሰራር ነው, ትርጉም, ትርጉም ሀ ርኩሰት በአንድ እርምጃ የተወደደ ወሳኝ ሊሆን ይችላል ብክለት በሌላ በኩል.

ይህ ወሳኝ ትስስር አጠቃላይ አቀራረብን ይጠይቃል impater ትንተና. የመጨረሻውን ምርት ለመፈተሽ ብቻ አይደለም, እሱ ጥሬ እቃዎችን, በሂደት ላይ ያሉ ጅረቶችን መከታተል ያካትታል ጋዝ የመንፃት ደረጃዎች. ለ ሴሚኮንዳዩተር ልዩ ጋዞች, መግለጫዎች ለ በሴሚኮንድዌተር ውስጥ ያሉ ርኩሰት የመተንተኑ ንድፍ ወሰን በመግፋት ማመልከቻዎች በጣም ጥብቅ ናቸው. ከደንበኞቻችን ጋር በቅርብ እንሠራለን ሴሚኮንዳተር እና ኤሌክትሮኒክስ ልዩነታቸውን ለመረዳት መስክ ርኩሰት ልዩነቶች ለተለያዩ ጋዞች እና የጋዝ ድብልቅ. ይህ የትብብር አቀራረብ የ ንፅህና ልዩ ጋዞች የላቁ የማምረቻ ሂደቶችን የሚጠይቁ ፍላጎቶችን በቋሚነት እናቀርባለን. ተፈታታኝ ሁኔታ ሀ ሰፋ ያሉ ርኩሰት በደረጃዎች ደረጃዎች.

ከቤተሰቦቹ ባሻገር: - ብክለትን ለመከላከል ከፍተኛ ንፅህና ሴሚኮንድዌይተር ጋዜጣዎችን የሚይዝ ምርጥ ልምዶች.

ማረጋገጥ የኤሌክትሮኒክ ልዩ ሰዶማውያን ንፅህና መቼ ነው የሚያበቃው ጋዝ የማምረቻ ተቋምዎን ይተዋል. ያንን መጠበቅ ንፅህና እስከ ውስጥ ወደ ተጠቀሙበት ደረጃ ድረስ ሀ ሴሚኮንዳተር FAB ለማያያዝ, ለማከማቸት እና ለማሰራጨት የሚስብ ትኩረት ይፈልጋል. ከፍተኛውን እንኳን ንፅህና ጋዝ በትክክል ካልተስተካከለ ሊበከል ይችላል. በ Hazohog ጋዝ, በማምረት ላይ ማተኮር ብቻ አናገኝም ከፍተኛ የመጥራት ጋዞች ግን ደንብ ደሞዝዎቻቸውን ለመከላከል የተሻሉ ልምዶችዎን ይመክራሉ ብክለት.

ቁልፍ ምርጥ ልምዶች የሚከተሉትን ያካትታሉ:

• አካል ምርጫ በጋዝ ማቅረቢያ ስርዓቱ ውስጥ ያሉ ሁሉም አካላት - ጨምሮ የጋዝ ሲሊንደር, ተቆጣጣሪዎች, ቫል ves ች, ቱቦዎች እና መገጣጠሚያዎች - አግባብ ባልሆኑ ቁሳቁሶች (ለምሳሌ, ኤሌክትሮፖ ገለልተኛ አረብ ብረት) መደረግ አለባቸው እና በተለይ ለተረጋገጠ አልትራሳውንድ ከፍተኛ ንፅህና (UHP) አገልግሎት. የተሳሳቱ ይዘቶችን በመጠቀም ወደ ውጭ የሚወስዱ ሊሆኑ ይችላሉ ርኩስ ወይም ሀ የብረት ብረት ርኩሰት ወደ ጋዝ ፍሰት.
• የስርዓት ጽኑ አቋም የጋዝ ማቅረቢያ ስርዓቱ መፍሰስ አለበት - ጥብቅ መሆን አለበት. ጥቃቅን ብጥብጥ እንኳ የከባቢ አየር ቦታ ሊፈቅድ ይችላል ብክለት እንደ ኦክስጂን, እርጥበት እና ክምችት ወደ ስርዓቱ ለመግባት አስፈላጊነት የጋዝ ንፅህና. መደበኛ የማጣሪያ ማረጋገጫ አስፈላጊ ነው.
• አሰራር አሰራር ተገቢ የመንጻት ሂደቶች እያንዳንዱ ግንኙነት በተደረገበት ወይም ሲሊንደር ከተለወጠ. ይህ መስመሮቹን ከ ሀ ጋር ማፍሰስንም ያካትታል ከፍተኛ የመጥሪያ ኢንቴል ጋዝ (እንደ Argon ወይም ናይትሮጂን) ማንኛውንም የታጠቀ አየርን ለማስወገድ ወይም ርኩስ. በቂ ያልሆነ የማጠሪያ ምንጭ የጋራ ምንጭ ነው ብክለት. ወጥነትን ለማረጋገጥ ራስ-ሰር የማጭበርበሪያ ፓነሎች እንመክራለን.
• የወሰኑ መሣሪያዎች ለተወሰኑ የተቆጣጠሩ ተቆጣጣሪዎች እና መስመሮችን በመጠቀም ጋዞች ወይም የ ጋዞች የመስቀል-ብክለትን መከላከል ይችላል. በተለይ መካከል ሲቀየር ይህ በጣም አስፈላጊ ነው Inrt ጋዝ እና ምላሽ ሰጭ ወይም የቆሸሸ ጋዝ.
• ሲሊንደር አያያዝ የጋዝ ሲሊንደር ጉዳትን ለማስወገድ ከጤና ጥበቃ ጋር መተዳደር አለበት. እነሱ በተሰየሙ, በደንብ በሚተገበሩ አካባቢዎች ውስጥ መቀመጥ አለባቸው, እና "በመጀመሪያ, መጀመሪያ ላይ" የችሎታ ማኔጅመንት መከናወን አለባቸው. መጠቀም የወሰነ እርጥበት እና ኦክስጅንን ትንታኔዎች ወሳኝ ነጥቦች እንዲሁ የእነዚህን የጋራ ቁርጠኝነት እንዲቆጣጠሩ ሊረዱ ይችላሉ ርኩስ.

ለደንበኞች ላሉት ደንበኞች ለባቡር ሰዶማዊነት ወይም ለማምረቻነት አገልግሎት የሚጠቀሙባቸው ደንበኞች እነዚህን አያያዝ ልምዶች መረዳታቸው አስፈላጊ ነው የምርት ጥራት ለገቢ ደንበኞች ቃል ገብተዋል. እሱ የጋራ ኃላፊነት ነው. የእኛን እናረጋግጣለን የሃይድሮጂን ሲሊንደር ለምሳሌ ምርቶች ለመከላከል የተሞሉ እና የተጠበቁ ናቸው ርኩሰት Engress, ግን የመጨረሻው ተጠቃሚው ስርዓት በእኩል ደረጃ አስፈላጊ ሚና ይጫወታል. መዋጋት ርኩሰት ከማምረት ወደ ትግበራ ቀጣይነት ያለው ጥረት ነው.

ወደ ክሪስታል ኳስ እየተመለከተ ወደ ኤሌክትሮኒክ ክፍል ጋዞች ውስጥ በ impsansion ቼክስ ውስጥ የወደፊቱ ፈጠራዎች ምን መጠበቅ እንችላለን?

ከዘላለም እስከ ከፍ ያለ ፍለጋ ንፅህና በ ውስጥ የኤሌክትሮኒክ ክፍል ጋዞች እና የበለጠ ስሜታዊነት Impatanent ዘዴዎች በ ውስጥ ከሚያሳድሩ የፍትሃዊ የፈጠራ ፍጥነት የሚነዳ ቀጣይ ጉዞ ነው ሴሚኮንዳተር ኢንዱስትሪ. የመሳሪያ ባህሪዎች ከ DIC-10 ናኖሜሜም ጋር ሲቀላቀሉ አዳዲስ ቁሳቁሶች እና የአካባቢ ህንፃዎች ይወጣሉ (እንደ 3 ዲ ናንድ እና በር), እንኳን ተስተካክለዋል ርኩስነትን ይከታተላል ይበልጥ ተጠርቷል. ይህ በሁለቱም ውስጥ ተጨማሪ እድገቶችን ያስገድዳቸዋል የጋዝ መንጻት ቴክኖሎጂዎች እና impater ትንተና ችሎታዎች.

ብዙ አዝማሚያዎችን መጠበቅ እንችላለን-

• የታችኛው የመረጃ ገደቦች ትንታኔ ቴክኒኮች እንደ ICP-MS, የጋዝ ክሮሞቶግራፊ - የጅምላ ማሳያ (GC-MS), እና የጉድጓድ ቀለበት-ወደ ታችኛው የደመወዝ ክፍል (CRRS) መለዋወጥ ይቀጥላል, መግፋት የማወቅ ገደቦች ሰፋ ያለ የተለያዩ ርኩሰት ወደ ነጠላ-አሃዝ PPT ደረጃዎች ወይም ወደ PPC ጎራ ውስጥ እንኳን ወደታች. ይህ በ ion ምንጮች, በጅምላ ትንታኔዎች እና መመርመሪያ ቴክኖሎጂ
• አከባቢ እና በእውነተኛ-ጊዜ ቁጥጥር ለመቆጣጠር የሚረዱ ትንታኔ ስርዓቶች ፍላጎት አለ የጋዝ ንፅህና በእውነተኛ ሰዓት ውስጥ በቀጥታ በ ውስጥ ጥቅም ላይ የዋለው ሴሚኮንዳተር FAB. ይህ ማንኛውንም ለማናቸውም እንዲያውቅ ያስችላል ብክለት ክስተቶች ወይም የሚሽከረከሩ ርኩሰት ደረጃዎች, ፈጣን የማስተካከያ እርምጃ እና የምርት መጥፋትን መቀነስ. የተዘበራረቁ ዳሳሾች እና የላቁ የቼሞሜትሪክ ስልተ ቀመሮች እዚህ ቁልፍ ሚና ይጫወታሉ.
• የተወሳሰበ የጋዝ ድብልቅ ትንታኔ ወደፊት ሴሚኮንዳተር ሂደቶች የበለጠ ውስብስብ ሊያካትቱ ይችላሉ የጋዝ ድብልቅ ከበርካታ የአድራሻ አካላት ጋር. መተንተን ርኩስ በእንደዚህ ዓይነት አስቸጋሪ ማተሚያ ቤቶች ውስጥ አዳዲስ ትንታኔ ስትራቴጂዎች እና የተራቀቁ የውሂብ የትርጉም መሳሪያዎችን ይፈልጋሉ. የመለኪያ ችሎታ ርኩሰት ከሌሎች ጣልቃ ገብነት በአንድ አካል ውስጥ ወሳኝ ይሆናል.
• "ገዳይ" ርኩሰት ላይ ትኩረት ያድርጉ ምርምር ልዩን መለየት ይቀጥላል በሴሚኮንድዌተር ውስጥ ያሉ ርኩሰት ባልተሸፈነው የመሳሪያ አፈፃፀም ወይም በስምምነት, በጣም ዝቅተኛ በሆነ ደረጃ ላይ እንኳን ሳይቀር በመሣሪያ አፈፃፀም ወይም በምርጫ ላይ ያለው ሂደት. ትንታኔ ዘዴዎች በእነዚህ "ገዳይ" ላይ የበለጠ targeted ላማ ያደርጋሉ ርኩስ.
• የውሂብ ትንታኔዎች እና አይ: በላቀ ደረጃ የመነጨው ሰፊው መረጃዎች impater ትንተና ስርዓቶች, ችሎታን የሚተነብዩ አዝማሚያዎችን ለመለየት ሲኒ እና ማሽን በመጠቀም ስርዓቶች ብክለት ጉዳዮች, እና ያመቻቻል የጋዝ መንጻት ሂደቶች. ይህ ከእሳት አደጋ መከላከያ ችግር ይልቅ በእውቀት ጥራት መቆጣጠሪያ ውስጥ ሊረዳ ይችላል.

በ Hazowng ጋዝ, የእነዚህ እድገት ግንባታዎች ፊት ለፊት ለመቆየት ቁርጠኛ ነው. የሳይንስ ሃይማኖትን ለማራመድ ከኢንዱስትሪ አጋሮች እና ከትምህርታዊ ተቋማት ጋር በመተባበር በምርምር እና በልማት ውስጥ እንሰራቸዋለን ከፍተኛ የመነጫት ጋዝ ምርት እና impater ትንተና. እንደ ማርቆስ She ች እንደ ጥራቱ አስተዋይ የሆኑትን ጨምሮ ለደንበኞቻችን ደንበኞቻችን, ይህ ማለት አስተማማኝ አቅርቦት ነው የኤሌክትሮኒክ ልዩ ጋዞች ያ የለውጥ ፍላጎቶችን ያሟላል ኤሌክትሮኒክስ እና ሴሚኮንድዌይ ኢንዱስትሪዎች. የእኛ ክልል Heliumበመናፍሩ የሚታወቅ እና በልዩ አፕሊኬሽ የሚታወቅ, አነስተኛ ቁጥር ያላቸው ከእነዚህ የላቀ ትንታኔ ምርመራዎችም ይጠቅማል ርኩሰት ደረጃዎች.

ለማስታወስ ቁልፍ ተመልካቾች

• የኤሌክትሮኒክ ልዩ ጋዞች መሠረታዊ ናቸው ሴሚኮንድገር ማምረቻእና የእነሱ ንፅህና ለድርድር የማይሰጥ ነው.
• እንኳን ርኩስነትን ይከታተላል, ፒ.ፒ.ፒ.ፒ.ፒ.ፒ.ፒ.ፒ.ፒ.ፒ. ሴሚኮንዳተር መሣሪያዎች.
• የተለመደ በጋዞች ውስጥ ያሉ ሥራዎች ሌሎች ጋዞችን (እንደ ኦ ₂, H₂O), ብረትእና ክምችት ጉዳይ.
• ICP-MS ሀ ሰፋ ያሉ ርኩሰትበተለይም ብረት, በከፍተኛ ደረጃ ደረጃዎች.
• መጠገን የጋዝ ንፅህና የ Checkiorning እና የስርዓት ታማኝነትን ከ የጋዝ ሲሊንደር ለመከላከል ወደ ለመጠቀም ብክለት.
• የወደፊቱ ጊዜ ዝቅ ይላል የማወቅ ገደቦች, የእውነተኛ-ጊዜ ቁጥጥር, እና AI-DEADN impater ትንተና ለ ኤሌክትሮኒክ ክፍል ጋዞች.
• እያንዳንዱን አቅም መቆጣጠር ርኩሰት የ "ን ማረጋገጥ አስፈላጊ ነው የምርት ጥራት እና የዘመናዊው አስተማማኝነት ኤሌክትሮኒክስ.