በሴሚኮንድዌተር ማምረቻ ውስጥ ወደ ናይትሮጂን ትሪፕሽን (NFF) ጋዝ አጠቃላይ መመሪያ

2025-11-12

በኪስዎ ውስጥ ስማርትፎን, በጠረጴዛዎ ላይ ያለው ኮምፒተርዎ, በመኪናዎ ውስጥ ያሉት የላቁ ስርዓቶች - ምንም እንኳን አንዳቸውም ቢሆኑ, የማይታይ, ልዩ የሆኑ ጋዞች. የኢንዱስትሪ ጋዝ ፋብሪካ ባለቤት እንደመሆኔ መጠን እኔ አለን, እነዚህ ወሳኝ ቁሳቁሶች የዘመናዊ ቴክኖሎጂ አበባ እንዴት እንደሚመሰርቱ በመጀመሪያ አየሁ. እንደ ውስብስብ የአለም አቀፍ አቅርቦት ሰንሰለት, እነዚህን ጋዞች ሰንሰለት በሚዳስሱ የንግድ ሥራ መሪዎች, እነዚህን ጋዞችን መረዳቱ አዳዲስ ዕድሎችን ለመክፈት ቁልፍ ነው. ይህ ጽሑፍ በዚህ መስክ ውስጥ በጣም አስፈላጊ ከሆኑ ተጫዋቾች ውስጥ ለአንዱ አጠቃላይ መመሪያ ነው- ናይትሮጂን ትሪፕሎጅ (NF₃). ይህንን ኃይለኛ እንሆናለን ጋዝበ ውስጥ ወሳኝ ሚናውን ይመርምሩ ሴሚኮንዳር ማምረቻ ሂደትእና ጥራቱ እና አቅርቦቱ ለጠቅላላው ለምን አስፈላጊ እንደሆኑ ያብራሩ ኤሌክትሮኒክስ ማምረቻ ኢንዱስትሪ.

ናይትሮጂን ትሪምፕ (NF₃) ጋዝ በትክክል ምን ማለት ነው?

መጀመሪያ በጨረፍታ, ናይትሮጂን ትሪምፕ, ብዙውን ጊዜ በኬሚካዊ ቀመር የሚባለው ነው Nf₃, ልክ እንደ ሌላ ኢንዱስትሪ ሊመስሉ ይችላሉ ጋዝ. እሱ ያለ ቀለም የሌለው, ተቀጣጣይ ያልሆነ, እና በትንሹ ማሸት ማሽተት ነው ግቢ. ሆኖም, በዓለም ውስጥ የላቀ ማምረቻ, ይህ ጋዝ ከፍተኛ አፈፃፀም መሣሪያ ነው. እሱ በተገቢው ሁኔታ የተሰራ ነው ግቢ ከአንድ ናይትሮጂን አቶም እና ከሶስት የተሰራ ፍሎራይድ አቶሞች. ኃይሉ ቁልፉ በዚህ መዋቅር ውስጥ ይገኛል. በክፍል ሙቀት, Nf₃ በአንፃራዊነት የተረጋጋ እና መግቢያየበለጠ ተለዋዋጭ ከሆኑ ጋዞች ጋር ሲነፃፀር ደህንነቱ የተጠበቀ ማድረግ ደህንነቱ የተጠበቀ ማድረግ.

ኢንጂነር በሚተገበርበት ጊዜ አስማት ይከሰታል. በከፍተኛው የኃይል ሁኔታዎች ውስጥ በ ሴሚኮንዳተር የማኑፋክቸሪንግ መሣሪያ እንደ ሀ ፕላዝማ ክፍሉ, የ Nf₃ ሞለኪውሎች መበስበስ. እነሱ ተለያዩ እና በከፍተኛ ሁኔታ ይሽራሉ ምላሽ መስጠት ፍሎራይድ አክራሪዎች. በአጉሊ መነፅር ሚዛን ላይ እንደ ቁጥጥር ፍንዳታ ያስቡ. እነዚህ ነፃ ፍሎራይድ አቶሞች አላስፈላጊ ቁሳቁሶችን ከርሶ እና በማስወገድ ረገድ ውጤታማ ናቸው, በተለይም ሲሊኮን እና ውህዶች. እርስዎ በሚፈልጉበት ጊዜ ይህ ችሎታ የተረጋጋ መሆን ምላሽ መስጠት ሲፈልጉት ናይትሮጂን ትሪፕሽን ጋዝ በትክክለኛው ዓለም ውስጥ በጣም ጠቃሚ እሴት ቺፕ ማምረቻ.

ይህ ልዩ የሁለትዮሽ ተፈጥሮ. Nf₃ የዘመናዊው የማዕዘን ድንጋይ ሆኗል ሴሚኮንድገር ፍርስራሽ. የአቅርቦት ሰንሰለት ውስጥ ደህንነት እና አስተማማኝነት በአቅርቦት ሰንሰለት ውስጥ ደህንነት እና አስተማማኝነት ያረጋግጣል, መልመጃውም የሚፈልጉትን ከፍተኛ አፈፃፀም ጽዳት እና የመርከቦችን አቅም ይሰጣል. ጠለቅ እያልን ሲመጣ, ይህ ቀላል ድምፅ እንዴት እንደ ሆነ ያያሉ ጋዝ በምድር ላይ በጣም የተወሳሰቡ መሳሪያዎችን መፍጠር ያነቃል.

ለሴሚኮንድቨር ኢንዱስትሪ ልዩነቶች አስፈላጊ የሆኑት ለምንድነው?

አስፈላጊነትን ለመረዳት Nf₃በመጀመሪያ, እኛ ሰፋ ያለ ድርሻውን ማድነቅ አለብን ጋዞች አስፈላጊ ናቸውሴሚኮንዳተር ኢንዱስትሪ. ማምረት ሀ የተቀናጀ ወረዳ ድንክዬዎ መጠን ባለው ሸራ ላይ እንደ አንድ የሸንኮር አከርካሪ መገንባት ነው. በደርዘን የሚቆጠሩ የአልትራሳውንድ-ቀጭን ንብርብሮችን የመጨመር እና የማስወገድ ሂደት ሀ ሲሊኮን ዋስትና. እያንዳንዱ እርምጃ ባዶ ከመፍጠር, ዋስትና ወደ መጨረሻው ቺፕ, በጥንቃቄ በተያዘው ልዩ የመቆጣጠር ችሎታ ላይ የተመሠረተ ነው ኤሌክትሮኒክ ጋዞች.

እነዚህ ጋዞች በርካታ ወሳኝ ተግባራትን ያካሂዳሉ. አንዳንዶቹ, እንደ Argon እና helium, የተረጋጋ, ምላሽ የማይሰጥ አከባቢን ለመፍጠር እና የበለጠ ምላሽ ሰጪ ጋዞችን ለመፍጠር እንደ Intrt ተሸካሚ ጋዎች ያገለግላሉ. ሌሎች ያገለግላሉ ተቀማጭ ገንዘብ, የት ጋዝ ጥቅም ላይ ውሏል ተቀማጭ ገንዘብ አንድ ቀጭን ፊልም በ ዋስትና. ለምሳሌ, በኬሚካላዊ እንፋሎት ተቀማጭ ገንዘብ (CVD), ጋዞች የቺፕ ዑደት አንድ አካል የሆነ ጠንካራ ፊልም ለመመስረት ምላሽ ይሰጣሉ. ከዚያ እንደ ኮከቦች ያሉት ጋዞችዎች አሉ Nf₃, ለኤሌክትሪክ ለኤሌክትሪክ ውስብስብ የሆነ መንገዶችን በመፍጠር በእነዚህ ንብርብሮች ውስጥ ንድፍ እንዲወጡ ያገለግላሉ.

ያለ የማያቋርጥ, አልተኛከፍተኛ ንፅህና የእነዚህን የተለያዩ ጋዞች አቅርቦት, አጠቃላይ የማኑፋክቸሪንግ ሂደት አቆሙ ማነስ እንኳን ርኩሰትጋዝ ኩባንያውን የሚሸጥ, ኩባንያ በሚሊዮኖች የሚቆጠሩ ዶላሮችን የሚሸከም አጠቃላይ የመራባሪያ መጋገሪያ ሊያበላሸው ይችላል. ለዚህ ነው ሴሚኮንዳር አምራቾች ለጋዝ አቅራቢዎች ጥራት እና አስተማማኝነት በሚያስደንቅ ሁኔታ ስሜታዊ ናቸው. የ ጋዝ በቀጥታ ወደ ጥራቱ ይተረጉማል እና የምርት ምርት የመጨረሻው ምርት.

የ NFT ጋዝ በሴሚኮንዳር ማምረቻ ሂደቶች ውስጥ እንዴት ጥቅም ላይ ይውላል?

ናይትሮጂን ትሪምፕ ሁለት ዋና ዋና, ወሳኝ መተግበሪያዎች አሉ ሴሚኮንዳተር ማምረቻ ሂደቶች: ፕላዝማ etching እና ክፍል. ሁለቱም ከፕሮጀክት ከ Autorone እስከሆኑ ድረስ ከፍተኛ አፈፃፀም ያሉ ጥቃቅን ጥቃቅን ጥቃቅን ጥቃቅን የሆኑ ጥቃቅን ነገሮች ለመፍጠር አስፈላጊ ናቸው ናንድ ፍላሽ ማህደረ ትውስታ.

በመጀመሪያ, ስለ ወሳኝ ነገር እንነጋገር. ከበርካታ የቁጥር ሽፋን በኋላ ሲሊኮን ዳይኦክሳይድዋስትናብርሃንን በመጠቀም አንድ ንድፍ የሚመረተው ንድፍ ነው. የ ኢ.ቲ. ከዚያ ሂደት ከትርፍ አካባቢዎች ከሚታዩት አካባቢዎች ያስወግዳል. Nf₃ ወደ አንድ ክፍል ውስጥ ገብቷል እና እንዲፈጥር ኃይል ያለው ሀ ፕላዝማ- ክስ ክስ ion ቅንጣቶች እና ምላሽ ሰጪዎች ፍሎራይድ አክራሪዎች. እነዚህ አክራሪዎች በትክክል ባዶ በሆነ መንገድ ዋስትና ወለል, ከ ጋር ምላሽ መስጠት ሲሊኮን ወደ ሀ አዝናኝ ግቢ (ሲሊኮን tetrafforider) ይህ በቀላሉ ከክፍለኛው ክፍል ሊነድ ይችላል. የዚህ ሂደት ትክክለኛነት ራስን መሐንዲሶች ከሰው ፀጉራቶች በሺዎች የሚቆጠሩ ቀለል ያሉ ባህሪያትን እንዲሸጡ ያስችላሉ.

ሁለተኛው ደግሞ በጣም የተለመደ, ናይትሮጂን ትሪፕሽን አጠቃቀም እንደ ሀ ጋዝ ማጽዳት. በ የኬሚካዊ እንፋሎት ተቀማጭ ገንዘብ (CVD) ሂደት, ቀጫጭን ፊልሞች በ ዋስትና, አላስፈላጊ ቁሳቁሶች እንዲሁ በሂደቱ ክፍሉ ውስጥ ባለው ግድግዳዎች ላይ ይገነባሉ. ይህ ቀሪ, ብዙውን ጊዜ የተሠራ ሲሊኮን ወይም ሲሊኮን ኒትሪድ, እያንዳንዳቸውን በመተግበር ሙሉ በሙሉ መወገድ አለባቸው ዋስትና ወይም የመርከቦች ስብስብ. ካልሆነ, ይህ ግንባታው በሚቀጥሉት ላይ ይሽከረክራል ዋስትናጉድለት ነው. እዚህ, Nf₃ ባዶ ክፍሉ ውስጥ ገብቷል እና ሀ ፕላዝማ ተቆጥቷል. ኃይለኛ ፍሎራይድ አክራሪዎች የሽቦቹን ግድግዳዎች ያጸዳሉ, ጠንካራውን እየቀየሩ ቀሪ ወደ አዝናኝ ማበረታቻ ይህ በቀላሉ ይወገዳል. ይህ የጽዳት ዑደት ነው ለማቆየት ወሳኝ የማምረቻ አካባቢ ንፅህና እና ከፍተኛ የማረጋገጥ ገጽታ የምርት ምርት.

ከ <አማራጮች ጋር ሲነፃፀር NFI የቢሊየን የጽዳት ጋዝ> የሚያደርገው ምንድን ነው?

ለብዙ ዓመታት, ሴሚኮንዳተር ኢንዱስትሪ እንደ ካርቦን ቴትራራሪንግ (ኤፍ.ሲ.ፒ.) እንደ ካርቦን ቴትራሪንግ (ኤፍ.ሲ.) እና ሄክሳፊሉሉሮታላይን (C.FF) ለማፅዳትና ለመገጣጠም. ውጤታማ ቢሆንም, እነዚህ ውህዶች በጣም ረዥም የከባቢ አየር ህንፃዎች ያላቸው በጣም ኃይለኛ የግሪን ሃውስ ጋዞች ናቸው. ለምሳሌ, C ₂F₆ ሀ ከፍተኛ የአለም ሙቀት መጨመር አቅም (Gwp) እና በከባቢ አየር ውስጥ በ 10,000 ዓመታት ውስጥ ሊቆይ ይችላል. የአካባቢ ጥበቃዎች ሲጨምሩ ኢንዱስትሪው የተሻለ መፍትሄ ያስፈልገው.

ይህ የት ነው Nf₃ እንደ ግልፅ አሸናፊ ወጣ. ቢሆንም ናይትሮጂን ትሪምፕ እንዲሁም ሀ ኃይለኛ የግሪን ሃውስ ጋዝ, እሱ በጣም አጭር የሆነ የከባቢ አየር ዘመን አለው (ከ 500 ዓመታት ያህል አካባቢ). ከሁሉም በላይ, በጽዳት ሂደት ውስጥ እጅግ በጣም ውጤታማ ነው. ውስጡ ውስጥ ፕላዝማ ክፍሉ, በጣም ከፍ ያለ መቶኛ Nf₃ ሞለኪውሎች ሥራቸውን ለመልቀቅ ይሰብራሉ ፍሎራይድ ከ PFC ጋር ሲነፃፀር. ይህ ማለት ያነሰ ነው ያልተስተካከለ ጋዝ ከክፍለኛው ክፍል ይደሰታል. ዘመናዊ ሴሚኮንድዌከሬክ እንዲሁም ሁሉንም ማለት ይቻላል የሚያጠፉ የጥሪ ስርዓቶችን (Scrubbies) ጭነትን ይጫኑ ያልተስተካከለ Nf₃ እና ጎጂ ማበረታቻ ከመለቀቁ በፊት ጋዞች

ከፍተኛ ውጤታማነት እና የበለጠ ውጤታማ የመዋለሻ ጥምረት ማለት ትክክለኛው ማለት ነው የግሪንሃውስ ጋዝ ልቀቶች ከመጠቀም Nf₃ ከሩፕ PFC ጋዞች ከሚሆኑት በጣም ዝቅተኛ ናቸው. ይህ የላቀ አፈፃፀም ለተስፋፋው ጉዲፈቻ ቁልፍ ምክንያት ነው.

ባህሪይ ናይትሮጂን ትሪፕሎጅ (NF₃) Perffulocarsbons (e.g., C ₂f₆)
ውጤታማነት ማፅዳት በጣም ከፍተኛ መካከለኛ
የፕላዝማ አትክልት > 95% ከ6-40%
ጋዝ አጠቃቀም ዝቅተኛ ጥራዞች ያስፈልጋል ከፍ ያለ መጠን ያስፈልጋል
የሥራ ሰዓት ፈጣን የማፅጃ ዑደቶች ቀርፋፋ የጽዳት ዑደቶች
የአካባቢ ተጽዕኖ የታችኛው ውጤታማ ልቀቶች ከአሳዳጊነት ጋር በጣም ከፍተኛ, ረዥም የከባቢ አየር ሕይወት
ወጪ-ውጤታማነት ከፍ ያለ የምርት ምርት, አነስተኛ ጊዜ ያነሰ ቀልጣፋ, የበለጠ ቆሻሻ

ከፍ ያለ ንፅህና ናይትሮጂን ትሪጅንግ እንዴት ነው?

እንደ አምራች, ያንን ማምረት ልነግርዎ እችላለሁ Nf₃ ውስብስብ እና በጣም ቁጥጥር ያለው ነው የምርት ሂደት. ግቡ በጣም በሚያስደንቅ ሁኔታ ንጹህ የሆነ - ብዙውን ጊዜ ከ 99.999% ንፁህ ወይም ከፍ ያለ ነው ርኩሰት በጣም ከባድ ሊሆን ይችላል ሴሚኮንዳተር ምርት. ሂደቱ በከፍተኛ መልኩ ቀዳሚ ኬሚካሎችን በመቆጣጠር ረገድ ችሎታ ይጠይቃል, በተለይም ፍሎራይድ.

Nf₃ ምርት በተለምዶ ምላሽ መስጠትን ያካትታል አሞኒያ (ሀ ግቢ ናይትሮጂንን መያዝ) ወይም አሞኒየም ፍሎራይድ ንጥረ ነገር ከኤለበለማት ጋር ፍሎራይድ በቲቢስ ውስጥ ጋዝ በ ከፍተኛ የሙቀት መጠን. ይህ ምላሽ የጋዜጣዎችን ድብልቅ ያወጣል Nf₃, ያልተያዙ ቁሳቁሶች እና የተለያዩ የወቅቶች. እውነተኛው ፈታኝ ሁኔታ, እና የአቅራቢው ችሎታ በእውነቱ የሚያሳየው የትም ቦታ ነው መንጻት የሚከተለው ደረጃ.

ጥሬ አዝናኝ ድብልቅ በበርካታ ውስጥ ይሄዳል መንጻት ማንኛውንም አላስፈላጊ ውህዶች ለማስወገድ እርምጃዎች. ይህ ብዙውን ጊዜ ተከታታይ መጠጊያዎችን ያካትታል, ADSRERSICK, እና የማያቋርጥ የመርከብ ሂደት. የ የመርከብ ሂደትበተለይም, የተለያዩ ክፍተቶችን በመመስረት በጣም ዝቅተኛ ሙቀቶችን ይጠቀማል, Nf₃ ከማንኛውም ርካሽ ርኩሰት. የመጨረሻው ምርት የ "የ" የ "THES" የታጠበባራቸውን መግለጫዎች የሚያሟላ መሆኑን ለማረጋገጥ እያንዳንዱ እርምጃ ከላቁ ትንታኔ መሣሪያዎች ጋር ቁጥጥር ይደረግበታል ሴሚኮንዳተር ኢንዱስትሪ. ይህ የጥራት ቁጥጥር ቁርጠኝነት ከአቀሪዎቹ ጋር አስተማማኝ አቅራቢ የሚለየው ነው.


ከፍተኛ-ንፅህና NF3 ጋዝ ሲሊንደር

ለ NF at ጋዝ ውስጥ ደህንነታቸው የሚመለከቱ እና የሚያስተላልፉ ምንድን ነው?

ኢንዱስትሪ ውስጥ ደህንነት ቅድሚያ የሚሰጠው ጉዳይ ነው ጋዝ ንግድ. ቢሆንም Nf₃ ተቀጣጣይ ያልሆነ እና በአንፃራዊነት በክፍል ሙቀት ውስጥ በአንጻራዊ ሁኔታ የተረጋጋ ነው, በተለይም በከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው ጠንካራ የኦክሳይድ ወኪል ነው. ይህ ማለት ተቀጣጣይ ቁሳቁሶች በጥልቀት ምላሽ መስጠት እና በጥንቃቄ አያያዝን ይጠይቃል. ዋናው ስጋት የእሱ መርዛማ ነው, መተኛት ጋዝ ጉዳታዊ ሊሆን ይችላል, ስለዚህ ትክክለኛ የአየር ማናፈሻ እና የግል መከላከያ መሣሪያዎች በማንኛውም በማንኛውም ሁኔታ አስፈላጊ ናቸው የማኑፋክቸሪንግ ጣቢያ.

የጠቅላላው የአቅርቦት ሰንሰለት, ከፋብሪካችን ወደ ደንበኛው ሴሚኮንዳተር FAB, የተገነባው በደህንነት ዙሪያ ነው. Nf₃ በከፍተኛ ግፊት ሥር ባለው ልዩ ብረት ብረት ሲሊንደር ውስጥ ይጓዛል. እነዚህ ሲሊንደሮች (ሲሊንደሪዎች) በደህና ሊያዙ እንደሚችሉ ለማረጋገጥ ጠንካራ ምርመራ እና ማረጋገጫ ይሰጣቸዋል ጋዝ. እንደ አቅራቢ እንደመሆንዎ መጠን ዝርዝር የደህንነት ውሂብን (ሲዲዎችን) እና ለደንበኞቻችን በተገቢው ማከማቻ, ግንኙነት እና አያያዝ ሂደቶች ውስጥ ስልጠና እናቀርባለን. ይህ መመሪያዎችን ያጠቃልላል የፍሰት ፍጥነት የመፍትሔ ሥርዓቶች ይቆጣጠሩ እና ይቆጣጠሩ.

ዋና ጉዳዩ ለስላሳ እና አስተማማኝ የአቅርቦት ሰንሰለት ነው, የተረጋገጠ የደህንነት መዝገብ ካለው ከአቅራቢው ጋር አብሮ መተባበር ወሳኝ ነው. ውጤታማ ያልሆነ ግንኙነት ወይም ከአቅራቢ ከአቅራቢው ግልጽ የሆነ የደህንነት ፕሮቶኮሎች አለመኖር ዋና ቀይ ባንዲራ ነው. አንድ ምርት ብቻ ሳያሳውቅ እንመረምራለን, ነገር ግን የሎጂስቲክ ድጋፍ እና የደህንነት ችሎታን የሚያካትት የተሟላ አገልግሎት ጋዝ መድረስ እና ሁሉንም እርምጃ በደህና ተያዙ.

ናይትሮጂን ትሮፒንግሪንግ ግሪን ሃውስ ጋዝ ነው? የአካባቢ ተጽዕኖን መገንዘብ.

ስለ አካባቢያዊ ገጽታዎች ግልፅነት አስፈላጊ ነው Nf₃. አዎ፣ ናይትሮጂን ትሪምፕ ኃይለኛ ነው የግሪንሃውስ ጋዝ. በአየር ንብረት ለውጥ (IPCC) ላይ የተተገበረው ፓነል ፓነል (አይፒሲሲ) ከካርቦን የበለጠ ዓለም አቀፍ የሙቀት መጨመር አቅም ያለው (GWP) እንዳለው አስላ ሰሏል ዳይኦክሳይድ ከ 100 ዓመት በላይ. ይህ ኢንዱስትሪው በጣም በቁም ነገር ሊወስድበት ነው.

ሆኖም, ታሪኩ እዚያ አያበቃም. የ በአከባቢው ላይ ተጽዕኖ በዝግጅት ላይ ብቻ አይደለም, ነገር ግን ምን ያህል በትክክል ወደ ከባቢ አየር ውስጥ እንደሚወርድ. ቀደም ሲል እንደተጠቀሰው, Nf₃ በጣም ውጤታማ ነው. በዘመናዊ ውስጥ ሴሚኮንዳተር ተቋም, አብዛኛው የ ያገለገለው ጋዝ በማኑፋክቸሪንግ ሂደት ወቅት ይጠፋል ወይም ይጠፋል. የ ፕላዝማ አጣበቀ, እና ማንኛውም ያልተስተካከለ ጋዝ የተደነገገው የጥጣቱ ስርዓት ነው. እነዚህ ሥርዓቶች በጣም ውጤታማ ናቸው, ብዙውን ጊዜ ከቀሪዎቹ በላይ ከ 99% በላይ ያጠፋሉ Nf₃.

የኢንዱስትሪው ሽግግር ከ PFCs እስከ Nf₃ከተፈጸመ የቴክኖሎጂ ቴክኖሎጂ አጠቃቀም ጋር የተዋሃደ, በእውነቱ ወደ መረብ ቅነሳ ምክንያት ሆኗል የግሪንሃውስ ጋዝ ልቀቶች በምርት አሃድ. ኃላፊነት የሚሰማው ሴሚኮንዳር አምራቾች እና የጋዝ አቅራቢዎች አንድ ልቀቶች መቀነስ እንዲችሉ ለማረጋገጥ አብረው ይሰራሉ. ይህ አነስተኛ መጠን ያለው የጽዳት ሂደቱን ማመቻቸት ያካትታል ጋዝ ለከፍተኛ አፈፃፀም አስፈላጊነት አስፈላጊነት አስፈላጊ እና ጠብቆ ማቆየት. ስለዚህ, እያለ Nf₃ ኃይለኛ ነው የግሪንሃውስ ጋዝ በቤተ ሙከራ ውስጥ, የእውነተኛው ዓለም አካባቢያዊ የእግር ጉዞ ሴሚኮንድገር ማምረቻ ከተተካ አማራጮች ይልቅ በጥንቃቄ የተስተካከለ እና በጣም ዝቅተኛ ነው.

ለታላቁ ሴሚኮንድዌተር ፋሲካዎች የጣቢያ ጋዝ ትውልድ ምን ሚና ነው?

የዘመናዊው ልኬት ሴሚኮንድገር ማምረቻ አስደናቂ ነው. ሜጋ-ፋብሪካ ተብሎ የሚጠራው ትልቁ መገልገያዎች ከፍተኛ መጠን ያላቸው ጋዞችን ይበላሉ. ለአንዳንድ ጋዝ, እንደ ናይትሮጂን, በሺዎች የሚቆጠሩ ሲሊንደሮች በጭነት ከመጓዝ ይልቅ በተቋሙ ውስጥ በቀጥታ እነሱን ማምረት የበለጠ ቀልጣፋ ነው. ይህ ተብሎ ይታወቃል በቦታው ላይ ትውልድ. በጣም ልዩ እና ምላሽ ሰጭ ጋዝ እንደ Nf₃, በትንሹ የተለየ ሞዴል ብቅ እያለ በቦታው ላይ መንጻት እና ትንተና.

ሙሉ ሲሆኑ Nf₃ ምርት በቁርጭምጭሚቱ ምክንያት በአንድ ላይ ያልተለመደ ነው, ትላልቅ ተጠቃሚዎች ብዙውን ጊዜ ውስብስብነት አላቸው በቦታው ላይ የጋዝ አያያዝ ስርዓቶች. የጅምላ አቅርቦት Nf₃ ወደ FAB ደርሷል, እና ከዚያ ይህ ስርዓት የመጨረሻ ደረጃን ያካሂዳል መንጻት እና ቀጣይነት ያለው የጥራት ትንተና ከ ጋዝ ውድ ወደሆኑት የማኑፋካክሞች መሳሪያዎች ይገባል. ይህ ከአቅደፃቸው መስመሮች ማናቸውም የመበከል አቅም እንዳለው ለማረጋገጥ የመጨረሻ የጥራት ደረጃን ይሰጣል. ይህ አካሄድ የብዙዎች ኢኮኖሚያዊ ጥቅሞችን የሚያጣምር ከሆነው የጥራት ማረጋገጫ ጋር ነው በቦታው ላይ አስተዳደር

እነዚህን የመለዋወጥ ሞዴሎች መረዳቱ አስፈላጊ ነው. እንደ አቅራቢ, አገልግሎቶቻችንን ሲሊንደሮቻቸውን ከመሙላት ብቻ አልፋፋለን. አሁን አብረን እንሠራለን ግሎባል ሴሚኮንዳር አምራቾች አጠቃላይ የጋዝ ማቅረቢያ እና የአስተዳደር መፍትሄዎችን ዲዛይን ለማድረግ እና ለመተግበር. ይህ ምናልባት መወሰኑን ሊያካትት ይችላል የምርት መስመር አቅም, ልዩ ደንበኛ, ልዩ ሎጂስቲክስ ወይም ከእነሱ ጋር ውህደት አቅም በቦታው ላይ ስርዓቶች. እሱ የሚፈለጉትን ፍላጎቶች የሚያሟላ ተለዋዋጭ እና አስተማማኝ የአቅርቦት ሰንሰለት መስጠት ነው 21 ኛው ክፍለ ዘመን ማምረቻ. ይህ የፕሮግራብዎ ቁልፍ ክፍል ነው, በተለይም ለደንበኞች ሲሰነዘርባቸው የምርት አቅም.


በጣቢያ የጋዝ ጋዝ አቅርቦት ሥርዓቶች ለሴሚኮንድገር ማምረቻ

የ NFF ንፅህና በቺፕ ማምረቻ ማምረቻ የምርት ሂሳብ እንዴት ይነካል?

በውስጡ ሴሚኮንዳተር ዓለም, "ምርት" ሁሉም ነገር ነው. ከአንዲት ነጠላ የተዘጋጀው ጥሩ, የስራ ቺፕስ መቶኛ ነው ሲሊኮን ዋስትና. ከፍተኛ ምርት ማለት ከፍተኛ ትርፋማነት ማለት ነው. በዝቅተኛ ምርት በገንዘብ ማስመሰል ይችላል. የሂደቱ ንፅህና ጋዞች, በተለይም ምላሽ ሰጪ ጋዝ እንደ Nf₃, ቀጥታ እና አስገራሚ ተጽዕኖ ያሳድራል የምርት ምርት.

መገመት አስበው ርኩሰት እንደ ጥቃቅን እርጥበት (h₂o) ወይም ሌላ አዝናኝ ግቢ ከ ጋር መቀላቀል Nf₃. በሚያስደንቅ የ "Ecch ሂደት ወቅት, ያ ርኩሰት በኬሚካዊው ቺፕ ዑደት ውስጥ በአጉሊ መነፅር ጉድጓድ ላይ ጣልቃ በመግባት ኬሚካዊ ግብረመልስ ውስጥ ጣልቃ ሊገባ ይችላል. እሱ ሊያግደው ይችላል ኢ.ቲ., ብዙ ቁሳዊ ነገሮችን በማስወገድ መሆን የሌለበት ወይም የመመዛገብ ሁኔታ ማጉደል የሌለበትን መተው. በየትኛውም መንገድ, ውጤቱ የተቀናጀ ወረዳ የመጨረሻ ፈተናውን ይሳካል. በአንድ ቺፕ ላይ በሚሊዮን የሚቆጠሩ ትራንዚስተሮችን ሲያደርጉ አንድ "ገዳይ ጉድለት" በአንድ ምክንያት ርኩሰት መላውን ቺፕ ሊያስገባ ይችላል.

ለዚህም ነው በጥራት ቁጥጥር ውስጥ በጣም በፍጥነት የምናደርግበት ለዚህ ነው. የተመሰከረለት, አልትራሳውንድከፍተኛ ንፅህና Nf₃, የደንበኞቻችን እምነት እንደሚተማመን እንሰጣለን ጋዝ የአካል ጉዳተኞች ምንጭ አይሆንም. ትኩረቱን መቆጣጠር ወደ ክፍሎቹ እያንዳንዱ ክፍል - በአለቃው-ቢሊዮን ደረጃው ያንን ያረጋግጣል የማኑፋክቸሪንግ ሂደት የተረጋጋ እና ሊደገም ይችላል. የተረጋጋ ሂደት ወደ መተንበይ እና ከፍ ያለ ያደርገዋል የምርት ምርት, ይህም ለእያንዳንዱ የመጨረሻ ግብ ነው ሴሚኮንዳተር አምራች. እንደ አቅራቢ የእኛ ሚና ከፍተኛ የመንጻት ልዩነቶች ተለዋዋጮችን ማስወገድ እና የማይሽከረከር ባሕርይ ምርትን መስጠት ነው.

በናይትሮጂን ትሪምፕሪንግ አቅራቢ ምን መፈለግ አለብዎት?

እንደ ማርቆስ የግዥ መኮንን እንደ ማርች ወሳኝ ቁሳቁስ ትክክለኛውን አቅራቢ መምረጥ Nf₃ ዋጋዎችን ከማነፃፀር እጅግ የላቀ ነው. መጥፎ አጋርነት የመርከብ አደጋ መዘግየቶች, የጥራት ግንኙነቶች, ደካማ የመግባቢያ ግንኙነት - በቀላሉ በጣም ከፍተኛ ናቸው. ተሞክሮዬ ላይ በመመርኮዝ, ከግምት ውስጥ የሚገቡ ቁልፍ ጉዳዮች እነሆ-

የመጀመሪያ, የተረጋገጠ ጥራት እና የምስክር ወረቀቶች. እምነት የሚጣልበት አቅራቢ የመተንተን (COA) የምስጢር ማረጋገጫ የምስክር ወረቀት ይሰጣል, የመርከብ ደረጃን የሚገልጽ እና ማንኛውንም የተገኙ ርኩሰት ዝርዝርን ይዘረዝራል. እንደገለጹት እንደገለጹት ዓለም አቀፍ ደረጃዎች ጋር የተጣበቁ መሆን አለባቸው. ስለ ትንታኔ ችሎታዎች ይጠይቁ. በሚያስፈልጉት ደረጃዎች ውስጥ ሥራዎችን ለመለየት መሳሪያዎች አሏቸው? ሴሚኮንዳተር ማመልከቻዎች?

ሁለተኛ, የአቅርቦት ሰንሰለት አስተማማኝነት እና ግልፅነት. አቅራቢው መዘግየትን ለመከላከል የክሮ ሎጂስቲክስ አውታረ መረብን ማሳየት ይችላል? እነሱ እንደገና ያካሂዳሉ የምርት አቅም የማያቋርጥ አቅርቦት ለማረጋገጥ? መግባባት ቁልፍ እዚህ ነው. አቅራቢዎ ቀልጣፋ መሆን አለበት, ስለ መርከቦች ዝመናዎች እና ለጥያቄዎች መልስ ለመስጠት በቀላሉ የሚገኝ መሆን አለባቸው. ይህ ውጤታማ ያልሆነ ግንኙነትን የሚያሳይ ህመምን በቀጥታ ይገልጻል.

በመጨረሻም የቴክኒካዊ ችሎታ ይፈልጉ. ጥሩ አቅራቢ አንድ ምርት አይሸጥም; እነሱ መፍትሄ ይሰጣሉ. ማመልከቻዎን መረዳት እና ቴክኒካዊ ድጋፍን ማቅረብ ይችላሉ. ስለ ደኅንነት, አያያዝ, እና ስለ አካባቢያዊ የአካባቢ ጥበቃዎች እንኳን እውቀት ያላቸው መሆን አለባቸው ጋዝ መተግበሪያዎች. እውቀት ያለው አጋር ሆኖ ሊሠራ የሚችል አቅራቢ ከአቅራቢ ከአቅራቢው የበለጠ ዋጋ ያለው ነው. ይህ ችሎታ የረጅም ጊዜ, ትርፋማ ግንኙነት መሠረት ነው. እኛ ለሁሉም ደንበኞቻችን ለገቢዎቻችን አጋር ለመሆን እንጥራለን. ጋዝ ነገር ግን ከእርሷ ጋር የሚመጣው የአእምሮ ሰላም.


ቁልፍ atways

  • አስፈላጊ መሣሪያ ናይትሮጂን ትሪፕሎጅ (NF₃) ወሳኝ ልዩ ልዩ ነው ጋዝ ለፕላዝማ atching እና ክፍል ውስጥ ጥቅም ላይ የዋለ ሴሚኮንዳር ማምረቻ ሂደት.
  • የላቀ አፈፃፀም Nf₃ የበለጠ ቀልጣፋ ነው እናም ከፍተኛ ጥቅም ላይ የዋለው ከፍተኛ አጠቃቀም ዋጋዎች እና ዘመናዊ የአደገኛ ስርዓቶች ምስጋና ይሳደቃል.
  • ንፅህና ትርፋማነት ነው እጅግ በጣም ከፍተኛ የመንፃት ንፅህና Nf₃ ለድርድር የማይሰጥ ነው. መከታተያዎች እንኳን ሳይቀር ጉድለቶችን ሊያስከትሉ ይችላሉ ሲሊኮን ዋስትና, በከፍተኛ ሁኔታ መቀነስ የምርት ምርት እና ትርፋማነት ቺፕ ማምረቻ.
  • ደህንነት እና አያያዝ ቁልፍ ናቸው የተረጋጉ, Nf₃ መርዛማ እና ኦክሳይድ ነው ጋዝ ልዩ አያያዝን ይጠይቃል, የተረጋገጡ ሲሊንደሮች እና የደህንነት ፕሮቶኮሎች ጥልቅ ግንዛቤ.
  • የአቅራቢ ምርጫ ወሳኝ ነው ሲመረጥ Nf₃ አቅራቢ, ትክክለኛ ጥራት ያለው ጥራት, የአቅርቦት ሰንሰለት አስተማማኝነት, ግልጽ የመግባቢያነት እና ጥልቅ የቴክኒክ ልምድ በዋጋ ብቻ ነው.