አሞኒያ (ኤን.ኤን.), እንደ አስፈላጊ ኬሚካዊ መልሶ ማገዶ, በተለያዩ የኢንዱስትሪ ሜዳዎች ውስጥ በተስፋፋው የተለያዩ የኢንዱስትሪ ሜዳዎች ውስጥ የተስፋፋ ትግበራዎች አሉት, በተለይም በሴሚካዊው ነዋሪ ማምረቻ ውስጥ ወሳኝ ነው. አሞኒያ የናሚኒያ ማምረቻዎች የ Semiconder ምርት, የናቲሚንደርኩር ማምረቻዎች, የናቲሚንደርኩር ማምረት, የሆድ ማጽጃ እና የመዝገቢያ, ጽዳት እና የመርከቦች ሂደቶች ጨምሮ. ይህ የጥናት ርዕስ የመሣሪያ አፈፃፀምን በማሻሻል የመሣሪያ አፈፃፀምን በማሻሻል, የሚወስኑትን ተፈታታኝ ሁኔታዎች እና ወደፊት የልማት አዝማሚያዎች በመወያየት ወጪዎችን በመተንተን, ወጪዎችን በመተንተን, ወጪዎችን እና የመንዳት ፈጠራን በመወያየት ላይ ይገኛል.

1. የአሞኒያ መሠረታዊ ባህሪዎች እና ኬሚካዊ ባህሪ

አሞኒያ ጠንካራ አልጋሊቲው የሚታወቅ ናይትሮጂን እና ሃይድሮጂንን የተገነባ ሲሆን በተለምዶ በኢንዱስትሪ ናይትሮጂን ማዳበሪያ ልማት ውስጥ ይገኛል. አሞኒያ በክፍል ሙቀት ውስጥ እንደ ጋዝ ይገኛል ነገር ግን በዝቅተኛ የሙቀት መጠን ሊበዛ ይችላል, በጣም ፈጣን ምላሽ ሰጪ የጋዝ ምንጭ ያደርገዋል. በሴሚኮንድዌተር ኢንዱስትሪ ውስጥ የአሞኒያ ኬሚካዊ ባህሪዎች በተለይም በኬሚካዊ የእንፋሎት ተቀማጭ ገንዘብ (CVD), በአዮን መጫዎቻ እና በማፅዳት / በማፅዳት / በማፅዳት / በማፅዳት ሥራዎች ውስጥ የበርካታ ወሳኝ ሂደቶች ዋና አካል ያደርጉታል.

አሞኒያ ሞለኪውሎች ናይትሬት እና እነሱን ለመሥራት ወይም ለመሥራት ከሌሎች ብረቶች, ሲሊሰን እና ሌሎች ቁሳቁሶች ጋር ምላሽ ሊሰጡ ይችላሉ. እነዚህ ግብረመልሶች የሚፈለጉትን ቀጫጭቶች የፊልም ቁሳቁሶች በመፍጠር ላይ ብቻ አይደሉም, ነገር ግን ቁሳቁሶቹን የሚጠቀሙበት የኤሌክትሪክ, የሙቀት እና ሜካኒካዊ ባህሪያትን በማደግ ሴሚሚዶሪ ቴክኖሎጂን ያካሂዳሉ.

2. በአሞሚኒያ አሞሌዎች በሴሚኮንድገር ማምረቻ

አሞኒያ በሴሚኮንድዌሩ ማምረቻ በተለይም በሚቀጥሉት መስኮች ወሳኝ ሚና ይጫወታል

2.1 የ NITREDED ቀለል ያሉ ፊልሞች

በዘመናዊ ሴሜዲኖውዌሩ ማምረቻ, Nitiinum Nitride (SINN), የአሉሚኒየም ናይትሪድ, የአሉያኒየም ናይትሪድ, ኤሌክትሮኒያ ንብርብሮች, የኤሌክትሪክ ማግለል, ወይም ተመሳሳይ ቁሳቁሶች በሰፊው ያገለግላሉ. የእነዚህ ናይትሪድ ፊልሞች ቅንብሮች, አሞኒያ እንደ ወሳኝ ናይትሮጂን ምንጭ ሆኖ ያገለግላል.

የኬሚካል እንፋሎት ተቀማጭ ገንዘብ (ሲቪዲ) ከናይትድሪድ ፊልም ቀዳዳ ውስጥ በጣም የተለመዱ ዘዴዎች አንዱ ነው. አሞኒያ ከሲሊ (ሲህ (ሲህ ₄) በከፍተኛ የሙቀት መጠን, ሲሊኮን ናይትሪንግ ፊልሞችን ለመቅረጽ እና ለመቅረጽ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ምላሽ ይሰጣል. ምላሹ እንደሚከተለው ነው-

3sih4 + 4nh3 → Si3n4 + 12h2

ይህ ሂደት አንድ ወጥ የሲሊኮን ናይትሳይድ ንብርብር በሲሊኮን ስርጭቱ ላይ የተመሠረተ ነው. አሞኒያ የተረጋጋ ናይትሮጂን ምንጭ ያቀርባል እናም የፊልም ክፍሉን, ውፍረት እና ወሊድ ሁኔታን በመቆጣጠር በተወሰኑ ሁኔታዎች ውስጥ ሌሎች የጋዝ ምንጮችን ያቀርባል.

Nitresidess ፊልሞች በጣም አስፈላጊ የሙቀት መረጋጋትን, የኤሌክትሪክ መቃብርን እና ኦክሳይድ መቋቋምን በማብራት በጣም አስፈላጊ ያደርገዋል. በተዋሃዱ ወረዳዎች (els) በሰፊው ጥቅም ላይ የዋሉ ናቸው.

2.2 ion መሻገሪያ እና ማጉደል

አሞኒያ እንዲሁም የሴሚኮንዳር ቁሳቁሶች በመዝጋት ሂደት ውስጥ ትልቅ ሚና ይጫወታል. የመዝጋት ሴሚሚካዊው መሳሪያዎች በሚቀዘቅዙ መሳሪያዎች ውስጥ ቅጣትን በቁሶች ውስጥ ያሉትን የኤሌክትሪክ ምሳሌነት ለመቆጣጠር የሚያገለግል ወሳኝ ዘዴ ነው. አሞኒያ, ውጤታማ የናይትሮጂን ምንጭ እንደመሆኑ መጠን ናይትሮጂንን እንደ ሲሊኮን እና ጋሊየም ዌስተሮች (ጋስ) በ ion መሻገሪያ ውስጥ እንደ የፎንፊን ፒቦር እና ዲቦን ባህር ጋር በመተባበር ጥቅም ላይ ይውላል.

ለምሳሌ, ናይትሮጂን መጓዝ የ N-ዓይነት ወይም ፒ-ዓይነት ሴሚኮንድዲተሮችን ለመፍጠር የሲሊኮን ኤሌክትሪክ ባህሪዎች ማስተካከል ይችላል. ቀልጣፋ ናይትሮጂን የመዝገቢያ ሂደቶች, አሞኒያ በሚቆዩበት ጊዜ ውስጥ ትክክለኛ ቁጥጥርን የሚያረጋግጥ ከፍተኛ ንፁህነትን ናይትሮጂን ምንጭ ያቀርባል. በጣም ትልቅ በሆነ ውህደት (VLSI) ማምረቻ ውስጥ ከፍተኛ የአፈፃፀም መሳሪያዎች ለባለአደራ እና ለማምረት ወሳኝ ነው.

2.3 ማጽዳት እና ማጽዳት

የጽዳት እና የግሪክ ሂደቶች በሴሚኮንዱገር ማምረቻ የመሳሪያዎች ጥራትዎን ለማረጋገጥ ቁልፍ ናቸው. አሞኒያ በእነዚህ ሂደቶች በተለይም በፕላዝማ atching እና ኬሚካዊ ጽዳት ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላል.

በፕላዝማ etching ውስጥ ኦሞኒያ ኦርጋኒክ ብክለቶችን, የኦክሳይድ ንብርብሮችን እና የብረት ሥራዎችን ከፋፋው ወለል ላይ ለማስወገድ ለማገዝ እንደ ካሎሪን, ክሊፕ ካሉ ሌሎች ጋዞች ጋር ሊጣመር ይችላል. ለምሳሌ, አሞኒያ ወለል ኦክሳይድ (እንደ ኦክስ እና ኦ ₂ ያሉ) መልሶ ማቋቋም እና በቀጣይ ሂደቶች ውስጥ መረጋጋትን ያረጋግጡ.

በተጨማሪም አሞኒያ በ Conging ሂደቶች ውስጥ ሊሠራ ይችላል, በኬሚካዊ ግብረመልሶች ወይም በሂደቱ ምክንያት የመከታተያ ቀሪዎችን ለማስወገድ ይረዳል.

3. በሴሚኮንድቨር ኢንዱስትሪ ውስጥ የአሞኒያ ጥቅሞች

አሞኒያ በሴሚኮንድዌይ ማምረቻ, በተለይም በሚቀጥሉት መስኮች በርካታ ጥቅሞችን ይሰጣል-

3.1 ውጤታማ ናይትሮጂን ምንጭ

አሞኒያ የናይትሮድሪ ፊልሞችን እና የመዝጋት ሂደቶችን ለማስቀረት የተረጋጋ እና ትክክለኛ የ Nitrogen አቶሞችን የሚሰጥ ቀልጣፋ እና ንጹህ ናይትሮጂን ምንጭ ነው. ይህ በሴሚኮንድገር ማምረቻ ጥቃቅን እና የናኖ-ደረጃ መሳሪያዎች እንዲቀላቀል ይህ ወሳኝ ነው. በብዙ ሁኔታዎች አሞኒያ ከሌሎች ናይትሮጂን ምንጭ ጋዎች (እንደ ናይትሮጂን ጋዝ ወይም ናይትሮጂን ኦክሳይድ ያሉ) የበለጠ ምላሽ ሰጭ እና ቁጥጥር የሚደረግበት ነው.

3.2 እጅግ በጣም ጥሩ የሂደት ቁጥጥር

የአሞኒያ የመድኃኒቶች ምላሽ እንቅስቃሴ በተለያዩ ውስብስብ ሂደቶች ውስጥ የአመለካከት መጠን እና ፊልም ውፍረት እንዲቆጣጠር ይፈቅድለታል. የአሞኒያ, የሙቀት እና የአመለካከት ጊዜ ፍሰት ፍሰት በመጠቀም ውፍረት, ወጥነት እና የመዋቅራዊ ባህሪዎች በትክክል መቆጣጠር, ስለሆነም የመሳሪያዎቹን አፈፃፀም በተሻለ ሁኔታ ማመቻቸት ይቻላል.

3.3 ወጪ-ውጤታማነት እና የአካባቢ ወዳጃዊነት

ከሌሎች ናይትሮጂን ምንጭ ጋዞች ጋር ሲነፃፀር አሞኒያ በአንጻራዊ ሁኔታ ሲታይ አነስተኛ ነው እናም ከፍተኛ የናይትሮጂን አጠቃቀም ውጤታማነት አለው, ይህም በትላልቅ ሴሚሴዲንግ ምርት ውስጥ ከፍተኛ ጥቅም ያስገኛል. በተጨማሪም አሞኒያ እንደገና ጥቅም ላይ በማዋል እና እንደገና ጥቅም ላይ የሚውሉ ቴክኖሎጂዎች የበለጠ የላቀ እየሆኑ መጥተዋል ለአካባቢያዊ ወዳጃዊነት አስተዋጽኦ ያደርጋሉ.

4. የደህንነት እና የአካባቢ ችግሮች

አሞኒያ በሴሚኮንዲርድ ማምረቻ ረገድ ጉልህ ሚና ቢኖረውም, አሞኒያ ሊሆኑ የሚችሉ አደጋዎችን ያቀርባል. በክፍል ሙቀት ውስጥ አሞኒያ ጋዝ, እና በፈሳሽ ፎርም ውስጥ, በተጠቀመበት ወቅት ጥብቅ የደህንነት እርምጃዎችን የሚፈልግ በጣም እርግዝና እና መርዛማ ነው.

1. ማከማቻ እና መጓጓዣየደም ቧንቧዎችን ለመከላከል በአሞኒያ እና በቧንቧዎች ያሉ ልዩ የመያዣዎች እና ቧንቧዎች በመጠቀም አሞኒያ በአነስተኛ የሙቀት መጠን እና በከፍተኛ ግፊት መቀመጥ አለባቸው.
2. የአፈፃፀም ደህንነትየአሞኒያ የሰውነት ተጋላጭነትን ለመከላከል እንደ ሴሚክተሩ የምርት መስመሮች ውስጥ ኦፕሬተሮች የመከላከያ መሳሪያዎችን መልበስ አለባቸው.
3. የቆሻሻ ጋዝ ሕክምና: የአሞኒያ አጠቃቀም ጎጂ የሆኑ ቆሻሻ ጋዎችን ማምረት ይችላል, ስለሆነም ልቀቶች የአካባቢያዊ ደረጃዎችን ማቋቋም እንዲችሉ ውጤታማ የቆሻሻ ጋዝ ሥርዓቶችን ማምረት ይችላል.

ሴሚሚዶዌሩ የማምረቻ ሂደቶች ማሻሻል እንደሚቀጥሉ እና የከፍተኛ የመሣሪያ አፈፃፀም ጭማሪ ፍላጎቶች, የአሞኒያ ኢንዱስትሪ ውስጥ ያለው ሚና ማደግ ይቀጥላል. ይህ በተለይ ከፍተኛ ጥራት ያለው የናኖ-ሚዛን የተቀናጁ ወረዳዎች, የሎሚ ስሌት ቺፕስ, እና የላቁ ማሸጊያ ቴክኖሎጂዎች እውነት ነው. በተጨማሪም የአካባቢ ሕብረተሮች ክበብ ሲሆኑ የአሞኒያ ልማት ቴክኖሎጂዎች እድገት እና እንደገና ጥቅም ላይ የዋሉ ልማት ኢንዱስትሪ የወደፊት ሕይወት ወሳኝ ጉዳይ ይሆናል.

በአሞሚኒያ ውስጥ የሚገኙት የአሞኒያ ትግበራ ኢንዱስትሪ ለዘመናዊ ኤሌክትሮኒክስ ልማት ጠንካራ መሠረት ያቀርባል. የምርት ውጤታማነት በማሻሻል, የማኑፋክቸሪንግ ወጪዎችን ለመቀነስ እና የቴክኖሎጂ ፈጠራ አስፈላጊ ነው. የቴክኖሎጂ እድገቶች, የአሞኒያ ትግበራ መስፋፋቱን ይቀጥላል, ሴሚሚኖቹ ተባባሪ ኢንዱስትሪ ወደ ኢንተርናሽናል ውጤታማነት እና አካባቢያዊ ዘላቂነት ለመቀየር ይቀጥላል.

አሞኒያ, እንደ አስፈላጊ ኬሚካዊ ውይይት, በሴሚኮንድገር ማምረቻ ውስጥ አንድ ወሳኝ ሚና ይጫወታል. ለ Nitriddress ሪያሎች, ለመቅዳት እና ለማፅዳት / ለማፅዳት / ለሂደቶች ቅጣቶች ወሳኝ ነው. የሴሚክዮናውያኑ ቴክኖሎጂ ቀጣይ እድገት ያለው የአሞኒያ ማመልከቻዎች ለማደግ, ለቴክሚካዊ እድገቶች ኢንዱስትሪ ከፍተኛ አስተዋጽኦ የሚያደርጉ እና ወደ አካባቢያዊ ተስማሚ አቅጣጫዎች እንዲቀየር ተደርገው ይታያሉ.