በአለም አቀፍ ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ፈጣን እድገት ፣ ቺፕ የማምረት ሂደቶች ሙሉ በሙሉ ወደ ናኖሜትር ዘመን ገብተዋል። በዚህ እጅግ በጣም ትክክለኛ በሆነ የማምረቻ ሂደት ውስጥ፣ ማንኛውም ደቂቃ የአካባቢ ለውጥ ወይም የቁሳቁስ ንፅህና ወደ ሙሉ የዋፈር ፍርስራሾች ሊያመራ ይችላል። ስለዚህ ኤሌክትሮኒካዊ ልዩ ጋዞች እና ከፍተኛ-ንፅህና ያላቸው የኢንዱስትሪ ጋዞች የማይተካ ሚና ይጫወታሉ. ከነሱ መካከል እ.ኤ.አ. ከፍተኛ ንፅህና ፈሳሽ አርጎን በሴሚኮንዳክተር ፋብሪካዎች የዕለት ተዕለት እንቅስቃሴ ውስጥ በጣም አስፈላጊ የሆነ ቁልፍ የሆነው በመጨረሻው የኬሚካላዊ ጥንካሬ እና እጅግ በጣም ጥሩ አካላዊ ባህሪያት ምክንያት ነው።

ይህ ጽሑፍ በቺፕ ማምረቻ ሂደቶች ውስጥ የፈሳሽ አርጎን ዋና አፕሊኬሽኖችን በጥልቀት ይተነትናል እና ለድርጅት አቅርቦት ሰንሰለት ቡድኖች ሙያዊ የግዥ መመሪያ ይሰጣል ።

ዋና አፕሊኬሽኖች፡ ለምንድነው ፈሳሽ አርጎን ከሴሚኮንዳክተር ማምረቻ የማይነጣጠለው?

በፊተኛው-ፍጻሜ-መስመር (FEOL) ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት፣ ፈሳሽ አርጎን ለሴሚኮንዳክተሮች በዋነኝነት የሚተገበረው የምርት ምርትን በሚወስኑት በሚከተሉት ዋና ደረጃዎች ነው።

• አካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (PVD) / መትረፍ: እጅግ በጣም ንፁህ የአርጎን ጋዝ፣ በፈሳሽ አርጎን ጋዝነት የተፈጠረ፣ በ PVD የማፍሰሻ ሂደቶች ውስጥ በጣም ዋና የሚሰራ ጋዝ ነው። በቫክዩም ቻምበር ውስጥ አርጎን ionዎች በኤሌክትሪክ መስክ የተፋጠነ ሲሆን ይህም የታለመውን ቁሳቁስ በቦምብ ለመምታት የታለመ አተሞች እንዲፈናቀሉ እና በዋፈር ወለል ላይ በእኩል መጠን እንዲቀመጡ በማድረግ የብረት ፊልም ይፈጥራሉ። ከፍተኛ ንፅህና የፊልሙን ጥንካሬ እና የኤሌክትሪክ ወጥነት ለማረጋገጥ ቅድመ ሁኔታ ነው.
• 
  

• ፍፁም ደህንነቱ የተጠበቀ የማይነቃነቅ መከላከያ ድባብ፡ ሞኖክሪስታሊን ሲሊንኮን (እንደ ዞቻራልስኪ ሂደት ያሉ) እና ከፍተኛ የሙቀት መጠንን የማስወገድ ሂደቶችን በሚጎትትበት ጊዜ ሲሊኮን በቀላሉ ከኦክስጅን ጋር በከፍተኛ ሙቀት ምላሽ ይሰጣል። ስለዚህ የአርጎን ጋዝ አየርን ለመተካት ያለማቋረጥ መተዋወቅ አለበት, ከኦክሲጅን እና ከእርጥበት የተነጠለ ፍፁም የማይነቃነቅ አካባቢን ያቀርባል, በዚህም የሲሊኮን ክሪስታል ጥልፍልፍ ፍፁም እድገትን ያረጋግጣል.
• 
  
• Cryogenics እና Wafer የጽዳት ቴክኖሎጂ፡- እንደ ጽንፍ አልትራቫዮሌት (EUV) ሊቶግራፊ ባሉ የላቁ ሂደቶች ውስጥ የፈሳሽ argon (የመፍላት ነጥብ -186 ° ሴ) በጣም ዝቅተኛ የሙቀት ባህሪያት አንዳንድ ጊዜ ለትክክለኛ መሳሪያዎች ማቀዝቀዣ ዘዴዎች ይተገበራሉ. በተመሳሳይ ጊዜ የአርጎን ኤሮሶል ቴክኖሎጂ ለናኖሜትር-ሚዛን አካላዊ ጥቃቅን ጽዳት በ wafer surfaces ላይ ጥቅም ላይ ይውላል, ይህም ጥቃቅን ጥቃቅን ቁስ አካላትን በማይጎዳ መልኩ ያስወግዳል.
• 
  

ጥራት ያለው ምርትን ይወስናል፡ የከፍተኛ ንፅህና ፈሳሽ አርጎን ጥብቅ ደረጃዎች

ለጥሬ ዕቃዎች የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ መስፈርቶች በተለየ ሁኔታ ከባድ ናቸው. የተለመደው የኢንደስትሪ ደረጃ ፈሳሽ አርጎን አብዛኛውን ጊዜ የ 99.9% ወይም 99.99% ንፅህናን መድረስ ብቻ ነው, ነገር ግን ይህ የቺፕ ማምረት ፍላጎቶችን ከማሟላት የራቀ ነው. ለ ብቃት ያለው ከፍተኛ ንፅህና ፈሳሽ አርጎንየመነሻ መስመር ንፅህና በተለምዶ 99.999% (5N) ለመድረስ ያስፈልጋል፣ እና በተራቀቁ ኖዶች ውስጥ፣ 99.9999% (6N) ወይም ከዚያ በላይ መድረስ እንኳን ያስፈልገዋል።

በጣም አስፈላጊው የንጽሕና ቁጥጥር ነው. የኦክስጅን፣ የናይትሮጅን፣ የእርጥበት መጠን፣ አጠቃላይ የሃይድሮካርቦኖች (ቲ.ኤች.ሲ) እና የመከታተያ ብረት ions ይዘት በፒፒቢ (ክፍል በቢልዮን) ወይም በፒፒቲ (በትሪሊዮን ክፍሎች) ደረጃ ላይ ጥብቅ ቁጥጥር ሊደረግበት ይገባል። ምንም እንኳን አንድ ደቂቃ ያህል ቆሻሻ ወደ ጋዝ ቧንቧው ቢቀላቀል ፣ በዋፈር ወለል ላይ ጥቃቅን ጉድለቶች ይፈጥራል ፣ ይህም ቺፕ አጫጭር ዑደትዎችን ወይም የወቅቱን ፍሳሽ ያስከትላል ፣ የምርት መጠኑን በቀጥታ ይጎትታል እና ከፍተኛ ኢኮኖሚያዊ ኪሳራ ያስከትላል።

የግዥ መመሪያ፡ እንዴት የባለሙያ ፈሳሽ አርጎን አቅራቢን መገምገም እና መምረጥ ይቻላል?

ከፍተኛ ንፅህና ያላቸው ጋዞች በምርት መስመሮች ውስጥ የሚኖራቸውን ወሳኝ ሚና ከግምት ውስጥ በማስገባት ሙሉ ብቃት ያለው እና አቅም ያለው ፈሳሽ አርጎን አቅራቢ ማግኘት እና ማረጋገጥ የግዥ እና የአቅርቦት ሰንሰለት ቡድኖች ዋና ተግባር ነው። ሊሆኑ የሚችሉ አቅራቢዎችን ሲገመግሙ በሚከተሉት ሶስት ልኬቶች ላይ እንዲያተኩሩ ይመከራል።

ጥብቅ የጥራት ቁጥጥር እና የሙከራ ችሎታዎች፡- እጅግ በጣም ጥሩ አቅራቢዎች እንደ ጋዝ Chromatographs (ጂሲ) እና Mass Spectrometers (MS) ባሉ ከፍተኛ ደረጃ የክትትል መመርመሪያ መሳሪያዎች መታጠቅ አለባቸው። በእቃ ማጓጓዣ መካከል ፍጹም ንፅህናን ለማረጋገጥ ለእያንዳንዱ ስብስብ ዝርዝር COA (የመተንተን የምስክር ወረቀት) ማቅረብ መቻል አለባቸው።

ጠንካራ የአቅርቦት ሰንሰለት መቋቋም እና የማድረስ መረጋጋት፡ ፋብሪካዎች ብዙውን ጊዜ በ24/7/365 ይሰራሉ፣ እና የመቀነስ ዋጋ በጣም ከፍተኛ ነው። ስለዚህ፣ አቅራቢዎች ግዙፍ የአካባቢ ፈሳሽ ማከማቻ ችሎታዎች፣ የራሳቸው የሆነ የክሪዮጅኒክ ታንከር የጭነት መኪናዎች እና አጠቃላይ የአደጋ ጊዜ አቅርቦት ማረጋገጫ ዕቅዶች ሊኖራቸው ይገባል።

የላቀ ኮንቴይነሮች እና ፀረ-"ሁለተኛ ብክለት" ቴክኖሎጂ፡- የጋዝ ንፅህና ምንም ያህል ከፍ ያለ ቢሆንም, በመጓጓዣ ጊዜ ከተበከለ ምንም ፋይዳ የለውም. ትኩረቱ በአቅራቢው ክሪዮጅኒክ ማጠራቀሚያ ታንኮች እና የታንከር የውስጥ ግድግዳ ህክምና ቴክኖሎጂዎች (እንደ ኤሌክትሮፖሊሽንግ/ኢፒ ህክምና) እንዲሁም በመሙላት እና በማስተላለፊያ ደረጃዎች ውስጥ የቫልቭ እና የቧንቧ መስመር ማጽዳት መደበኛ የአሠራር ሂደቶች (SOP) ላይ መሆን አለበት, ይህም ከፍተኛ ንፅህናን ከፋብሪካው በቀጥታ ወደ ደንበኛው ተርሚናል ይደርሳል.

ማጠቃለያ

በሙር ህግ ቀጣይነት ያለው እድገት ከፍተኛ ንፅህና ፈሳሽ አርጎን መሰረታዊ ፍጆታ ብቻ ሳይሆን ለላቀ ሴሚኮንዳክተር ሂደቶች "የማይታይ አጃቢ" ነው። በሳይንሳዊ እና በጥብቅ በመገምገም እና በመምረጥ ሀ ፈሳሽ አርጎን አቅራቢ ለሴሚኮንዳክተሮች ከፍተኛ ጥራት ያለው እና የተረጋጋ የፈሳሽ አርጎን አቅርቦትን ለማረጋገጥ አጠቃላይ ጥንካሬ ለእያንዳንዱ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ድርጅት የሂደቱን ምርት ለማሻሻል እና በአለም ገበያ ውድድር ለማሸነፍ ቁልፍ የማዕዘን ድንጋይ ነው።