የሴሚክዮዲተር ኢንዱስትሪ, ዘመናዊ የቴክኖሎጂ ልማት ዋና እንደ ሆነ, በማምረቻው ሂደት ውስጥ ብዙ ትክክለኛ እና ከፍተኛ የመነሳት ጋዞችን ያካትታል. ለሴሚኮንድዲክተሮች ልዩ ጋዞች በሴሚሚኮንዱገር ቁሳዊ ምርት, በቺፕተርስሩ ማምረቻ, በቀጭኑ-ፊልም ተቀማጭ ገንዘብ እና በሌሎች ሂደቶች የሚያካሂዱ ጋዞችን ያመለክታሉ. እነዚህ ጋዞች በምላሽ ሂደቶች ላይ ለጽዳት, ለመረጋጋት እና ለትክክለኛ ቁጥጥር ጥብቅ መስፈርቶችን ማሟላት አለባቸው. ይህ የጥናት ርዕስ በሴሚኮኖዲተሮች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ በርካታ የተለመዱ ልዩ ልዩ የሆኑ ጋዞችን ያስተዋውቃል እናም በሴሚኮንድገር ማምረቻ ሂደት ውስጥ ሚናቸውን ያስተዋዋል.

1. ሃይድሮጂን (ኤች.አይ.)

ሃይድሮጂን በተለይም በኬሚካዊ የእንፋሎት ተቀማጭ ገንዘብ (CVD) እና ቅነሳ ምላሾች በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላል. በ CVD, ሃይድሮጂን ብዙውን ጊዜ እንደ ሲሊሰን ፊልሞች ያሉ ቀጭን ፊልሞች ለማደግ ከሌሎች ጋዞች ጋር ይቀላቀላል. ሃይድሮጂን እንዲሁ በብረት ተቀማጭ ገንዘብ እና በኦክሳይድ ማስወገጃ ሂደቶች እንደ መቀነስ ወኪል ይሠራል. በተጨማሪም, ሃይድሮጂን የቧንቧዎችን ብክለቶች በብቃት ለማስወገድ እና ቺፖችን ጥራት ለማሻሻል ሴሚሚዶናዊ ተዋጊዎችን በማፅዳት እና በማከም ጥቅም ላይ ይውላል.

2. ናይትሮጂን (n₂)

ናይትሮጂን, የስፔን ጋዝ, በዋነኝነት የሚያገለግለው በዋናነት የሚሠራው በሴሚኮንዱገር ማምረቻ ውስጥ የኦክስጂን ነፃ አካባቢን ለማቅረብ ነው. እሱ በተለምዶ በመሣሪያ ጽዳት, በማቀዝቀዣ ሂደቶች እና በምላሽ ማቅረቢያ ውስጥ እንደገባ ነው. በእንፋሎት ተቀማጭነት እና በ ETCHOND ሂደቶች ውስጥ ናይትሮጂን ግብረመልሶችን ለማረጋጋት እና የእመልክነቱን መጠን ለመቆጣጠር ከሌሎች ጋዞች ጋር ይቀላቀላል. ናይትሮጂን ኦክሳይድን ለማገድ ያገለግላል, ስሱ ቁሳቁሶችን ከኦክሳይድ ጉዳት ለመጠበቅ ያገለግላል.

3. ኦክስጅንን (ኦ.)

ኦክስጅንን በሴሚኮንድሩ ኢንዱስትሪ በተለይም በኦክሳይድ ሂደቶች ውስጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታል. በሲሊኮን ወለል ላይ ሲሊኮን ዳይኦክሳይድ ንብርብር በተቋቋመበት ጊዜ ኦክስጅንን አስፈላጊ ነው. ኦክስጅንን በማስተዋወቅ የደንብ ልብስ የዲክሳይድ ንብርብር ቅጾችን ለኤሌክትሪክ አፈፃፀም እና የመሣሪያ መረጋጋት አስፈላጊ ነው. ኦክስጅንን በማፅዳትና በመግቢያ ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል, የተወሰኑ የብረት ፊልሞችን ለማስወገድ ከሌላ ኬሚካዊ ጋዞች ጋር ምላሽ መስጠት.

4. የካርቦን ቴትራሪንግንግ (CF₄)

የካርቦን ቴትራራሪንግንግ በመግቢያ ሂደቶች ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላል. በሴሚኮንድገር ግርች ውስጥ, ቀጫጭን ሲሊኮን, ሲሊኮን Nitride, ብረት እና ሌሎች ቁሳቁሶችን ውጤታማ በሆነ መንገድ ለማስወገድ ከሌሎች ጋዞች ጋር ተቀላቅሏል. ኤፍ.ሲ.ፒ. ፍሎራይድ ሲጨምር, ፍሎራይድዎችን የሚያጣምር እና የ target ላማው ሥራ በብቃት ሊቆጠር ይችላል. ይህ ጋዝ ለከፍተኛ ትክክለኛ ንድፍ በተቀናጀ የወረዳ ምርት ወሳኝ ነው.

5. የሃይድሮጂን ክሎራይድ (ኤች.ሲ.ኤል)

የሃይድሮጂን ክሎራይድ ጋዝ በዋነኝነት የሚያገለግል ነው, በተለይም በብረት ቁሳቁሶች ወሳጅነት ውስጥ. የብረት ንብርብሮች እንዲወገዱ የሚያስችል ክሎራይቶችን ለመቅረጽ ከብረት ፊልሞች ጋር ምላሽ ይሰጣል. ይህ ሂደት የቼክ አሠራሮችን ማረጋገጥ ቀጫጭን የብረት ፊልሞች ቅጂዎች ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላል.

6. ናይትሮጂን ትሪፕሎጅ (NF₃)

ናይትሮጂን ትሪምፕሊንግ በዋናነት በዋነኝነት በፕላዝማ etching መሳሪያዎች ውስጥ አሪፍ ተቀማጭነት የሚያገለግል ነው. በፕላዝማ ህመምተኞች ሂደቶች, NF₃ በተከማቸ የተከማቸ ቁሳቁሶች (እንደ ሲሊኮን ፍሰት ያሉ) በቀላሉ ሊወገዱ የሚችሉ ፍሎሎችን ለማቋቋም ነው. ይህ ጋዝ በጽዳት ሂደት ውስጥ እጅግ በጣም ውጤታማ ነው, የወታደራዊ መሳሪያዎችን ንፅህና ለመጠበቅ እና የማምረቻ ሂደቶችን ትክክለኛነት እና ውጤታማነት ለማሻሻል በመርዳት.

7. ሲሊ (ሲህ)

ሲሊን በኬሚካን ቀጭን ፊልሞች ውስጥ በማስቀመጥ በኬሚካዊ የእንፋሎት ተቀማጭ ገንዘብ (CVD) ውስጥ በተለምዶ ጥቅም ላይ የሚውለው ጋዝ ነው. ሲሊን በሴሚኮንድሩ ማምረቻ ወሳኝ ወሳኝ ወሳኝ በሆነው ወለል ላይ ሲሊኒን በሚሠራው ወለል ላይ የሲሊኮን ፊልሞችን ለመመስረት ከፍተኛ የሙቀት መጠን ይፈጥራል. የ Silan እና የሰጡ ሁኔታዎች ፍሰት በማስተካከል ተቀማጭ ገንዘብ እና የፊልም ጥራቱ በትክክል ቁጥጥር ሊደረግበት ይችላል.

8. ቦሮን ትሪፕሎጅ (BF₃)

ቦሮን ትሪምፕሊንግ በዋናነት በሴሚኮንድሩ ማምረቻ የሂሳብ ማምረቻ ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ የዋለው አስፈላጊ የመዝጋት ጋዝ ነው. የሚፈለገውን የመዝጊያ ሽፋን ለመመስረት ከሲሊኮን ምትክ ጋር ምላሽ በመስጠት የክሪስታል ኤሌክትሪክ ባህሪያትን ለማስተካከል የሚያገለግል ነው. የፒ-ዓይነት ሴሚሚኮንድደር ቁሳቁሶችን ለመፍጠር ቦሮን የመርከብ ሂደት አስፈላጊ ነው, የ BF₃ ጋዝ በዚህ ሂደት ውስጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታል.

9. ሰልፈር ሄክሳፊንግ (Sf₆)

ሰልፈር ሄክሳፊንግ በዋናነት በዋነኝነት ጥቅም ላይ የዋለው በሴሚኮንዳርተዋውያን ሂደቶች በተለይም በከፍተኛ ጥንካሬ ውስጥ ይገኛል. በከፍተኛ የኤሌክትሮኒካል መንደሮች እና በኬሚካዊ መረጋጋት ምክንያት, Sf₆ ከሌሎች ጋዞች ጋር ቁሳዊ ፊልሞችን ለማስወገድ እና ትክክለኛ ስርዓተ-ጥለትዎችን ለማረጋገጥ ከሌሎች ጋዞች ጋር ሊጣመር ይችላል. እንዲሁም ያልተፈለጉ የብረት ፊልሞችን በብቃት በማስወገድ በአፍንጫ ግርክታ ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ውሏል.

ማጠቃለያ

ለሴሚኮንድድካካቶች ልዩ ጋዞችን የተቀናጁ ወረዳዎችን በማምረጫ ውስጥ የማይገኝ ሚና ይጫወታል. ቴክኖሎጂው መሻሻል እንደቀጠለ የእነዚህ ጋዞች የመነሻ እና አፈፃፀም ከፍ ያለ ጭነት እና አፈፃፀም ይጨምራል, አቅርቦቶችን የሚጠይቁ የአቅራቢዎች የአቅራቢዎች ጥራትን እና ዓይነቶችን የሚመለከቱ የአቅራቢዎች ፍላጎቶች ይጨምራል. ወደፊት ሴሚሚኖሪቨር ኢንዱስትሪ ቀጣዩ-ትውልድ ቺፕስ እና የቴክኖሎጂ ፈጠራዎች ማምረትን ለማገዝ በእነዚህ ልዩ ልዩ ጋዞች ላይ መተማመን ይቀጥላል. ስለዚህ ሴሚሚዶንግደሻ ልዩ ጋዞችን መረዳትን እና ተግባራዊ ማድረግ የሴሚኮንዲሩ ኢንዱስትሪ ቀጣይ ልማት በማሽከርከር ረገድ ወሳኝ ይሆናል.